JPH04273401A - 基準電圧分割用抵抗列 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は基準電圧分割用の抵抗列
に関し、特に高精度のＲ−ストリング方式デジタル・ア
ナログ変換器や電圧比較型アナログ・デジタル変換器に
用いる基準電圧分割用抵抗列に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の基準電圧分割用の抵抗列は図３に
示すように、分割された基準電圧をとり出す電極を形成
するＡｌコンタクト３と、各抵抗を直列に接続するＡｌ
配線４と、ポリシリ層からなる抵抗５からなる。図では
６個からの抵抗列Ｒ１〜Ｒ６を示してあるが、抵抗列が
長く、回路のレイアウト上、直線的に配置できない場合
、Ｒ４〜Ｒ５のような折り返し点が存在する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】この従来の基準電圧分
割用の抵抗列では、ポリシリ抵抗自体のばらつき以外に
Ａｌコンタクト形状のばらつきによるコンタクト抵抗の
ばらつき、また折り返し点と直線部とのＡｌ配線抵抗の
差が存在する。

【０００４】特に、一つの抵抗値を小さな値にする場合
、ポリシリ抵抗のばらつき及びコンタクト抵抗のばらつ
き、折り返し点でのＡｌ配線抵抗のばらつきは、相対的
に無視できない値になり、基準電圧の均等な分割ができ
なくなる。

【０００５】本発明の目的は、前記課題を解決した基準
電圧分割用抵抗列を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
、本発明に係る基準電圧分割用抵抗列においては、ポリ
シリ抵抗と、電極とを有し、Ｒ−ストリング方式のデジ
タル・アナログ変換器や電圧比較型アナログ・デジタル
変換器等における基準電圧を等分割する基準電圧分割用
抵抗列であって、ポリシリ抵抗は、単位抵抗体を組合せ
て連続形成したものであり、電極は、ポリシリ抵抗に等
間隔に設けられたものであり、単位抵抗体は、その抵抗
幅方向の電極の切り口が互いに直角となる抵抗形状を有
し、電極の一方の切り口に線対称、若しくは電極の一方
の切り口の中心に対して点対称、若しくは一方の電極の
切り口に他方の電極の切り口を接続することにより抵抗
列を形成するものであり、単位抵抗体の組合せによる抵
抗列は、その折り返し部分に直線部分と同様に等間隔性
を有し、かつ単位抵抗体のパターンが変化しない形状を
有しているものである。

【０００７】

【作用】本発明の基準電圧分割用の抵抗列は、各抵抗間
をＡｌ配線で直列接続することなく、連続した抵抗に等
間隔にＡｌ配線とコンタクトをとることにより、基準電
圧の分圧を取り出している。また、ポリシリ抵抗層を蛇
行させることにより、抵抗列の折り返し点においても、
抵抗パターンが変化しないような形状を有している。

【０００８】

【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する
。

【０００９】（実施例１）図１は、本発明の実施例１を
示す図である。図において、連続したポリシリ抵抗２に
等間隔にＡｌコンタクト１を設け、これを電極としてい
る。

【００１０】ポリシリ抵抗２の両端に基準電圧をかける
ことにより、ポリシリ抵抗２に等間隔に設けられた電極
としてのＡｌコンタクト１より等分割された基準電圧の
分圧が得られる。

【００１１】このとき、個々の抵抗は、抵抗幅方向の電
極の切り口を互いに直角にし、これを交互に配置するこ
とにより、抵抗列折り返し部分においても抵抗列直線部
分と同様の形状をなし、抵抗値は全て等しく、基準電圧
の高精度な分割が可能となる。

【００１２】（実施例２）図２は、本発明の実施例２を
示す図である。本実施例は、実施例１と同様の蛇行した
ポリシリ抵抗７に、前記実施例１の単位抵抗の２個飛び
の間隔で電極としてのＡｌコンタクト６を設けてある。

【００１３】本実施例によれば、実施例１と同様、ポリ
シリ抵抗５の両端に基準電圧をかけることにより等分割
された基準電圧の分圧が得られる。

【００１４】本実施例では、一個分の抵抗の値が実施例
１の抵抗の値の３個分であり、ポリシリ抵抗５の形状の
ばらつきなどによる抵抗値のばらつきが平均化されると
いう利点がある。

【００１５】

【発明の効果】以上説明したように本発明の基準電圧分
割用の抵抗列は、各抵抗間にＡｌ配線を介さないため、
Ａｌ配線抵抗，Ａｌコンタクト抵抗のばらつきの影響が
ない。また、抵抗列の折り返し点における抵抗パターン
の変化がなく、これより抵抗列による基準電圧の均等な
分割が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１を示す図である。

【図２】本発明の実施例２を示す図である。

【図３】従来例を示す図である。

【符号の説明】

１，６　　Ａｌコンタクト ２，７　　ポリシリ抵抗

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　ポリシリ抵抗と、電極とを有し、Ｒ−
   ストリング方式のデジタル・アナログ変換器や電圧比較
   型アナログ・デジタル変換器等における基準電圧を等分
   割する基準電圧分割用抵抗列であって、ポリシリ抵抗は
   、単位抵抗体を組合せて連続形成したものであり、電極
   は、ポリシリ抵抗に等間隔に設けられたものであり、単
   位抵抗体は、その抵抗幅方向の電極の切り口が互いに直
   角となる抵抗形状を有し、電極の一方の切り口に線対称
   、若しくは電極の一方の切り口の中心に対して点対称、
   若しくは一方の電極の切り口に他方の電極の切り口を接
   続することにより抵抗列を形成するものであり、単位抵
   抗体の組合せによる抵抗列は、その折り返し部分に直線
   部分と同様に等間隔性を有し、かつ単位抵抗体のパター
   ンが変化しない形状を有していることを特徴とする基準
   電圧分割用抵抗列。