JPH04500300A - 小型単相電磁アクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の名称 小型単相電磁アクチュエータ 発明の背景 本発明は、少なくとも電流不在のときに安定位置を有し且つ可動部材と固定子構 造体とを含む単相電磁アクチュエータであって、可動部材が、変位方向に垂直に 磁化される部分を含んでおり、その磁化部分の厚さがその他の寸法と比較して小 さい単相電磁アクチュエータに係わる。固定子構造体は、極めて透磁率の高い材 料でできており且つ少なくとも１つの磁化部分がその中に配備されている空隙を 有する２つの磁気回路を含んでいる。固定子構造体は少なくとも、磁気回路に連 結された電磁誘導コイル（ｆｉｅｌｄｅｌｅｅｔｒｉｃａｌ　ｃｏｉｌ）を含ん でいる。

従来技術 １９８７年６月１日出願の国際特許出願第ＣＨ−８７−０００６３号（優先権１ ９８６年６月２日出願のスイス特許出願第２２２８８６号）は、実質的に一定の 力で可動部材を限定された距離だけ移動させ得る電磁作動装置を開示している。

この装置は特に、ハードディスク、磁気ディスクまたは光ディスクといった回転 ディスクメモリの読取り−書込みヘッドを作動化することを目的としている。

このアクチュエータ装！は幾つがの主な欠点を有する。

まず、磁気回路の閉鎖は、固定子構造体の後方、即ち可動部材の変位経路に垂直 に配備されているが、または可動部材の変位経路と平行な下面内に配備されてい る磁気接合子によって実施される。いずれの場合も固定子構造体全体の寸法が実 質的に増大し、ハードディスク装置の場合のように特に容積が重要となる多数の 超小型機器用途に不利となり得る。このようなアクチュエータは特にハードディ スクにおいて諺取りヘッドを変位させるために使用される。

面も増大−（る小型化への要求によって、密肩された固定子構造体を含むアクチ ュエータは使用できなくなりつつある６他方で多数の用途において可動部材は、 電気コイルの起電力がないときには可動部材が安定位置に維持されている。しか しながら可動部材をこの安定位１に固定する力は、アクチュエータの正常動作を 妨害するであろう過度の密着を避けるように制御されねばならない。この特性は 、例えばアクチュエー々が製図台のペンを制御することを目的とする場合などに 重要である。この場合にはプロット用ペンは、電流不在のときは上昇位置、即ち 電流がペンを高い位１に動かした後には用紙から離れた位置に維持することが好 ましい。

従来の公知の装置においてはこのような結果を得るためには、規定された力を有 し且つ極めて剛性の小さいばねが使用されている。しかしながらこの解決策は、 ばねの力が永久的に作用するが故に全く申し分のないわけではない。

即ちばねの力は、電磁アクチュエータによってかけられる力を妨害するのである 。他方で、理論的には同一のばね群の物理的特性の相違によって、書込み力が弱 い場合には許容公差を越える書込み力の変動を生じる０例を挙げると、ペンに与 えられる書込み力が約０．５ニユートンであり且つばねがおおよそ０．１ニユー トンの許容差で０．８ニユートンに較正されているとすると、かかる許容差は書 込み力におおよそ２０％の変動を生成する。

発明の要約 従って本発明の目的は、上記欠点を解消し、且つ、広い有効変位範囲にわたって 一定の力をかけることができ、必要とされるスペースは最小であり、しかも（こ の位置で可動部材が）　“保持”されることになる限界ストップ点を有しており 、更に可動部材を動かすためのｔ涜が印加された後には“保持”位置から離脱さ せ得る新規の電磁アクチュエータを提供することである。

このために本発明の単相電磁アクチュエータは、その変位方向に垂直に磁化され る少なくとも１つの１い部分を有する可動部材と、その内に空隙を規定する固定 子構造体とを含む、かかる空隙は、一方では極めて透磁率の高い材料でできてお り且つ可動部材の変位方向に垂直に向けられた少なくとも１つの通電用の電磁誘 導コイルと含む第１の磁気回路と、他方では極めて透磁率の高い材料でできた第 ２の磁気回路との間に含渡れる。可動部材は、動作範囲の大部分で実質的に直線 形である消磁特性及び空気のものに近い反転可能な透磁性を有する材料でできて いる磁化部分を有する。磁化部分はＮ対の磁化磁極を有する。磁化は反対向きで はあるがほとんど均一であり、可動部材の変位経路に沿って測定して長さ）′６ に延伸する。固定子構造体は、空隙の少なくとも一方の側部に、可動部材の変位 経路に沿って測定したその長さがそれぞれ）′１、Ｙ２及びＹ、である２Ｎ＋１ 個の磁極部分を含んでおり、各長さは実質的に及び少なくとも、ＹＡからコイル が位置する切込み部の幅を引いた長さに笠しい、固定子部分を形成する両磁気＠ 路は磁性接合子によって連結されているのではなく、非磁性スペーサを介して連 結されている。可動部材のストロークは最大でも最小磁極部分に等しい、中間位 置の両側での可動部材のストロークは、その２つの外側側方檎かけ部間で測定し た最小磁気回路の全長（長さ合計）と、磁性部品の全長との差の半分より小さい のが好ましい、驚くべきことにはこのように形成されたアクチュエータは、コイ ルがある切込み部での鉄の断面の流路が十分であるならば、磁気回路を介して磁 気回路を閉鎖ぜずども可動部材の変位経路に沿って一定の力を与える。

本発明の有利な実施態様では、少なくとも１つの磁極部分が、可動部材の変位方 向に垂直な面取り部を有する。端部ストップは、保持力が低下する端部領域内に 磁化部分が変位するのを防止する。

前述の実施態様の変形においては、少なくとも１つの磁気回路の少なくとも１つ の側方ストップと、磁化部分の対応する側方縁とがそれらの開に０〜１０度の角 度をなす。

側方スト・ツブは、変位方向及び磁化方向に実質的に垂直なストップを意味する と理解されたい。

この面取り部または傾斜した側方ストップによって縁の作用を規制することがで き、可動部材の移動経路の少なくとも一方の端部においては保持力が保証される 。このように本発明の装置は、特に単純な方法で、ばねのようないかなる機械的 部品も加える必要なしに電流不在のときに安定値１を得るという問題を解決する ０本発明の装置は、例えば製図代用のペン、前管の弁または油圧調整弁の縦方向 変位などの多数の用途を見い出し得る６本発明の装置は、多数の形態で実現する ことができ、固定子構造体及び可動部材の両方が種々の形状を呈することができ る。

ストップは、外側部分ではあるがアクチュエータの中心に向かって変位経路に沿 って測定して空隙の幅Ｅより小さい距離のところに備えるのが好ましい。

特定の実施Ｒ様においては磁化部分は円筒形形状を有し、しかも半径方向で互い 違いの向きに磁化される２Ｎ個の同軸磁化部分を含む、磁化部分は、第１の磁気 回路と第２の磁気回路とを境界とする管状空隙内を移動する。

円筒形または管状とは、例えば円、正方形、多角形などの任意の断面を有する構 造体を意味すると理解されたい。

変形態様においては第２の回路は、円筒形磁化部分と一体的な極めて透磁率の高 い材料でできた円筒からなる０円筒形磁気回路の長さは少なくとも、第１の磁気 回路の長さと可動部材のストロークの和に等しい。

特に寸法の大きい構造体に有利な実施態様においては可動部材は、各々が変位方 向に垂直に磁化される２Ｎ（Ｎは整数）個の部分を含む２つの平行な薄い磁石を 含み、これら２つの薄い磁石はスペーサＰ介して連結されており、両薄い磁石の 間に含まれる空間の少なくとも一部が、極めて透磁率の高い材料で充填されてい る構造体からなるやこのように構成された可動部材は有意な剛性を有する。

この変形態様に従って構成される電磁アクチュエータは極めて容易に取り付けら れる。

第１の磁気回路と第２の磁気回路とは、磁化方向に垂直な可動部材の磁化部分の 中央面に関して対称であるのが有利である。

第２の磁気回路は別個の固定子磁極を含み得ない、この実施態様により、磁化部 分が端部ストップのところにあるときにその磁化部分にかかる力の強さ及び振幅 は小さくなる。

磁化部分の長さＹＡと空隙Ｅの厚みとの比は４より大きいのが有利である。そう すると、力が一定である領域がより拡張される。

別の態様においては磁化部分は、円形断面を有する２つの薄い円筒面の部分から なり、これら２つの部分は、中央の母線に関して対称をなし且つ半径方向で反対 向きに磁化され、この場合には可動部材の変位は、この円筒の軸の周りの角度変 位である。

有利な実施！ｇ様においては面取り部の長さは、対応する部分の長さの１１５〜 １／２０である。

他の実施＊ｍにおいては可動部材は、円盤部材の平面に垂直に磁化される部分を 含む円盤部材のセクタで構成される。この磁化部分は、反対向きに磁化される円 盤部材と同軸のリングを形成する２Ｎ個のアンギュラセクタを有する。

少なくとも一方の磁気回路は、その角度の大きさが可動部材の磁化されるアンギ ュラセクタの大きさに対応しているアンギュラセクタで形成される２Ｎ＋１個の 磁極部分を含んでいる。

このようにして磁束を閉鎖するための磁性材料がないことから、要求されるスペ ースが極めて小さい偏平な回転式アクチュエータが構成される８このようなアン ギュラアクチュエータは特に、ハードディスク装置のヘッドを担持するアームを 駆動するのに適用される。

図面の簡単な説明 添付の図面を参照する以下の説明から本発明はより完全に理解され、本発明の長 所も容易に明らかとなるであろう。

図１は、本発明の’［！形アクチュエータの中央断面図であり、 図２は、図１のアクチュエータの別の実施態様の断面図であり、 図３は、第２の別の実施！！！様の断面図であり、図４は、本発明の円筒形回転 式アクチュエータの中央断面図であり、 図５は、本発明の別の回転式アクチュエータの断面図であり、 図６は、力対変位の曲線を示すグラフであり、図７は、円筒状直線形アクチュエ ータの断面図である。

先帆座■１ 幾つかの図面を通して同じ参照番号は、同一のまたは対応する部品を示す、まず 図１には本発明の実施例、即ち可動部材（１）と固定子構造体（２）とを含む直 線形アクチュエータの断面図を示しである。可動部材＜】）は、矢印（５）で示 された変位方向に垂直に磁化される１い礎石で形成されている２つの磁化部分（ ３，４）で形成されている。可動部材（１）は、連結ライン（６）に沿って接着 された２つの薄い磁石で構成することができる。磁化部分（１）は更に、２つの 反対方向磁化領域が誘導される一体的な強磁性材料から構成することもできる。

後者の場合には中間遷移領域が設けられる。

固定子構造体は、それらの間に空隙を規定する第１の磁気回路（７）と第２の磁 気回路（８）とを含む、この空隙の幅Ｅは、可動部材（１）の変位方向に垂直に 配備される非磁性棒部材でできたスペーサによって調整される。締付はボルト（ 図１では示していない）が、このように構成される固定子構造体のブロッキング を提供する０図１には示していないが他の実施態様においては両磁気回路（７， ８＞は、アクチュエータの外側ケーシングを形成する剛性プラスチック材料製の シェル内に保持される。磁気回路（７，８）は、鉄−ニッケルのような極めて透 磁率の高い材料でできている。第１の磁気回路（７）は３つの磁極部分、即ち中 央磁極部分く１０）と２つの側部磁極部分（９，１１）とを有している。２つの 横断面の輪郭で表された２つの環状切込み部（）、２．１３）は、電磁誘導コイ ル＜１４）’ｉ＝収容するために備えられている。第２の磁気回路（８）は、可 動部分（１）の中央面に関して第】の磁気回路（７）と対称である。

