JPH0455001B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0455001B2 JPH0455001B2 JP60130646A JP13064685A JPH0455001B2 JP H0455001 B2 JPH0455001 B2 JP H0455001B2 JP 60130646 A JP60130646 A JP 60130646A JP 13064685 A JP13064685 A JP 13064685A JP H0455001 B2 JPH0455001 B2 JP H0455001B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- resin
- cavity
- forming material
- resin coating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例えば弾性表面波やバルク波利用
の圧電フイルタ、圧電共振子等を構成する圧電部
品素子およびそれを用いた圧電部品の製造方法に
関する。
の圧電フイルタ、圧電共振子等を構成する圧電部
品素子およびそれを用いた圧電部品の製造方法に
関する。
圧電部品、例えばエネルギー閉じ込め形圧電共
振子の従来の製造方法の一例を第２図を参照しな
がら説明すると、第２図Ａに示す１は、エネルギ
ー閉じ込め形の圧電共振素子であり、例えば圧電
セラミツク等の圧電基板２の両面に相対向する少
なくとも一対の、例えば一対の振動電極４ａ，４
ｂを有している。尚、以下の説明に関係のない引
出し電極、引出しリード等は図示を省略してい
る。そして、当該圧電共振素子１の所定の振動電
極部分に、例えば振動電極４ａを覆うように、例
えばソルダレジスト等の周波数調整用樹脂６を例
えばスクリーン印刷等で付与する（第２図Ｂ）。
こうすることによつて、圧電共振素子１の共振周
波数の微調が可能である。
振子の従来の製造方法の一例を第２図を参照しな
がら説明すると、第２図Ａに示す１は、エネルギ
ー閉じ込め形の圧電共振素子であり、例えば圧電
セラミツク等の圧電基板２の両面に相対向する少
なくとも一対の、例えば一対の振動電極４ａ，４
ｂを有している。尚、以下の説明に関係のない引
出し電極、引出しリード等は図示を省略してい
る。そして、当該圧電共振素子１の所定の振動電
極部分に、例えば振動電極４ａを覆うように、例
えばソルダレジスト等の周波数調整用樹脂６を例
えばスクリーン印刷等で付与する（第２図Ｂ）。
こうすることによつて、圧電共振素子１の共振周
波数の微調が可能である。
次に周波数調整用樹脂６を乾かした後、圧電共
振素子１の振動領域、即ち振動電極４ａ，４ｂと
その周辺部を覆うように、例えばワツクス、グリ
コール系樹脂等から成り、常温では固形で加熱に
より液状となる空洞形成材８を溶融状態で点滴す
る等して付与する（第２図Ｃ）。そして当該空洞
形成材８が固まつた後、その上に多孔質の例えば
エポキシ系の外装樹脂１０を例えば浸漬塗装、あ
るいは粉体塗装する（第２図Ｄ）。その後全体を
加熱して、外装樹脂１０の硬化と空洞形成材８の
外装樹脂１０中への移行を行わせることにより、
振動電極４ａ，４ｂの上部に振動用の空洞１２を
形成する（第２図Ｅ）。その際、必面に応じて全
体を傾けておいても良い。このようにして圧電振
子が製造される。
振素子１の振動領域、即ち振動電極４ａ，４ｂと
その周辺部を覆うように、例えばワツクス、グリ
コール系樹脂等から成り、常温では固形で加熱に
より液状となる空洞形成材８を溶融状態で点滴す
る等して付与する（第２図Ｃ）。そして当該空洞
形成材８が固まつた後、その上に多孔質の例えば
エポキシ系の外装樹脂１０を例えば浸漬塗装、あ
るいは粉体塗装する（第２図Ｄ）。その後全体を
加熱して、外装樹脂１０の硬化と空洞形成材８の
外装樹脂１０中への移行を行わせることにより、
振動電極４ａ，４ｂの上部に振動用の空洞１２を
形成する（第２図Ｅ）。その際、必面に応じて全
体を傾けておいても良い。このようにして圧電振
子が製造される。
なお、上記周波数調整用樹脂６は、その最大の
目的は前述したように圧電共振素子１の周波数調
整用であるが、周波数調整と同時に、圧電共振素
子１のスプリアスを抑圧する働きや、圧電共振素
子１の振動電極に半田が付着するのを防止する働
きもする。
目的は前述したように圧電共振素子１の周波数調
整用であるが、周波数調整と同時に、圧電共振素
子１のスプリアスを抑圧する働きや、圧電共振素
子１の振動電極に半田が付着するのを防止する働
きもする。
上述した周波数調整用樹脂６としては、従来、
着色剤やチクソ剤が少量入つたものが使用されて
いた。しかしながら、第３図に模式的に示すよう
に、このような周波数調整用樹脂６の表面粗さは
小さく、一般に空洞形成材８として使用されるワ
ツクスやグリコール系樹脂との表面エネルギー差
が大きいため、空洞１２の形成後も空洞形成材８
の一部分が周波数調整用樹脂６の表面に残留する
場合がある（第２図Ｅ参照）。
着色剤やチクソ剤が少量入つたものが使用されて
いた。しかしながら、第３図に模式的に示すよう
に、このような周波数調整用樹脂６の表面粗さは
小さく、一般に空洞形成材８として使用されるワ
