JPH0442819A - 希土類ドープガラスの製法 - Google Patents
希土類ドープガラスの製法Info
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- JPH0442819A JPH0442819A JP14679290A JP14679290A JPH0442819A JP H0442819 A JPH0442819 A JP H0442819A JP 14679290 A JP14679290 A JP 14679290A JP 14679290 A JP14679290 A JP 14679290A JP H0442819 A JPH0442819 A JP H0442819A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/01433—Reactant delivery systems for delivering and depositing additional reactants as liquids or solutions, e.g. for solution doping of the porous glass preform
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2201/00—Type of glass produced
- C03B2201/06—Doped silica-based glasses
- C03B2201/30—Doped silica-based glasses doped with metals, e.g. Ga, Sn, Sb, Pb or Bi
- C03B2201/34—Doped silica-based glasses doped with metals, e.g. Ga, Sn, Sb, Pb or Bi doped with rare earth metals, i.e. with Sc, Y or lanthanides, e.g. for laser-amplifiers
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- Organic Chemistry (AREA)
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- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
C産業上の利用分野〕
この発明は、光増幅などに用いられる希土類元素ドープ
ガラスを製造する方法に関する。
ガラスを製造する方法に関する。
エルビウムなどの希土類元素をドープした石英ガラスな
どを製造する方法の1つに、VAD法、MCVD法、O
VD法などで得られたガラス微粒子集合体く以下、スー
トと略称する。)を塩化エルビウムなどの希土類元素化
合物のガス雰囲気中で加熱、焼結し、ガラス中にエルビ
ウムイオンをドープする方法がある。
どを製造する方法の1つに、VAD法、MCVD法、O
VD法などで得られたガラス微粒子集合体く以下、スー
トと略称する。)を塩化エルビウムなどの希土類元素化
合物のガス雰囲気中で加熱、焼結し、ガラス中にエルビ
ウムイオンをドープする方法がある。
この方法において、希土類元素化合物ガス雰囲気を形成
する手段としては、第5図に示すようにロッド状スート
lの焼結炉2の底部3に原料容器4を設け、この原料容
器4内の塩化エルビウムなどの希土類元素化合物Aをヒ
ータ5で加熱して昇草せしめ、これによって炉2内を希
土類元素化合物ガス雰囲気とする方法が採られている。
する手段としては、第5図に示すようにロッド状スート
lの焼結炉2の底部3に原料容器4を設け、この原料容
器4内の塩化エルビウムなどの希土類元素化合物Aをヒ
ータ5で加熱して昇草せしめ、これによって炉2内を希
土類元素化合物ガス雰囲気とする方法が採られている。
しかしながら、この方法では、次のような問題があった
。
。
すなわち、雰囲気中の希土類元素化合物のガス濃度を一
定に保持する必要があるが、これには、希土類元素化合
物の昇華量を一定とする必要がある。昇華量を一定に保
つには、希土類元素化合物Aへのヒータ5からの単位時
間当たりの熱量を希土類元素化合物Aの残存量に応じて