両磁気回路は非磁性スペーサ＜３０．３１）を介して連結されており、該装置は 、磁束の閉鎖のためのいかなる磁性部分をも包含しない。

図１に示したように、磁気回路（７，８＞は、側部磁極部分（９，１１，１９， ２１）の外側縁に沿って面取り部（２２゜２３．２４．２５＞を含む。これらの 面取り部（２２〜２５）は、可動部材（１〉の変位経路及び磁化部分（３，４） の磁化方向に垂直な長さＹｃのストリップで構成されている。かかる面取り部（ ２２〜２５）は磁化部分（３，４＞の磁化方向に垂直な平面と約３０’の角度を なす。かかる角度の値は単に例として与えたものである１面取り部の長さＹＣが 小さいかまたは面取り部の角度が小さければ、可動部材がそのストロークの端部 にあるときには該可動部材にかかる戻りの力（ｒｅｌｅａｓｅ　ｆｏｒｃｅ）は 大きい、他方で１面取り部（２２〜２５）の長さＹｅが大きいかまたは面取り部 の角度も大きいならば、可動部材にかかる戻りの力はより小さくなる。

当業者は、特定の用途に対して最適な条件を決定し得るであろう、かかる条件は 、所望の固定力、一定の力がかかる領域における許容公差、可動部材が限界スト ップのところにあるときに可動部材を引離するための許容可能な力との関数とし て検討される。ストップ（３０，３１）は可動部材の変位ストロークを制限し、 可動部材が、戻りの力が最大にまで大きくなった後にまた小さくなる位置を越え るのを防止する６面取り部は丸み付けされた縁の形状に構成され得ることは明ら かである。

Ｙ、及びＹ、は、第１の磁気回路（７）の側部磁極部分の長さである。限定的で はないがほとんどの場合にＹ、とＹ、とは等しい、Ｙ２は、電磁誘導コイル（１ ４）が配置される切込み部＜１２．１３＞間に位置する中央磁性部分（１０）の 長さである。

前述の実施例においては、側部磁性部分（９）の長さＹｌは、中央部分く１０） の長さＹ２に空隙Ｅの幅を加えたものに等しい、磁化部分の長さＹＡは、中央磁 性部分（１０）の長さＹ、にコイルを含む切込み部の長さを加えたものに等しい 。

この実施例に対する変形は、図示しないが、区１に示した構造体を変位に平行な 軸の周りに“巻きつける（ｗｉｎｃｌｉｎｇ）”ことからなる。そうすると、可 動部材が形状は管状で牛径方向で反対向きに磁化される２つの磁化部分（３，４ ＞からなる構成となる。第１の磁気回路（７）は、環状の重なり合った磁極部分 （９，１０，１１）を含む、２つの円形縁（２２，２４）は面取り部（２２，２ ４）を含む、第２の磁気回路（８）は、透磁率の高い磁性材料でできた円筒から なる。かかる円筒（８）は磁化部分（３，４）と一体的であり、そのコアを構成 する。ボールブツシュが可動部材（１）の案内を保証する。ストップ（３０，３ １）は、図に概略的に示したように、可動部材（１）の最大遊隙を保持する。

図２は、可動部材が、スペーサ（１７）によって連結されている２つの薄い磁石 （１６，１８）を含む複合構造体からなる直線形アクチュエータを示す、２つの 平行な薄い磁石＜１６．１８＞の間に含まれる空間は極めて透磁率の高い磁性材 料で充填されている。かかる実施態様は特に、可動部材が剛性の問題を示し得る 寸法の大きなアクチュエータに有利である。当然ながらこの実施態様は、平面状 の可動部材を有する直線形アクチュエータに限定されることはなく、回転式アク チュエータまたは更に、円筒状の直線形アクチュエータにおいて実現することが できる。

