JPH0445902A - 多層セラミックス基板の積層方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、シート積層法による多層セラミツタ基板の製
造方法におｉフろ、夕１月−ンシー［・の積層に使用す
る積層方ｒ及び積層装置ならびに接着力法に係り、特に
、層間ずれと端部のふくれのきわめて小さい多層セラミ
ック基板を製造するに好適な積Ｊ一方法に関するもので
ある。

〔従来の技術〕

従来、多層セラミック基板を製造する方法として、パイ
アホ・−ル内へ導体を充填し、且つ配線パターンを印刷
してなるクリーンシー１−を複数枚留りｆＩＬ、これを
加熱加圧して製造するシート積層法かあ；！、　、、こ
の製造方法にＪ′９ける、前記クリーンシー　１−の積
層の位置決め精度、すなわち積層精度を向」ニさせる方
法として、たとえは特開昭６２−１２４９４７３公報に
記軟されているように、位１行決めチーフルとモニタテ
レビと積層テーブルとを使用してクリーンシー１・を高
精度に位置決めし積層する方法か知られている、。

とのツノθ、においては、ど１・、′ｆにクリーンシー
１へに穴あけしたカイトビンの本数とガイドビンとグリ
ーンシーＩ〜のカイト穴とのクリアランスを最適にする
ことにより、接着時に発生ずる最大層間すれを最ノ」１
化する効果か示されている。

ところで、−１−記の方ｄ＼は、眉間ずれを最小化する
のに有効てあろが、接着時の加圧力が太きい場合に発生
するクリーンシーＩ−の面内の変形を防止する効果か小
さい３．この問題は、多層セラミックス」□（板の層数
か多くなる程顕著に現ねわでおり、その面内の変形は、
接着後の焼結上程における焼Ａ′１収縮により俊形呈は
名［小さくなるが依然としてイロ１としては大きな値で
あり、後玉Ｐ］１の多層セラミックス基板上へのＩＣ搭
載時に問題となろ３゜〔発明が解決しようとする課題〕 上記従来技術は、多層セラミックス基板の製造方法にお
ける、グリーンシー１〜の接着時の面内変形の防止に対
して配慮がされておらず、層数か多くなり接着圧力が高
くなるど面内変形か大きくなり、多層セラミックス基板
−］二にＩ　Ｃを搭載する際に、゛電気的接続不良が発
生するという問題かあった。

本発明は、面内変形の小さい多層セラミックス基板を製
造するのに好適な積層方法を提供することを目的として
いる。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る積層装置の構成は、クリーンシ・−１へに
カイト穴を穴明けし、接着下治具に立てたカイトビンへ
前記ガイ１（穴を挿入することにより、クリーンシーＩ
へを順次積層し、その」二に接着」−冶具板を載置した
ものをしかもグリーンシー］−の側面方向への材料流れ
を拘束する状態で加熱加圧して多層セラミック基板を製
造するようにしたシーｌ−積層法による多ｊＣ１セラミ
ック基板の製造方法における削紀積層に使用する積Ｊ−
装置において、額縁状枠に取イマ１けられ、少なくとも
２個の基準穴を穿設したクリーンシー１・の当該額縁状
枠を１．Ｊｉｔ準面に当接せしめてクリーンシー１−を
載置固定することかできる、Ｘ、ｙｙ、０方向へ微動調
整可能な位置決めテーブルと、位置決めステージにある
市、１己イ！’、’ｌ　ｉｉｊ、Ｌ　１人めチーフルシ
ー北のクリーンシー１・のｌ′１１ｊ音己基準穴を観察
することかできるテレビカメラと、このテレビカメラに
よる前記基枠Ｉ穴の映像をモニタするモニタテレビと、
ガイドビンを立てた接着Ｆ治具を載置固定することがで
きる、２方向へ微動調＠１１ｆ能な積層チーフルと、カ
イト穴明は外周切断兼積層ステージを有し、このステー
ジで前記位置決めチーフルに載置固定されているクリー
ンシー１−にガイド穴の穴明は加工と外形打抜き加工と
を同時に行ない、打抜いたクリーンシー１・を上型側ｌ
＼吸着することかでき、且つその吸着したクリーンシー
ｉ−のカイト穴を前記積層テーブル」二の接着下治具の
カイトビンへ挿入して積層することができる上型と下型
とからなる金型を具備したカイト穴明は外周切断機構と
、積層準備ステージにある前屈積層テーブル上の、打抜
いたグリーンシートの基準穴を観察することができるテ
レビカメラと、このテレビカメラによる前記基’ｉ（！
４穴の映像をモニタするモニタテレビと、前バ己位１１
パＶ訣めチーフルと積層チーフルとを移動可能に載ｉへ
シ、前記位置決めテーブルを前記位置決めステージとカ
イ１へ穴明り外周切断兼積層ステージとの間で搬送する
ことかでき、旧つ前記積層チーフルを前記抗層イ（１（
備ステーンとガイド穴明〇づ外周切断兼（７１層ステシ
との間でｊ般送することができる１般送装置五とをイｊ
せしめるようにしたものであり、さらに接着時において
、接着下台具の側壁を利用して加圧力によるクリーンシ
ートの側面方向への椙料流れを拘束して接着するもので
ある。

