JPH04281613A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波フィルタInfo
- Publication number
- JPH04281613A JPH04281613A JP4523691A JP4523691A JPH04281613A JP H04281613 A JPH04281613 A JP H04281613A JP 4523691 A JP4523691 A JP 4523691A JP 4523691 A JP4523691 A JP 4523691A JP H04281613 A JPH04281613 A JP H04281613A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- input
- output
- electrodes
- surface acoustic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、通信等で特定周波数を
通過させるために使用される弾性表面波フィルタに関す
る。
通過させるために使用される弾性表面波フィルタに関す
る。
【０００２】近年、車載用や携帯用の電話等の各種通信
装置に、フィルタとして弾性表面波フィルタが使用され
てきている。そして、該通信装置の高度複雑化に伴い弾
性表面波フィルタにおいても多段化が要求される。その
ため、接地等の諸処理を確実にしつつ多段化を図る必要
がある。
装置に、フィルタとして弾性表面波フィルタが使用され
てきている。そして、該通信装置の高度複雑化に伴い弾
性表面波フィルタにおいても多段化が要求される。その
ため、接地等の諸処理を確実にしつつ多段化を図る必要
がある。
【０００３】
【従来の技術】弾性表面波フィルタは、例えばＬＣフィ
ルタに比べて、小型であること、Ｑ（尖鋭度）が高いこ
とから狭帯域のものができること、及び温度や経年変化
に対して安定である等の特長を有する。
ルタに比べて、小型であること、Ｑ（尖鋭度）が高いこ
とから狭帯域のものができること、及び温度や経年変化
に対して安定である等の特長を有する。
【０００４】図３に、従来の弾性表面波フィルタの構成
図を示す。図３（Ａ）は平面を示したもので、図３（Ｂ
）はそのＡ−Ａ断面を示したものである。図３（Ａ），
（Ｂ）において、弾性表面波フィルタ１は、例えば結晶
方位がＹ軸３６°回転のＬｉＴａＯ３ （タンタル酸リ
チウム）の単結晶より形成される圧電基板２に、入力電
極３と出力電極４とがくし形電極５を介して相対して形
成される。
図を示す。図３（Ａ）は平面を示したもので、図３（Ｂ
）はそのＡ−Ａ断面を示したものである。図３（Ａ），
（Ｂ）において、弾性表面波フィルタ１は、例えば結晶
方位がＹ軸３６°回転のＬｉＴａＯ３ （タンタル酸リ
チウム）の単結晶より形成される圧電基板２に、入力電
極３と出力電極４とがくし形電極５を介して相対して形
成される。
【０００５】入力電極３は、入力接続パッド６より３つ
の電極が延出しており、各電極間に２つの接地電極（接
続パッド）７が位置する。また、出力電極４は、出力接
続パッド８より２つの電極が延出し、各電極の両端に３
つの接地電極７が位置する。そして、入力電極３と出力
側の接地電極７，及び入力側接地電極７と出力電極４と
がこれらより延出するくし形電極５を互いに離間対向さ
せてかみ合い状態で整合させて相対する。これら、入力
電極３，出力電極４及びくし形電極５は、例えばアルミ
ニウム等を圧電基板２上に蒸着又はスパッタリングで金
属層を形成し、フォトリソグラフィ技術により図３（Ａ
）のパターンに形成するものである。
の電極が延出しており、各電極間に２つの接地電極（接
続パッド）７が位置する。また、出力電極４は、出力接
続パッド８より２つの電極が延出し、各電極の両端に３
つの接地電極７が位置する。そして、入力電極３と出力
側の接地電極７，及び入力側接地電極７と出力電極４と
がこれらより延出するくし形電極５を互いに離間対向さ
せてかみ合い状態で整合させて相対する。これら、入力
電極３，出力電極４及びくし形電極５は、例えばアルミ
ニウム等を圧電基板２上に蒸着又はスパッタリングで金
属層を形成し、フォトリソグラフィ技術により図３（Ａ
）のパターンに形成するものである。
【０００６】このような弾性表面波フィルタ１は、くし
形電極５に電圧が印加されることにより、所定の伝播速
度ｖを有する表面波（圧電基板２の材質により定まる）
が励振される。このとき、くし形電極５のピッチＰを定
めることによって、当該弾性表面波フィルタ１の周波数
（ｆ＝ｖ／２Ｐ）が決定する。