図３は、２つの磁気回路（７，８＞と、炭素ファイバまたはステンレススチール のごとき剛性材料て′できた磁石ブラケット〈１７）によって連結されている２ ゛っの平行な薄い磁石（１６，１８）で構成されている１つの可動部材とで形成 された固定子構造体を含む直線形アクチュエータの断面図である。

磁石ブラケットは、薄い磁石＜１６．１８）の平面に垂直な平面内に設けられた 強化リブ（５０）を含む。

２つの平行な磁石（１６，１８）と磁石ブラケット（１７）とで形成された可動 部材の組立て体は並進滑動し得る。このときの案内は、磁石ブラケット（１７） 内に設置された固定剛性柱状部材（５１，５４）によって行われる。かがる柱状 部材（５］、、５４）は、磁石ブラゲッｔ−（１７）の両端部に備えられたボー ルブツシュと協働する。磁石ブラダ・・Ｉト（１７）の中空空間は、中間固定子 （５５，５６）を形成する極めて透磁率の高い材料によって占有されている。こ れらの中間固定子はこの実施態様においては案内柱状部材（５１〜５４）と一体 的であり、両磁化部分の連結ライン及び磁化方向に垂直に配備されている。例え ば磁気ブラダ・・・トと一体的であり、固定ボールブツシュと協働する柱状部材 のような別の案内手段も与えられ得る。このアクチュエータも円筒状または半円 筒状の直線形アクチュエータを提供するために、並進軸に平行な１つの軸の周り に“巻きつける“ことができる９ 図４は、円形断面を有する円筒のアンギュラセクターを占有する第２の磁気回路 （８）を含む回転式アクチュエータを示す。可動部材は、屋根瓦（ｔｉｌｅ）形 状、即ち円筒面の形状の２つの磁化部分＜３．４　）からなる。これら２つの部 分は半径方向で反対向きに磁化される。第１の磁気回路（７）は可動部材及び第 ２の磁気回路（８）と同軸であり、更にその形状は円筒形で３つの磁極（９，１ ０，１１）を含む、を磁誘導コイルは、２つの連続する磁極の間に設けられた切 込み部内に配備されている。ストップ（３０，３１）は可動部材のストロークを 制限する。第１の磁気回路（７）の切込み部に関して対称に設けられた加工部（ ４８，４９）は、可動部材にかかる力のバランスをもたらす。

図５に示した回転式アクチュエータは、その形状が薄い円盤部材のアンギュラセ クタに対応し且つ横断方向で互い違いの向きに磁化される２Ｎ個の部分を含む、 固定子構造体は第１の磁気回路（７）と第２の磁気回路（８）とを含んでいる。

第１の磁気回路（７）は、厚い円盤部材のアンギュラセクタに対応する形状を有 する透磁率の高い磁性材料を含んでいる。第２の磁気回路は相補的な形状である 。第１の磁気回路（７）は、コイル（１４）に包囲された磁極を含む。

かかる磁極（９）の形状は環状のアンギュラセクタに対応している９両磁気回路 （７，８）は非磁性環状スペーサ（４６）を介して連結されている。薄い磁石（ ３）が、２つのボールブツシュ（４４，４５）によって案内される軸方内構遺体 （４３）と協働する剛性フレーム（４７）によって保持されている。前述したの と同様に固定子構造体が３つ以上の磁極を含む場合には、励起のためでなく自動 制御のための作用する電気コイルで磁極の１つを包囲することができる。

図６は、電磁誘導コイル（１４）の種々の供給電圧に従う力対変位の曲線を示す 。力が一定である領域（７０）の外側まで変位すると戻りの力が優勢である領域 （７１，７２）に達して更なる変位を与えるが、これはストップ（３０，３１） によって制限されるであろう、かかる領域（７１または７２）においては、コイ ル（Ｉ’１）が与える電流の強さがヌルである場合には戻りの力はそのままであ る９面取り部（２２〜２５）の大きさを増大すると、一定の力が優性である領域 （７０）は小さくなる。かかる面取り部（２２〜２５）を取り除くと、可動部材 が制限ストップのところにくっついて離れなくなるであろう。その場合には引離 すために、アクチュエータの正しい動作には不利益な高い電流が要求されるであ ろう。

