JPH0330815B2 - - Google Patents
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- JPH0330815B2 JPH0330815B2 JP58225597A JP22559783A JPH0330815B2 JP H0330815 B2 JPH0330815 B2 JP H0330815B2 JP 58225597 A JP58225597 A JP 58225597A JP 22559783 A JP22559783 A JP 22559783A JP H0330815 B2 JPH0330815 B2 JP H0330815B2
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- Japan
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- green sheet
- heater
- electrode
- gas sensor
- opening
- Prior art date
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
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- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は発熱部とガス感応部との間の絶縁性に
優れた厚膜型ヒータ付ガスセンサとその製造法に
関するものである。
優れた厚膜型ヒータ付ガスセンサとその製造法に
関するものである。
「従来の技術」
遷移金属酸化物からなるガス検出素子は家庭用
プロパンガス検出器、湿度検出器、自動車用排ガ
スセンサ等多方面において実用されている。通
常、ガス検出素子にはその表面に附着した汚染物
質の除去、低温におけるガス感応性の向上又はこ
れらの両方を目的とするヒータが併設される。従
来の検出素子は上記金属酸化物粉末を加圧成形、
シート成形等公知の成形手段によつて成形後焼成
して得られるペレツト状又は薄片状のものであつ
たために、併設されるヒータとしては素子の近傍
を巻回するコイルヒータや素子を固定する絶縁碍
管に発熱抵抗体を埋設してなるセラミツクヒータ
が使用されている。一方、近年の半導体集積回路
技術を応用し、耐熱絶縁基板上に検出素子とヒー
タとが厚膜印刷によつて形成されている厚膜型セ
ンサの開発研究もなされている。厚膜型センサは
検出素子とヒータとを同一基板上に設けること及
び従来よりも検出素子の厚さを薄くすることが可
能であるので構造が簡単であること、生産性が良
いこと、応答性が良いこと等多くの利点を有して
いる。
プロパンガス検出器、湿度検出器、自動車用排ガ
スセンサ等多方面において実用されている。通
常、ガス検出素子にはその表面に附着した汚染物
質の除去、低温におけるガス感応性の向上又はこ
れらの両方を目的とするヒータが併設される。従
来の検出素子は上記金属酸化物粉末を加圧成形、
シート成形等公知の成形手段によつて成形後焼成
して得られるペレツト状又は薄片状のものであつ
たために、併設されるヒータとしては素子の近傍
を巻回するコイルヒータや素子を固定する絶縁碍
管に発熱抵抗体を埋設してなるセラミツクヒータ
が使用されている。一方、近年の半導体集積回路
技術を応用し、耐熱絶縁基板上に検出素子とヒー
タとが厚膜印刷によつて形成されている厚膜型セ
ンサの開発研究もなされている。厚膜型センサは
検出素子とヒータとを同一基板上に設けること及
び従来よりも検出素子の厚さを薄くすることが可
能であるので構造が簡単であること、生産性が良
いこと、応答性が良いこと等多くの利点を有して
いる。
「発明が解決しようとする課題」
ところが、その難点はヒータと検出素子とが近
傍していることから、高温状態では基板中又は検
出素子中のアルカリ金属イオン、アルカリ土類金
属イオン等易動成分が移動したり、不完全燃焼ガ
ス中の炭素微粒子が付着することによつてヒータ
と検出素子との間の絶縁性が劣化し誤動作を生じ
るおそれがある処にある。
傍していることから、高温状態では基板中又は検
出素子中のアルカリ金属イオン、アルカリ土類金
