JPH04287338A - 半導体ウェーハプロービング装置 - Google Patents
半導体ウェーハプロービング装置Info
- Publication number
- JPH04287338A JPH04287338A JP7587591A JP7587591A JPH04287338A JP H04287338 A JPH04287338 A JP H04287338A JP 7587591 A JP7587591 A JP 7587591A JP 7587591 A JP7587591 A JP 7587591A JP H04287338 A JPH04287338 A JP H04287338A
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- JP
- Japan
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- pellet
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- Granted
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 8
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims abstract description 40
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 13
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 20
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造工程のウェ
ーハ段階でペレットの良否を判断する半導体測定装置に
関し、特に測定装置にウェーハを供給し、ウェーハ内の
各ペレットと測定装置を接続させるウェーハプロービン
グ装置に関する。
ーハ段階でペレットの良否を判断する半導体測定装置に
関し、特に測定装置にウェーハを供給し、ウェーハ内の
各ペレットと測定装置を接続させるウェーハプロービン
グ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のプロービング装置は、任
意の形状，大きさのマーキング跡にするために、径の異
なるマーカーの中からペレットサイズに応じて適当なも
のを選び、そのマーカーを手動で位置調整を行なってい
た。また、マーキングは不良ペレット１個に対して１回
の打点で行なわれていた。
意の形状，大きさのマーキング跡にするために、径の異
なるマーカーの中からペレットサイズに応じて適当なも
のを選び、そのマーカーを手動で位置調整を行なってい
た。また、マーキングは不良ペレット１個に対して１回
の打点で行なわれていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のプロー
ビング装置では、ペレットサイズに応じてマーキング跡
の大きさを変えるために、径の異なるマーカーを用意し
、ペレットサイズとマーカー径の対応を管理しなければ
ならなかった。従って、同一のプロービング装置でペレ
ットサイズが大きく異なるウェーハをプロービングする
場合、その都度マーカーを交換，調整しなければならず
、作業性を低減させるという問題を有していた。
ビング装置では、ペレットサイズに応じてマーキング跡
の大きさを変えるために、径の異なるマーカーを用意し
、ペレットサイズとマーカー径の対応を管理しなければ
ならなかった。従って、同一のプロービング装置でペレ
ットサイズが大きく異なるウェーハをプロービングする
場合、その都度マーカーを交換，調整しなければならず
、作業性を低減させるという問題を有していた。
【０００４】また、マーキング跡は円形または楕円形で
あり、細長い形状のペレットの場合、ペレットの短辺か
らマーキング跡がはみ出さないように調整するため、ペ
レット面積に対するマーキング跡の面積比を大きくする
ことに限界があり、ペレット形状によっては後工程で良
品，不良品の自動認識ができなくなるという問題を有し
ていた。
あり、細長い形状のペレットの場合、ペレットの短辺か
らマーキング跡がはみ出さないように調整するため、ペ
レット面積に対するマーキング跡の面積比を大きくする
ことに限界があり、ペレット形状によっては後工程で良
品，不良品の自動認識ができなくなるという問題を有し
ていた。
【０００５】本発明の目的は、ペレット形状に応じた形
状，大きさの不良マーキングを施こすようにした半導体
ウェーハプロービング装置を提供することにある。
状，大きさの不良マーキングを施こすようにした半導体
ウェーハプロービング装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
、本発明に係る半導体ウェーハプロービング装置におい
ては、入力機構と、算出機構と、マーキング機構とを有
する半導体ウェーハプロービング装置であって、入力機
構は、マーキング跡の形状，大きさを入力する機構であ
り、算出機構は、前記入力内容を満たすために、１不良
ペレット内におけるウェーハステージの移動方向及び移
動量を算出する機構であり、マーキング機構は、算出機
構からの出力に基づき、１不良ペレット内において、実
際にウェーハステージを移動させマーキングの位置を変
