JPH0454443A

JPH0454443A - 欠陥検査装置

Info

Publication number: JPH0454443A
Application number: JP2162589A
Authority: JP
Inventors: Katsumi Oshiroda; 小代田　克己; Masakazu Iwasa; 岩佐　正和
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1990-06-22
Filing date: 1990-06-22
Publication date: 1992-02-21
Anticipated expiration: 2012-02-05
Also published as: JP2577651B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、鋼板、紙、プラスチックフィルム、ＩＣウェ
ー八への表面を走査して欠陥を含む画像をモニタに表示
し、欠陥を目視可能にする欠陥検査装置に関するもので
ある。

（従来技術）鋼板や紙等の表面を光学的に走査して、その表面に現れ
るキズなどの欠陥をモニタテレビに表示し、モニタで欠
陥を目視することにより欠陥の有無、大きさ、種類等を
判別できるようにした表面検査装置が従来よりある。

例えば特公昭６３−４３６８５号には、光学的走査によ
り被検査材の表面の画像を読取り、被検査材の全幅がモ
ニタの表示画面の幅内に現れるように表示する表面検査
装置が示されている。ここに表面に欠陥があると、この
欠陥がモニタの検査材送り方向の中央に来るようにして
画像を一時停止させ、目視できるようにしたものである
。

第１３図はこの従来装置のブロック図、第１４図はモニ
タに表示される被検査材の表示領域を示す図である。

第１３図において符号１０は画像検出手段であり、被検
査材表面を光学的に走査することによりアナログ画像信
号ａを出力するものである。この画像検出手段１０は、
例えば回転ミラーにより光を被検査材上で走査させ、こ
の光の反射光を受光器で集めるフライングスポット方式
のものが使用できる。また被検査材表面をその幅方向に
配置した棒状光源で照射し、その反射光を回転ミラーを
介して受光器に取り込んでゆ（フライングイメージ方式
のものが使用可能である。

このアナログ画像信号ａはＡ／Ｄ変換器１２によりデジ
タル画像信号すに変換され、−走査ラインごとにフレー
ムメモリ１４に記憶される。このフレームメモリ１４に
は最先の内容が最新のデータにより順次書き換えられ、
常に後記モニタ２４の走査線数と同数あるいはそれ以上
の走査ラインが記憶されている。

またアナログ画像信号ａは欠陥判別手段１６に入力され
、ここで欠陥の有無が判断される。すなわちアナログ画
像信号ａは被検査材の表面のキズ等があると出力レベル
が急変するから、この信号を微分回路を含む信号処理回
路で処理することによりキズなどの欠陥を判別できる。

このようにして欠陥が検出されるとアドレス判別手段１
８はこの欠陥の送り方向の位置（アドレス）を被検査材
の送り量に基づいて判別する。この欠陥の送り方向のア
ドレスが求まると、書込み制御手段２ｏはこの欠陥がモ
ニタ２４の画面の画像送り方向の中央に対応するフレー
ムメモリ１４内の記憶位置に来るとフレームメモリ１４
にデジタル信号すの読込みを禁止させる。そしてこのフ
レームメモリ１４の内容がＤ／Ａ変換器２２でアナログ
信号に戻された後、ＣＲＴなどのモニタテレビ２４に表
示させる。この結果モニタ２４には画像送り方向の中央
に欠陥部分が現れることになる。検査者はこの画像を目
視して検査装置が欠陥と判断した部分が本当に欠陥か否
か、また欠陥だとすればその大きさ、種類などを判別す
る。そして必要に応じ検査者の指令に基づき、あるいは
自動でこの欠陥のアドレスを別の図示しないプリンタな
どの記録手段に記録し、またその画像をビデオ装置に記
録する。

（従来装置の問題点）このように従来装置は被検査材の全幅をモニタテレビに
表示するものであるため、欠陥を検出してこの欠陥をテ
レビ画面の画像送り方向の中央に位置させたとしても、
特に被検査材の幅が広い場合には欠陥部分が非常に小さ
く現れることになる。このため欠陥の大きさ、種類など
を目視で判別することが困難であった。