さらに詳しくは、額縁状枠に取（＝ｊけたグリーンシー
１・を位置決めする位置決めステージと、クリーンシー
１へにガイ１く穴を穴明（づしてＭｌ−するカイＩ・穴
１す目づ外周切断兼積層ステージとを別個に設け、前記
位置決めステージで正確に位置決めした額縁状枠に取イ
」りだクリーンシーＩ・を位置決めテーブルとともに、
ガイド・穴明は外周り断機構内に設けた前記カイト穴明
は外周り断兼枯層ステージへ止（イ１に搬送し、ここで
ｌ’＋ｉｉ記グリーンシートにカイト穴を穴明りずろと
同１ｊ、′Ｉに該クリーンシー１〜を前記額縁状枠から
切離して１１′抜き、これと同時に、打抜かオげこクリ
ーンシーｉ・を該カイ］−穴明は外周りＪ断機構の上型
側に真空成子１によって固着し、前・記」−型を］−冒
させるとともに、ｌ）釘記位置決めテーブルを曲記位Ｈ
にｉ、　ｔ）’ｘめステージへ戻し、代りに、接着１・
治具を載置固定した積１ｉ’ｊチーフルを前記カイｌへ
穴明は外周切ｌ’ｌｒ　を幾（ＩＩＩｌｉ内のガイ］−
穴明は外周切断兼積層ステージへ正確に搬送し、前記上
型を下降させて、１）１１記接ｉ′１′１・治具上ｌ＼
前記クリーンシー１−を積層することかできるように構
成したものである、さらに、接着時に、むいて、上記グ
リーンシー１−を前記接着−ト冶↓Ｌに積層した後、接
着治具上板を前記接着−１・治具に車ね合わせて一組の
治具とし、これを接７１用のホソ］ヘブｌノスにより加
熱加圧して接着する際に、クリーンシーＩ・の板厚方向
への加圧力により、グリーンシートが面内に材料流動し
ふくれるのを防止するクリーンシーＩ・側曲拘束用の側
壁を接着−１・治具に持たせたものである、。

〔作用」 積層予定のグリーンシー１−は、シー１−ｊ−に少なく
とも２ケ穿設さ才した基準穴によりモニタテｌノビ」−
の基１（：！線に合わぜて位置決めチーフルにより位１
１′を決めされ、次いで、カイト穴明は外周切断機イイ
ロの金型に対して機械的に位置決めされ、額縁部を切断
されてガイド穴明り外周切断機構のＦ型側に真空吸着に
より位百を動かさすに固着され、さらに接着−ド治具に
ガイド穴明は外周切断機構内で積層され、再度モニタテ
Ｉノビにより積層状態をａｌｌ　ｉ＋ｇされるので積層
時におけるずれはほとんど防１−１４できる。またさら
に、接着時において、板厚方向の加圧力による１１間の
ずれはカイ１（ビンとカイ］・穴の最適化によりほぼ防
止されさらに面内の変形は、接着下台具の側壁により材
料流れが拘束されることにより防止される１、これらに
より、多層プリント基板の層間ずれと面内変形は防止で
きる。

〔実施例〕

以１・、本発明を実施例によって説明する。

第「１メ１は、本発明の−・実施例に係る積層装置を示
す略示正面図、第２図は、第１図におけるクリーンシー
Ｉ−の斜視図、第３１￥１は、第」［イ１における金型
と、これによる前記クリーンシーＩ〜の打抜き状態を、
バず［１１イ１１１１１ｔｌｉ’而巨ｊである。