属イオン等易動成分が移動したり、不完全燃焼ガ
ス中の炭素微粒子が付着することによつてヒータ
と検出素子との間の絶縁性が劣化し誤動作を生じ
るおそれがある処にある。
「課題を解決するための手段」
本発明は叙上の難点を克服するためになされた
もので、その要旨は絶縁セラミツクスからなり表
面に発熱抵抗体と電極とが形成されている支持基
板、この支持基板と同種の絶縁セラミツクスから
なり上記支持基板上に積層されて発熱抵抗体を保
護している保護基板及びガス感応性金属酸化物よ
りなる厚膜型検出素子を備えているヒータ付ガス
センサにおいて、保護基板が上記電極の先端上に
開口を有しており、この開口を厚膜型検出素子が
充塞して上記電極と接続していることを特徴とす
るガスセンサに存する。
もので、その要旨は絶縁セラミツクスからなり表
面に発熱抵抗体と電極とが形成されている支持基
板、この支持基板と同種の絶縁セラミツクスから
なり上記支持基板上に積層されて発熱抵抗体を保
護している保護基板及びガス感応性金属酸化物よ
りなる厚膜型検出素子を備えているヒータ付ガス
センサにおいて、保護基板が上記電極の先端上に
開口を有しており、この開口を厚膜型検出素子が
充塞して上記電極と接続していることを特徴とす
るガスセンサに存する。
また上記特定発明と関連する同様に本発明の要
旨は絶縁セラミツク粉末と有機質結合剤からなる
第１のグリーンシートと第２のグリーンシートを
作り、第１のグリーンシート表面に貴金属ペース
トを用いて発熱抵抗体パターンと一対の電極パタ
ーンを厚膜印刷によつて形成し、第２のグリーン
シートに打ち抜きによつて所定位置に開口を設
け、この開口から上記電極パターンの先端が露出
するように第１のグリーンシート上に第２のグリ
ーンシートを積層配置した後、熱圧着し焼成し、
次いで主としてガス感応性金属酸化物からなるペ
ーストを上記開口を充塞しかつ上記電極パターン
の先端に被着するように厚膜印刷した後焼き付け
ることを特徴とするヒータ付ガスセンサの製造法
に存する。
旨は絶縁セラミツク粉末と有機質結合剤からなる
第１のグリーンシートと第２のグリーンシートを
作り、第１のグリーンシート表面に貴金属ペース
トを用いて発熱抵抗体パターンと一対の電極パタ
ーンを厚膜印刷によつて形成し、第２のグリーン
シートに打ち抜きによつて所定位置に開口を設
け、この開口から上記電極パターンの先端が露出
するように第１のグリーンシート上に第２のグリ
ーンシートを積層配置した後、熱圧着し焼成し、
次いで主としてガス感応性金属酸化物からなるペ
ーストを上記開口を充塞しかつ上記電極パターン
の先端に被着するように厚膜印刷した後焼き付け
ることを特徴とするヒータ付ガスセンサの製造法
に存する。
以下図面を参照して本発明の手段を説明する。
第１図Ａ及び第１図Ｂはそれぞれ本発明ヒータ
付ガスセンサの製造工程の初期段階を示す平面図
及び第１図Ａ−′線断面図である。アルミナ、
窒化珪素等耐熱絶縁性セラミツクスを主成分とす
る混合粉末と有機質結合剤からなる第１のグリー
ンシートの表面に白金、パラジウム等貴金属を含
有するペーストを用いて発熱抵抗体パターン２と
一対の電極パターン３，４を厚膜印刷によつて形
成し、発熱抵抗体用端子部５ａ、電極用端子部５
ｂ及び共通端子部５ｃ上にそれぞれリード線６
ａ，６ｂ及び６ｃを配置する。次に本発明ヒータ
付ガスセンサの製造工程の中期段階を第２図Ａ及
び第２図Ｂにおいて平面図及び第２図Ａ−′
線断面図として示す。上記第１のグリーンシート
と同一の材質からなり打ち抜きによつて開口７が
設けられた第２のグリーンシート８を第１のグリ
ーンシート１の上に積層した後、焼成する。但
し、開口７は上記２枚のシートを積層した際にそ
の部分から上記電極パターン３，４の先端３ａ，
４ａが露出し得る位置に設けるものとする。焼成
後、TiO2、SnO2等のガス感応性金属酸化物を主
成分とするペーストを開口７を充塞しかつ電極パ
ターン３，４の先端３ａ，４ａに被着するように
厚膜印刷し、焼き付けることによつて本発明ヒー
タ付ガスセンサを得る。以上の工程を経て完成さ
れたヒータ付ガスセンサの平面図を第３図Ａに、
同図−′線断面図を第３図Ｂに示す。第１の
グリーンシート１、第２のグリーンシート８、発
熱抵抗体パターン２、電極パターン３，４は上記
焼成段階で有機成分が燃焼除去された結果、支持