形電極５に電圧が印加されることにより、所定の伝播速
度ｖを有する表面波（圧電基板２の材質により定まる）
が励振される。このとき、くし形電極５のピッチＰを定
めることによって、当該弾性表面波フィルタ１の周波数
（ｆ＝ｖ／２Ｐ）が決定する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述の弾性
表面波フィルタは、入力接続パッド６，出力接続パッド
８及び接地電極７がワイヤボンディング等で他部所に電
気的に接続される。しかし、フィルタの多段化が進むと
、図３のように、接地電極の数が増加することから、そ
れぞれを接地しなければならず良好な接地効果が得られ
ないと共に、ワイヤ切れ等の信頼性が低下して生産性が
低下するという問題がある。
表面波フィルタは、入力接続パッド６，出力接続パッド
８及び接地電極７がワイヤボンディング等で他部所に電
気的に接続される。しかし、フィルタの多段化が進むと
、図３のように、接地電極の数が増加することから、そ
れぞれを接地しなければならず良好な接地効果が得られ
ないと共に、ワイヤ切れ等の信頼性が低下して生産性が
低下するという問題がある。
【０００８】そこで、本発明の上記課題に鑑みなされた
もので、少ない接地処理で良好な接地効果を得る弾性表
面波フィルタを提供することを目的とする。
もので、少ない接地処理で良好な接地効果を得る弾性表
面波フィルタを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題は、圧電基板上
の入力側に接続パッドを有する所定パターンの入力電極
及び複数の接地電極が形成されると共に、出力側に接続
パッドを有する所定パターンの出力電極及び複数の接地
電極が形成され、該入力側と出力側とがくし形電極を互
いに離間対向させてかみ合い状態で整合された弾性表面
波フィルタにおいて、前記複数の接地電極を表出させて
前記入力電極及び出力電極上に絶縁層を設け、該絶縁層
上に、該複数の接地電極を導通させる金属層を設けると
共に、該入力電極及び出力電極の前記接続パッドを表出
させる開口部を設けることにより解決される。また、前
記くし形電極を表出させるべく、該くし形電極上に開口
部を形成する。
の入力側に接続パッドを有する所定パターンの入力電極
及び複数の接地電極が形成されると共に、出力側に接続
パッドを有する所定パターンの出力電極及び複数の接地
電極が形成され、該入力側と出力側とがくし形電極を互
いに離間対向させてかみ合い状態で整合された弾性表面
波フィルタにおいて、前記複数の接地電極を表出させて
前記入力電極及び出力電極上に絶縁層を設け、該絶縁層
上に、該複数の接地電極を導通させる金属層を設けると
共に、該入力電極及び出力電極の前記接続パッドを表出
させる開口部を設けることにより解決される。また、前
記くし形電極を表出させるべく、該くし形電極上に開口
部を形成する。
【００１０】
【作用】上述のように、入力側及び出力側の接地電極を
金属層で導通させて共通化している。この場合、入力電
極及び出力電極は絶縁層により絶縁が保たれる。従って
、接地を行う場合、接地電極が増大してもすべての接地
電極を配線する必要がなく、一箇所又は数箇所で接地の
ための配線を行えばよい。すなわち、少ない接地処理で
良好な接地効果を得ることが可能となる。なお、入力電
極及び出力電極の接続パッド上に開口部を設けて表出さ
せており、この接続パッドで入出力の配線が行われる。
金属層で導通させて共通化している。この場合、入力電
極及び出力電極は絶縁層により絶縁が保たれる。従って
、接地を行う場合、接地電極が増大してもすべての接地
電極を配線する必要がなく、一箇所又は数箇所で接地の
ための配線を行えばよい。すなわち、少ない接地処理で
良好な接地効果を得ることが可能となる。なお、入力電
極及び出力電極の接続パッド上に開口部を設けて表出さ
せており、この接続パッドで入出力の配線が行われる。
【００１１】また、適宜くし形電極上にも開口部を設け
る。これにより、くし形電極における弾性表面波の伝播
効率を良好にすることが可能となる。
る。これにより、くし形電極における弾性表面波の伝播
効率を良好にすることが可能となる。
【００１２】
【実施例】図１に、本発明の一実施例の構成図を示す。
図１（Ａ）は平面を示したもので、図１（Ｂ）はそのＢ
−Ｂ断面を示したものである。
−Ｂ断面を示したものである。
【００１３】図１（Ａ），（Ｂ）において、弾性表面波
フィルタ１Ａは、圧電基板２上には、入力接続パッド６
より３極パターンが延出する入力電極３と、出力接続パ
ッド８より２極パターンが延出する出力電極４とが形成