またこの従来装置は、欠陥を検出すると書込み制御手段
２０によりフレームメモリ１４への新たなデジタル画像
信号すの読込みを禁止する必要がある。このため複数の
欠陥が接近して連続して現れる場合に、先頭から二番目
以降の欠陥を見逃すことになる。そこでこれを避けるた
めに第１１図に仮想線で示すように複数の主要５２６．
２６Ａ、・・・を用いて並列作動させることが考えられ
る。この場合、例えば第１２図で被検査材２８の欠陥Ｄ
１が送り方向の中央に来る領域Ａ１を主要部２６を用い
てモニタ２４に表示させ、次の欠陥Ｄ２が続いて現れる
と領域Ａ２を他の主要部２６Ａを用いてモニタ２４に表
示させることになる。

しかしこのように複数の主要部２６．２６Ａ、−・・を
用いる場合には装置が大規模になり、しかも大容量のフ
レームメモリ１４が多数必要になる、という問題があっ
た。

またこの第１３図からも明らか・なように、欠陥り、お
よびＤ２は領域Ａ１およびＡ２に共に含まれている。こ
のため主要部２６．２６Ａを用いてそれぞれ領域Ａ、　
、Ａ２を表示した場合に、両方のモニタに欠陥り、、Ｄ
、が表示され、欠陥の表示位置は異なるが同じ画面が２
回続くことになる、という問題があった。

さらにこの従来装置は、欠陥は画像検出手段１０で読み
取った画像をそのままモニタに表示しているため、画像
が欠陥なのか否か、単なる潤滑オイルや表面保護材の縞
模様なのか、欠陥の種類、大きさなどを明確に判別しに
くいという問題もあった。

さらにまた欠陥は点状に現れるもの、線状に現れるもの
など、被検査材の種類により特徴がある。しかしこの従
来装置では例えば送り方向に長い欠陥ではその先端部が
画面内の送り方向中央に現れるため、長い欠陥の末尾が
画面から外れ易いという問題もあった。

（発明の目的）本発明はこのような事情に鑑みなされたものであり、欠
陥部分をモニタ画面の中央付近などの希望の位置に十分
に拡大して表示することにより、目視による欠陥の確認
がし易くなる欠陥検査装置を提供することを第１の目的
とする。

また、欠陥が連続する場合にも欠陥を見逃すことなく対
応でき、装置を大きくすることなく少ないメモリ容量を
有効利用することができる欠陥検査装置を提供すること
を第２の目的とする。

さらに欠陥を目視し易く倍率変更して、欠陥の種類等も
正確に認定できるようにした欠陥検査装置を提供するこ
とを第３の目的とする。

さらにまた欠陥の形状に対応して欠陥を画面の中央に現
わしたり、あるいは長い欠陥が画面から外へ出ないよう
にして視認し易（した欠陥検査装置を提供することを第
４の目的とする。

（発明の構成）本発明によれば第１の目的は、被検査材の表面を走査し
て得た画像信号から、被検査材の欠陥を検出してモニタ
に表示する欠陥検査装置において、被検査材の連続する
所定数の走査ラインを順次読込んで記憶するバルクメモ
リと、前記画像信号から被検査材の欠陥を判別する欠陥
判別手段と、前記バルクメモリに記憶された前記被検査
材の表面を複数のブロックに分け前記検出した欠陥を含
むブロックを求めるブロック判別手段と、前記欠陥を含
むブロックを含み所定数のブロックの走査ラインを読み
込むとバルクメモリの書き込みを一時停止させる書き込
み制御手段と、このバルクメモリのデータから欠陥を含
むブロックを含む所定数のブロックを切り出してフレー
ムメモリに移す切出し制御手段と、前記フレームメモリ
の内容を表示するモニタ手段とを備えることを特徴とす
る欠陥検査装置、により達成される。

第２の目的はバルクメモリを複数とし、一方が読込み・
読出しのために停止している間に他方を作動させること
により達成できる。ここにフレームメモリも複数にすれ
ばモニタ表示の自由度が増える。

