JPH0465358A - 炭素繊維強化炭素材料の製造方法 - Google Patents
炭素繊維強化炭素材料の製造方法Info
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- JPH0465358A JPH0465358A JP2174548A JP17454890A JPH0465358A JP H0465358 A JPH0465358 A JP H0465358A JP 2174548 A JP2174548 A JP 2174548A JP 17454890 A JP17454890 A JP 17454890A JP H0465358 A JPH0465358 A JP H0465358A
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- Japan
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- carbon fiber
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- carbonization
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、耐熱性、耐薬品性、耐摩耗性、軽量性などの
優れた物性を有する高強度の炭素繊維強化炭素材料の製
造法に関する。
優れた物性を有する高強度の炭素繊維強化炭素材料の製
造法に関する。
(従来の技術)
プリプレグを用いて炭素繊維強化炭素材料を製造する方
法は、樹脂含浸炭化法とC〜’D法Cコ大別され、多く
の改良法が提案されている(特開昭534011 、特
公昭58−9070 、特公昭58−48485、特開
昭58−79806、特開昭62−212263等)。
法は、樹脂含浸炭化法とC〜’D法Cコ大別され、多く
の改良法が提案されている(特開昭534011 、特
公昭58−9070 、特公昭58−48485、特開
昭58−79806、特開昭62−212263等)。
樹脂含浸炭化法Cコおいては、炭素繊維強化炭素材料の
マトリックスとなる炭素原料として、フラン樹脂、フェ
ノール樹脂などの熱硬化性樹脂や、主としてピッチで代
表されるような熱可塑性樹脂が用いられている。この製
造プロセスには、強化剤(骨材)としての炭素繊維強化
材料ここれらの樹脂を含浸し、加熱、硬化させてプリプ
レグを作り、このプリプレグを積層したものを不活性雰
囲気下、約1000″Cで熱処理してマトリックス樹脂
を炭素化する方法が広く行われている。
マトリックスとなる炭素原料として、フラン樹脂、フェ
ノール樹脂などの熱硬化性樹脂や、主としてピッチで代
表されるような熱可塑性樹脂が用いられている。この製
造プロセスには、強化剤(骨材)としての炭素繊維強化
材料ここれらの樹脂を含浸し、加熱、硬化させてプリプ
レグを作り、このプリプレグを積層したものを不活性雰
囲気下、約1000″Cで熱処理してマトリックス樹脂
を炭素化する方法が広く行われている。
この樹脂含浸炭化法では、樹脂(ピッチを含む)が溶融
炭化する温度頭載において極めて緩慢な昇温速度を必要
とし、また樹脂の炭化収率が40〜60χと低く、揮発
留分による空隙が生成するため樹脂の再含浸、炭化、圧
縮を繰り返すという煩雑な二次処理を必要とするなどの
問題がある。
炭化する温度頭載において極めて緩慢な昇温速度を必要
とし、また樹脂の炭化収率が40〜60χと低く、揮発
留分による空隙が生成するため樹脂の再含浸、炭化、圧
縮を繰り返すという煩雑な二次処理を必要とするなどの
問題がある。
一方CVD法は、マトリックス原料としてメタン、プロ
パンなどのような低炭素数炭化水素とアルゴンなどの不
活性気体をCVD装置に導入して、減圧下で約800〜
1500℃で反応させた炭素を直接蒸着させる方法であ
る。CVD法はこのように熱分解炭素を直接基材上に気
相で沈着させるため、緻密で均質なマトリ、クスを作り
あげることができるが、装置コストが高く、長時間を要
するので、生産性や経済性の面から極めて不利である。
パンなどのような低炭素数炭化水素とアルゴンなどの不
活性気体をCVD装置に導入して、減圧下で約800〜
1500℃で反応させた炭素を直接蒸着させる方法であ
る。CVD法はこのように熱分解炭素を直接基材上に気
相で沈着させるため、緻密で均質なマトリ、クスを作り