されると共に、入力側に２つの接地電極７及び出力側に
３つの接地電極７が形成される。そして、３つの入力電
極３と出力側の接地電極７，及び２つの出力電極４と入
力側の接地電極７との間で、それぞれ延出するくし形電
極５を互いに離間対向させてかみ合い状態で整合される
。
フィルタ１Ａは、圧電基板２上には、入力接続パッド６
より３極パターンが延出する入力電極３と、出力接続パ
ッド８より２極パターンが延出する出力電極４とが形成
されると共に、入力側に２つの接地電極７及び出力側に
３つの接地電極７が形成される。そして、３つの入力電
極３と出力側の接地電極７，及び２つの出力電極４と入
力側の接地電極７との間で、それぞれ延出するくし形電
極５を互いに離間対向させてかみ合い状態で整合される
。
【００１４】また、入力電極３及び出力電極４上には絶
縁層１０が設けられる。この場合、総ての接地電極７は
表出した状態である。そこで、接地電極７上、及び絶縁
層１０上に金属層１１を設けて、該総ての接地電極７を
導通状態としている。そして、入力接続パッド６及び出
力接続パッド８上に開口部１２が設けられる。すなわち
、表出した入力接続パッド６及び出力接続パッド８上で
ワイヤボンディング等の配線が行われる。
縁層１０が設けられる。この場合、総ての接地電極７は
表出した状態である。そこで、接地電極７上、及び絶縁
層１０上に金属層１１を設けて、該総ての接地電極７を
導通状態としている。そして、入力接続パッド６及び出
力接続パッド８上に開口部１２が設けられる。すなわち
、表出した入力接続パッド６及び出力接続パッド８上で
ワイヤボンディング等の配線が行われる。
【００１５】これにより、複数の接地電極７の総てが金
属層１１により導通されており、該金属層１１表面の所
定箇所で一又は複数の接地配線をワイヤボンディング等
で行うことができる。すなわち、少ない接地処理で良好
な接地効果を得ることができる。この場合、入力電極３
及び出力電極４は絶縁層１０により絶縁されており、短
絡を回避している。
属層１１により導通されており、該金属層１１表面の所
定箇所で一又は複数の接地配線をワイヤボンディング等
で行うことができる。すなわち、少ない接地処理で良好
な接地効果を得ることができる。この場合、入力電極３
及び出力電極４は絶縁層１０により絶縁されており、短
絡を回避している。
【００１６】また、くし形電極５上に開口部１３を設け
て、該くし形電極５を表出させている。すなわち、くし
形電極５上に絶縁層１０等を設けずに、弾性表面波の伝
播効率の低下を防止するものである。
て、該くし形電極５を表出させている。すなわち、くし
形電極５上に絶縁層１０等を設けずに、弾性表面波の伝
播効率の低下を防止するものである。
【００１７】なお、該弾性表面波フィルタ１Ａ の平面
以外の部分（裏面、側面）に金属膜１４を形成する。こ
れにより、接地効果をより向上させるものである。
以外の部分（裏面、側面）に金属膜１４を形成する。こ
れにより、接地効果をより向上させるものである。
【００１８】次に、図２に、本発明の製造工程図を示す
。図２において、例えば厚さ０．５ ｍｍのＬｉＴａＯ
３ の圧電基板２上への所定パターンの入出力電極３，
４，接地電極７及びくし形電極５の形成は図３と同様で
ある。 そこで、まず圧電基板２上に、例えばＳｉＯ２ （酸化
シリコン）の絶縁層１０を５μｍ 程度スパッタや蒸着
法により形成する（図２（Ａ））。因に、圧電基板２上
のパターンの厚さは一般に２０００Åとなっている。
。図２において、例えば厚さ０．５ ｍｍのＬｉＴａＯ
３ の圧電基板２上への所定パターンの入出力電極３，
４，接地電極７及びくし形電極５の形成は図３と同様で
ある。 そこで、まず圧電基板２上に、例えばＳｉＯ２ （酸化
シリコン）の絶縁層１０を５μｍ 程度スパッタや蒸着
法により形成する（図２（Ａ））。因に、圧電基板２上
のパターンの厚さは一般に２０００Åとなっている。
【００１９】続いて、フォトリソグラフィ技術等により
、接地電極７上に開口部１０ａが形成されて、該接地電
極７表面を表出させる（図２（Ｂ））。なお、この場合
接地電極７の全部を表出させてもよい。次に、接地電極
７及び絶縁層１０上に金属層１１を、例えばアルミニウ
ム等で蒸着又はスパッタリングにより１μｍ の厚さで
形成して、該接地電極の総てを導通させる（図２（Ｃ）
）。
、接地電極７上に開口部１０ａが形成されて、該接地電
極７表面を表出させる（図２（Ｂ））。なお、この場合
接地電極７の全部を表出させてもよい。次に、接地電極
７及び絶縁層１０上に金属層１１を、例えばアルミニウ
ム等で蒸着又はスパッタリングにより１μｍ の厚さで
形成して、該接地電極の総てを導通させる（図２（Ｃ）