第３の目的は、さらにフレームメモリの内容を受け取っ
て倍率変更する倍率変更手段と、表示メモリとを備える
ことにより達成される。

第４の目的は、欠陥を含むブロックがモニタの画面の中
央に現れるようにしたり、欠陥を含む先頭のブロックが
モニタの主・副走査の始点側の隅に偏位させて、その周
囲の複数のブロックと共に現わすようにすることにより
達成される。ここに複数の欠陥が接近して現れる場合に
は、欠陥同志の大きさを比較して、最大の欠陥を含むブ
ロックがモニタの中央などの希望の位置に来るようにし
てもよい。

（実施例１）第１図は本発明の第１の実施例のブロック図、第２図は
画像領域の対応関係を示す概念図、第３図は画像信号等
の出力波形図である。

第１図において、符号５０は鋼板、紙、プラスチックフ
ィルムなどの被検査材であり、この被検査材５０は供給
ロール５２から巻取りロール５４に送られる。この巻取
りロール５４は巻取りモータ５６により駆動される。こ
の被検査材５０の送り中にフライングスポット方式によ
る画像検出手段５８によって表面の画像が読取られる。

この画像検出手段５８は、レーザー光源６０から射出さ
れるレーザ光を、モータ６２により回転される回転ミラ
ー（ポリゴナルミラー）６４によって被検査材５０の幅
方向に走査（主走査）する一方、被検査材５０の表面に
よる反射光を受光ロッド６６によって一対の受光器６８
　（６８ａ、６８ｂ）に導いて受光するものである。す
なわち受光ロッド６６はレーザー光の主走査ライン７０
に近接してこれに平行に配設され、反射光を受光すると
受光ロンドロ６の内面で全反射させてその両端に導き、
フォトマルチプライヤ（光電子倍増管）などの受光器６
８により受光量が検出される。各受光器６８が出力する
画像信号はプリアンプ、メインアンプで増幅され、また
波形整形されて第３図に示すアナログ画像信号ａｌ、ａ
２どなる。この図で各信号ａ、、ａ、には、連続する異
なる主走査ライン７０に対応する信号が、時間軸方向に
一定時間毎に現れている。この図でｄ　、、、　ｄ　、
２、ｄｚ＋、ｄ２□は被検査材５０の表面の欠陥に対応
する。このように各信号ａ　）　、ａ　２は受光器６８
ａ、６８ｂからレーザー光の主走査ライン７０上の走査
位置が遠くなるとレベルが低下し、反対に走査位置に近
くなるとレベルが上昇するように変化する。そこでこの
実施例では、両信号ａ１、ａ２は加算回路７２で加算さ
れ、主走査ライン７０上の走査位置の変化による影響が
除去されてアナログ画像信号ａとされる。そしてその後
信号処理回路７４において微分され、アナログ画像信号
ａ３とされる。この信号ａ３は欠陥があると正負に変化
するパルスｄ３＋、ｄ３□を含んだものとなる。

７６は欠陥判別手段であり、信号ａ３を所定レベルの比
較電圧υ（第３図）と比較することにより欠陥の有無を
検出するものである。すなわち欠陥を示すパルスｄ、ｌ
７、ｄ３２が比較電圧υを超えて小さ（なる時にパルス
となる欠陥信号ｄを出力する。

７８はブロック判別手段であり、この欠陥信号ｄのパル
スが出力された時点のレーザー光の走査位置、すなわち
走査により現れた欠陥の先頭部の座標（アドレス）を求
め、この座標が含まれるブロックを求める。すなわち被
検査材５０の表面は第２図に示すように幅方向に並んだ
多数の同形状の領域であるブロックに区分けされ、その
中の欠陥りを含むブロックＢ、Ｊを求め、このブロック
を示すブロック信号ｂ　ｉ、を出力するものである。こ
こにレーザー光の主走査方向の座標は回転ミラー６４の
回転角度、または主走査方向にフォトセンサなどの始点
検出器を設け、この点をレーザー光が通過してからの経
過時間に基づいて検出され、また被検査材５０の送り方
向の位置である副走査方向の座標は巻取りロール５４の
回転量に基づいて検出される。