ます、クリーンシー１・１を、第２図を用いて説明する
。

このクリーンシーｌへ［は、額縁状枠２に接着剤で接着
され、４個の基準穴５か穿設されたものである３゜ 」ｌ、体側を小すど、グリーンシー１−として、厚さ０
　、２５　Ｘ　２００　Ｘ　２００ｍｍのアルミナクリ
ーンシートを使用し、このクリーンシーＩ−を額縁状枠
２に接着したのち、ＮＣボール盤によって０．２ｍｍφ
のバイアホール３と、０．２　ｍ　ｍφの４．（型穴５
（４個′ｇ設位置は１００　Ｘ　１．０Ｏｎｌｌｎの４
隅）とを穴明けする３、額縁状枠２　（２３０Ｘ　２３
０ｍｍ　）の端面６，７の表面粗さは丁＜　ｍａｘ　ｌ
　、　５μ丁ｎ以Ｆ、直角度は±３′以下に仕十けられ
ており、この端面６，７に対する前記基準穴５の位置精
度は３μｒｎである。１涌記穴明は後、バイアホール３
の充填印刷および配線パターン４の印刷か行なわれ、グ
リーンシー１−１が得られろ。

次に、積層装置の構成を、第１，３図を用いて説明する
。。

８は、第３図にその詳細を示すように、直交する２つの
基準面８ｄ、８ｄに額縁状枠２の端面（り。

７を当１妾ぜしめてクリーンシー１〜〕を載置固定する
ことができる、Ｘ＋ｙ＋０方向へそれぞ゛れ微ｉＰＩ＋
調整可能な、ステッピングモータ（図示せず）内蔵の微
動テーブル８ａ、８ｂ、８ｃを具備した位置決めテーブ
ルである。さらに詳しくは、Ｘ微動テーブル８　ａ　ｊ
：に固定されたクランプ機構：）；３の固定部３３ａの
額縁状枠保持部３３ｃｍＨに、クリーンシート土の額縁
状枠２を載置し、この額縁状枠２　（７）２辺にｎｆ動
部：３３１）　、　：ｉ３　’ｂを当接し、はねＪ　５
　）　：’、Ｉ　Ｊの圧縮力によって（可動部３３１：
ｌ　、はね；Ｉ５は、信女する方向に２絹ある）、固定
部３３ａの直交する２−）の基イ（Ｉ”１ｌｌｊ　８　
ｄ　、　８　ｄに額縁状枠２の端面６，７を当接せしめ
てクリーンシーｌ−１をクランプすることができるよう
に構成されている。そして、０微動テーブルｔ’ｓ　ｃ
の下面には、スライド用ベアリンク２８か取付けられて
いる。

位ｆｉ”ｉ決めステージ４０の上方には、この位置決め
ステージ６０　（、こＪろるにｊ置決めテーブル８」二
のグリーンシー１〜」の１．ＩＪ　ｒ（！！六５を観察
することかできる４台のテレビカメラ１０があり、これ
らのテ［／ヒカメラ］０には、こＡしらテ１ノヒカメラ
１０による基準穴５の映像１３をモニタすることができ
る、４個のカーソル線１２のある１２インチのモニタテ
レビ１］が１妾続されている。

２１は、ガイドビンｚ２を立てた接着Ｆ冶よ１，３１を
載置固定することかてき、ステッピングモータ内蔵の高
さ調＋ｉ′イ機構（１７１示ぜず）を具備し、Ｚ方向／
＼微動調ｆＡ可能な積Ｊφ１１チーフルである。そして
、この積層チーフル２１の下面には、スタイ１〜用ベア
リンタ（図示せず）か取付けられている。接着１・冶具
３１には、１６本のカイ１〜ビン２２が一壺ててあり、
そ−＼ の直径（１は、グリーンシー１−１に穿設するカイ］・
穴に対して、片側クリアランスＣが約１０μ丁口とれる
太さになっている。また、接着下治具３１の側壁は、グ
リーンシー１へに対して片側クリアランス／ＩＱμｒｎ
であり、また特に開口部には止金型１７及び接着上治具
板：１２の挿入を容易にするために、ｔｌｚｉ取りをほ
どこしである、。

２９は、−］二型１７と１ｚ型１６とからなる金型を具
る：１１シた力、イト穴明は外周切断機構であって、前
記金４１゛１は、該カイト穴明は外周切断機１ｉ１７２
９内に設けたカイト穴明は外周切断５＋１（積層ステー
ジ４１　（第３図参照）において、位置決めチーフル８
（ガイ１−穴明は外周切断兼積層ステージ４１に位置決
めぎわだ位置決めチーフル８ｏ位置決めについては後述
する）に載置固定されているグリーンシート１にガイ１
へ穴］ａの穴明は加工と外形打抜き加工とを同時に行な
い、打抜いたグリーンシー１−１を」二型１７の真空吸
着板２０に吸着することができ、且つその吸着したグリ
ーンシー１−４のガイド５′く１ａを積層チーフル２１
（ガイｌ−穴明は外周切断兼積層ステージ４に位置決め
された積層テーブル２１）上の接着上治具板３１のカイ
１くピン２２へ挿入して積Ｉ−することかてきる。１さ
らに詳しくは、」二型１７は、ガイド穴明はポンチ１４
と、外周り断用ダイ部１５と、前記ガイド穴明はポンチ
１４か摺動する穴明（″ｊポンチ摺動孔かｇｉｉＱされ
ストリッパブレー１〜２７と、このストリッパブレー１
・２７の１・面に取付ζづられた、真空吸着引用穴３９
か穿設されている真空吸着板２０とからなっている３、
そしてこの−ｈ型１７は、押し引き兼用のエアシリンタ
１８のロッ１（の下端に連結されたタロスヘソｌ’：ｌ
（ｉに取付け！もれており、前δ己ロッ１くの伸縮によ
って」ニド動することができる。下型］６には。