）。
【００２０】そして、入力接続パッド６，出力接続パッ
ド８及びくし形電極５上の絶縁層１０及び金属層１１を
エッチングにより除去して開口部１２，１３を設ける（
図２（Ｄ））。さらに、金属層１１表面以外の総ての面
（圧電基板２の裏面及び側面）に、例えばアルミニウム
を蒸着又はスパッタリングにより金属膜１４を形成する
（図２（Ｄ））。すなわち、入出力の接続パッド６，８
及びくし形電極５を除いて、弾性表面波フィルタ１Ａ
の総てを接地レベルとするものである。
ド８及びくし形電極５上の絶縁層１０及び金属層１１を
エッチングにより除去して開口部１２，１３を設ける（
図２（Ｄ））。さらに、金属層１１表面以外の総ての面
（圧電基板２の裏面及び側面）に、例えばアルミニウム
を蒸着又はスパッタリングにより金属膜１４を形成する
（図２（Ｄ））。すなわち、入出力の接続パッド６，８
及びくし形電極５を除いて、弾性表面波フィルタ１Ａ
の総てを接地レベルとするものである。
【００２１】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、入出力電
極上に絶縁層を設けて絶縁しつつ、接地電極の総てを金
属層により導通状態にすると共に、入出力接続パッド上
に開口部を設けることにより、接地電極が増大しても少
ない接地処理で良好な接地効果を得て歩留りの向上を図
ることができると共に、適宜くし形電極上に開口部を設
けることにより、弾性表面波の伝播効率を良好にするこ
とができる。
極上に絶縁層を設けて絶縁しつつ、接地電極の総てを金
属層により導通状態にすると共に、入出力接続パッド上
に開口部を設けることにより、接地電極が増大しても少
ない接地処理で良好な接地効果を得て歩留りの向上を図
ることができると共に、適宜くし形電極上に開口部を設
けることにより、弾性表面波の伝播効率を良好にするこ
とができる。
【図１】本発明の一実施例の構成図である。
【図２】本発明の製造工程図である。
【図３】従来の弾性表面波フィルタの構成図である。
１，１Ａ 弾性表面波フィルタ
２ 圧電基板
３ 入力電極
４ 出力電極
５ くし形電極
６ 入力接続パッド
７ 接地電極
８ 出力接続パッド
１０ 絶縁層
１１ 金属層
１２，１３ 開口部
Claims (2)
- 【請求項１】 圧電基板（２）上の入力側に接続パッ
ド（６）を有する所定パターンの入力電極（３）及び複
数の接地電極（７）が形成されると共に、出力側に接続
パッド（８）を有する所定パターンの出力電極（４）及
び複数の接地電極（７）が形成され、該入力側と出力側
とがくし形電極（５）を互いに離間対向させてかみ合い
状態で整合された弾性表面波フィルタにおいて、前記複
数の接地電極（７）を表出させて前記入力電極（３）及
び出力電極（４）上に絶縁層（１０）を設け、該絶縁層
（１０）上に、該複数の接地電極（７）を導通させる金
属層（１１）を設けると共に、該入力電極（３）及び出
力電極（４）の前記接続パッド（７）を表出させる開口
部（１２）を設けることを特徴とする弾性表面波フィル
タ。 - 【請求項２】 前記くし形電極（５）を表出させるべ
く該くし形電極（５）上に開口部（１３）を設けること
を特徴とする請求項１記載の弾性表面波フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4523691A JPH04281613A (ja) | 1991-03-11 | 1991-03-11 | 弾性表面波フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4523691A JPH04281613A (ja) | 1991-03-11 | 1991-03-11 | 弾性表面波フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04281613A true JPH04281613A (ja) | 1992-10-07 |
Family
ID=12713626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4523691A Withdrawn JPH04281613A (ja) | 1991-03-11 | 1991-03-11 | 弾性表面波フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04281613A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0730362A (ja) * | 1993-07-13 | 1995-01-31 | Mitsubishi Electric Corp | 弾性表面波装置 |
| US20120098618A1 (en) * | 2009-06-26 | 2012-04-26 | Kyocera Corporation | Surface Acoustic Wave Filter and Duplexer Using Same |
-
1991
- 1991-03-11 JP JP4523691A patent/JPH04281613A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0730362A (ja) * | 1993-07-13 | 1995-01-31 | Mitsubishi Electric Corp | 弾性表面波装置 |
| US20120098618A1 (en) * | 2009-06-26 | 2012-04-26 | Kyocera Corporation | Surface Acoustic Wave Filter and Duplexer Using Same |
| US9041487B2 (en) * | 2009-06-26 | 2015-05-26 | Kyocera Corporation | Surface acoustic wave filter and duplexer using same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7479855B2 (en) | Longitudinally-coupled-resonator-type elastic wave filter device | |
| CN108781068A (zh) | 由于横向模式和sh模式的干扰减小的saw组件和具有saw组件的hf滤波器 | |
| JP2717071B2 (ja) | 誘電体基板上に金属化領域を備えた音波デバイスの製法 | |
| JPH03293808A (ja) | 弾性表面波素子の製造方法 | |
| CN115940869A (zh) | 声表面波器件、滤波器及电子设备 | |
| US5302877A (en) | Surface acoustic wave device | |
| US5818146A (en) | Surface acoustic wave resonator filter apparatus | |
| JPH11191720A (ja) | 弾性表面波装置及び弾性表面波フィルタ | |
| EP0637872B1 (en) | Surface acoustic wave device | |
| JP5025963B2 (ja) | 電子部品とその製造方法及びこの電子部品を用いた電子機器 | |
| JPH1022765A (ja) | 弾性表面波共振子及び共振子型フィルタ | |
| US4365220A (en) | Surface wave circuit device | |
| JPH04281613A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP2002141768A (ja) | 表面弾性波素子 | |
| JPH0491508A (ja) | 弾性表面波デバイスとその製造方法 | |
| JP2000312125A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP2022137818A (ja) | 弾性波デバイスおよびその製造方法、フィルタおよびマルチプレクサ | |
| JPH03204212A (ja) | 弾性表面波デバイス及び弾性表面波フィルタ | |
| JP2000077967A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP2000059165A (ja) | 弾性表面波装置およびその製造方法 | |
| JP3172101B2 (ja) | 弾性表面波コンボルバ | |
| JPH10163802A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPH11168350A (ja) | 横多重モードｓａｗフィルタ | |
| JP3340563B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP4363807B2 (ja) | 弾性表面波装置及びそれを用いた通信装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |