JPH0451477Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0451477Y2 JPH0451477Y2 JP1988087169U JP8716988U JPH0451477Y2 JP H0451477 Y2 JPH0451477 Y2 JP H0451477Y2 JP 1988087169 U JP1988087169 U JP 1988087169U JP 8716988 U JP8716988 U JP 8716988U JP H0451477 Y2 JPH0451477 Y2 JP H0451477Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spark
- wire
- current
- intensity
- ultraviolet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/01—Manufacture or treatment
- H10W72/015—Manufacture or treatment of bond wires
- H10W72/01551—Changing the shapes of bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07141—Means for applying energy, e.g. ovens or lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07511—Treating the bonding area before connecting, e.g. by applying flux or cleaning
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案は、ワイヤボンダのボール形成用のスパ
ーク制御手段の改良に関する。
ーク制御手段の改良に関する。
（従来の技術）
ワイヤボンダにおいてボンデイングの良否を左
右する最も大きな要素は、ワイヤの先端に作られ
ているボールの大きさである。このボールの大き
さは、ワイヤの材質、線径ならびにボール形成時
のワイヤの先端とスパークロツドとの間のスパー
クの強さによつて定まる。スパークの強さはこの
スパークを流れる電流（以下、スパーク電流と言
う）の大きさと対応しているので、従来は、たと
えばボール形成時のワイヤの先端とスパークロツ
ドとの間隔が変わつても所定の大きさのボールが
得られるようにスパーク電流を一定にする目的
で、スパークジエネレータがその出力電流を一定
にする制御を行つている。
右する最も大きな要素は、ワイヤの先端に作られ
ているボールの大きさである。このボールの大き
さは、ワイヤの材質、線径ならびにボール形成時
のワイヤの先端とスパークロツドとの間のスパー
クの強さによつて定まる。スパークの強さはこの
スパークを流れる電流（以下、スパーク電流と言
う）の大きさと対応しているので、従来は、たと
えばボール形成時のワイヤの先端とスパークロツ
ドとの間隔が変わつても所定の大きさのボールが
得られるようにスパーク電流を一定にする目的
で、スパークジエネレータがその出力電流を一定
にする制御を行つている。
（考案が解決しようとする課題）
しかるに従来のスパークジエネレータには次の
ような問題点がある。
ような問題点がある。
すなわち、スパークジエネレータの出力電流
は、ワイヤの先端とスパークロツドが接触するワ
イヤタツチが発生していても、あるいはワイヤの
先端とスパークロツドの間以外に電流の流れるリ
ークが発生していても流れる。ワイヤタツチが生
じている時にはスパークジエネレータの出力電流
は一定になるように制御できてもボールは形成さ
れない。またリークが生じている時にはスパーク
電流とスパークジエネレータの出力電流とがスパ
ークロツド周辺の雰囲気が変わるために一定の関
係に定まらないので、スパークジエネレータの出
力電流を一定になるように制御してもスパーク電
流は必ずしも一定にならず、したがつて所定の大
きさのボールが安定して形成できない。
は、ワイヤの先端とスパークロツドが接触するワ
イヤタツチが発生していても、あるいはワイヤの
先端とスパークロツドの間以外に電流の流れるリ
ークが発生していても流れる。ワイヤタツチが生
じている時にはスパークジエネレータの出力電流
は一定になるように制御できてもボールは形成さ
れない。またリークが生じている時にはスパーク
電流とスパークジエネレータの出力電流とがスパ
ークロツド周辺の雰囲気が変わるために一定の関