一方、アナログ画像信号ａはＡ／Ｄ変換器８０において
デジタル画像信号すに変換され、バルクメモリ８２に入
力される。このバルクメモリ８２は主走査ラインの画素
数Ｎと１つの前記ブロックに含まれる走査線数ｎとの積
（Ｎｘｎ）、またはその整数倍（第２図の実施例では２
倍）の記憶容量を持ち、検査幅ゲート信号に同期して一
生走査毎にデジタル画像信号すを記憶する。すなわちバ
ルクメモリ８２の記憶領域が一杯になると最も古いデー
タの上に順次上書きしてゆくリングバッファ構造を持つ
。ここに検査幅ゲート信号は回転ミラー６４の回転に同
期して一主走査内の検査幅を示すものである。

この結果バルクメモリ８２に記憶されるのは、第２図に
おいて被検査材５ｏの送り方向に並んだ２つのブロック
分の走査ラインに含まれる画像信号すであり、換言すれ
ば領域ＡＢＣＥの範囲で示される被検査材５０の表面画
像である。

このバルクメモリ８２へのデータの書込みは、書込み制
御手段８４により制御される。すなわちこの手段８４は
、欠陥りを有するブロックＢｌ、を示すブロック信号す
１．、に基づいて、このブロックＢＩＪに含まれる領域
の走査が終了するまで書き換えを行い、この位置に来る
と書込みを一時停止させる。

８６はフレームメモリである。このフレームメモリ８６
へのデータの書込みは切出し制御手段８８によって制御
される。すなわちこの手段８８はブロック信号ｂｌ、に
基づいてこのブロックＢｌ。

がモニタ９２の所定位置、例えばモニタ９２の画面左側
に来るように、ブロックＢ、に含まれる画像のデータを
バルクメモリ８２からフレームメモリ８６に移送させる
ものである。

またフレームメモリのデータは必要に応じて光磁気ディ
スク、フロッピーディスク、ハードディスク、メモリー
テープ等の記録手段９１に記録される。

このフレームメモリ８６のデータはＤ／Ａ変換器９０に
おいてアナログ画像信号Ｃに変換され、ＣＲＴなどのモ
ニタ９２に表示される。また必要に応じてビデオテープ
やビデオプリンタなどの画像記録手段９４に記録される
。

また必要に応じて欠陥判別情報やブロック情報を欠陥画
像と同時にモニタに表示する。

検査者はこのモニタ９２を監視する。そして欠陥りを含
むブロックＢ１．が拡大された静止画像を見て、欠陥り
と判断された部分が真実の欠陥が否か、例えば表面に不
均一に付着したオイルや保護材等の縞模様等か否かを判
別する。そして真実の欠陥と判断した時には検査者は記
録指令スイッチボタン９６を押す。このスイッチボタン
９６により記録指令が出力されると、プリント制御手段
９８はブロック信号ｂｌＪを読込んでプリンタ１００に
このブロック信号ｂｌ、を出力させる。そして書込み制
御手段８４は再びバルクメモリ８２にデータの書込みを
開始させ、次の欠陥りがあるとモニタ９２に表示させる
。

このように第１〜３図により説明した実施例によれば、
欠陥りを含むブロックＢｉ、をモニタ９２の所定位置、
例えば左側に拡大して表示するから、欠陥りの存否、種
類、大きさ等を目視により確認し易くなる。

なおこの実施例で欠陥判別手段７６はアナログ画像信号
ａ３に代えて、Ａ／Ｄ変換されたデジタル画像信号すを
用いて欠陥りを判別するようにしてもよい（第１図仮想
＃ｊ参照）。

（実施例２）第４図は第２の実施例のブロック図、第５図は画像領域
の対応関係を示す概念図である。

この実施例は前記第１の実施例に対して、バルクメモリ
１８２およびフレームメモリ１８６がそれぞれ複数個の
メモリ１８２ａ、ｂ、・・・、および１８６ａ、ｂ、・
・・で構成される点と、画像処理手段１０２および表示
メモリ１０４を備える点が異なる。

バルクメモリ１８２ａ、ｂ、・・・は、第５図に示すよ
うに、欠陥り、　　Ｄ２、Ｄ、・・・が検出された場合
に、それぞれの欠陥り、、Ｄ２．Ｄ、・・・を含む領域
ＡＢＣＥ、Ａ’　Ｂ’　Ｃ′Ｅ′、・・・を記憶する。

