JPH04336480A - ガスレーザ装置 - Google Patents
ガスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH04336480A JPH04336480A JP10787991A JP10787991A JPH04336480A JP H04336480 A JPH04336480 A JP H04336480A JP 10787991 A JP10787991 A JP 10787991A JP 10787991 A JP10787991 A JP 10787991A JP H04336480 A JPH04336480 A JP H04336480A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- dielectrics
- laser device
- gas
- gas laser
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
［発明の目的］
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高周波電圧を放電電極
間に印加してレーザ光を発振するガスレーザ装置に関す
る。
間に印加してレーザ光を発振するガスレーザ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】高周波電源を用いた従来のガスレーザ装
置の一例を説明する。
置の一例を説明する。
【０００３】図５において、風洞１内の上部中央は、セ
ラミックなどの内部が外気に通じた筒上の誘電体２Ａを
絶縁体３Ａが、上部から捕まえるような形で気密に取り
付けられ、内部が外気に通じた筒上の誘電体２Ｂを両端
から押さえるように絶縁体３Ｂが気密に取り付けられ、
これを支えるようにステンレス製又は、アルミニウム製
の内部構造物４が設けられている。そして筒状の誘電体
２Ａには、放電電極５Ａが誘電体内部６Ａの下部中央に
取り付けられ、筒状の誘電体２Ｂには、放電電極５Ｂが
誘電体内部６Ｂの上部中央部に取り付けられている。放
電電極５Ａは高周波電源７の片側に、放電電極５Ｂは接
地された高周波電源７の他側に接続されて、誘電体２Ａ
，２Ｂの内周面間で放電８させて紙面直交方向にレーザ
光９を発生させている。
ラミックなどの内部が外気に通じた筒上の誘電体２Ａを
絶縁体３Ａが、上部から捕まえるような形で気密に取り
付けられ、内部が外気に通じた筒上の誘電体２Ｂを両端
から押さえるように絶縁体３Ｂが気密に取り付けられ、
これを支えるようにステンレス製又は、アルミニウム製
の内部構造物４が設けられている。そして筒状の誘電体
２Ａには、放電電極５Ａが誘電体内部６Ａの下部中央に
取り付けられ、筒状の誘電体２Ｂには、放電電極５Ｂが
誘電体内部６Ｂの上部中央部に取り付けられている。放
電電極５Ａは高周波電源７の片側に、放電電極５Ｂは接
地された高周波電源７の他側に接続されて、誘電体２Ａ
，２Ｂの内周面間で放電８させて紙面直交方向にレーザ
光９を発生させている。
【０００４】風洞１中には約６０ｔｏｒｒの圧力で封入
されたレーザガスが下部左側の送風機１０で矢印１１Ａ
，１１Ｂのように時計方向に循環され下部右側の冷却器
１２で冷やされている。
されたレーザガスが下部左側の送風機１０で矢印１１Ａ
，１１Ｂのように時計方向に循環され下部右側の冷却器
１２で冷やされている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このように構成された
ガスレーザ装置では、図６に示すように、誘電体２Ａ，
２Ｂや放電部領域の近傍に誘電率の異なる部位が接触し
ていると、電界集中を生じてしまうため、その部位に放
電集中を生じやすくなってしまい、本来放電してはなら
ない放電８のような部分に生じてしまう。高周波電源か
ら放電部に電圧をかけた場合放電部に電気力線１３が発
生する。場所によって矢印の長さが異なっているが、こ
の長さは電気力線の強さを示している。
ガスレーザ装置では、図６に示すように、誘電体２Ａ，
２Ｂや放電部領域の近傍に誘電率の異なる部位が接触し
ていると、電界集中を生じてしまうため、その部位に放
電集中を生じやすくなってしまい、本来放電してはなら
ない放電８のような部分に生じてしまう。高周波電源か
ら放電部に電圧をかけた場合放電部に電気力線１３が発
生する。場所によって矢印の長さが異なっているが、こ
の長さは電気力線の強さを示している。
【０００６】この電気力線の強さは、誘電体２Ａ，２Ｂ
と絶縁体３Ａ，３Ｂとの境界部分が最も強い。その理由
としては、誘電体２Ａ，２Ｂと絶縁体３Ａ，３Ｂの誘電
率が大きく異なることが考えられる。
と絶縁体３Ａ，３Ｂとの境界部分が最も強い。その理由
としては、誘電体２Ａ，２Ｂと絶縁体３Ａ，３Ｂの誘電
率が大きく異なることが考えられる。
【０００７】そこで、本発明の目的は、放電集中を生じ
にくい均一な放電を発生でき、しかも、寿命の長い放電
部構造により安定で効率が良く長寿命のガスレーザ装置
を提供することである。 ［発明の構成］
にくい均一な放電を発生でき、しかも、寿命の長い放電
部構造により安定で効率が良く長寿命のガスレーザ装置
を提供することである。 ［発明の構成］
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のガスレーザ装置は、少なくとも一対の放電
電極と、レーザガスを閉じ込め循環する筐体と、前記放
電電極間に高周波電圧を印加する電源と、前記放電電極
の少なくとも一部分を覆うゲル状絶縁材と、前記放電電
極及びゲル状絶縁材を覆う誘電体を有することを特徴と
する。
に、本発明のガスレーザ装置は、少なくとも一対の放電
電極と、レーザガスを閉じ込め循環する筐体と、前記放
電電極間に高周波電圧を印加する電源と、前記放電電極
の少なくとも一部分を覆うゲル状絶縁材と、前記放電電
極及びゲル状絶縁材を覆う誘電体を有することを特徴と
する。
【０００９】
【作用】上記のように構成された本発明のガスレーザ装
置によれば、放電電極の少なくとも一部分を覆うゲル状
絶縁材及び方放電電極及びゲル状絶縁材を覆う誘電体を
有し、筐体内に設けた放電部に用いる誘電体の誘電率が
等しくしたので、放電集中がなくなり、放電部の長寿命
化が図れ、安定した効率の良いレーザ装置を得ることが
できる。
置によれば、放電電極の少なくとも一部分を覆うゲル状
絶縁材及び方放電電極及びゲル状絶縁材を覆う誘電体を
有し、筐体内に設けた放電部に用いる誘電体の誘電率が
等しくしたので、放電集中がなくなり、放電部の長寿命
化が図れ、安定した効率の良いレーザ装置を得ることが
できる。
【００１０】
【実施例】本発明の一実施例である高周波放電のガスレ
ーザ装置を図面を参照して説明する。
ーザ装置を図面を参照して説明する。
【００１１】図１において、断面長方形の風洞１９内に
は気密に取り付けられた内部を真空含浸にした浦鉢形の
誘電体２０Ａ，２０Ｂが風洞内に設けられ、これらを支
えるために、絶縁体２１Ａ，２１Ｂが、取り付けられて
いる。誘電体２０Ａ，２０Ｂの内部にゲル状の絶縁材２
２Ａ，２２Ｂを流し込み、中央に金属電極２３Ａ，２３
Ｂを配置した。風洞１９には約６０ｔｏｒｒの圧力が封
入されたレーザガスが下部左側の送風機２４で矢印２５
Ａ，２５Ｂのように時計方向に循環され、下部右側の冷
却器２６で冷やされている。
は気密に取り付けられた内部を真空含浸にした浦鉢形の
誘電体２０Ａ，２０Ｂが風洞内に設けられ、これらを支
えるために、絶縁体２１Ａ，２１Ｂが、取り付けられて
いる。誘電体２０Ａ，２０Ｂの内部にゲル状の絶縁材２
２Ａ，２２Ｂを流し込み、中央に金属電極２３Ａ，２３
Ｂを配置した。風洞１９には約６０ｔｏｒｒの圧力が封
入されたレーザガスが下部左側の送風機２４で矢印２５
Ａ，２５Ｂのように時計方向に循環され、下部右側の冷
却器２６で冷やされている。
【００１２】誘電体２０Ａ，２０Ｂの中央上面には放電
電極２３Ａ，２３Ｂが取り付けられ、放電電極２３Ａは
高周波電源２７の片側に、放電電極２３Ｂは接地された
高周波電源２７の他側に接続されて誘電体２０Ａ，２０
Ｂのレーザガス側間で放電２８させて紙面直交方向にレ
ーザ光２９を発生させている。この様な構成のガスレー
ザ発振器では、蒲鉢形の誘電体２０Ａ，２０Ｂの内部に
ゲル状の絶縁材を流し込むことにより絶縁性を保ってい
る。
電極２３Ａ，２３Ｂが取り付けられ、放電電極２３Ａは
高周波電源２７の片側に、放電電極２３Ｂは接地された
高周波電源２７の他側に接続されて誘電体２０Ａ，２０
Ｂのレーザガス側間で放電２８させて紙面直交方向にレ
ーザ光２９を発生させている。この様な構成のガスレー
ザ発振器では、蒲鉢形の誘電体２０Ａ，２０Ｂの内部に
ゲル状の絶縁材を流し込むことにより絶縁性を保ってい
る。
【００１３】そして、誘電体２０Ａ，２０Ｂを支えるよ
うに、絶縁体２１Ａ，２１Ｂが取り付けてある。誘電体
は２０Ａ，２０Ｂ及び絶縁体２１Ａ，２１Ｂの誘電率も
すべて同じである。この例では、一対の放電電極の場合