基板１１、保護基板１８、発熱体抵抗体１２、電
極１３，１４となり、同時にこれらはリード線６
ａ，６ｂ，６ｃと相互に一体不可分のものとなつ
ている。また厚膜印刷されたガス感応性金属酸化
物を主成分とするペーストは焼き付け後に厚膜型
検出素子１０となつている。厚膜型検出素子１０
は開口７を充塞しかつ電極パターンの先端に被着
するという条件で印刷される限り、必然的に開口
７の側面７ａ及び支持基板１１に密着されたもの
となるが、図示の如く周縁部１０ａが保護基板１
８の平面上に載るように印刷すれば一層強く固着
される。
付ガスセンサの製造工程の初期段階を示す平面図
及び第１図Ａ−′線断面図である。アルミナ、
窒化珪素等耐熱絶縁性セラミツクスを主成分とす
る混合粉末と有機質結合剤からなる第１のグリー
ンシートの表面に白金、パラジウム等貴金属を含
有するペーストを用いて発熱抵抗体パターン２と
一対の電極パターン３，４を厚膜印刷によつて形
成し、発熱抵抗体用端子部５ａ、電極用端子部５
ｂ及び共通端子部５ｃ上にそれぞれリード線６
ａ，６ｂ及び６ｃを配置する。次に本発明ヒータ
付ガスセンサの製造工程の中期段階を第２図Ａ及
び第２図Ｂにおいて平面図及び第２図Ａ−′
線断面図として示す。上記第１のグリーンシート
と同一の材質からなり打ち抜きによつて開口７が
設けられた第２のグリーンシート８を第１のグリ
ーンシート１の上に積層した後、焼成する。但
し、開口７は上記２枚のシートを積層した際にそ
の部分から上記電極パターン３，４の先端３ａ，
４ａが露出し得る位置に設けるものとする。焼成
後、TiO2、SnO2等のガス感応性金属酸化物を主
成分とするペーストを開口７を充塞しかつ電極パ
ターン３，４の先端３ａ，４ａに被着するように
厚膜印刷し、焼き付けることによつて本発明ヒー
タ付ガスセンサを得る。以上の工程を経て完成さ
れたヒータ付ガスセンサの平面図を第３図Ａに、
同図−′線断面図を第３図Ｂに示す。第１の
グリーンシート１、第２のグリーンシート８、発
熱抵抗体パターン２、電極パターン３，４は上記
焼成段階で有機成分が燃焼除去された結果、支持
基板１１、保護基板１８、発熱体抵抗体１２、電
極１３，１４となり、同時にこれらはリード線６
ａ，６ｂ，６ｃと相互に一体不可分のものとなつ
ている。また厚膜印刷されたガス感応性金属酸化
物を主成分とするペーストは焼き付け後に厚膜型
検出素子１０となつている。厚膜型検出素子１０
は開口７を充塞しかつ電極パターンの先端に被着
するという条件で印刷される限り、必然的に開口
７の側面７ａ及び支持基板１１に密着されたもの
となるが、図示の如く周縁部１０ａが保護基板１
８の平面上に載るように印刷すれば一層強く固着
される。
「作用効果」
本発明ヒータ付ガスセンサは以上の構造からな
つているので次の利点を有している。すなわち、
同一表面に発熱抵抗体と電極とが形成されている
支持基板の上に開口を有する保護基板が積層熱圧
着され、その開口内に素子が装着されたものであ
る故に、高温雰囲気に晒されても基板中又は素子
中の易動成分が移動することも不完全燃焼ガス中
の炭素微粒子が発熱抵抗体や電極に付着すること
もなく、発熱抵抗体と検出素子との間の絶縁性が
高く保持されるのである。しかも上記開口７は検
出素子１０を基板に強固に固定させる効果を付加
的に有する。
つているので次の利点を有している。すなわち、
同一表面に発熱抵抗体と電極とが形成されている
支持基板の上に開口を有する保護基板が積層熱圧
着され、その開口内に素子が装着されたものであ
る故に、高温雰囲気に晒されても基板中又は素子
中の易動成分が移動することも不完全燃焼ガス中
の炭素微粒子が発熱抵抗体や電極に付着すること
もなく、発熱抵抗体と検出素子との間の絶縁性が
高く保持されるのである。しかも上記開口７は検
出素子１０を基板に強固に固定させる効果を付加
的に有する。
本発明ヒータ付ガスセンサは以上の利点を有す
るので、特に自動車用排ガスセンサとして好適で
ある。
るので、特に自動車用排ガスセンサとして好適で
ある。
「実施例」
Al2O392重量％、SiO24重量％、CaO2重量％及
びMgO2重量％からなる混合粉末100重量部に対
してブラチール樹脂12重量部及びDBP6重量部を
添加し、有機溶剤中で混合しスラリーとし、ドク
ターブレードにて第１図及び第２図に示す形状で