またフレームメモリ１８６ａ、ｂ、・・・は各欠陥り、
、Ｄ、、Ｄ３・・・を含むブロックＢｌ、８２Ｂｇ・・
・を記憶する。書込み制御手段１８４、切ｂ２、ｂ３を
出力すると順次具なるバルクメモリ１８２ａ、ｂ、・・
・およびフレームメモリ１８６ａ、ｂ、・・・に記憶さ
せる。また切出し制御手段１８８は、記録指令スイッチ
ボタン９６の記録指令信号に基づいて、モニタ９２に表
示すべきフレームメモリ１８６ａ、ｂ、・・・を順番に
選択して倍率変更手段１０２に出力する。この倍率変更
手段１０２は、画像の倍率変更を行って表示メモリ１０
４に記憶し、モニタ９２に表示させる。また第５図に示
すように複数のフレームメモリ１８６ａ、ｂ、・・・の
画像をモニタ９２の画面上に分割して多画面表示を行う
ことができる。

この第２の実施例によれば、複数のバルクメモリ１８２
ａ、ｂ、・・・を備えるので、連続して現れる欠陥も見
落すことなくモニタ９２に表示することができる。

また複数のフレームメモリ１８６ａ、ｂ、・・・を備え
るから、連続して現れるそれぞれの欠陥をモニタ９２に
十分な時間をかけて表示させることが可能になる。

さらに倍率変更手段１０２、表示メモリ１０４を設ける
ことにより、さらに欠陥を発見し易い画像を得るように
倍率変更することが可能になる。

（実施例３）第６図は第３の実施例を示すブロック図、第７図はその
表示領域の対応を示す概念図である。この実施例は隣接
する複数のブロックをモニタ９２に同時に表示するもの
で、複数の欠陥り、、Ｄ。

を含むブロックＢ１、Ｂｚが現れた場合に、欠陥のレベ
ルを比較し、レベルの大きい欠陥Ｄ２を含むブロックＢ
２がモニタ９２の中央に来るように画像を移動させるよ
うにしたものである。

すなわちブロック判別手段１７８はモニタ９２の表示領
域内に複数の欠陥り、　、Ｄ、が現れた時に、最先に現
れた欠陥Ｄ１を含むブロックＢ、とレベルＭ１とを欠陥
メモリ１７８ａにメモリし、比較器１７８ｂによって次
の欠陥Ｄ２のレベルＭ２とを比較する。比較の結果Ｍ　
Ｉ＜　Ｍ　ｔであれば後の欠陥Ｄ２を含むブロックＢ２
とレベルＭ２とで欠陥メモリ１７８ａの内容を書き換え
る。この動作を繰り返すことにより最もレベルの大きい
欠陥Ｄ２を含むブロックＢ２をモニタ９２内の希望位置
、例えば中央に移して表示することができる。

（実施例４）第８図は第４の実施例のモニタ表示例を示す図である。

この実施例はモニタ９２に隣接する４つのブロック■、
■、■、■を表示可能とし、欠陥Ｄ１を含むブロック■
を検出すると、この欠陥Ｄ１が位置するブロックＩ内の
象限を判断する。そしてこの象限に隣接する他のブロッ
ク■、■、■を同時に表示するものである。この実施例
では第４象限に位置するから、ブロック２の第３象限、
ブロックｍの第１象限、ブロック■の第２象限が互いに
隣接してモニタの中央に現れる。

この実施例によれば４つのブロックの中央付近に欠陥Ｄ
１が位置することになり、また近隣のブロックも同時に
表示されるのでこの欠陥の周辺の微細な欠陥などの分布
状況も確認し易くなる。

（実施例５）第９区は第５の実施例を示すブロック図、第１ｏ図はそ
のモニタ表示例を示す図である。

この実施例はモニタ９２上に欠陥を含む静止画と共に欠
陥の有無と関係なく連続して変化する動画を表示するよ
うにしたものである。すなわち動画用フレームメモリ２
００を設け、ここに読取った画像の信号を連続的に取り
込み、この画像をモニタ９２の一定範囲内に連続して表
示する。そして他の範囲には静止画用フレームモニタ１
８６の内容が順次静止画として表示される。