精密に制御する必要があるが、この制御は極めて困難で
ある。
定に保持する必要があるが、これには、希土類元素化合
物の昇華量を一定とする必要がある。昇華量を一定に保
つには、希土類元素化合物Aへのヒータ5からの単位時
間当たりの熱量を希土類元素化合物Aの残存量に応じて
精密に制御する必要があるが、この制御は極めて困難で
ある。
また、希土類元素化合物Aの量が減少してゆくので、加
熱効率も低下してゆく。これらの要因のため、昇華の開
始時と終了時とでは昇華量に差が生じてしまい、第6図
に示すように得られる口・メト状のガラスの長手方向に
ドープ量が変化する不都合が生じる。
熱効率も低下してゆく。これらの要因のため、昇華の開
始時と終了時とでは昇華量に差が生じてしまい、第6図
に示すように得られる口・メト状のガラスの長手方向に
ドープ量が変化する不都合が生じる。
さらに、塩化エルビウムなどの希土類元素化合物は、一
般に結晶水を有するため、前記原料容器4に置く希土類
元素化合物Aは、予めこの結晶水を取り除いたものを用
いる必要がある。このため、スート自体の脱水とは別に
脱水工程を設けねばならない欠点もある。
般に結晶水を有するため、前記原料容器4に置く希土類
元素化合物Aは、予めこの結晶水を取り除いたものを用
いる必要がある。このため、スート自体の脱水とは別に
脱水工程を設けねばならない欠点もある。
よって、この発明における課題は、スートを希土類元素
化合物ガスの雰囲気中で焼結する際、希土類元素化合物
ガスの供給量を一定とすることができ、希土類元素の均
一なドープが可能であり、かつ製造工程の簡略化も可能
な方法を提供することにある。
化合物ガスの雰囲気中で焼結する際、希土類元素化合物
ガスの供給量を一定とすることができ、希土類元素の均
一なドープが可能であり、かつ製造工程の簡略化も可能
な方法を提供することにある。
かかる課題は、希土類元素化合物ガス雰囲気の形成を焼
結されるスートに付着せしめられた希土類元素化合物の
徐々の昇華によって行うことで解決される。
結されるスートに付着せしめられた希土類元素化合物の
徐々の昇華によって行うことで解決される。
以下、この発明の詳細な説明する。
この発明の製法では、まずスートに希土類元素化合物を
付着させる。第1図は、このために用いられる装置の一
例を示すもので図中符号11は、スートである。このス
ート11は、棒状基材12の一端に、周知のVAD法に
よって形成された棒状のものである。このスート11の
嵩密度は、0.2〜0.7g/cz’の範囲であればよ
く、若干低目の嵩密度のものが、後述する希土類元素化
合物のガスの浸透が良くなって好ましい。このスートl
lの棒状基材12の他端は、図示しないトラバーサ装置
に装着され、スー11が回転させられるとともに上下方
向に往復移動されるようになっている。一方、図中符号
13はネプライザ(噴霧器)である。このネプライザ1
3は、希土類元素化合物溶液を霧化して霧状物とし、こ
の霧状物をスート11表面に吹き付けるためのものであ
って、アルゴン、窒素、ヘリウムなどの牛ヤリャガスを
導入するキャリヤガス導入パイプ13aと、希土類元素
化合物溶液Sを貯留する本体13bと、キャリヤガスに
同伴されて霧状物が噴出される噴出、fイブ13cとか
らなるものである。前記希土類元素化合物溶液Sをなす
希土類元素化合物としては、エルビウム、ネオジム、ユ
ーロピウムなどの塩化物や硝酸塩などの塩が用いられ、
これら塩類を水や塩酸、硝酸など酸水溶液、アルコール
などに溶解して溶液とする。
付着させる。第1図は、このために用いられる装置の一
例を示すもので図中符号11は、スートである。このス
ート11は、棒状基材12の一端に、周知のVAD法に
よって形成された棒状のものである。このスート11の
嵩密度は、0.2〜0.7g/cz’の範囲であればよ
く、若干低目の嵩密度のものが、後述する希土類元素化
合物のガスの浸透が良くなって好ましい。このスートl
lの棒状基材12の他端は、図示しないトラバーサ装置
に装着され、スー11が回転させられるとともに上下方
向に往復移動されるようになっている。一方、図中符号
13はネプライザ(噴霧器)である。このネプライザ1
3は、希土類元素化合物溶液を霧化して霧状物とし、こ
の霧状物をスート11表面に吹き付けるためのものであ
って、アルゴン、窒素、ヘリウムなどの牛ヤリャガスを