厚さ１mmの第１のグリーンシート１及び厚さ0.2
mmの第２のグリーンシート８を作つた。第１のグ
リーンシート１上に第１図に示す形状の発熱抵抗
体パターン２及び電極パターン３，４を白金ペー
ストで厚膜印刷し、各パターンの端子部５ａ，５
ｂ，５ｃ上に0.3φの白金リード線６ａ，６ｂ，６
ｃを配置した。他方、第２のグリーンシート８に
これを第１のグリーンシート１上に重ねた場合に
電極パターンの先端３ａ，４ａが露出し得る位置
に打ち抜きによつて開口７を設けた後、これら２
枚のグリーンシートを積層熱圧着し、次いで大気
中温度1500℃、保持時間２時間の条件で焼成一体
化し、センサ用積層基板とした。焼成後の発熱抵
抗体用端子部５ａと共通端子部５ｃの間の電気抵
抗は5Ωであつた。
びMgO2重量％からなる混合粉末100重量部に対
してブラチール樹脂12重量部及びDBP6重量部を
添加し、有機溶剤中で混合しスラリーとし、ドク
ターブレードにて第１図及び第２図に示す形状で
厚さ１mmの第１のグリーンシート１及び厚さ0.2
mmの第２のグリーンシート８を作つた。第１のグ
リーンシート１上に第１図に示す形状の発熱抵抗
体パターン２及び電極パターン３，４を白金ペー
ストで厚膜印刷し、各パターンの端子部５ａ，５
ｂ，５ｃ上に0.3φの白金リード線６ａ，６ｂ，６
ｃを配置した。他方、第２のグリーンシート８に
これを第１のグリーンシート１上に重ねた場合に
電極パターンの先端３ａ，４ａが露出し得る位置
に打ち抜きによつて開口７を設けた後、これら２
枚のグリーンシートを積層熱圧着し、次いで大気
中温度1500℃、保持時間２時間の条件で焼成一体
化し、センサ用積層基板とした。焼成後の発熱抵
抗体用端子部５ａと共通端子部５ｃの間の電気抵
抗は5Ωであつた。
上記センサ用積層基板を大気中温度800℃内に
設置し、発熱抵抗体用端子部５ａと共通端子部５
ｃの間に14Vの電圧を印加した状態で発熱抵抗体
用端子部５ａと電極用端子部５ｂの間のリーク電
流による異常出力の有無を調べたが異常出力は認
められずセンサ用積層基板として好適なものであ
つた。
設置し、発熱抵抗体用端子部５ａと共通端子部５
ｃの間に14Vの電圧を印加した状態で発熱抵抗体
用端子部５ａと電極用端子部５ｂの間のリーク電
流による異常出力の有無を調べたが異常出力は認
められずセンサ用積層基板として好適なものであ
つた。
次に平均粒径1.2μｍのTiO2粉末に対し１モル
部の白金ブラツクを添加し、更に全粉末に対し３
重量部のエチルセルロースを添加しブチルカルビ
トール中で混合し300ポイズに粘度調整し、TiO2
ペーストとし、これを上記センサ用積層基板の開
口７に厚膜印刷し、大気中温度1200℃、保持時間
１時間の条件で焼き付けることによつて第３図に
示す本発明ヒータ付ガスセンサを製造した。
部の白金ブラツクを添加し、更に全粉末に対し３
重量部のエチルセルロースを添加しブチルカルビ
トール中で混合し300ポイズに粘度調整し、TiO2
ペーストとし、これを上記センサ用積層基板の開
口７に厚膜印刷し、大気中温度1200℃、保持時間
１時間の条件で焼き付けることによつて第３図に
示す本発明ヒータ付ガスセンサを製造した。
このヒータ付ガスセンサを用いた検出回路を第
４図に示す。第４図中、１０は厚膜型検出素子、
１２は発熱抵抗体、１９は電源、２０は電圧計、
２１は第１図において共通端子部５ｃから発熱抵
抗体パターン２と電極パターン４とに分岐する点
までの抵抗で全印加電圧のうち一部が検出素子１
０に加わるようにしたもの、２２は比較抵抗であ
る。なお、第４図の破線Ｓで囲まれる領域が本発
明ヒータ付ガスセンサの回路である。
４図に示す。第４図中、１０は厚膜型検出素子、
１２は発熱抵抗体、１９は電源、２０は電圧計、
２１は第１図において共通端子部５ｃから発熱抵
抗体パターン２と電極パターン４とに分岐する点
までの抵抗で全印加電圧のうち一部が検出素子１
０に加わるようにしたもの、２２は比較抵抗であ
る。なお、第４図の破線Ｓで囲まれる領域が本発
明ヒータ付ガスセンサの回路である。
ここで、このヒータ付きガスセンサの作用につ
いて説明する。発熱抵抗体パターン２と電極パタ
ーン４との分岐する点の電圧が所定値となるよう
に発熱抵抗体１２及び抵抗２１の抵抗値を決め
る。例えば、電源１９に12V電源を使用する場合
には、前記分岐点を1Vになるように発熱抵抗体
１２と抵抗２１の抵抗値を11対１の比率とする。
これにより厚膜型検出素子１０と比較抵抗２２と
の中間点５ｂから、厚膜型検出素子１０の抵抗変
化に対応した出力電圧を取り出し、その出力電圧
を電圧計２０で測定することができる。
いて説明する。発熱抵抗体パターン２と電極パタ
ーン４との分岐する点の電圧が所定値となるよう
に発熱抵抗体１２及び抵抗２１の抵抗値を決め
る。例えば、電源１９に12V電源を使用する場合
には、前記分岐点を1Vになるように発熱抵抗体
１２と抵抗２１の抵抗値を11対１の比率とする。
これにより厚膜型検出素子１０と比較抵抗２２と
の中間点５ｂから、厚膜型検出素子１０の抵抗変
化に対応した出力電圧を取り出し、その出力電圧
を電圧計２０で測定することができる。
上記ヒータ付ガスセンサに対して、ブンゼンバ
ーナーにより雰囲気温度800℃で５分間加熱し、
５分間放冷する熱サイクルを150時間実施した処、
検出素子１０は依然として基板に密着していた。
ーナーにより雰囲気温度800℃で５分間加熱し、
５分間放冷する熱サイクルを150時間実施した処、
検出素子１０は依然として基板に密着していた。
このヒータ付ガスセンサの素子内部抵抗をプロ
パンバーナにより温度350℃に設定した雰囲気中
で測定した処、理論空燃比λ＞１では200MΩ以
上であつたが、λ＝0.9になると30KΩに変化し、
センサ機能を維持していることがわかつた。
パンバーナにより温度350℃に設定した雰囲気中
で測定した処、理論空燃比λ＞１では200MΩ以
上であつたが、λ＝0.9になると30KΩに変化し、
センサ機能を維持していることがわかつた。
比較例
第２のグリーンシート８の代わりにデユポン(株)
製＃8299絶縁ペーストを第１のグリーンシート１
上の第２のグリーンシート８に相当する部分に塗
布する以外は上記実施例と同一要領にて比較セン
サ用積層基板を製造し、上記実施例と同一条件で
発熱抵抗体用端子部と電極用端子子部との間のリ
ーク電流による異常出力の有無を調べた処、
1.2Vの異常出力が生じ、センサ用積層基板とし
ては不向きであつた。
製＃8299絶縁ペーストを第１のグリーンシート１
上の第２のグリーンシート８に相当する部分に塗
布する以外は上記実施例と同一要領にて比較セン
サ用積層基板を製造し、上記実施例と同一条件で
発熱抵抗体用端子部と電極用端子子部との間のリ
ーク電流による異常出力の有無を調べた処、
1.2Vの異常出力が生じ、センサ用積層基板とし
ては不向きであつた。
次に上記比較センサ用積層基板の開口７に相当
する部分に実施例で調整したものと同一のTiO2
ペーストを厚膜印刷し、実施例と同一条件で焼き
付けることによつて比較ヒータ付ガスセンサを製
造した。
する部分に実施例で調整したものと同一のTiO2
ペーストを厚膜印刷し、実施例と同一条件で焼き
付けることによつて比較ヒータ付ガスセンサを製
造した。
上記比較ヒータ付ガスセンサに対して実施例と
同一条件の熱サイクルを実施した処、＃8299絶縁
ペーストは剥離し、検出素子にクラツクが発生し
ていた。
同一条件の熱サイクルを実施した処、＃8299絶縁
ペーストは剥離し、検出素子にクラツクが発生し
ていた。
第１図Ａは本発明ヒータ付ガスセンサの製造工
程の実施例の初期段階を示す平面図、第１図Ｂは
第１図Ａ−′線断面図、第２図Ａは本発明ヒ
ータ付ガスセンサの製造工程の実施例の中期段階
を示す平面図、第２図Ｂは第２図Ａ−′線断
面図、第３図Ａは本発明ヒータ付ガスセンサの一
実施例を示す平面図、第３図Ｂは第３図Ａ−
′線断面図、第４図は本発明ヒータ付ガスセン
サを用いた検出回路図である。 １……第１のグリーンシート、２……発熱抵抗
体パターン、３，４……電極パターン、３ａ，４
ａ……電極パターンの先端、７……開口、８……
第２のグリーンシート、１０……検出素子、１１
……支持基板、１２……発熱抵抗体、１３，１４
……電極、１８……保護基板。
程の実施例の初期段階を示す平面図、第１図Ｂは
第１図Ａ−′線断面図、第２図Ａは本発明ヒ
ータ付ガスセンサの製造工程の実施例の中期段階
を示す平面図、第２図Ｂは第２図Ａ−′線断
面図、第３図Ａは本発明ヒータ付ガスセンサの一
実施例を示す平面図、第３図Ｂは第３図Ａ−
