JPH044756U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH044756U JPH044756U JP4501390U JP4501390U JPH044756U JP H044756 U JPH044756 U JP H044756U JP 4501390 U JP4501390 U JP 4501390U JP 4501390 U JP4501390 U JP 4501390U JP H044756 U JPH044756 U JP H044756U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mounting section
- semiconductor
- evaluation device
- circuit
- forming board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 9
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例による半導体評価
装置の構成を示す側面図である。第２図はこの考
案の他の実施例による半導体評価装置の構成を示
す側面図である。第３図は従来の半導体評価装置
の構成を示す側面図である。 図において、１は温度調節器、２はヒーテイン
グブロツク、３は測定用治具、４はコネクタ取付
治具、５はコネクタ、６，７は誘電体基板、８は
高周波特トランジスタ、９は半導体素子搭載用治
具、１０は誘電体基板搭載用治具、１１は低熱伝
導率基板、１２は高電導率素材膜である。なお、
図中、同一符号は、同一または相当部分を示す。
装置の構成を示す側面図である。第２図はこの考
案の他の実施例による半導体評価装置の構成を示
す側面図である。第３図は従来の半導体評価装置
の構成を示す側面図である。 図において、１は温度調節器、２はヒーテイン
グブロツク、３は測定用治具、４はコネクタ取付
治具、５はコネクタ、６，７は誘電体基板、８は
高周波特トランジスタ、９は半導体素子搭載用治
具、１０は誘電体基板搭載用治具、１１は低熱伝
導率基板、１２は高電導率素材膜である。なお、
図中、同一符号は、同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 半導体搭載部と、前記半導体搭載部の両側に、
回路形成用基板搭載部を備えた半導体評価装置に
おいて、前記半導体搭載部と前記回路形成用基板
搭載部の間に、熱伝導率の低い素材からなる熱遮
断部を備えた半導体評価装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4501390U JPH044756U (ja) | 1990-04-26 | 1990-04-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4501390U JPH044756U (ja) | 1990-04-26 | 1990-04-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH044756U true JPH044756U (ja) | 1992-01-16 |
Family
ID=31558823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4501390U Pending JPH044756U (ja) | 1990-04-26 | 1990-04-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH044756U (ja) |
-
1990
- 1990-04-26 JP JP4501390U patent/JPH044756U/ja active Pending
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