ツクスやグリコール系樹脂との表面エネルギー差
が大きいため、空洞１２の形成後も空洞形成材８
の一部分が周波数調整用樹脂６の表面に残留する
場合がある（第２図Ｅ参照）。
そして上記のようにして残留した空洞形成材
は、圧電部品の挿入損失や共振抵抗等の電気的特
性を悪化させると共に、高温下での発振レベル等
を不安定にして、信頼性の面での高温特性も悪化
させる。
は、圧電部品の挿入損失や共振抵抗等の電気的特
性を悪化させると共に、高温下での発振レベル等
を不安定にして、信頼性の面での高温特性も悪化
させる。
そこでこの発明は、圧電素子に形成された周波
数調整用の樹脂被膜表面に付着した空洞形成材が
圧電部品製造時に樹脂被膜表面に残留するのを防
止することができる圧電部品素子およびそれを用
いた圧電部品の製造方法を提供することを目的と
する。
数調整用の樹脂被膜表面に付着した空洞形成材が
圧電部品製造時に樹脂被膜表面に残留するのを防
止することができる圧電部品素子およびそれを用
いた圧電部品の製造方法を提供することを目的と
する。
この発明の圧電部品素子は、前述したような周
波数調整用の樹脂被膜に、その表面粗さを大きく
して空洞形成時の空洞形成材の当該樹脂被膜表面
への残留を防止する働きをする充填剤を含有させ
ていることを特徴とする。
波数調整用の樹脂被膜に、その表面粗さを大きく
して空洞形成時の空洞形成材の当該樹脂被膜表面
への残留を防止する働きをする充填剤を含有させ
ていることを特徴とする。
また、この発明の圧電部品の製造方法は、前述
したような圧電部品素子の周波数調整用の樹脂被
膜に、その表面粗さを大きくして空洞形成時の空
洞形成材の当該樹脂表面への残留を防止する働き
をする充填剤を含有させておくことを特徴とす
る。
したような圧電部品素子の周波数調整用の樹脂被
膜に、その表面粗さを大きくして空洞形成時の空
洞形成材の当該樹脂表面への残留を防止する働き
をする充填剤を含有させておくことを特徴とす
る。
上記のようにすれば、樹脂被膜の表面粗さが大
きいため、当該樹脂被膜上に来る空洞形成材の表
面粗張力が分散され、空洞形成材が玉状になつて
残りにくくなり、空洞形成時の空洞形成材は当該
樹脂表面からほぼ完全に除去されるようになる。
きいため、当該樹脂被膜上に来る空洞形成材の表
面粗張力が分散され、空洞形成材が玉状になつて
残りにくくなり、空洞形成時の空洞形成材は当該
樹脂表面からほぼ完全に除去されるようになる。
第１図は、この実施例に係る周波数調整用樹脂
を付与した状態の圧電共振素子の拡大断面図であ
り、上記第３図に相当する。尚、以下においては
上述した従来の製造方法との相違点を主に説明す
る。
を付与した状態の圧電共振素子の拡大断面図であ
り、上記第３図に相当する。尚、以下においては
上述した従来の製造方法との相違点を主に説明す
る。
この実施例においては、圧電共振素子１の周波
数調整用樹脂１６として、充填剤を数％以上含有
するものを用いて、第１図に模式的に示すよう
に、その表面粗さを大きくしている。より具体的
には、周波数調整用樹脂１６としては、従来から
使用されているような周波数調整用樹脂に、充填
材として、例えばアモルフアスシリカ、溶融シリ
カ、タルク、酸化チタン等を数％以上添加したも
のを用いても良いし、あるいは、予め数％以上充
填剤が添加されている樹脂、例えば充填剤入り接
着剤、レジスト等を用いても良い。樹脂１６の被
覆形成方法としては、印刷やスプレー塗布等の方
法が挙げられる。充填剤の粒径は、適用する圧電
部品に応じて考慮される。例えば弾性表面波デバ
イスでは5μｍ以下が好ましい。
数調整用樹脂１６として、充填剤を数％以上含有
するものを用いて、第１図に模式的に示すよう
に、その表面粗さを大きくしている。より具体的
には、周波数調整用樹脂１６としては、従来から
使用されているような周波数調整用樹脂に、充填
材として、例えばアモルフアスシリカ、溶融シリ
カ、タルク、酸化チタン等を数％以上添加したも
のを用いても良いし、あるいは、予め数％以上充
填剤が添加されている樹脂、例えば充填剤入り接
着剤、レジスト等を用いても良い。樹脂１６の被
覆形成方法としては、印刷やスプレー塗布等の方
法が挙げられる。充填剤の粒径は、適用する圧電
部品に応じて考慮される。例えば弾性表面波デバ
イスでは5μｍ以下が好ましい。
上述のような周波数調整用樹脂１６において
は、その表面粗さが大きいために空洞形成材８と
して用いられるワツクスやグリコール系樹脂との
表面エネルギーの差が小さくなつており、そのた
め空洞形成時の溶融した空洞形成材８は当該周波
数調整用樹脂１６の表面からほぼ完全に除去され
る。これは、一般に、粗い表面に液体を流したよ
うな場合は、表面が滑らかな場合に比べて、表面
張力が分散され、終わりの方の液体がその表面に
玉状になつて残る作用が弱くなるからである。そ
の結果、周波数調整用樹脂１６の表面への空洞形
成材８の残留をほぼ完全に防止することができ
る。
は、その表面粗さが大きいために空洞形成材８と
して用いられるワツクスやグリコール系樹脂との
表面エネルギーの差が小さくなつており、そのた
め空洞形成時の溶融した空洞形成材８は当該周波
数調整用樹脂１６の表面からほぼ完全に除去され
る。これは、一般に、粗い表面に液体を流したよ
うな場合は、表面が滑らかな場合に比べて、表面