係に定まらないので、スパークジエネレータの出
力電流を一定になるように制御してもスパーク電
流は必ずしも一定にならず、したがつて所定の大
きさのボールが安定して形成できない。
以上説明したように、従来のスパークジエネレ
ータには、スパークの強さと必ずしも対応してい
ない出力電流を制御しているために所定の大きさ
のボールが安定して形成できないという問題があ
る。
ータには、スパークの強さと必ずしも対応してい
ない出力電流を制御しているために所定の大きさ
のボールが安定して形成できないという問題があ
る。
本考案の目的は、ワイヤの先端とスパークロツ
ドの間のスパークの強さに直接対応する紫外線の
強さを検出し、これに基づいて出力電流を制御す
ることによつて、ワイヤの先端とスパークロツド
の間隔やスパークロツド周辺の雰囲気が変わつて
も常に所定の強さのスパークを得ることができる
ようにし、これにより所定の大きさのボールが安
定して形成できるワイヤボンダのスパーク制御装
置を提供することである。
ドの間のスパークの強さに直接対応する紫外線の
強さを検出し、これに基づいて出力電流を制御す
ることによつて、ワイヤの先端とスパークロツド
の間隔やスパークロツド周辺の雰囲気が変わつて
も常に所定の強さのスパークを得ることができる
ようにし、これにより所定の大きさのボールが安
定して形成できるワイヤボンダのスパーク制御装
置を提供することである。
（課題を解決するための手段）
本考案のワイヤボンダのスパーク制御装置は上
記の目的を達成するために次の手段構成を有す
る。
記の目的を達成するために次の手段構成を有す
る。
すなわち本考案のワイヤボンダのスパーク制御
装置は、ワイヤボンダのボール形成時のスパーク
によつて生ずる紫外線を受け、その強さに対応す
る陰極電流を流す光電子増倍管と；該光電子増倍
管を駆動する駆動電源と；前記の陰極電流を検出
して紫外線検出信号を受け、そのレベルが、所定
の紫外線の強さに対応させて予め定められている
設定レベル値と同じになるまでスパークの電流を
上昇または下降させるスパーク発生用電源回路
と；を具備することを特徴とするものである。
装置は、ワイヤボンダのボール形成時のスパーク
によつて生ずる紫外線を受け、その強さに対応す
る陰極電流を流す光電子増倍管と；該光電子増倍
管を駆動する駆動電源と；前記の陰極電流を検出
して紫外線検出信号を受け、そのレベルが、所定
の紫外線の強さに対応させて予め定められている
設定レベル値と同じになるまでスパークの電流を
上昇または下降させるスパーク発生用電源回路
と；を具備することを特徴とするものである。
（作用）
以下、上記の手段構成を有する本考案のワイヤ
ボンダのスパーク制御装置の作用について説明す
る。
ボンダのスパーク制御装置の作用について説明す
る。
駆動電源は光電子増倍管に所定の電圧を印加す
る。ワイヤボンダのボール形成時のスパークによ
つて生ずる紫外線が所定の電圧の印加されている
光電子増倍管へ入射すると、この紫外線の強さに
対応する陰極電流が流れる。紫外線検出回路は該
陰極電流を検出してこれに対応する紫外線検出信
号を出力する。スパーク発生用電源回路は紫外線
検出信号を受け、そのレベルが、所定の大きさの
ボールが形成される時の紫外線の強さに対応させ
て予め定められている設定レベル値と同じになる
まで出力電流を上昇または下降させ、ワイヤの先
端とスパークロツドの間のスパーク電流を所定の
大きさにする。該スパーク電流が所定の大きさに
なるとスパークが所定の強さになるためボールが
所定の大きさに作られるようになり、それと同時
にこのスパークの強さと直接対応した所定の強さ
の紫外線が放射される。その結果、紫外線検出信
号のレベルは、所定の大きさのボールが形成され
る時の紫外線の強さに対応させて予め定められて
いる設定レベル値と同じになるので、スパーク発
生用電源回路は出力電流の上昇または下降をしな
くなり、所定のスパークの強さに対応した一定の
電流値を維持する。
る。ワイヤボンダのボール形成時のスパークによ
つて生ずる紫外線が所定の電圧の印加されている
光電子増倍管へ入射すると、この紫外線の強さに
対応する陰極電流が流れる。紫外線検出回路は該
陰極電流を検出してこれに対応する紫外線検出信
号を出力する。スパーク発生用電源回路は紫外線
検出信号を受け、そのレベルが、所定の大きさの
ボールが形成される時の紫外線の強さに対応させ
て予め定められている設定レベル値と同じになる
まで出力電流を上昇または下降させ、ワイヤの先
端とスパークロツドの間のスパーク電流を所定の
大きさにする。該スパーク電流が所定の大きさに
なるとスパークが所定の強さになるためボールが
所定の大きさに作られるようになり、それと同時
にこのスパークの強さと直接対応した所定の強さ