えながら複数回マーキングを行なう機構であり、単一の
マーキング装置で任意の形状，大きさの不良マーキング
を行なうものである。
、本発明に係る半導体ウェーハプロービング装置におい
ては、入力機構と、算出機構と、マーキング機構とを有
する半導体ウェーハプロービング装置であって、入力機
構は、マーキング跡の形状，大きさを入力する機構であ
り、算出機構は、前記入力内容を満たすために、１不良
ペレット内におけるウェーハステージの移動方向及び移
動量を算出する機構であり、マーキング機構は、算出機
構からの出力に基づき、１不良ペレット内において、実
際にウェーハステージを移動させマーキングの位置を変
えながら複数回マーキングを行なう機構であり、単一の
マーキング装置で任意の形状，大きさの不良マーキング
を行なうものである。
【０００７】
【作用】本発明の半導体ウェーハプロービング装置は、
マーキング跡の形状，大きさを入力し、前記入力内容を
満たすための１不良ペレット内におけるウェーハステー
ジの移動方向及び移動量を算出し、そのデータに基づき
１不良ペレット内において、実際にウェーハステージを
移動させてマーキング位置を変えながら複数回マーキン
グを行なうようにしたものである。
マーキング跡の形状，大きさを入力し、前記入力内容を
満たすための１不良ペレット内におけるウェーハステー
ジの移動方向及び移動量を算出し、そのデータに基づき
１不良ペレット内において、実際にウェーハステージを
移動させてマーキング位置を変えながら複数回マーキン
グを行なうようにしたものである。
【０００８】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する
。図１は、本発明の一実施例を示すブロック図である。 図２は、マーキングを行なったペレットの外観を示す概
略図である。
。図１は、本発明の一実施例を示すブロック図である。 図２は、マーキングを行なったペレットの外観を示す概
略図である。
【０００９】図において、テスター１より、テスト開始
信号がテスターインターフェイス２を介してプロービン
グ制御装置３へ送られる。この信号により、Ｘ−Ｙ方向
の移動量がプロービング制御装置３からステージ制御装
置４へ送られ、ウェーハステージ５が移動して被測定ペ
レットの測定を開始する。また、あらかじめマーキング
情報入力装置６に入力された情報をもとに、ステージ移
動量演算装置７によって不良ペレット１個に対するマー
キング回数及び１回ごとのマーキングに対応したウェー
ハステージ５の移動量が算出されている。
信号がテスターインターフェイス２を介してプロービン
グ制御装置３へ送られる。この信号により、Ｘ−Ｙ方向
の移動量がプロービング制御装置３からステージ制御装
置４へ送られ、ウェーハステージ５が移動して被測定ペ
レットの測定を開始する。また、あらかじめマーキング
情報入力装置６に入力された情報をもとに、ステージ移
動量演算装置７によって不良ペレット１個に対するマー
キング回数及び１回ごとのマーキングに対応したウェー
ハステージ５の移動量が算出されている。
【００１０】被測定ペレットが不良品の場合、ステージ
移動量演算装置７で算出されたデータがプロービング制
御装置３へ送られる。このデータをもとにプロービング
制御装置３がステージ制御装置４とマーキング制御装置
８に交互に信号を送り、マーキング跡が所望の形状，大
きさになるまでウェーハステージ５の移動とマーキング
装置９によるマーキングを繰り返し図２に示すように、
ペレット１０上でのマーキング跡１１がペレット形状に
応じた形状，大きさになるようにする。不良ペレット１
個のマーキングが完了したら、次のペレットへウェーハ
ステージ５が移動して測定を開始する。
移動量演算装置７で算出されたデータがプロービング制
御装置３へ送られる。このデータをもとにプロービング
制御装置３がステージ制御装置４とマーキング制御装置
８に交互に信号を送り、マーキング跡が所望の形状，大
きさになるまでウェーハステージ５の移動とマーキング
装置９によるマーキングを繰り返し図２に示すように、
ペレット１０上でのマーキング跡１１がペレット形状に
応じた形状，大きさになるようにする。不良ペレット１
個のマーキングが完了したら、次のペレットへウェーハ
ステージ５が移動して測定を開始する。
【００１１】一方、被測定ペレットが良品の場合、マー
キングを行なわず、次のペレットへウェーハステージ５
が移動して測定を開始する。
キングを行なわず、次のペレットへウェーハステージ５
が移動して測定を開始する。
【００１２】以後、設定したウェーハの全ペレットにつ
いて上述したような動作を繰り返す。
いて上述したような動作を繰り返す。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、不良ペレ
ットに対してウェーハステージを移動させてマーキング
位置を変えながら複数回マーキングを行なうことにより
、ペレットサイズにかかわらず、単一のマーカーでマー
キングを行なうことができる。従って、マーカー径を換
える作業が不要となり、作業性を向上させる効果を有す
る。また、ペレット形状に応じた形状，大きさのマーキ
ング跡が得られるため、後工程での良品，不良品の自動
認識装置における誤動作を低減できる効果を有する。
ットに対してウェーハステージを移動させてマーキング
位置を変えながら複数回マーキングを行なうことにより
、ペレットサイズにかかわらず、単一のマーカーでマー
キングを行なうことができる。従って、マーカー径を換