このように被検査材の広い面積の表面状態を同時に表示
することにより、欠陥周囲の広い範囲の表面状態を把握
して欠陥画像をより正確に確認し判断することができる
。

以上の各実施例においては欠陥りは点状ないしは小さい
ものと仮定しているが、実際には欠陥の形状は長い場合
もある。特に鋼板やフィルムなどの製品では、被検査材
５０の送り方向あるいはこれに直交する方向に長い形状
の第１１図に示すような欠陥Ｄ３、Ｄ４が現れ易い。

第１１図はこのような場合における表示領域と欠陥の形
状との関係を示す図、第１２Ａ図はこの欠陥がモニタか
ら飛び出した状態を、第１２Ｂ図はモニタにおさめた状
態を示す。

前記した各実施例では、欠陥の形状を問題とせず、最初
に走査ライン上に検出された欠陥を含むブロックをモニ
タ９２上の例えば中央に表示してしまう。このため第１
１図のように被検査材５０を上へ送りつつ左から右に主
走査している場合には、欠陥の左上端の点Ｐを欠陥とし
て例えば第１２Ａ図に示すように点Ｐを含むブロックＢ
、をモニタ９２の中央付近に表示してしまう。この時欠
陥Ｄ３のように主走査方向に形状が長い時には、欠陥Ｄ
３の右端がモニタ９２から外れることになる。同様に被
検査材５０の送り方向に長い欠陥Ｄ４の場合には、モニ
タ９２上で欠陥Ｄ４の下部がモニタ９２から外れてしま
う。

このような場合には検出した欠陥Ｐを含むブロックＢＰ
をモニタ９２上の左上、すなわちモニタの画像表示エリ
アの主・副走査の始点側の隅に寄せて表示させることに
より、第１２Ｂ図のように欠陥Ｄ３、Ｄ４のほぼ全体を
モニタ９２に表示させることが可能になる。

以上の実施例において、ブロックの大きさは一般の場合
モニタの画像表示エリア（ｍ画素×ｎ画素）の１分割〜
３６分割、すなわち（ｍ＝ｍ／６　）画素ｘ（ｎ−ｎ／
６）画素が好ましく、更に好ましくは１分割〜１６分割
、すなわち（ｍ＝ｍ／４　）画素ｘ（ｎ−ｎ／４）画素
が良い。これは、欠陥の大きさのうちほとんどのものが
１つのブロックに入ること、ブロックの切り出し等の制
御をなるべくシンプルにさせることを目的とした場合容
易に結論づけられる。

一方、特殊ではあるが、非常に有効なブロックの大きさ
の設定として、被検査材を最終的にスリットして製品と
する場合や、被検査材を縦横−定寸法の大きさに切り出
して製品とする場合には、ブロックの巾をスリット巾／
切り出し巾の１７ｍまたはｍ倍（ｍは整数）にし、ブロ
ックの長さを切り出し長さの１／ｎ倍（ｎは整数）にす
ることが好ましい。これにより最終製品の良品／不良品
管理が容易になる。

以上の各実施例では被検査材５０の表面に現れた欠陥り
を検出するものとして説明しているが、本発明は表面を
走査することにより内部の欠陥を検出するものも包含す
る。例えば鋼板の内部欠陥を磁気光学効果を用いて検出
するものであってもよい。これは、被検査材を交流磁界
で磁化した時の欠陥からの漏れ磁界を反射光の偏光の変
化として検出するものである。

また以上の実施例では、被検査材の表面の巾方向の主走
査をレーザースキャンにより行うとして説明しているが
、例えばフライングイメージ方式ＣＣＤ　１次元ライン
センサカメラ、ＣＣ，Ｄ　２次元カメラ等で撮影し、電
気的走査により画像信号を得ることも可能であり、これ
らの方法も包含される。

（発明の効果）請求項（１）の発明は以上のように、欠陥を含むブロッ
クの画像をモニタ上の所定の位置に拡大して表示するも
のであるから、欠陥の有無、大きさ、種類等を目視によ
り確認し易くなる。

この場合バルクメモリおよびフレームメモリをそれぞれ
１個づつ設けてもこの効果は得られるが（請求項（２）
　）　、バルクメモリを複数個設け、その１つのバルク
メモリが欠陥の検出によりデータの読込みを停止してい
る間には他のバルクメモリにデータの読込みを継続させ
ることにより、連続する欠陥にも対応できる（請求項（
３））。またフレームメモリを複数個設ければ（請求項
（４））、各フレームメモリに異なる欠陥を含むブロッ
クを記憶させておき、モニタには十分な時間間隔をもっ
て表示を切換えることが可能になり、欠陥の観察が一層
容易になる。このようにメモリを複数個に増やすだけで
連続する欠陥を見落すことなく検出することが可能にな
り、前記した従来装置のように複数の主要部を並列に設
ける必要がなくなり、装置を簡単にし、かつメモリの容
量を有効に利用することが可能になる。

一方フレームメモリの内容を倍率変更して表示メモリに
メモリするようにした場合には（請求項（５）　）　、
欠陥を一層発見し易い画像にすることが可能になる。

またバルクメモリからフレームメモリに切出すブロック
は、欠陥を含むブロック１つだけとしてこれをモニタに
表示するようにすれば（請求項（６）　）　、欠陥は十
分に大きく拡大できる。欠陥を含むブロックを囲むよう
に合計９．２５、・・・個のブロックを同時に表示する
ようにしたり（請求項［７）　）　、ブロック内の欠陥
がある象限がモニタ中央付近に来るようにしてこれに隣
接する他のブロックを同時に表示するようにすれば（請
求項（８）　）　、欠陥の位置がモニタ中央付近に集中
すると共に、その周辺の様子も同時に観察できる。

点状の欠陥はモニタの中央付近に表示するのが望ましい
が（請求項（７）　）　、長い欠陥に対しては最初に検
出した欠陥を含むブロックをモニタの主・副走査の始点
側の隅に偏位させて表示させれば（請求項（９）　）　
、長い欠陥全体をモニタに表示することが可能になり、
欠陥が見易くなる。

この発明は欠陥を含むブロックが離散している場合には
、これらのブロックのみを集めてモニタに表示すること
ができる（請求項（１０）　）。

この発明はさらに欠陥を含むブロックをモニタに表示す
るだけでなく、このブロックの位置をプリンタなどに記
録するようにしたり（請求項（１１））、フレームメモ
リの内容あるいはモニタ表示画面などの画像データを記
憶するようにしてもよい（請求項（１５）　）。ここに
記録は検査者の指令に基づき手動で行うもの（請求項（
１２）　）、自動で行うものが可能である（請求項（１
３）　）。

さらに複数の欠陥のうち最大の欠陥を含むブロックがモ
ニタの所定位置に来るようにすれば（請求項（１４）　
）　、１つのモニタ画面内に複数の欠陥を同時に表示す
ることにより、バルクメモリやフレームメモリなどの必
要数を減らしたり、多数の欠陥を比較しながら欠陥を監
視し易（することができる。

