JPH0455268Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は真空ポンプとして用いられるゲツター
ポンプ用のチヤンバーの構造に関するものであ
る。

（従来の技術） 第４図は従来のゲツターポンプ用チヤンバーの
正面断面図を示す。

従来のゲツターポンプ用チヤンバー２は、ゲツ
ターポンプ３等の蒸発金属が被排気系である真空
槽内部６へ飛散するのを防止するため、必要最小
限の寸法でシールド板５が常備されており、この
シールド板５は支持体１５によつて、冷却水管４
で冷却されたチヤンバー壁面等に固定される構造
をとつている。

（考案が解決しようとする問題点） しかしながら、上記従来のゲツターポンプ用チ
ヤンバー２では、ゲツターポンプ３の蒸発中にお
ける蒸発金属の真空槽内部６への飛散は、この常
備されるシールド板５によつて防ぐことができる
ものの、ゲツターポンプの蒸発完了後にはこのシ
ールド板５自体がゲツターポンプ用チヤンバー２
と真空槽内部６との間で邪魔板となるため、この
部分でコンダクタンスが小さくなり、有効な排気
速度が得られないという欠点があつた。

（考案の目的） 本考案は前記問題を解決し、必要以外の場所へ
の蒸発金属の飛散防止を達成するとともに、ゲツ
ターポンプの蒸発完了後においては充分に有効な
排気速度を確保することのできるゲツターポンプ
用チヤンバーの提供を目的とする。

（問題を解決するための手段） 本考案は、上記目的を達成するために、該蒸発
金属が不必要な場所へ飛散するのを防ぐために設
けられるシールド板を、蒸発終了後は、真空槽外
からの操作で、シールド状態を縮小させることが
できるように構成したものである。

または、シールド板５の支持体に形状記憶合金
を用いることにより、前記蒸発の終了後には自動
的に前記シールド板のシールド状態の縮小が行な
われるようにしたものである。

（作用） 上記構成によれば、ゲツターポンプ蒸発中には
シールド板が邪魔板として働いて従来通り被排気
系の真空槽内部が蒸発金属で汚染されるのを防ぐ
が、ゲツターポンプの蒸発完了後にはシールド板
のシールド状態を縮小させ、その場所に充分なコ
ンダクタンスをもたせて、有効な排気速度を確保
することができる。

（実施例） 以下図を用いて本考案を詳細に説明する。

第１図は、運動導入機１でシールド板５を駆動
する構成を採用する、本考案のゲツターポンプ用
チヤンバーの第１の実施例の正面断面図であり、
従来の第４図と同一の部材には同一符号を付して
説明を省略する。

実線の現状は、シールド板５が邪魔板として働
く、活性金属の蒸発中の図である。蒸発終了後
は、回転導入機１の大気側ハンドル２０を回転さ
せることにより、シールド板５を取り付けている
支持軸１０を回転させて、真空内部のシールド板
５を一点鎖線５０の状態にし、シールド状態を縮
小して、この部分のコンダクタンスを大きくする
ことができる。

本図では、運動導入機１に支持軸１０と０リン
グシール１３を使うものを示したが、これは、ベ
ローズシールや磁気結合型シールを用いるものに
変えることができる。また、直接の手動駆動によ
らず、運動導入機部に電動機、エアーシリンダー
等を付けることも可能で、その場合は遠隔操作も
可能になる。

第１図の構成が回転弁式構成の運動導入機とす
れば、第２図は直線運動軸２１を用いるスルース
弁式構成の運動導入機の本考案の第２の実施例で
ある。一点鎖線の状態が、金属蒸発中でシールド
板５が邪魔板として働いているもの、実線が蒸発
後にシールド状態を縮小した状態を示す。

第３図はシールド板５の支持体１６として２方
向型形状記憶合金を用いた実施例である。

１２はシユラウドで、チヤンバー２内でさらに
ゲツターポンプ３を囲む。１４はシユラウドの内
部の冷却用液体窒素である。

これの動作を説明すると、まずゲツターポンプ
等を予熱状態（活性金属が蒸発し始めない程度の
高い温度）にする。すると、この熱がシールド板
５の支持体１６に伝わつてこれを変形させ、シー
ルド板５および支持体１６は図の一点鎖線Ｂの状
態から実線Ａのシールド状態になる。

その後はゲツターポンプ３を蒸発状態にしても
シールド板５はＡの状態を保持するため真空槽内
部６の蒸発金属による汚染を防止できる。

ゲツターポンプ３の蒸発完了後には、シールド
板５の支持体１６の温度が下がさて復旧し、これ
によつてシールド板はＡの状態からＢの状態に戻
るため、シールド状態は縮小されてコンダクタン
スは大きくなり、充分に有効な排気速度が得られ
る。

（考案の効果） 蒸発金属による汚染防止を従来通り行ないなが
ら、しかも、ゲツターポンプ蒸発完了後はシール
ド状態を縮小して大きいコンダクタンスを確保し
充分な排気速度が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１、２図は、運動導入機等とシールド板を連
動させて使用する、本考案の実施例のゲツターポ
ンプ用チヤンバーの概略の正面断面図。第３図
は、シールド板の支持体に２方向型形状記憶合金
を使用した本考案の実施例の同様の図。第４図は
従来のゲツターポンプ用チヤンバーの同様の図。 １……運動導入機、２……ゲツターポンプ用チ
ヤンバー、３……ゲツターポンプ、４……冷却水
管、５……シールド板、１２……シユラウド、１
４……冷却用液体窒素、１５，１６……支持体。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 活性金属を蒸発させて冷却面へ付着せしめる
   ことにより該活性金属の表面に真空槽内の気体
   をトラツプせしめるゲツターポンプのチヤンバ
   ーにおいて、該蒸発した活性金属が不必要な場
   所へ飛散するのを防ぐために設けられるシール
   ド板を、蒸発終了後は、真空槽外からの操作
   で、そのシールド状態を縮小できるように構成
   したことを特徴とするゲツターポンプ用チヤン
   バー。 (2) 活性金属を蒸発させて冷却面へ付着せしめる
   ことにより該活性金属の表面に真空槽内の気体
   をトラツプせしめるゲツターポンプのチヤンバ
   ーにおいて、該シールド板の支持体に形状記憶
   合金を用い、これにより前記蒸発の終了後に自
   動的に該シールド板のシールド状態の縮小が行
   なわれるようにしたことを特徴とするゲツター
   ポンプ用チヤンバー。