の紫外線が放射される。その結果、紫外線検出信
号のレベルは、所定の大きさのボールが形成され
る時の紫外線の強さに対応させて予め定められて
いる設定レベル値と同じになるので、スパーク発
生用電源回路は出力電流の上昇または下降をしな
くなり、所定のスパークの強さに対応した一定の
電流値を維持する。
以上説明したように、本考案のワイヤボンダの
スパーク制御装置は、ワイヤの先端とスパークロ
ツドの間のスパークの強さに直接対応する紫外線
の強さを検出し、これに基づいて出力電流を制御
するようにしたことによつて、ワイヤの先端とス
パークロツドの間隔やスパークロツド周辺の雰囲
気が変わつても常に所定の強さのスパークを得る
ことができるので、所定の大きさのボールを安定
して形成することができる。
スパーク制御装置は、ワイヤの先端とスパークロ
ツドの間のスパークの強さに直接対応する紫外線
の強さを検出し、これに基づいて出力電流を制御
するようにしたことによつて、ワイヤの先端とス
パークロツドの間隔やスパークロツド周辺の雰囲
気が変わつても常に所定の強さのスパークを得る
ことができるので、所定の大きさのボールを安定
して形成することができる。
（実施例）
以下、本考案のワイヤボンダのスパーク制御装
置の実施例を図面に基づいて説明する。
置の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本考案のワイヤボンダのスパーク制御
装置の実施例の構成図である。同図において、光
電子増倍管１には駆動電源２によつて所定の電圧
が印加されている。スパークジエネレータ１０が
ワイヤ１１の先端とスパークロツド１５の間に電
圧を印加してこの間にスパークが飛ぶと、このス
パークによつて生ずる紫外線が前記の光電子増倍
管１に入射し、紫外線の強さに対応した陰極電流
が流れる。電流−電圧変換回路３はこの陰極電流
を検出し、これを電圧に変換して紫外線検出電圧
信号５をスパークジエネレータ１０の比較部６へ
送出する。スパークジエネレータ１０には、所定
の大きさのボールが形成される時の紫外線の強さ
に対応する基準電圧が予め設定されていて、比較
部６が基準電圧信号７の電圧値と前記の紫外線検
出電圧信号５の電圧値の差を出力する。制御増幅
器８は上記両電圧の差を受けてこれを増幅し、こ
の増幅値に基づいてスパーク指令電圧と紫外線検
出電圧との差を無くすようにスパークジエネレー
タ１０の出力電流を上昇または下降させる指令を
電力増幅器９へ送出する。電力増幅器９はワイヤ
１１の先端とスパークロツド１５の間に高電圧を
印加する電源を有しており、制御増幅器８からの
指令に従つて出力電流を上昇または下降させる。
装置の実施例の構成図である。同図において、光
電子増倍管１には駆動電源２によつて所定の電圧
が印加されている。スパークジエネレータ１０が
ワイヤ１１の先端とスパークロツド１５の間に電
圧を印加してこの間にスパークが飛ぶと、このス
パークによつて生ずる紫外線が前記の光電子増倍
管１に入射し、紫外線の強さに対応した陰極電流
が流れる。電流−電圧変換回路３はこの陰極電流
を検出し、これを電圧に変換して紫外線検出電圧
信号５をスパークジエネレータ１０の比較部６へ
送出する。スパークジエネレータ１０には、所定
の大きさのボールが形成される時の紫外線の強さ
に対応する基準電圧が予め設定されていて、比較
部６が基準電圧信号７の電圧値と前記の紫外線検
出電圧信号５の電圧値の差を出力する。制御増幅
器８は上記両電圧の差を受けてこれを増幅し、こ
の増幅値に基づいてスパーク指令電圧と紫外線検
出電圧との差を無くすようにスパークジエネレー
タ１０の出力電流を上昇または下降させる指令を
電力増幅器９へ送出する。電力増幅器９はワイヤ
１１の先端とスパークロツド１５の間に高電圧を
印加する電源を有しており、制御増幅器８からの
指令に従つて出力電流を上昇または下降させる。
スパークジエネレータ１０の出力電流が制御さ
れた結果ワイヤ１１の先端とスパークロツド１５
の間のスパークが所定の強さになるとボールは所
定の大きさに作られるようになり、それと同時に
このスパークの強さと直接対応した所定の強さの
紫外線が放射される。このため紫外線検出電圧は
基準電圧と同じになるので、制御増幅器８からは
出力電流を上昇または下降させる指令が電力増幅
器９へ出なくなり、スパークジエネレータ１０
は、現在のワイヤ１１の先端とスパークロツド１
５の間隔や現在のスパークロツド１５の周辺の雰
囲気で所定の強さのスパークを飛ばす一定の電流
を維持する。
れた結果ワイヤ１１の先端とスパークロツド１５
の間のスパークが所定の強さになるとボールは所
定の大きさに作られるようになり、それと同時に