える作業が不要となり、作業性を向上させる効果を有す
る。また、ペレット形状に応じた形状，大きさのマーキ
ング跡が得られるため、後工程での良品，不良品の自動
認識装置における誤動作を低減できる効果を有する。
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図２】本発明においてマーキングを行なったペレット
の外観の概略図である。
の外観の概略図である。
１ テスター
２ テスターインターフェイス
３ プロービング制御装置
４ ステージ制御装置
５ ウェーハステージ
６ マーキング情報入力装置
７ ステージ移動量演算装置
８ マーキング制御装置
９ マーキング装置
１０ ペレット
１１ マーキング跡
Claims (1)
- 【請求項１】 入力機構と、算出機構と、マーキング
機構とを有する半導体ウェーハプロービング装置であっ
て、入力機構は、マーキング跡の形状，大きさを入力す
る機構であり、算出機構は、前記入力内容を満たすため
に、１不良ペレット内におけるウェーハステージの移動
方向及び移動量を算出する機構であり、マーキング機構
は、算出機構からの出力に基づき、１不良ペレット内に
おいて、実際にウェーハステージを移動させマーキング
の位置を変えながら複数回マーキングを行なう機構であ
り、単一のマーキング装置で任意の形状，大きさの不良
マーキングを行なうようにしたことを特徴とする半導体
ウェーハプロービング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3075875A JP2858983B2 (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 半導体ウェーハプロービング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3075875A JP2858983B2 (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 半導体ウェーハプロービング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04287338A true JPH04287338A (ja) | 1992-10-12 |
| JP2858983B2 JP2858983B2 (ja) | 1999-02-17 |
Family
ID=13588889
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3075875A Expired - Lifetime JP2858983B2 (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 半導体ウェーハプロービング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2858983B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08330367A (ja) * | 1995-05-31 | 1996-12-13 | Nec Yamagata Ltd | 半導体ウェハのマーキング装置及びそのマーキング方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5735333A (en) * | 1980-08-12 | 1982-02-25 | Nec Corp | Inspection equipment of semiconductor wafer |
| JPS62136041A (ja) * | 1985-12-10 | 1987-06-19 | Canon Inc | ウエハプロ−バ |
| JPS62118691U (ja) * | 1986-01-20 | 1987-07-28 |
-
1991
- 1991-03-15 JP JP3075875A patent/JP2858983B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5735333A (en) * | 1980-08-12 | 1982-02-25 | Nec Corp | Inspection equipment of semiconductor wafer |
| JPS62136041A (ja) * | 1985-12-10 | 1987-06-19 | Canon Inc | ウエハプロ−バ |
| JPS62118691U (ja) * | 1986-01-20 | 1987-07-28 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08330367A (ja) * | 1995-05-31 | 1996-12-13 | Nec Yamagata Ltd | 半導体ウェハのマーキング装置及びそのマーキング方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2858983B2 (ja) | 1999-02-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980623 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19981110 |