図７は、直径の大きい円筒形形状の直線形アクチュエータを示す。固定子構造体 は、多数の積重ねられた磁極部分＜１９．２０．２１＞を含み、更に電磁誘導コ イル（１４）及び二次サーボコイル（４０）も含む、可動部材は、半径方向の平 面に沿って配備されたスペーサを含む磁気ブラケット（１７）からなる。かかる 磁気ブラケット上には、平行な薄い磁石（１６，１８＞が接着されている。装置 の寸法に従って、磁石は円筒形の薄い磁石、または、多角形の面を形成するよう に非磁性ブラケット上に接着された多数の薄い磁石とすることができる。磁石ブ ラダ・ソト〈１７）は非磁性ステンレススチールのような剛性材料でできており 、各端部には、固定案内柱状部材（５１）と協（至）する多数のボールブツシュ ＜５８．５９）を含んでいる。かかる案内柱状部材（５コ）はラック（６１）に 取り付けられており、一種の棒でできた円筒形のかごを形成する。種ｑの上方の ボールプッジュ（５９）を、剛性の完全な円盤部材からなる連結部品（６０）に よって連結することができる。この連結部品は、矢印（５）で示した方向に従う 直線運動を伝達するために使用される。

勿論　固定状態を慣整オろために　多数の磁極の縁（二沿って面取り部または傾 斜縁を備える。二とができる。当然のこと両磁気回路は磁性部品を介し、て接続 される必要はない。

以上に記載の実施態様は決して限定的なものでないことは明らかである。特に、 磁極部分の数は３に限定されることはなく、より多くすることができる。同様に 、ただ１つの面取りされたストリップを備えることもできるし、これとは反対に 面取り部が設けられた複数の縁を備えることもできる。

本発明の種々の更なる変更及び変形が上述の教示のもとに可能であることは明ら かである。従って、本発明の請求の範囲内で本明細書に記載した以外にも本発明 が実施され得ることを理解されたい。