張力が分散され、終わりの方の液体がその表面に
玉状になつて残る作用が弱くなるからである。そ
の結果、周波数調整用樹脂１６の表面への空洞形
成材８の残留をほぼ完全に防止することができ
る。
そのため、上記のような圧電部品素子およびそ
れを用いた圧電部品の製造方法によれば、圧電部
品の挿入損失や共振抵抗等の電気的特性を改善す
ることができると共に、信頼性の面での高温特性
も改善することができる。例えば、電気的特性と
しては、フイルタにおける挿入損失が1dB前後に
抑えられ、発振子における共振抵抗も数Ω〜数＋
Ωに抑えられる。また高温特性としては、従来は
50〜80℃付近の残留ワツクスやグリコール系樹脂
が溶融する温度範囲で、発振レベルが著しく低下
したり周波数が変動したりしていたけれども、こ
の発明によればそのような不具合もなくなる。
れを用いた圧電部品の製造方法によれば、圧電部
品の挿入損失や共振抵抗等の電気的特性を改善す
ることができると共に、信頼性の面での高温特性
も改善することができる。例えば、電気的特性と
しては、フイルタにおける挿入損失が1dB前後に
抑えられ、発振子における共振抵抗も数Ω〜数＋
Ωに抑えられる。また高温特性としては、従来は
50〜80℃付近の残留ワツクスやグリコール系樹脂
が溶融する温度範囲で、発振レベルが著しく低下
したり周波数が変動したりしていたけれども、こ
の発明によればそのような不具合もなくなる。
以上のようにこの発明によれば、圧電部品素子
の周波数調整用の樹脂被膜に充填剤を含有させて
当該樹脂被膜の表面粗さを大きくしておくので、
空洞形成時の樹脂被膜表面への空洞形成材の残留
が防止される。その結果、製造された圧電部品の
電気的特性や信頼性等が改善される。
の周波数調整用の樹脂被膜に充填剤を含有させて
当該樹脂被膜の表面粗さを大きくしておくので、
空洞形成時の樹脂被膜表面への空洞形成材の残留
が防止される。その結果、製造された圧電部品の
電気的特性や信頼性等が改善される。
第１図は、この実施例に係る周波数調整用樹脂
を付与した状態の圧電共振素子の拡大断面図であ
る。第２図Ａ〜Ｅは、圧電共振部品の従来の製造
方法の一例を説明するための断面図である。第３
図は、第２図Ｂの拡大断面図である。 １…圧電共振素子、２…圧電基板、４ａ，４ｂ
…振動電極、６，１６…周波数調整用樹脂、８…
空洞形成材、１０…外装樹脂、１２…空洞。
を付与した状態の圧電共振素子の拡大断面図であ
る。第２図Ａ〜Ｅは、圧電共振部品の従来の製造
方法の一例を説明するための断面図である。第３
図は、第２図Ｂの拡大断面図である。 １…圧電共振素子、２…圧電基板、４ａ，４ｂ
…振動電極、６，１６…周波数調整用樹脂、８…
空洞形成材、１０…外装樹脂、１２…空洞。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 圧電体の表面に少なくとも一対の電極を有す
る圧電素子の少なくとも一つの電極上を含む部分
に、当該圧電素子の周波数調整用の樹脂被膜が形
成されており、この樹脂被膜上に常温では固形で
加熱により液状となる空洞形成材が付与される圧
電部品素子において、前記樹脂被膜に、その表面
粗さを大きくして空洞形成時の空洞形成材の当該
樹脂被膜表面への残留を防止する働きをする充填
剤を含有させていることを特徴とする圧電部品素
子。 ２ 圧電体の表面に少なくとも一対の電極を有す
る圧電素子の少なくとも一つの電極上を含む部分
に、当該圧電素子の周波数調整用の樹脂被膜が形
成された圧電部品素子を用意し、この樹脂被膜上
で常温では固形で加熱により液状となる空洞形成
材を付与し、その上に外装樹脂を付与し、その後
全体を加熱して外装樹脂の硬化と空洞形成材の外
装樹脂中への移行を行わせることにより少なくと
も電極の上部に空洞を形成する圧電部品の製造方
法において、前記圧電部品素子の樹脂被膜に、そ
の表面粗さを大きくして空洞形成時の空洞形成材
の当該樹脂表面への残留を防止する働きをする充
填剤を含有させておくことを特徴とする圧電部品
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13064685A JPS61288506A (ja) | 1985-06-14 | 1985-06-14 | 圧電部品素子およびそれを用いた圧電部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13064685A JPS61288506A (ja) | 1985-06-14 | 1985-06-14 | 圧電部品素子およびそれを用いた圧電部品の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61288506A JPS61288506A (ja) | 1986-12-18 |
| JPH0455001B2 true JPH0455001B2 (ja) | 1992-09-02 |
Family
ID=15039231