を示したが複数対あっても同様である。
うに、絶縁体２１Ａ，２１Ｂが取り付けてある。誘電体
は２０Ａ，２０Ｂ及び絶縁体２１Ａ，２１Ｂの誘電率も
すべて同じである。この例では、一対の放電電極の場合
を示したが複数対あっても同様である。
【００１４】図２は、図１の外形図を示したもので、蒲
鉢形の誘電体２０Ａ，２０Ｂの内部に納めた放電電極２
３Ａ，２３Ｂとがガスレーザ発振器において、どのよう
に構成されているかをわかりやすく表したものである。
鉢形の誘電体２０Ａ，２０Ｂの内部に納めた放電電極２
３Ａ，２３Ｂとがガスレーザ発振器において、どのよう
に構成されているかをわかりやすく表したものである。
【００１５】図３は、図２における放電部を電気力線を
用いて示したものである。図３に示すように、本実施例
における電気力線３０の大きさは、従来のものに比べ小
さい。すなわち、放電部近傍に用いた誘電体が単一のも
ので、誘電率も同等のものであるためである。図４にお
いては、下部電極のみ真空含有の蒲鉢形の放電部として
表わしたものである。
用いて示したものである。図３に示すように、本実施例
における電気力線３０の大きさは、従来のものに比べ小
さい。すなわち、放電部近傍に用いた誘電体が単一のも
ので、誘電率も同等のものであるためである。図４にお
いては、下部電極のみ真空含有の蒲鉢形の放電部として
表わしたものである。
【００１６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、筐
体内の高電圧部を全て等しい誘電率の部材で覆ったこと
により、電界の集中による放電の集中がなくなり、放電
部の長寿命化が図れ、小形で安定した効率の良い高周波
放電のガスレーザ装置を得ることができる。
体内の高電圧部を全て等しい誘電率の部材で覆ったこと
により、電界の集中による放電の集中がなくなり、放電
部の長寿命化が図れ、小形で安定した効率の良い高周波
放電のガスレーザ装置を得ることができる。
【図１】本発明の一実施例を示す概要構成図。
【図２】図１に示した本発明の一実施例の送風機と冷却
機を省いた斜視図。
機を省いた斜視図。
【図３】図１に示した本発明の一実施例の放電部の電気
部電気力線を示す図。
部電気力線を示す図。
【図４】本発明の他の実施例を示す概要構成図。
【図５】従来のガスレーザ装置を示す断面図。
【図６】図５に示した従来のガスレーザ装置の放電部の
電気力線を示した図。
電気力線を示した図。
１９…風洞，２０Ａ，２０Ｂ…誘電体，２１Ａ，２１Ｂ
…絶縁体，２２Ａ，２２Ｂ…ゲル状絶縁材，２３Ａ，２
３Ｂ…金属電極，２４…送風機，２７…高周波電源。
…絶縁体，２２Ａ，２２Ｂ…ゲル状絶縁材，２３Ａ，２
３Ｂ…金属電極，２４…送風機，２７…高周波電源。
Claims (1)
- 【請求項１】 少なくとも一対の放電電極と、レーザ
ガスを閉じ込め循環する筐体と、前記放電電極間に高周
波電圧を印加する電源と、前記放電電極の少なくとも一
部を覆うゲル状絶縁材と、前記放電電極及びゲル状絶縁
材を覆う誘電体とを具備したことを特徴とするガスレー
ザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10787991A JPH04336480A (ja) | 1991-05-14 | 1991-05-14 | ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10787991A JPH04336480A (ja) | 1991-05-14 | 1991-05-14 | ガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04336480A true JPH04336480A (ja) | 1992-11-24 |
Family
ID=14470405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10787991A Pending JPH04336480A (ja) | 1991-05-14 | 1991-05-14 | ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04336480A (ja) |
-
1991
- 1991-05-14 JP JP10787991A patent/JPH04336480A/ja active Pending
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