′線断面図、第４図は本発明ヒータ付ガスセン
サを用いた検出回路図である。 １……第１のグリーンシート、２……発熱抵抗
体パターン、３，４……電極パターン、３ａ，４
ａ……電極パターンの先端、７……開口、８……
第２のグリーンシート、１０……検出素子、１１
……支持基板、１２……発熱抵抗体、１３，１４
……電極、１８……保護基板。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 絶縁セラミツクスからなり表面に発熱抵抗体
と電極とが形成されている支持基板、この支持基
板と同種の絶縁セラミツクスからなり上記支持基
板上に積層されて発熱抵抗体を保護している保護
基板及びガス感応性金属酸化物よりなる厚膜型検
出素子を備えているヒータ付ガスセンサにおい
て、保護基板が上記電極の先端上に開口を有して
おり、この開口を厚膜型検出素子が充塞して上記
電極と接続していることを特徴とするガスセン
サ。 ２ 絶縁セラミツク粉末と有機質結合剤からなる
第１のグリーンシートと第２のグリーンシートを
作り、第１のグリーンシート表面に貴金属ペース
トを用いて発熱抵抗体パターンと一対の電極パタ
ーンを厚膜印刷によつて形成し、第２のグリーン
シートに打ち抜きによつて所定位置に開口を設
け、この開口から上記電極パターンの先端が露出
するように第１のグリーンシート上に第２のグリ
ーンシートを積層配置した後、熱圧着し焼成し、
次いで主としてガス感応性金属酸化物からなるペ
ーストを上記開口を充塞しかつ上記電極パターン
の先端に被着するように厚膜印刷した後焼き付け
ることを特徴とするヒーター付ガスセンサの製造
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22559783A JPS60115837A (ja) | 1983-11-29 | 1983-11-29 | ヒ−タ付ガスセンサとその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22559783A JPS60115837A (ja) | 1983-11-29 | 1983-11-29 | ヒ−タ付ガスセンサとその製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60115837A JPS60115837A (ja) | 1985-06-22 |
| JPH0330815B2 true JPH0330815B2 (ja) | 1991-05-01 |
Family
ID=16831815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22559783A Granted JPS60115837A (ja) | 1983-11-29 | 1983-11-29 | ヒ−タ付ガスセンサとその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60115837A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS625165A (ja) * | 1985-07-02 | 1987-01-12 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 厚膜型ガス感応体素子とその製法 |
| DE102016207252A1 (de) | 2016-04-28 | 2017-11-02 | Robert Bosch Gmbh | Gassensor |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5892946A (ja) * | 1981-11-30 | 1983-06-02 | Nippon Soken Inc | ガス成分検出器 |
-
1983
- 1983-11-29 JP JP22559783A patent/JPS60115837A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60115837A (ja) | 1985-06-22 |
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