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13064685A Granted JPS61288506A (ja) | 1985-06-14 | 1985-06-14 | 圧電部品素子およびそれを用いた圧電部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61288506A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2931592B2 (ja) * | 1987-08-20 | 1999-08-09 | ティーディーケイ株式会社 | エネルギ閉じ込め型圧電振動子及びその製造方法 |
| JP2954233B2 (ja) * | 1989-04-12 | 1999-09-27 | ティーディーケイ株式会社 | 圧電振動子の共振周波数調整方法 |
| JP3261922B2 (ja) * | 1994-07-26 | 2002-03-04 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振部品の製造方法 |
| JP5036215B2 (ja) * | 2006-05-19 | 2012-09-26 | 日本碍子株式会社 | 圧電薄膜共振子及び圧電薄膜共振子の共振周波数の調整方法 |
| US9338558B2 (en) * | 2012-12-25 | 2016-05-10 | Kyocera Corporation | Acoustic generator, acoustic generation device, and electronic device |
| FR3053532B1 (fr) * | 2016-06-30 | 2018-11-16 | Soitec | Structure hybride pour dispositif a ondes acoustiques de surface |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5642415A (en) * | 1979-09-14 | 1981-04-20 | Tdk Corp | Manufacture of piezoelectric resonator |
-
1985
- 1985-06-14 JP JP13064685A patent/JPS61288506A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61288506A (ja) | 1986-12-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4017752A (en) | Piezoelectric ceramic resonator mounting means | |
| JPS61288506A (ja) | 圧電部品素子およびそれを用いた圧電部品の製造方法 | |
| JP3797061B2 (ja) | セラミックパッケージの封止方法と封止構造 | |
| JPH09186547A (ja) | 表面実装型圧電部品の構造 | |
| JP2004056296A (ja) | 電子部品及び弾性表面波装置 | |
| KR100394453B1 (ko) | 전자부품의 제조방법 | |
| JP4398233B2 (ja) | 圧電発振器の製造方法 | |
| JPS61218211A (ja) | 電子部品およびその製造方法 | |
| JP2003197799A (ja) | 電子部品 | |
| JP2004056295A (ja) | 電子部品及び弾性表面波装置 | |
| JPH04337912A (ja) | 圧電部品の製造方法 | |
| JP2005026411A (ja) | 封止ガラス層の形成方法およびパッケージベース並びに圧電デバイス | |
| JPH04264808A (ja) | 電子部品の製造方法 | |
| JPH0575376A (ja) | 圧電音叉型共振子 | |
| JP2668585B2 (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
| JPH0661772A (ja) | 圧電部品の製造方法 | |
| JPH06283952A (ja) | 圧電複合部品の製造方法 | |
| JPS587705Y2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPS61218213A (ja) | 電子部品およびその製造方法 | |
| JP4890913B2 (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
| US6417599B2 (en) | Piezoelectric resonator, piezoelectric component, and producing method for the piezoelectric resonator | |
| JP2595933Y2 (ja) | 圧電振動子 | |
| JPH087695Y2 (ja) | セラミック発振子 | |
| JP2931592B2 (ja) | エネルギ閉じ込め型圧電振動子及びその製造方法 | |
| JPS6029010A (ja) | セラミック共振子の製造法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |