JPH0440369A - 半導体加速度センサー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体チップを用いた加速度センサーの構
造に関するものである。

（従来の技術） 度 従来の半導体加速センサーには第２図に示すよΔ うなものかある０図において、ｌはセンサーチップであ
り、一端に台座２を設けて片持支持され、他端に重り３
を取りつけられている。

この半導体加速度センサーは、加速度によって重り３に
生しる力がセンサーチップｌを曲げようとするから、そ
の曲りによって加速度を検出す（発明が解決しようとす
る課題） 従来の半導体加速度センサーは、センサーチップｌの厚
さか薄いため、外部から衝撃を受けた場合、センサーチ
ップｌが破損し易い問題があった。

この発明は、センサーチ・ンプか破損し難い構成の半導
体加速度センサーを提供することを課題とする。

（課題を解決するための手段） この発明の加速度センサーは、センサーチップの両端に
台座を設けて両端支持構造とし、そのセンサーチップの
途中に、直接又は腕状支持体を介して重りを取付けたこ
とを特徴とする。

〔作　　　用〕

センサーチップの両端に台座を設けてセンサーチップを
両端て支持する構成としたので、事実上センサーチップ
の強度が向上したことと同じになる。センサーチップに
直接重りを取付けた場合は重りの質量と加速度に応じた
力かセンサーチップの重り取付は位置に作用する。セン
サーチップに腕状支持体を介して重りを取付けた場合、
一方へ支持体が突出する形態ではセンサーチップにねじ
り力が作用し、両側へ同じ長さ突出する対称な形態では
ねじり力は両側で打消し合って作用しない。

加速度により重りからセンサーチップに作用する力は加
速度に対応するものであるから、いずれの場合でも従来
と同様に加速度を検出できる。

（実　施　例） この発明の１実施例を第１図に示す、同図において、】
】は半導体からなるセンサーチップであり、細長い長方
形の板状に形成されている。１２は台座であり、センサ
ーチップ１１の両端にそれぞれ設けられた同じ高さのも
のである。１３は重りてあり、ＪＩ長い板からなる腕状
支持体１４の一端に取付けられ、支持体１４の他端がセ
ンサーチップ１１の長手方向中間位置に結合されている
。

この半導体センサーは、台座１２．１２の下面を所定の
ベースに取付け、センサーチップ１１の電極部にリード
線を接続して使用される。加速度か作用すると重り１３
からセンサーチ・シブ１１か力を受けて歪み、その加速
度に対応する電気信号を得ることかできる。

上記実施例において、重り１３かセンサーチップ１１の
中間位置に支持体１４を介して取付けられているものを
示したが、このほかに、支持体Ｉ４のセンサーチップ１
１に結合した端部を重り１３と反対側に延長形成して別
に重りを設けた両側て対称な構成としてもよく、さらに
別に、センサーチップ１１の中間位置に直接重りを取付
けて支持体１４を省略した構成としてもよい。

（発明の効果） この発明は、半導体加速度センサーのセンサーチップの
両端にそれぞれ台座を設けて両端支持するようにした構
成により、重り側からセンサーチップに作用する力かそ
れぞれの台座のある２方向へ分散されるから、その力か
センサーチップに曲げ力として作用してもまたねしり力
として作用しても、センサーチップの破損防止効果かあ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の１実施例の斜視図、第２図は従来の
加速度センサーの構成を示す斜視図である。 １１・・・・センサーチップ、１２・・・・台座、　１
３・・・・・重り、１４・・・・腕状支持体。 気　ＩＥ２１

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）センサーチップの両端に台座を、設けて両端支持
   構造とし、そのセンサーチップの途中に、直接又は腕状
   支持体を介して重りを取付けたことを特徴とする半導体
   加速度センサー。