国際調査報告 国際調査報告 ＰＣＴ／ＦＲ９０１００３７６

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. １．電流不在のときに少なくとも１つの安定位置を有する単相電磁アクチュエー タであって、 運動方向に移動可能な可動部分と、 方向Ｙに沿って前記可動部材を制御する固定子構造体であって、空際によって分 離されている第１及び第２の磁気回路を含んでおり、前記第１の磁気回路が極め て透磁率の高い材料でできており且つＮ（Ｎは整数）個の電磁誘導コイルを含ん でおり、第１の磁気回路は、前記可動部材の変位の方両Ｙに沿って測定した長さ がそれぞれＹ１、Ｙ２及びＹ３である２Ｎ＋１個の磁極部分を含む固定子構造体 とを備えており、 前記可動部材が、移動方向で測定した長さがＹＡである反対向きであるが均一に 磁化された２Ｎ対の磁化磁極を形成する運動方向に垂直に磁化される薄い部分を 含んでおり、前記薄い磁化部分が、全動作範囲において実質的に直線形の消磁特 性と、空気のものに近い反転可能な透磁性とを有する材料でできており、 前記長さＹ１、Ｙ２及びＹ３が少なくとも、磁化磁極対の１つの長さＹＡから前 記固定子構造体中に収容されている電磁誘導コイルの長さを引いた長さに等しく 、前記第１の磁気回路と前記第２の磁気回路とが、非磁性部品によってのみ連結 されており、前記可動部材が中間位置の両側に、その２つの外側線の間で測定し た最小磁気回路の全長と、磁化部分の全長との差の半分より小さい変位ストロー クを有する単相電磁アクチュエータ。
2. ２．前記可動部材が、横断方向で互い違いの向きに磁化される２Ｎ個のアンギュ ラセクタを有する円盤部材のアンギュラセクタを含み、 前記第１の磁気回路が、前記磁化アンギュラセクタとおおよそ同じ大きさの角皮 を有する２Ｎ＋１個の部分を含む極めて透磁率の高いリングのアンギュラセクタ を含み、前記第１の磁気回路がＮ個の電磁誘導コイルを含んでおり、前記磁気回 路が非磁性スペーサによって連結されている請求項１に記載の単相電磁アクチュ エータ。
3. ３．前記第２の磁気回路が、前記第１の磁気回路に対面して切込み部を有する請 求項１に記載の単相電磁アクチュエータ。
4. ４．前記磁化部分の形状が管状であり、半径方向で反対向きに磁化される第１及 び第２の円筒形部分を有しており、前記可動部分が、前記第１の磁気回路と前記 第２の磁気回路とによって規定される空隙内で軸方向に移動する請求項１に記載 の単相電磁アクチュエータ。
5. ５．前記第２の磁気回路が、極めて透磁率の高い磁性材料からなる円筒を含む請 求項４に記載の単相電磁アクチュエータ。
6. ６．前記円筒が、前記可動部材の円筒形磁化部分と一体的であり、前記円筒形磁 気回路の長さが少なくとも、前記第１の磁気回路の長さと前記運動軸に沿った変 位ストロークの長さの和に等しい請求項５に記載の単相電磁アクチュエータ。
7. ７．前記磁化部分が、中央の母線に関して対称の中央軸を有する円筒形の少なく とも２つの薄い円筒形部分を含んでおり、前記部分が、半径方向で反対向きに磁 化され、前記可動部材が前記円筒の中央軸の周りで回転し得る請求項１に記載の 単相電磁アクチュエータ。
8. ８．前記可動部材が、横断方向で反対向きに磁化され且つ磁石ブラケットによっ て連結されているそれぞれ２Ｎ個の部分を有する２つの平行な薄い磁石を含んで おり、前記２つの薄い磁石がそれらの間に、少なくともその一部が極めて透磁率 の高い磁気材料で充填されたスペースを規定している請求項１に記載の単相電磁 アクチュエータ。
9. ９．前記磁石ブラケット内部に配備されており且つボールブッシュと協働する複 数の柱状部材を含む、前記磁石ブラケットを案内する手段を備えている請求項８ に記載の単相電磁アクチュエータ。
10. １０．前記磁気回路の少なくとも一方が、前記可動部材の変位方向及び磁化方向 に垂直なその少なくとも１つの縁上に面取り部を有しており、該アクチュエータ が更は、戻りの力が小さくなる端部領域を越えて前記磁化部分が変位するのを禁 止するためのストップを含んでいる請求項１に記載の単相電磁アクチュエータ。
11. １１．前記中央磁極部分の長さＹ２が側部磁極部分の長さＹ１及びＹ３よりも小 さい請求項１に記載の単相電磁アクチュエータ。
12. １２．前記ストップが、磁気回路の最小部の外側側縁から測定して空隙の幅Ｅよ りも小さい距離のところに備えられている請求項１０に記載の単相電磁アクチュ エータ。
13. １３．前記第１の磁気回路と前記第２の磁気回路とが、前記磁化方向に垂直な可 動部材の磁化部分の中央面に関して対称である請求項１に記載の単相電磁アクチ ュエータ。
14. １４．前記磁化部分の長さＹＡの前記空隙の幅Ｅに対する比が４より大きい請求 項１に記載の単相電磁アクチュエータ。
15. １５．前記可動部材の変位方向で測定した前記面取り部の長さが、対応する磁極 部分の長さＹ１の１／５〜１／２０である請求項１０に記載の単相電磁アクチュ エータ。
16. １６．少なくとも一方の前記磁気回路の少なくとも１つの側縁と、前記磁化部分 の対応する側縁とがそれらの間に０〜１０度の角度をなす請求項１に記載の単相 電磁アクチュエータ。