導入するキャリヤガス導入パイプ13aと、希土類元素
化合物溶液Sを貯留する本体13bと、キャリヤガスに
同伴されて霧状物が噴出される噴出、fイブ13cとか
らなるものである。前記希土類元素化合物溶液Sをなす
希土類元素化合物としては、エルビウム、ネオジム、ユ
ーロピウムなどの塩化物や硝酸塩などの塩が用いられ、
これら塩類を水や塩酸、硝酸など酸水溶液、アルコール
などに溶解して溶液とする。
ついで、この希土類元素化合物溶液Sの霧状物を図示す
るようにネプライザ13から噴出させ、回転するととも
に上下方向に往復移動するスート11の表面に吹き付け
る。そして、スート11の数回の往復移動によって、ス
ート11表面に均一に希土類元素化合物の霧状物が付着
する。こののち、このスートを乾燥窒素気流中などで乾
燥して、水分を除去する。
るようにネプライザ13から噴出させ、回転するととも
に上下方向に往復移動するスート11の表面に吹き付け
る。そして、スート11の数回の往復移動によって、ス
ート11表面に均一に希土類元素化合物の霧状物が付着
する。こののち、このスートを乾燥窒素気流中などで乾
燥して、水分を除去する。
この発明でのスートへの希土類元素化合物の付着は、上
述のネプライザ13を用いて霧状物を吹き付ける方法に
限られず、例えば、スート11を回転させつつ、左右方
向に往復移動させ、このスート11上に希土類元素化合
物溶液の微小液滴を定量的に滴下する方法やスート11
の嵩密度が0.4g/c++S以上であれば、スートl
l全体を希土類元素化合物溶液中に短時間浸漬する方法
などが採用できる。また、スート11としては、VAD
法によって得られたものに限られず、OVD法(外付は
法)で得られたものやMCVD法で得られたスートであ
ってもよい。
述のネプライザ13を用いて霧状物を吹き付ける方法に
限られず、例えば、スート11を回転させつつ、左右方
向に往復移動させ、このスート11上に希土類元素化合
物溶液の微小液滴を定量的に滴下する方法やスート11
の嵩密度が0.4g/c++S以上であれば、スートl
l全体を希土類元素化合物溶液中に短時間浸漬する方法
などが採用できる。また、スート11としては、VAD
法によって得られたものに限られず、OVD法(外付は
法)で得られたものやMCVD法で得られたスートであ
ってもよい。
次に、希土類元素化合物が付着したスート11を第2図
に示すように密閉状態の温度勾配分布が形成された加熱
炉14内に収容して加熱し、希土類元素化合物を昇華さ
せて加熱炉14内を希土類元素化合物のガスの雰囲気と
するとともにスート11を焼結する。
に示すように密閉状態の温度勾配分布が形成された加熱
炉14内に収容して加熱し、希土類元素化合物を昇華さ
せて加熱炉14内を希土類元素化合物のガスの雰囲気と
するとともにスート11を焼結する。
上記加熱炉14は、ヒータ14aによって第2図に示す
ように、その下端側が低温に、上端側が高温となるよう
に連続的に変化する温度分布が形成されており、例えば
、希土類元素化合物として塩化エルビウムを用いた場合
では下端側の温度が塩化エルビウムの昇華温度の850
℃程度とされ、上端側の温度がスー)11をなす石英ガ
ラス微粒子の溶融温度以上の1500℃程度とされる。
ように、その下端側が低温に、上端側が高温となるよう
に連続的に変化する温度分布が形成されており、例えば
、希土類元素化合物として塩化エルビウムを用いた場合
では下端側の温度が塩化エルビウムの昇華温度の850
℃程度とされ、上端側の温度がスー)11をなす石英ガ
ラス微粒子の溶融温度以上の1500℃程度とされる。
また、スート11は、その棒状基材12が存在する一端
部が加熱炉14の低温側に位置するように初期位置とし
て図示しないトラバーサ装置に取り付けられ、回転しな
がら徐々に上方に一定速度で移動するようになっている
。また、加熱炉14内には、アルゴン、ヘリウムなどの
不活性ガスが導入され、炉内圧力が大気圧より微かに高
(なるようになっており、実質的に密閉状態となってい
る。
部が加熱炉14の低温側に位置するように初期位置とし
て図示しないトラバーサ装置に取り付けられ、回転しな
がら徐々に上方に一定速度で移動するようになっている
。また、加熱炉14内には、アルゴン、ヘリウムなどの
不活性ガスが導入され、炉内圧力が大気圧より微かに高
(なるようになっており、実質的に密閉状態となってい
る。