グリーンシー］−１のガイド穴Ｌ　Ｌ＋を打抜いたとき
に生ずる抜きかす３７を下方へ落とすためのかす落とし
穴：３８か穿設されている。このト型１６は、ステッピ
ングモータ１［］の動作によって一ヒ下動することがて
きる６、そして、ガイド穴明はポンチ］４と下型１６と
によってカイト穴１ａの穴明は加工を、下型１もと外周
切断用ダイ部１５としこよって外形の打抜き力ＩＩ　ｉ
Ｔ、を、同時に１Ｊなうことかできる。

積層７（６備ステージ４２の上方には、との積ｊ〜ステ
ージ４２にある積層チーフル２１上の、打抜いたクリー
ンシ−１−Ｉ＋の基準穴５を観１察することができる４
台のテレビカメラ２；３かあり、これらのテＩ）しカメ
ラ２；；には、これらテレビカメラ２；３によろ」１い
（ハ穴５の映像２６をモニタすることができる、４個の
カーソル線２５のある］２インチのモニタテ］ノヒ２４
か接続されている。

９は、フレーム３０上に載置固定され、位置決めステー
ジ４０とガイド穴明は外周切断兼積層ステージ４１と積
層準備ステージ４２とを連絡し、その）二を位置決めチ
ーフル８．積層チーツル２１か滑らかに摺動することが
できるカイトレールである。前記各ステージ４０．４］
、、　４２には、そわぞれ位ｆｆｆｉ決め板４０ａ　、
　４１　ａ　、　４２ａか設けられている。フレーム：
３０−にの、位置決めステージ４０の左方（第１図にお
いて左方）には位置決めテーブル用エアシリンダ（図示
せず）が配設されており、該エアシリンダのロッド（図
示せず）の先端か位置決めチーフル８の左側面に連結さ
れている。そして、前記ロツ１くを縮め、位置決めチー
フル８をガイドＩノール９上を人力ｌ＼移動させて、該
位置決めテーブル８の左側面を位ｉｆｌ決め板４０ａに
当接せしめる（第１図の状態）ことにより、位置決めチ
ーフル８を位置決めステージ４０に位置決めすることが
できる。また、的記ロッ１−を伸はして、位置決めテー
ブル８を押し、その右側面を位置法め板４］ｉ＋に当接
せしめる（第：３図の状態）ことに、より、位置決めテ
ーブル８をカイＩ−穴明は外周切断兼積Ｊ（グステージ
４Ｉに位置決めすることができる。

フレーム３０上の、積層準備ステージ４２の右方（第１
１メ［に才ｊいて、７１力）には■前層チーフル用エア
シリンタ　（図示せず）か配設されており、該エアシリ
ンダのロツＦ　（図示せず）の先端が積層チーフル２１
０右側１ｎ１に連結されている。そして、前述したと同
様にして、積Ｊ１グチーフル２１ヲカイド穴明は外周（
ジ月１７ｉ′兼積層ステージ４］、積層準備ステージ４
２に、それぞれ位置決めすることかできる。

搬送装置は、ｒ’＋ｉｆ記カイ１〜レール９２位置決め
テーブル用エアシリンタ、積層テーブル用エアシリンダ
から構成されている。

以上のように構成した積層装置の動作を説明する。

耐ｊ記位置決めテーブル用エアシリンダを作動させ、そ
のロッドを縮めて、位置決めテーブル８の左側面を位置
決め板４０ｔｉに当接せしめ、位置決めステージ４０に
位置決めする（第１−図の状態）。

額縁状枠に取付けられ、設計位置に４個の基〆（１！穴
を穿設した金属性マスク（図示せず）のＩ）汀記額縁状
枠を、位置決めテーブル８の額縁状枠保持部３３ｃ上に
載置し、前記額縁状枠の２辺に可動部３３ｂ　、　：ｌ
’、ｌ　ｂを当（妾し、ばね：３Ｊ１　：１５の圧縮力
によって固定部；３３ａの基準面８ｄ、８ｄに前記額縁
状枠の２端而を当接して、前記金属性マスクをクランプ
する。