このスパークの強さと直接対応した所定の強さの
紫外線が放射される。このため紫外線検出電圧は
基準電圧と同じになるので、制御増幅器８からは
出力電流を上昇または下降させる指令が電力増幅
器９へ出なくなり、スパークジエネレータ１０
は、現在のワイヤ１１の先端とスパークロツド１
５の間隔や現在のスパークロツド１５の周辺の雰
囲気で所定の強さのスパークを飛ばす一定の電流
を維持する。
（考案の効果）
以上説明したように、本考案のワイヤボンダの
スパーク制御装置は、ワイヤの先端とスパークロ
ツドの間のスパークの強さに直接対応する紫外線
の強さを検出し、これに基づいて出力電流を制御
するようにしたことによつて、ワイヤの先端とス
パークロツドの間隔やスパークロツド周辺の雰囲
気が変わつても常に所定の強さのスパークを得る
ことができるので、所定の大きさのボールを安定
して形成することができるという利点を有する。
スパーク制御装置は、ワイヤの先端とスパークロ
ツドの間のスパークの強さに直接対応する紫外線
の強さを検出し、これに基づいて出力電流を制御
するようにしたことによつて、ワイヤの先端とス
パークロツドの間隔やスパークロツド周辺の雰囲
気が変わつても常に所定の強さのスパークを得る
ことができるので、所定の大きさのボールを安定
して形成することができるという利点を有する。
また本考案のワイヤボンダのスパーク制御装置
は、放電加工機やアーク溶接機などに適用できる
構成に変えることも容易に具体化できるので、ス
パークの安定化が望まれる各種の機器の性能安定
化に寄与するという効果をも有する。
は、放電加工機やアーク溶接機などに適用できる
構成に変えることも容易に具体化できるので、ス
パークの安定化が望まれる各種の機器の性能安定
化に寄与するという効果をも有する。
第１図は本考案のワイヤボンダのスパーク制御
装置の実施例の構成図である。 １……光電子増倍管、２……駆動電源、３……
電流−電圧変換回路、５……紫外線検出電圧信
号、６……比較部、７……基準電圧信号、８……
制御増幅器、９……電力増幅器、１０……スパー
クジエネレータ、１１……ワイヤ、１２……キヤ
ピラリ、１４……カツトクランプ、１５……スパ
ークロツド。
装置の実施例の構成図である。 １……光電子増倍管、２……駆動電源、３……
電流−電圧変換回路、５……紫外線検出電圧信
号、６……比較部、７……基準電圧信号、８……
制御増幅器、９……電力増幅器、１０……スパー
クジエネレータ、１１……ワイヤ、１２……キヤ
ピラリ、１４……カツトクランプ、１５……スパ
ークロツド。
Claims (1)
- ワイヤボンダのボール形成時のスパークによつ
て生ずる紫外線を受け、その強さに対応する陰極
電流を流す光電子増倍管と；該光電子増倍管を駆
動する駆動電源と；前記の陰極電流を検出して紫
外線検出信号を出力する紫外線検出回路と；紫外
線検出信号を受け、そのレベルが、所定の紫外線
の強さに対応させて予め定められている設定レベ
ル値と同じになるまでスパークの電流を上昇また
は下降させるスパーク発生用電源回路と；を具備
することを特徴とするワイヤボンダのスパーク制
御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988087169U JPH0451477Y2 (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988087169U JPH0451477Y2 (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH029433U JPH029433U (ja) | 1990-01-22 |
| JPH0451477Y2 true JPH0451477Y2 (ja) | 1992-12-03 |
Family
ID=31311791
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988087169U Expired JPH0451477Y2 (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0451477Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-06-30 JP JP1988087169U patent/JPH0451477Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH029433U (ja) | 1990-01-22 |
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