この状態において、スート11を前記初期位置から回転
させつつ加熱炉14の上方に徐々に移動させると、スー
)11の上端部が加熱炉14の低温の希土類元素化合物
が昇華する昇華温度域に入り、ここでスート11の表面
に付着している希土類元素化合物が昇華し、この昇華ガ
スが加熱炉14内に充填して、スート11が希土類元素
化合物のガス雰囲気内におかれることになる。そして、
この昇華ガスはスート11の空隙に浸透し、ガラス微粒
子内部に浸透してゆく。
させつつ加熱炉14の上方に徐々に移動させると、スー
)11の上端部が加熱炉14の低温の希土類元素化合物
が昇華する昇華温度域に入り、ここでスート11の表面
に付着している希土類元素化合物が昇華し、この昇華ガ
スが加熱炉14内に充填して、スート11が希土類元素
化合物のガス雰囲気内におかれることになる。そして、
この昇華ガスはスート11の空隙に浸透し、ガラス微粒
子内部に浸透してゆく。
スート11が徐々に上方に移動するにつれて。
スー)11の残りの部分が順次昇華温度域に入り、付着
している希土類元素化合物が順次昇華してゆき、加熱炉
14内は希土類元素化合物のガス雰囲気に保たれること
になる。
している希土類元素化合物が順次昇華してゆき、加熱炉
14内は希土類元素化合物のガス雰囲気に保たれること
になる。
スート11の上端部が加熱炉14の上部の高温の焼結温
度域に入ると、希土類元素化合物のガス雰囲気内でのス
ー)11の焼結が始まり、スート11の上端部から順次
希土類元素化合物がドープされた状態で透明ガラス化さ
れてゆく。かくして、スートllの下端部までが焼結温
度域に入れば、スート11全体が希土類元素がドープさ
れた状態で−で透明ガラス化され、希土類元素ドープガ
ラスロッドが得られる。
度域に入ると、希土類元素化合物のガス雰囲気内でのス
ー)11の焼結が始まり、スート11の上端部から順次
希土類元素化合物がドープされた状態で透明ガラス化さ
れてゆく。かくして、スートllの下端部までが焼結温
度域に入れば、スート11全体が希土類元素がドープさ
れた状態で−で透明ガラス化され、希土類元素ドープガ
ラスロッドが得られる。
スートがOVD法によって得られたものの場合は、上述
とまったく同様に操作することができ、MCVD法によ
る肉付は法で得られたものでも、はぼ同様の操作でよく
、スートを透明ガラス化したのち、強熱してコブラス化
すればよい。
とまったく同様に操作することができ、MCVD法によ
る肉付は法で得られたものでも、はぼ同様の操作でよく
、スートを透明ガラス化したのち、強熱してコブラス化
すればよい。
このような製法にあっては、スー)11表面に付着する
希土類元素化合物の単位面積当たりの量がスー)11全
体で均一であれば、スート11の上方への移動速度を一
定とした場合、単位時間当たりの希土類元素化合物の昇
華温度域への供給量は一定となり、昇111温度域の温
度を一定とし、加熱熱量を十分与えれば、希土類元素化
合物の昇華量は一定となり、加熱炉14内の雰囲気の昇
華ガス濃度は容易に一定となる。したがって、スート1
1全体の希土類元素のドープ量を極めて簡単に均一とす
ることができる。
希土類元素化合物の単位面積当たりの量がスー)11全
体で均一であれば、スート11の上方への移動速度を一
定とした場合、単位時間当たりの希土類元素化合物の昇
華温度域への供給量は一定となり、昇111温度域の温
度を一定とし、加熱熱量を十分与えれば、希土類元素化
合物の昇華量は一定となり、加熱炉14内の雰囲気の昇
華ガス濃度は容易に一定となる。したがって、スート1
1全体の希土類元素のドープ量を極めて簡単に均一とす
ることができる。
また、希土類元素化合物を予め脱水する必要がなく、希
土類元素化合物溶液のスートへの付着後の乾燥工程で大
部分が除去され、また昇華時にも除去される。
土類元素化合物溶液のスートへの付着後の乾燥工程で大
部分が除去され、また昇華時にも除去される。
また、希土類元素化合物の昇華に先立って、スート!l
を700〜800℃に加熱しつつ、塩素ガスなどのハロ
ゲンガスを加熱炉14内に供給し、スート11の脱水を
行うこともでき、この脱水時に、希土類元素化合物の付
着に起因する水分をも同時に除去することができる。
を700〜800℃に加熱しつつ、塩素ガスなどのハロ
ゲンガスを加熱炉14内に供給し、スート11の脱水を
行うこともでき、この脱水時に、希土類元素化合物の付
