JPH042856B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH042856B2 JPH042856B2 JP59239002A JP23900284A JPH042856B2 JP H042856 B2 JPH042856 B2 JP H042856B2 JP 59239002 A JP59239002 A JP 59239002A JP 23900284 A JP23900284 A JP 23900284A JP H042856 B2 JPH042856 B2 JP H042856B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air supply
- ceiling
- clean
- supply unit
- supply units
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
産業上の利用分野
本発明は、天井可変式クリーンルームに関する
ものである。
ものである。
従来の技術
半導体製造プロセス等、クリーンルームに設置
される生産ラインは、数年に一度、大幅なライン
構成の変更が行われる。
される生産ラインは、数年に一度、大幅なライン
構成の変更が行われる。
しかし、従来の部分層流のクリーンルームの場
合、フイルタ天井が建物と一体化していることが
多いため、製造プロセスのライン構成が変つた際
にこれに対応できない。
合、フイルタ天井が建物と一体化していることが
多いため、製造プロセスのライン構成が変つた際
にこれに対応できない。
また、全面層流のクリーンルームの場合、天井
ふところを給気チヤンバーとしているため、フイ
ルタ間或いはフイルタと周壁の間の気密性維持に
難点がある。
ふところを給気チヤンバーとしているため、フイ
ルタ間或いはフイルタと周壁の間の気密性維持に
難点がある。
発明が解決しようとする問題点
そこで、本発明は、清浄空間の配置をライン構
成の変化に随伴してフレキシブルに対応できるよ
うにし、且つ、気密性の維持を容易にしようとす
るものである。
成の変化に随伴してフレキシブルに対応できるよ
うにし、且つ、気密性の維持を容易にしようとす
るものである。
〔発明の構成〕
問題点を解決するための手段
本発明は、クリーンルームのフイルタ天井をフ
イルタの割付けに従がい小分割してそれぞれをユ
ニツト化すると共に、各個に適宜昇降手段を講じ
て成る。
イルタの割付けに従がい小分割してそれぞれをユ
ニツト化すると共に、各個に適宜昇降手段を講じ
て成る。
作用
如上の構成であるから、ライン構成の変更に当
つては、それらのユニツトを適宜に上げ下げし、
全面垂直層流方式、部分層流アイランド方式、ク
リーントンネル方式、クリーンチユーブ方式、乱
流方式等の各種方式に任意に適合させる。
つては、それらのユニツトを適宜に上げ下げし、
全面垂直層流方式、部分層流アイランド方式、ク
リーントンネル方式、クリーンチユーブ方式、乱
流方式等の各種方式に任意に適合させる。
実施例
第１図は、本発明に係る実施例を示し、クリー
ンルームＡのフイルタ天井Ｂを、フイルタの割付
けに従がい小分割して、それぞれを昇降自在な超
高性能フイルタ給気ユニツト（以下給気ユニツト
と云う）１…とし、それらの給気ユニツトは、そ
れぞれ断面方形の筒体１１を設け、該筒体の下端
に超高性能フイルタ１２を固定すると共に、内部
に送風機１３を設けている。
ンルームＡのフイルタ天井Ｂを、フイルタの割付
けに従がい小分割して、それぞれを昇降自在な超
高性能フイルタ給気ユニツト（以下給気ユニツト
と云う）１…とし、それらの給気ユニツトは、そ
れぞれ断面方形の筒体１１を設け、該筒体の下端
に超高性能フイルタ１２を固定すると共に、内部
に送風機１３を設けている。
また、それらの給気ユニツト１…は、天井チヤ
ンバＣにおいて、チエーン、ロープ、ジヤツキ、
ラツク・ピニオン、スクリユ・ロツド、テレスコ
ピツク等から成る適宜昇降装置２…を各個に備
え、これにより任意に昇降し得るように構成して
いる。
ンバＣにおいて、チエーン、ロープ、ジヤツキ、
ラツク・ピニオン、スクリユ・ロツド、テレスコ
ピツク等から成る適宜昇降装置２…を各個に備
え、これにより任意に昇降し得るように構成して
いる。
なお、上述の給気ユニツト１…は、内部に送風
機１３を設けているが、天共チヤンバＣがダクト
を介して中央の空調器、その他適宜給気手段に継
がつている場合には不要である。
機１３を設けているが、天共チヤンバＣがダクト
を介して中央の空調器、その他適宜給気手段に継
がつている場合には不要である。
また、昇降装置２…を装備させず、外部昇降装
置をその都度利用するものとし、適宜支持手段を
講じてもよい。
置をその都度利用するものとし、適宜支持手段を
講じてもよい。
給気ユニツト１…相互間、給気ユニツトと周壁
との間に、隙間封じの合成樹脂材を設けるとよ
い。
との間に、隙間封じの合成樹脂材を設けるとよ
い。
図中、Ｄは、通風床、Ｅは、床チヤンバ、Ｆ，
Ｇは、スラブである。
Ｇは、スラブである。
如上の構成であり、各給気ユニツト１…は、昇
降装置により高さｈの間で適宜に上げ下げし、次
の各種方式に適合させる。
降装置により高さｈの間で適宜に上げ下げし、次
の各種方式に適合させる。
全面垂直層流方式
第１図に示すように、全給気ユニツト１…を
下位点にセツトする。
下位点にセツトする。
部分層流アイランド方式
第２図に示すように、室内中央部乃至中央部
周辺の給気ユニツト１…を下位点に、その他を
上位点にセツトする。また、下位点にセツトし
た給気ユニツトの外縁部からアイリツド３…を
垂下させる。
周辺の給気ユニツト１…を下位点に、その他を
上位点にセツトする。また、下位点にセツトし
た給気ユニツトの外縁部からアイリツド３…を
垂下させる。
クリーントンネル方式
第３図に示すように、側壁に沿つた一例の給
気ユニツト１…を下位点に、その他を上位点に
セツトし、下位点にセツトした給気ユニツトの