この金属性マスクの前記基準穴をテレビカメラ］０で観
察し、それらの映像をモニタテレ上１２上に映し出す。

この映し出された基準穴の外周にカーソル線１２を合わ
せる。

また、前記金属性マスクに］６個（クリーンシー］・１
に穴明けするカイ］・穴」ａと同じ個所２個数。

大きさ）のカイト穴を穿設したものを、積層準備ステー
ジ４２に位置決めした積層テーブル２１上の接子１ド治
具；３１に、前記カイ１〜穴をカイトビン２２に挿入し
て１１・眉１′ｒシ、この金属４ノ１マスタの６１ｆ紀
基準六をテレビカメラ２３て観察し、それらの映像をモ
ニタテレし２４−１−に映し出す１．この映し出された
」、（型穴の外周にカーソル線２５を合わせる、１次に
、この金Ｊｓｐ、ｉ性マスタを位ｉｉＺ伏めチーフル８
及び接ネ（１１・／ｆｒ旦：（１から取外し、代りに、
積層すべきグリーンシー１−１を１枚載置し、さきと同
様にしてクランプする。

ここで積層装置をＯＮにすると、テレビカメラ１０によ
り、位置決めチーフル８上のクリーンシー１−　ｉｔの
基準穴５が撮影され、その映像１３かモニタテレビ１　
］、　Ｊ二に映し出される。微動テーブル８ａ。

８ｂ、８ｃの］）イＩ記ステツビンクモー夕か作動して
、映像１３か所定誤差範１川でカーソル線１２内に入る
ように調整され、この調整が終ったら、微動チーフル８
　；ｉ　、　８　ｂ　、　８　ｃかクランプされる。前
記位置決めテーブル用エアシリンダのロツ］−か伸び、
クリーンシー１〜１を載置した位置決めテーブル８かガ
イドレール９」−を右方（第１図において右方）へ移動
（）、カイト穴明Ｇプ外周切断機構２［〕内のカイト穴
明は外周切断兼積層ステージ４１の位置決め板４１εｌ
に位置決めテーブル８か当接して停止１〕する。

ステンビングモータ１９が作動し、下型１６がｌＪｌシ
て、その上面がグリーンシー１−１の下面に接触して停
止する。、エアシリンダ１　Ｂかイ１」すｊし、−］す
（１！１７が［降して、カイト穴明はポンチ１４と、下
型１０とによりグリーンシート１にガイド穴１ａが穴明
けさ才Ｉ、ろとともに、外周ｌ切断用タイ部１５と下型
Ｉｆｉとによりクリーンシ−］・１−の外形が打抜かれ
て額縁状枠２から分離さオしる３、これと同時に、」−
型１７の真空吸λ′ｉ板２０が作動して、打抜かれたク
リーンシー１−］かその真空吸着板２０に吸着され、カ
イ１へ穴１３〕の抜きかす３７がかず落とし穴３８から
下方へ落ちる。、そして−］二型］７が−Ｌ　：ｔ’ｌ
’　して初期位置へ戻る。

ｌ’ｌ’ｌ　ｉｔ＋４＋＋決めテーブル用エアシリンダ
のロットか縮んで、位置決めテーブル８がガイドレール
９−１−を左方へ移動し、イ〜ソ置決めステージ４り）
に来ると、位置決め板１１０ｒ酉二当接して停車する。

、そして、位置決めチーフル８］−に残されている、分
離された額縁状枠２か除去されろ。下型１６が初期位置
まで下降する。

１′１１４′記拭１１クチ−フル用エアシリンタのロッ
トが伸び、接着下治具：）１を載ｉｉ′（固定した積層
チーフル２］かカイＩ−１ノールε〕］を左ツノへ移］
ｖノし、ガイド穴明＋−Ｊ外周切断兼積１ｉ’ｌステー
ジ７１１の位１１−ｊ失め板（図示せず）しこ積層チー
フルｚ１か当４妾して停止１−する１、１−型１７か＋
：　＋＋＞　Ｌ、、」′−Ｌ空吸Ｊ＋Ｎ２０ニ吸ｆｆ７
　サｔＬテイル、」］抜かれたクリーンシ−１・１のカ
イ）−穴＋　８か接着−丁；治具板３１のカイトビン２
２１＼１萩まり、さらにそのカイ１〜ピン２２か下型１
７の穴明はポンチ摺動孔内へ抽入され−Ｃ行＜３．そし
て前記クリーンシー１・］か接接着下治具板の上面（次
回以降は、前回積層したクリーンシ−１・の上面）に接
触すると、停止する６、ぞの際多少のハ：縮力かクリー
ンシーｉ・に加わるａ　」ｌ］、空吸引か＋、、’Ｊ扛
、」′（空吸引用穴３９がら空似か吐出され、クリーン
シー１−１が真空吸着板２０から離才して接着下治具板
３１」二に積層される。上バ“１１７か初期位ｉ直へ戻
る。前記積層テーブル用エアシリンダのロットが縮み、
積層テーブル２］がカイトレール９−」−を右方へ移動
し、積層徨１備ステージ４ンの位置決め板４２＋＋に当
接して停止する。。

テＩノ１ニカメラ２３により、ｆＡ　Ｊ？Ｗチーフル２
１＋のクリーンシー１・１の１、い隻穴５が撮影さ、Ｉ
シ、その映像２６がモニタテレビ２４」−に映し出され
る１、そして、その映像２Ｇとカーソル線２５との誤差
が所定誤ｉ（範［川であれは、１）１１記高さ調整機構
か作動して、積層チーフル２１の高さかクリーンシー１
−１の厚さだ心づ低くなる３゜ 次に、位置決めチーフル８上に２枚目のグリーンシー１
−土を載置し、こ才しをクランプ機構：＋３によ−）て
クランプする。以降、さきと同様の動作によ−）で、接
着上治具３Ｉ上に２枚「Ｉのグリーンシート１が積層さ
れ、ニオしが繰返えされる。映像２６とカーソル線２５
との誤差が所定誤差範囲外であれば、そのクリーンシー
１・を甘味する１、このようにして所定枚数のグリーン
シート］の積層か終了したら積層装置か０１・■パにな
る。

積）ｆグチ−フル２１−１−から、前記所定枚数のクリ
ーンシー１・１を４省層した接着］・治具３１を取出し
、その七に接：ｉ？　、−に−治具板：３２を載置しく
第４図参照）、ホットブ１ノスを使用して加熱加圧す才
しは、所望の多ＪＰ’ｔセラミック基板か得られる、。

この接着条件は、加圧力か４０　ｔ　ｌ：ｌ　ｎてあり
、加熱温度か［４０°（二である。

なより、本積’、　Ｉ（’ｊ力ｄ、及び木粘層装置を使
用して積ＪＦＩを実ｊＭ　したときの積層精度について
膚及すると、この積ｊビ１装置コｉの構成要メ・ミのそ
才しそれの機械的停止１省反か±４μ＋１１以］・であ
る。モニタテレビ］Ｉ、２４は、１００倍の像を１２イ
ンチのブラウン管」二に写し出せるようにしであるので
（カーソル線１．２．２５は７ラウン管ｌ＝　テ約０．
６ｍｍ１ｉ　）　、　ソ（７）解像度力０μｍとなり、
フラウン管上での位ｉｉゴ合わせ精Ｊｉを±６μｉＹｌ
に抑えることができる。前記機械的停止１省を含めても
、積層！＋’ｉ度は±１０μｍ」メ下である２゜接λ’
ｉ′精度について１ま、カイトピン２２の本数が１６本
の１妾若［ζ治具扱：３１を使用し、）″［側クリアラ
ンスＣを約１０μＩｎにしたので、接着時の最大の層間
ずれδは］０μｍ以下である。

したかって、＠層時の位置すれと力［１熱加圧時の位置
ずれとの和である層間ずれを、２０μｍ以１・に抑えろ
ことができる。

また、従来、第５図に示す接着後のｔ「ｌ内の最入ふ（
れ△Ｑは、接着ド治具：３１の側壁：ｌ］ａか無い場合
には、約２１１１１１１てあり、また第６図の側ｒｆｒ
ｉ図に小すようにたる形にふくオ（、ていたが、本発明
による接着下治具：′１１を用いることにより、第７図
に示すようにふくれは：３０μｍ以−１−であり大１＋
＋＋に精度か向上しており、また、第８図に示すように
たる形のふくれもほとんど無くなっている。

以」−説明した実施例によれば、接着下治具板：３１の
カイトピン２２の本数と、クリーンシー）・１のカイ１
〜穴１ａと前記カイ１〜ビン２２のノ“１側クリアラン
スＣとを適正値に選び、グリーンシート１を、ガイド穴
１ａを穴明けしたその位置で接着下治具板：（ｌ上に積
Ｊ−するようにしたので、１１０間すれのきわめて小さ
く面内の変形もきわめてもきオ）めで小さな多Ｊ〜セラ
ミック↓ｌ（板を製造することかできるという効果かあ
る。

したかっで、オーブン不良（隣接するクリーンシ−］−
で、バイアホール８間て導通がとれない不良）、ショー
１〜イ・良（１１μ目妾するクリーンシ−１〜で、バイ
アホール３３と配線パターン４とが短絡する不良）の発
生かｒ’＋’：　＜、超高密度パターンの多層セラミツ
タ基板かＲられと〕。

また、グリーンシート１を、額縁状枠２に取イ・」けて
取扱うようにしたので、晶夕゛リーンシー１へ１か搬送
中などに岐損するおそれはなく、歩留りか向セする。加
え−Ｃ、カイト穴１ａの抜きかす３７を下方へ落どずよ
うにしたのて、抜きかす３７によってグリーンシー［・
」の面を傷めることもない、という利点がある。

なお、本実施例においては、クリーンシー１−」−に基
準穴５を４個穿設したか、必ずしも４個でなくともよく
、２個以北あればよい。しかし１．ｉ、（Ｋ＋４六５の
個数は多いほど積層精度がさらに向」ニする、。

また、本実施例によれは、クリーンシ−１−ｆ、のＪｊ
（型穴を用いて位置合わぜするのでグリーンシートの穴
明け、導体配線印刷などのプロセスにより発生する各ｍ
個々のシートの変形等に伴う−・」法度化を最終工程の
積層時に吸収し、最終的に層間ずれを低減できる効果が
ある。

また、本実施例において位置合わせにトリル加二にした
基準穴を用いているか、その、ｉＩ！；型穴はパンチで
打抜いた穴でも良（、まノと、グリーンシー１へ」二に
印刷された丸や線状のパターンてもかま、ＩＪない１ｉ
　’％’ｌｊずろに、テレビカメラで識別できろ形状で
あれば特に形に依存しない。

またさらに、本実施例では、モニターテレビ−１゜のカ
ーソル線と被写体像の基準穴とを目視で位［ご合わぜし
たが、これをコンピュータを用いて画像処裡して自動的
に位置合わせること、また、その位置合わせに最小２乗
法なとの統計的な手法により位置合ね＋３：誤差を最小
化することは当業者であれば容易に行い得ることであり
そのようなす段を用いて自動化することは、本発明の経
済的効果を一層＋’ｉ□１１めるものである。

また、さらに、本発明の一実施例において、額縁にｌ’
Ｌ’ｉす（Ｊ’　＋Ｊたグリーンシー］−を積層順序に
従って１１　ｉｌＪ的に供給する機構を追加すること、
また、そのｌ楚にクリーンシーｌへのＪ（−１Ｎ＋＋、
　’＝’ｒをハーニ−１−笠の手法を用いて識３７１１
することはさらに−・層の自動化に役＼７つものである
か、特にその部分に新μ目）１はない、。

本発明に、ｊＳける他の実施例として、第１図の実施例
にお（づろ位１１ｉ伏め月１のテｌ、ノヒカメラと積層
確認用テレビカメラを共通化してカイ］・穴明しづ外周
切断用金型内に組込んだものである。本実施例におりる
積層ｎまてに到る手ＪｌｌＪｉは、先の第１−図の実施
例と大きな差はない。この際、カイト穴明けを省Ｂ＜　
Ｌ、でもかまわないか、精度」−、カイ１くビンを用い
た方が良い、。

また、さらに、本発明における他の実施例として、カイ
ト穴明けを省略して、外周切断のみとし、外周切断金型
内に、位置決め及び積層位置確認用のテレビカメラを設
置し、さらに位置決めステージを前出の外周切断金型ｌ
ト動ブレス機横内に設置ｄし、さらに接着下治具を、外
周切断型のタイ側の下に設置し、位置決め、外周切断、
積Ｊｌ′７１１．積１ｅ１（イ１゛ｄ忍をブ１ノスの一
スＩヘロータ内で終了さぜる力′θｔである、こ才しに
より、積層」１程の大幅な時間り１１縮か旧れるが、た
だし、グリーンシー１−の外周打抜き時に発生ずる微小
なカスの巻き込みがあるので、多少グリーンシー１−を
太き［１にして、カスか配線バ°ターン−１−４に入り
込まないようｊ・こする］−夫か必要である１゜ 〔発明の効果〕 本発明によれば、グリーンシートのＷｔ１間ずれを２０
μｍ以下に低減てきるのて、多Ｗ）セラミックス基板の
歩留りを従来より大幅に向上し、歩留不良を○にできる
。

また、本発明によれば、校了１後の面内のふくオしを３
０μｒｎ以下に出来るので、ＩＣチップ搭載時における
搭載不良をＯにてきる３゜ また、さらに、層間位置精度が高精度にできるので、ク
リーンシーｊ・の配線パターン間隔を従来の１／２以下
にできるので、全体として従来より４倍実装密Ｊ！ｙの
高い多層セラミックス基板か実現できる３゜

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係る積層装置を示す略示
１−１′、曲１′！、１、第１）、し１は、第１１メ１
１．こＪ−９けるクリーンシー１・の斜ハ１（図、第；
３図は、第１図にお（つる金４１１１と、こＪしによイ
）前記グリーンシー１〜の打抜き状態を示す詳細断面図
、第４図は、本発明によと）接着冶」１、の断面図、第
５図は、従来技術より接、？１した多）１″クセラミノ
タス基板のΔＦ　ｔｆｉｉ　ｌ）λ［、第６図は、第５
１ズｊの／＼−八′へ視ｌＯ？　ｌｆｔ、ｉ図、第７図
は、本発明による一実／＞ｉ！ｉ例により接着した多層
セラミックス」１（板の中面図、第Ｈ３図は、第７１″
Ａ１のＩ’−１’ｌ　’矢視１１〕ｒ山ｊ図である３゜ １　グリーンシー１へ、　　１ａ・・ガイド穴、２　額
林状枠、　　　　５・・・基準穴、８　・位置決めチー
フル、８　ａ　−ｘ微動テーブル、８ｂ　・ｙ微動テー
ブル、８ｃ　・０微動テーブル、８（」・・１ｋ”＋り
而、　　　　　９・・・ガイ！−レール、］０・テレビ
カメラ、　　１］　モニタテレビヒ、ガイ１く穴明はポ
ンチ、 外形打抜き用タイ部、 下４＋、ｉｌ、　　　　　　　１７・−１−型、真空吸
着板、　　　２１・積ＪＦｉチーフル、ガイドピン、　
　　２３・テレビカメラ、モニタテレビ、 カイ１く穴明は外周切…「機ｔ（１’？、接着ド治具板
、　　３２・・接若上♂ｉ具板、・・佃（壁、　　　　
　　４０・・・位１？：ｉ訣めステージ、ガイ１−穴明
は外周切断兼′Ｍ、層ステージ、・積層７１１（備ステ
ージ、。 あ 第４ 晃 目 祐 乙 国

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １．グリーンシートにガイド穴を穴明けし、接着下治具
   板に立てたガイドピンヘ前記ガイド穴を挿入することに
   より、グリーンシートを順次積層し、その上に接着上治
   具板を載置したものを加熱加圧して多層セラミック基板
   を製造するようにしたシート積層法による多層セラミッ
   ク基板の製造方法における前記積層に使用する積層装置
   において、額縁状枠に取付けられ、少なくとも２個の基
   準穴を穿設したグリーンシートの当該額縁状枠を、基準
   面に当接せしめてグリーンシートを載置固定することが
   できる、ｘ，ｙ，θ方向へ微動調整可能な位置決めテー
   ブルと、位置決めステージにある前記位置決めテーブル
   上のグリーンシートの前記基準穴を観察することができ
   るテレビカメラと、このテレビカメラによる前記基準穴
   の映像をモニタするモニタテレビと、ガイドピンを立て
   てあり、かつグリーンシート接着時にグリーンシート端
   面のふくれを拘束することが可能な側面を有する接着下
   治具板を載置固定することができる。ｚ方向へ微動調整
   可能な積層テーブルと、ガイド穴明け外周切断兼積層ス
   テージを有し、このステージで前記位置決めテーブルに
   載置固定されているグリーンシートにガイド穴の穴明け
   加工と外形抜き加工とを同時に行ない、打抜いたグリー
   ンシートを上型側へ吸着することができ、且つその吸着
   したグリーンシートのガイド穴を前記積層テーブル上の
   接着下治具板のガイドピンヘ挿入して積層することがで
   きる上型と下型とからなる金型を具備したガイド穴明け
   外周切断機構と、積層準備ステージにある前記積層テー
   ブル上の、打抜いたグリーンシートの基準穴を観察する
   ことができるテレビカメラと、このテレビカメラによる
   前記基準穴の映像をモニタするモニタテレビと、前記位
   置決めテーブルと積層テーブルとを移動可能に載置し、
   前記位置決めテーブルを前記位置決めステージとガイド
   穴明け外周切断兼積層ステージとの間で搬送することが
   でき、且つ前記積層テーブルを前記積層準備ステージと
   ガイド穴明け外周切断兼積層ステージとの間で搬送する
   ことができる搬送装置とを有することを特徴とする多層
   セラミックス基板の積層方法。