またモニタには、欠陥を含む画像の静止画と共に動画と
して表面画像を連続的に表示するようにすれば（請求項
（１６）　）　、欠陥周囲の表面状態を比較することに
より、より正確な判断が行える。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例のブロック図、第２図は
画像領域の対応関係を示す概念図、第３図は画像信号等
の出力波形図である。第４図は第２の実施例のブロック図、第５図は画像領域
の対応関係を示す概念図である。第６図は第３の実施例を示すブロック図、第７図はその
表示領域の対応を示す概念図である。第８図は第４の実施例のモニタ表示例を示す図である。第９図は第５の実施例を示すブロック図、第１０図はそ
のモニタ表示例を示す図である。第１１図はこのような場合における表示領域と欠陥の形
状との関係を示す図、第１２Ａ図はこの欠陥がモニタか
ら飛び出した状態を、また第１２Ｂ図はモニタに入るよ
うにした状態を示す。第１３図は従来装置のブロック図、第１４図はモニタに
表示される被検査材の表示領域を示す図である。５０・・・被検査材、５８・・・画像検出手段、７０・・・主走査ライン、７６・・・欠陥判別手段、７８．１７８・・・ブロック判別手段、８２．１８２・
・・バルクメモリ、８４・・・書込み制御手段、８６．１８６・・・切出し制御手段、９２・・・モニタ、１０２・・・倍率変更手段、１０４・・・表示メモリ、１７８ａ・・・欠陥メモリ、２００・・・動画用フレームメモリ。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）被検査材の表面を走査して得た画像信号から、被
検査材の欠陥を検出してモニタに表示する欠陥検査装置
において、被検査材の連続する所定数の走査ラインを順次読込んで
記憶するバルクメモリと、前記画像信号から被検査材の
欠陥を判別する欠陥判別手段と、前記バルクメモリに記
憶された前記被検査材の表面を複数のブロックに分け前
記検出した欠陥を含むブロックを求めるブロック判別手
段と、前記欠陥を含むブロックを含み所定数のブロック
の走査ラインを読み込むとバルクメモリの書き込みを一
時停止させる書き込み制御手段と、このバルクメモリの
データから欠陥を含むブロックを含む所定数のブロック
を切り出してフレームメモリに移す切出し制御手段と、
前記フレームメモリの内容を表示するモニタ手段とを備
えることを特徴とする欠陥検査装置。
（２）バルクメモリおよびフレームメモリをそれぞれ１
個づつ備える請求項（１）の欠陥検査装置。
（３）バルクメモリを複数個備え、書き込み制御手段は
その一方が書き込み停止中に他方に書き込みを継続させ
る請求項（１）の欠陥検査装置。
（４）フレームメモリを複数個備え、モニタに順次表示
する画像を異なるフレームメモリに順次メモリしておく
請求項（１）の欠陥検査装置。
（５）請求項（１）において、フレームメモリの内容を
受け取って表示倍率を変更する倍率変更手段と、倍率変
更済みのデータを記憶する表示メモリとを備え、表示メ
モリの内容をモニタに表示する欠陥検査装置。
（６）切出し制御手段は、欠陥を含むブロックのみを切
出してフレームメモリに移す請求項（１）の欠陥検査装
置。
（７）切出し制御手段は、欠陥を含むブロックとそれを
囲むブロックとを切出し、欠陥を含むブロックをモニタ
中央付近に表示させる請求項（１）の欠陥検査装置。
（８）ブロック判別手段は、欠陥を含むブロック内の欠
陥が位置する象限を判別し、切出し制御手段はこの欠陥
を含む象限に隣接する他の３つのブロックを共に切出し
てフレームメモリに移す請求項（１）の欠陥検査装置。
（９）切出し制御手段は、バルクメモリ内の最初の欠陥
を含むブロックをモニタの画像表示エリアの走査開始側
の隅に偏位させて複数のブロックをフレームメモリに移
す請求項（１）の欠陥検査装置。
（１０）切出し制御手段は、欠陥を含む複数のブロック
をそれぞれ異なるフレームメモリに移し、モニタ手段は
これらの欠陥を含む複数のブロックを同時に表示する請
求項（１）の欠陥検査装置。
（１１）欠陥を含むブロックの位置を記録する記録手段
を持つ請求項（１）の欠陥検査装置。
（１２）記録手段は、検査者の指令に基づいてブロック
の位置を記録する請求項（１０）の欠陥検査装置。
（１３）記録手段は、欠陥を含むブロックを自動で記録
し出力する請求項（１０）の欠陥検査装置。
（１４）ブロック判別手段は、バルクメモリに記憶され
たデータに含まれる複数の欠陥のレベルを比較し、大き
いレベルの欠陥を含むブロックを優先させて切出しまた
モニタに表示する請求項（１）の欠陥検査装置。
（１５）フレームメモリの記録内容およびモニタ表示画
面との少くとも一方を記録する記録手段を備えることを
特徴とする請求項（１）の欠陥検査装置。
（１６）請求項（１）において、検出された画像信号に
よってデータを連続して書き換える動画用フレームメモ
リを備え、前記モニタにはバルクメモリから切出した欠
陥を含む画像を静止画として、また前記動画用フレーム
メモリの内容を動画として並べて表示することを特徴と
する欠陥検出装置。