着に起因する水分をも同時に除去することができる。
以下、具体例を示して、作用効果を明確にする。
(実施例])
■AD法によって、外径52xm、長さ200xm、嵩
密度0.22 g/cj’ノs i Ox カラナルス
−)を作成した。このスートを第1図に示すようにトラ
バーサ装置に取りつけ、その表面にネブライザによって
ErCQs水溶液を噴霧した。ネプライザには、ErC
1!s・o、5Hto 24.75g、35豐t%塩
酸5 cc、水150CCからなるErCQs水溶液を
満たし、キャリヤガスとしてArを5Q/分の流量で供
給し、霧状とした。スートの回転数を6 Orpmとし
、往復移動速度を20 xi1分として、スート全体に
噴霧した。
密度0.22 g/cj’ノs i Ox カラナルス
−)を作成した。このスートを第1図に示すようにトラ
バーサ装置に取りつけ、その表面にネブライザによって
ErCQs水溶液を噴霧した。ネプライザには、ErC
1!s・o、5Hto 24.75g、35豐t%塩
酸5 cc、水150CCからなるErCQs水溶液を
満たし、キャリヤガスとしてArを5Q/分の流量で供
給し、霧状とした。スートの回転数を6 Orpmとし
、往復移動速度を20 xi1分として、スート全体に
噴霧した。
スート全体にわたる噴霧が完了したのち、スートを10
0″Cの窒素気流中で4時間乾燥した。
0″Cの窒素気流中で4時間乾燥した。
このスートを第2図に示すような加熱炉に収め、全体を
800℃として塩素ガスを流して脱水処理を行ったのち
、引きつづいて加熱炉に温度分布を形成し、炉内下部を
ErCQ、の昇華温度の900℃に保ち、炉内上部をス
ートの焼結温度1500℃に保ち、スートを20rp−
で回転させつつ、移動速度10xM/分で上方に移動さ
せた。これにより、外径1711、長さ96zxの丸棒
状のErドープ石英ガラスロッドが得られた。
800℃として塩素ガスを流して脱水処理を行ったのち
、引きつづいて加熱炉に温度分布を形成し、炉内下部を
ErCQ、の昇華温度の900℃に保ち、炉内上部をス
ートの焼結温度1500℃に保ち、スートを20rp−
で回転させつつ、移動速度10xM/分で上方に移動さ
せた。これにより、外径1711、長さ96zxの丸棒
状のErドープ石英ガラスロッドが得られた。
この石英ガラスロッド中のErドープ量を径方向および
軸方向について測定したところ、第3図および第4図に
示すように、径方向および軸方向に均一に500 pp
mのErがドープされていることがわかった。
軸方向について測定したところ、第3図および第4図に
示すように、径方向および軸方向に均一に500 pp
mのErがドープされていることがわかった。
以上説明したように、この発明の希土類ドープガラスの
製法は、ガラス微粒子集合体を希土類元素化合物ガスの
雰囲気中で加熱して、希土類元素がドープされたガラス
を得るに際して、前記希土類元素化合物ガス雰囲気の形
成を、前記焼結されるガラス微粒子集合体に付着せしめ
られた希土類元素化合物の徐々の昇華によって行うもの
であるので、簡単な操作によって、希土類元素のドープ
量が均一なガラスを得ることができる。
製法は、ガラス微粒子集合体を希土類元素化合物ガスの
雰囲気中で加熱して、希土類元素がドープされたガラス
を得るに際して、前記希土類元素化合物ガス雰囲気の形
成を、前記焼結されるガラス微粒子集合体に付着せしめ
られた希土類元素化合物の徐々の昇華によって行うもの
であるので、簡単な操作によって、希土類元素のドープ
量が均一なガラスを得ることができる。
第1図および第2図は、いずれもこの発明の製法に用い
られる装置の概略構成図であり、第1図はスートに希土
類元素化合物溶液の噴霧を行うための、第2図は希土類
元素化合物の昇華とス・−トの焼結を行うための装置を
示し、 第3図はおよび第4図は、いずれもこの発明の実施例で
得られたErドープガラスロッドにおけるErの分布状
態を示すグラフ、 第5図は従来の希土類ドープガラスの製造に用いられる
装置を示す概略構成図、第6図は従来の製法で得られた
希土類ドープガラス中の希土類元素の分布状態を示すグ
ラフである。 11・・・・・スート、 13・・・・・ネプライザ(噴霧器)、S ・・希土類
元素化合物溶液、 14・・・加熱炉。
られる装置の概略構成図であり、第1図はスートに希土
類元素化合物溶液の噴霧を行うための、第2図は希土類
元素化合物の昇華とス・−トの焼結を行うための装置を
示し、 第3図はおよび第4図は、いずれもこの発明の実施例で
得られたErドープガラスロッドにおけるErの分布状
態を示すグラフ、 第5図は従来の希土類ドープガラスの製造に用いられる
装置を示す概略構成図、第6図は従来の製法で得られた
希土類ドープガラス中の希土類元素の分布状態を示すグ
ラフである。 11・・・・・スート、 13・・・・・ネプライザ(噴霧器)、S ・・希土類
元素化合物溶液、 14・・・加熱炉。
Claims (2)
- (1)ガラス微粒子集合体を希土類元素化合物ガスの雰
囲気中で加熱して、希土類元素がドープされたガラスを
得るに際して、 前記希土類元素化合物ガス雰囲気の形成が、前記焼結さ
れるガラス微粒子集合体に付着せしめられた希土類元素
化合物の徐々の昇華によってなされることを特徴とする
希土類ドープガラスの製法。 - (2)ガラス微粒子集合体に希土類元素化合物溶液の霧
状物を吹きつけ、 ついで、このガラス微粒子集合体を、温度勾配分布が形
成された密閉加熱雰囲気中で、低温側から高温側に徐々
に移動させつつ加熱し、ガラス微粒子集合体に付着した
希土類元素化合物を徐々に昇華させて、前記密閉加熱雰
囲気を希土類元素化合物ガス雰囲気とするとともに、 この雰囲気内でガラス微粒子集合体をその一端から順次
焼結することを特徴とする希土類ドープガラスの製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2146792A JPH085678B2 (ja) | 1990-06-05 | 1990-06-05 | 希土類ドープガラスの製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2146792A JPH085678B2 (ja) | 1990-06-05 | 1990-06-05 | 希土類ドープガラスの製法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0442819A true JPH0442819A (ja) | 1992-02-13 |
| JPH085678B2 JPH085678B2 (ja) | 1996-01-24 |
Family
ID=15415645
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2146792A Expired - Fee Related JPH085678B2 (ja) | 1990-06-05 | 1990-06-05 | 希土類ドープガラスの製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085678B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009298664A (ja) * | 2008-06-16 | 2009-12-24 | Fujikura Ltd | 希土類添加光ファイバの製造方法 |
| JP2013147421A (ja) * | 2006-09-29 | 2013-08-01 | Corning Inc | 希土類がドープされた光ファイバ |
| CN112299703A (zh) * | 2020-11-13 | 2021-02-02 | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 | 一种掺杂溶液喷洒装置及喷洒方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS63195130A (ja) * | 1987-02-04 | 1988-08-12 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | レ−ザ−用ガラス体の製造方法 |
-
1990
- 1990-06-05 JP JP2146792A patent/JPH085678B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH085678B2 (ja) | 1996-01-24 |
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