外縁部からアイリツド３…を垂下させる。
気ユニツト１…を下位点に、その他を上位点に
セツトし、下位点にセツトした給気ユニツトの
外縁部からアイリツド３…を垂下させる。
クリーンチユーブ方式
第４図に示すように、室内中間部の一列の給
気ユニツト１…を下位点に、その他を上位点に
セツトする。また、下位点にセツトした給気ユ
ニツトの外縁部からアイリツド３…を垂下さ
せ、該アイリツドでできる限り生産ラインを包
覆する（生産ラインの完全自動化に適する）。
気ユニツト１…を下位点に、その他を上位点に
セツトする。また、下位点にセツトした給気ユ
ニツトの外縁部からアイリツド３…を垂下さ
せ、該アイリツドでできる限り生産ラインを包
覆する（生産ラインの完全自動化に適する）。
乱流方式
第５図に示すように、全給気ユニツト１…を
上位点におき、これらの下面に、処々で送風口
４１を開口したマスク４を当て、且つ、通風床
Ｄの床面にも、通風口５１のあるマスク５を敷
設する。
上位点におき、これらの下面に、処々で送風口
４１を開口したマスク４を当て、且つ、通風床
Ｄの床面にも、通風口５１のあるマスク５を敷
設する。
本発明によれば、フイルタ天井を構成する複数
の給気ユニツトを、適宜に上げ下げすることによ
り、全面垂直層流方式、部分層流アイランド方
式、クリーントンネル方式、クリーンチユーブ方
式、乱流方式等の各種の方式に任意に適合させる
ことができ、従つて、生産ラインのライン構成の
大幅な変更にもフレキシブルに対応でき、頗る経
済的である。
の給気ユニツトを、適宜に上げ下げすることによ
り、全面垂直層流方式、部分層流アイランド方
式、クリーントンネル方式、クリーンチユーブ方
式、乱流方式等の各種の方式に任意に適合させる
ことができ、従つて、生産ラインのライン構成の
大幅な変更にもフレキシブルに対応でき、頗る経
済的である。
また、給気ユニツト相互間及び給気ユニツトと
周壁との間の隙間に、隙間封じ用の部材を介入さ
せることで、極めて簡単に気密性を維持でき、特
に、各給気ユニツトに送風機を装備させた場合に
は、その隙間封じは、天井チヤンバ側が負圧化す
るのでさほど厳密でなくともよく、好都合であ
る。
周壁との間の隙間に、隙間封じ用の部材を介入さ
せることで、極めて簡単に気密性を維持でき、特
に、各給気ユニツトに送風機を装備させた場合に
は、その隙間封じは、天井チヤンバ側が負圧化す
るのでさほど厳密でなくともよく、好都合であ
る。
更に、給気ユニツト相互間及び給気ユニツトと
周壁との間の隙間による遊びによつて、耐震性が
向上する。
周壁との間の隙間による遊びによつて、耐震性が
向上する。
図面は、本発明に係る実施例で、第１図乃至第
５図は、各使用態様における構成要領断面図であ
る。 １……超高性能フイルタ給気ユニツト、２……
昇降装置、１１……筒体、１２……超高性能フイ
ルタ、１３……送風機、Ａ……クリーンルーム、
Ｂ……フイルタ天井、Ｃ……天井チヤンバ、Ｄ…
…通風床、Ｅ……床チヤンバ、Ｆ，Ｇ……スラ
ブ。
５図は、各使用態様における構成要領断面図であ
る。 １……超高性能フイルタ給気ユニツト、２……
昇降装置、１１……筒体、１２……超高性能フイ
ルタ、１３……送風機、Ａ……クリーンルーム、
Ｂ……フイルタ天井、Ｃ……天井チヤンバ、Ｄ…
…通風床、Ｅ……床チヤンバ、Ｆ，Ｇ……スラ
ブ。
Claims (1)
- １ クリーンルームのフイルタ天井をフイルタの
割付けに従がい小分割してそれぞれをユニツト化
すると共に、各個に適宜昇降手段を講じたことを
特徴とする天井可変式クリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59239002A JPS61116233A (ja) | 1984-11-12 | 1984-11-12 | 天井可変式クリ−ンル−ム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59239002A JPS61116233A (ja) | 1984-11-12 | 1984-11-12 | 天井可変式クリ−ンル−ム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61116233A JPS61116233A (ja) | 1986-06-03 |
| JPH042856B2 true JPH042856B2 (ja) | 1992-01-21 |
Family
ID=17038432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59239002A Granted JPS61116233A (ja) | 1984-11-12 | 1984-11-12 | 天井可変式クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61116233A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06347070A (ja) * | 1993-06-03 | 1994-12-20 | Shinryo Corp | 空調ユニット吊下式クリーンルーム |
| JP2006186193A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Nec Electronics Corp | 搬送室ユニット |
| KR101214736B1 (ko) * | 2007-10-26 | 2012-12-21 | 파나소닉 주식회사 | 클린 룸 |
-
1984
- 1984-11-12 JP JP59239002A patent/JPS61116233A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61116233A (ja) | 1986-06-03 |
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