あげることができるが、装置コストが高く、長時間を要
するので、生産性や経済性の面から極めて不利である。
このため通常は、樹脂含浸炭化法と組み合わせて、二次
的な止置化処理に用いられることが多い。
的な止置化処理に用いられることが多い。
(発明が解決しようとする問題点)
炭素繊維とマトリ、クスとを複合化する炭素/炭素複合
材料の製造プロセスは複雑である。すなわち上記の従来
技術による炭素繊維強化炭素材料の製造法では、緻密性
を付与するために、CV D処理や樹脂の再含浸、焼成
の繰り返し等ζこよる煩雑な後処理が必要であり、極め
て高価となる。このため現状ではその用途が限られてお
り、広範な分野での利用の妨げとなっている。
材料の製造プロセスは複雑である。すなわち上記の従来
技術による炭素繊維強化炭素材料の製造法では、緻密性
を付与するために、CV D処理や樹脂の再含浸、焼成
の繰り返し等ζこよる煩雑な後処理が必要であり、極め
て高価となる。このため現状ではその用途が限られてお
り、広範な分野での利用の妨げとなっている。
本発明の目的は、耐熱性、耐薬品性、耐摩耗性、軽量性
などの優れた物性を有する高強度の炭素繊維強化炭素材
料を、簡単な手法により、短時間て製造する方法を提供
することである。
などの優れた物性を有する高強度の炭素繊維強化炭素材
料を、簡単な手法により、短時間て製造する方法を提供
することである。
(問題点を解決するための手段)
発明者等は、メソフェースピッチの特性に着目し、上記
目的を達成すべく鋭意検討した結果、含浸性が高く、炭
化収率の高いメスフェースピッチをマトリックスに用い
れば、加熱処理により高い粘着性か得られ、バインダー
を用いることなく、簡便な方法で高性能の炭素繊維強化
炭素材料が得られることを見出し、本発明に至った。
目的を達成すべく鋭意検討した結果、含浸性が高く、炭
化収率の高いメスフェースピッチをマトリックスに用い
れば、加熱処理により高い粘着性か得られ、バインダー
を用いることなく、簡便な方法で高性能の炭素繊維強化
炭素材料が得られることを見出し、本発明に至った。
すなわち本発明は、炭素繊維集合体を用いた複数のプリ
プレグが積層されてなる炭素繊維強化炭素材料を製造す
るに際し、炭素繊維集合体に軟化点350℃以下で粘度
が80ボイズになる温度が4o○℃以下であり600℃
における炭化収率7o%以上であるメソフェースピッチ
を溶融含浸させて予備加熱処理したプリプレグを積層し
、バインダーを用いることなくプレスしたのち焼成する
ことを特徴とする炭素繊維強化材料の製造方法である。
プレグが積層されてなる炭素繊維強化炭素材料を製造す
るに際し、炭素繊維集合体に軟化点350℃以下で粘度
が80ボイズになる温度が4o○℃以下であり600℃
における炭化収率7o%以上であるメソフェースピッチ
を溶融含浸させて予備加熱処理したプリプレグを積層し
、バインダーを用いることなくプレスしたのち焼成する
ことを特徴とする炭素繊維強化材料の製造方法である。
本発明において使用される炭素繊維集合体には、PAN
系、ピンチ系等の種々の炭素繊維からのものが用いられ
る。この炭素繊維集合体としては一方向繊維、二次元織
布、および不織布シートの何れでも良く、またこれらを
組み合わせたものでも良く、用途や要求特性に応じて決
定される。
系、ピンチ系等の種々の炭素繊維からのものが用いられ
る。この炭素繊維集合体としては一方向繊維、二次元織
布、および不織布シートの何れでも良く、またこれらを
組み合わせたものでも良く、用途や要求特性に応じて決
定される。
強化材としてのこの炭素繊維集合体は、一般に酸化処理
等の表面処理を行って用いることが好ましい マトリックスとして用いられるメソフェースピッチは、
偏光顕微鏡による光学的異方性相が少なくとも80%以
上、好ましくは9oz以上、更に好ましくは実質的に1
00χあることが望ましい。このメソフェースピッチは
炭素繊維集合体に対して含浸性を有することが必要であ
り、含浸性は炭素繊維集合体の形状等により異なるが、
一般に軟化点の低いピッチはど含浸性が高く、本発明に
おけるメソフェースピッチの軟化点は350”C以下、
好ましくは300℃以下である。またこのピッチは粘度
が80ボイズになる温度が400℃以下である必要があ
る。
等の表面処理を行って用いることが好ましい マトリックスとして用いられるメソフェースピッチは、
偏光顕微鏡による光学的異方性相が少なくとも80%以
上、好ましくは9oz以上、更に好ましくは実質的に1
00χあることが望ましい。このメソフェースピッチは
炭素繊維集合体に対して含浸性を有することが必要であ
り、含浸性は炭素繊維集合体の形状等により異なるが、
一般に軟化点の低いピッチはど含浸性が高く、本発明に
おけるメソフェースピッチの軟化点は350”C以下、
好ましくは300℃以下である。またこのピッチは粘度
が80ボイズになる温度が400℃以下である必要があ
る。
なおこの軟化点は作動走査型熱量計、粘度はフローテス
ターで測定される。軟化点および粘度が80ボイズC二
なる温度がこれらの数値より高い温度のメソフェースピ
ッチを用いる場合には、流動性が低く含浸性が低下する
ため緻密で均質なマトリックスができず、強度の高い炭
素材料が得られない。
ターで測定される。軟化点および粘度が80ボイズC二
なる温度がこれらの数値より高い温度のメソフェースピ
ッチを用いる場合には、流動性が低く含浸性が低下する
ため緻密で均質なマトリックスができず、強度の高い炭
素材料が得られない。
更に本発明に用いられるメソフェースピッチは70%以
上、好ましくは80%以上の炭化収率を有するものが用
いられる。この炭化収率は600℃の温度に不活性気流
中で徐々に昇温し2時間程度保持した時の炭化収率であ
る。炭化収率の低いメソフェースピッチを用いた場合に
は、製品中ムこ揮発留分乙こよる空隙が生成し易く、得
られる炭素繊維強化材料の強度が低下する。
上、好ましくは80%以上の炭化収率を有するものが用
いられる。この炭化収率は600℃の温度に不活性気流
中で徐々に昇温し2時間程度保持した時の炭化収率であ
る。炭化収率の低いメソフェースピッチを用いた場合に
は、製品中ムこ揮発留分乙こよる空隙が生成し易く、得
られる炭素繊維強化材料の強度が低下する。
これらの条件を満足するメソフェースピッチの一例とし
て、特開平1−13621号、特開平1−254796
号および特願平1−309842号に記載されているメ
ソフェースピッチが好適である。このメソフェースピッ
チは、縮合多環芳香族炭化水素を)IF−BF3の存在
下で重合して得られるピ・ノチであり、高い炭化収率が
得られ、軟化点が低く 200〜350℃で良好な含
浸性を示す。
て、特開平1−13621号、特開平1−254796
号および特願平1−309842号に記載されているメ
ソフェースピッチが好適である。このメソフェースピッ
チは、縮合多環芳香族炭化水素を)IF−BF3の存在
下で重合して得られるピ・ノチであり、高い炭化収率が
得られ、軟化点が低く 200〜350℃で良好な含
浸性を示す。
二′のメソフェースピッチを、軟化点よりも高い温度、
例えば200〜390″Cに加熱溶融して炭素繊維集合
体に含浸させる。なお含浸量を適度に調節するために、
含浸後に必要に応して過剰のピア・チを絞り取る操作が
行われる。
例えば200〜390″Cに加熱溶融して炭素繊維集合
体に含浸させる。なお含浸量を適度に調節するために、
含浸後に必要に応して過剰のピア・チを絞り取る操作が
行われる。
こうして得られたピンチ含浸炭素繊維集合体を次に予備
加熱処理する。予備加熱処理は、繊維間に浸み込んだメ
ソフェースピッチが完全に炭化しない範囲において、粘
着性を失わなし)程度の、且つ炭化収率を一層向上でき
るような適度の加熱条件を選択する必要がある。この予
備加熱処理条件はメソフェースピッチの性状や含浸率な
どじこより異なるが、一般に非酸化性雰囲気下2〜10
℃/minの昇温速度で350〜490℃まで短時間加
熱することが行われる。予備加熱処理における圧力iよ
特に制限が無く、常圧、加圧あるいは減圧下の何れでも
良い。
加熱処理する。予備加熱処理は、繊維間に浸み込んだメ
ソフェースピッチが完全に炭化しない範囲において、粘
着性を失わなし)程度の、且つ炭化収率を一層向上でき
るような適度の加熱条件を選択する必要がある。この予
備加熱処理条件はメソフェースピッチの性状や含浸率な
どじこより異なるが、一般に非酸化性雰囲気下2〜10
℃/minの昇温速度で350〜490℃まで短時間加
熱することが行われる。予備加熱処理における圧力iよ
特に制限が無く、常圧、加圧あるいは減圧下の何れでも
良い。
予備加熱処理が不十分であると、次の積層炭化工程にお
いて揮発ガスによる膨張や発泡が起こり易くなり、高性
能の炭素材料が得られない。しかしながら予備加熱処理
工程の途中あるいは終了直前に、少量の空気を吹き込む
ことによる酸化処理を行えば、これらの膨張や発泡を抑
制する二とができる。また予備加熱処理時の僅かな膨張
ζ二ついては、予備加熱処理工程の途中でロールまたは
プレスによって高充填化することムこより、粘着性を失
うことなく緻密化することができる。
いて揮発ガスによる膨張や発泡が起こり易くなり、高性
能の炭素材料が得られない。しかしながら予備加熱処理
工程の途中あるいは終了直前に、少量の空気を吹き込む
ことによる酸化処理を行えば、これらの膨張や発泡を抑
制する二とができる。また予備加熱処理時の僅かな膨張
ζ二ついては、予備加熱処理工程の途中でロールまたは
プレスによって高充填化することムこより、粘着性を失
うことなく緻密化することができる。
一方、過度の予備加熱処理は、プリプレグの融着性を妨
害し、積層剥離の原因となり易く、所望の強度を持つ炭
素繊維強化炭素材料が得られ無い場合がある。すなわち
予備加熱処理を適度に行うことによって、メンフェース
ピッチの粘着性を保持しつつ、炭化工程で発生するガス
を極力除外することができ、−回の焼成で、高密度、高
強度の炭素繊維強化炭素材料を得ることができる。
害し、積層剥離の原因となり易く、所望の強度を持つ炭
素繊維強化炭素材料が得られ無い場合がある。すなわち
予備加熱処理を適度に行うことによって、メンフェース
ピッチの粘着性を保持しつつ、炭化工程で発生するガス
を極力除外することができ、−回の焼成で、高密度、高
強度の炭素繊維強化炭素材料を得ることができる。
次にこの粘着性を維持したプリプレグを積層しプレスす
る。この際バインダーは不要であり、積層体の形状につ
いては、目的、用途、要求される性能に応して、板状、
円筒状等の所望の形状に自由に選択することができる。
る。この際バインダーは不要であり、積層体の形状につ
いては、目的、用途、要求される性能に応して、板状、
円筒状等の所望の形状に自由に選択することができる。
プレスは強化材の炭素繊維の組織が破壊されず、初期の
強度を失わない圧力範囲で行う必要がある。なおプレス
工程は非酸化性雰囲気下、常温でも高い強度の炭素材料
を得ることができるが、必要に応して300〜600″
C程度に昇温すれば更に炭素材料の強度を向上させるこ
とができる。
強度を失わない圧力範囲で行う必要がある。なおプレス
工程は非酸化性雰囲気下、常温でも高い強度の炭素材料
を得ることができるが、必要に応して300〜600″
C程度に昇温すれば更に炭素材料の強度を向上させるこ
とができる。
プレスして得られた積層体を引続き焼成することによっ
て、所望の炭素繊維強化炭素材料が製造される。焼成工
程は非酸化性雰囲気下、積層体を600〜1500℃の
温度に加熱し炭化することによって行われるが、更にこ
の炭化物を2000〜3000℃の温度に加熱して黒鉛
化する工程を含める二ともできる。
て、所望の炭素繊維強化炭素材料が製造される。焼成工
程は非酸化性雰囲気下、積層体を600〜1500℃の
温度に加熱し炭化することによって行われるが、更にこ
の炭化物を2000〜3000℃の温度に加熱して黒鉛
化する工程を含める二ともできる。
(発明の効果)
本発明においてはマトリックスの原料として、炭化、黒
鉛化が容易で炭化収率が高いメソフェースピッチを使用
するので、短時間で焼成が達成されると共に、−回の焼
成のみで十分な高密度が得られる。また含浸性の高いメ
ソフェースピッチを用いて本発明の予備加熱処理を行う
ことにより高粘着性が得られるので特にハンイダーは不
要である。更にメソフェースピッチに由来するマトリッ
クスは、光学的異方性組織を有し、高徴畜質で高純度で
あるため、高強度の炭素繊維強化材料4が得られる。
鉛化が容易で炭化収率が高いメソフェースピッチを使用
するので、短時間で焼成が達成されると共に、−回の焼
成のみで十分な高密度が得られる。また含浸性の高いメ
ソフェースピッチを用いて本発明の予備加熱処理を行う
ことにより高粘着性が得られるので特にハンイダーは不
要である。更にメソフェースピッチに由来するマトリッ
クスは、光学的異方性組織を有し、高徴畜質で高純度で
あるため、高強度の炭素繊維強化材料4が得られる。
本発明によれば、耐熱性、耐薬品性、耐摩耗性、軽量性
などの優れた物性を持つ高密度かつ高強度の炭素繊維強
化炭素材料が、上記理由により容易に短時間で安価に製
造できるので、本発明の工業的意義が大きい。
などの優れた物性を持つ高密度かつ高強度の炭素繊維強
化炭素材料が、上記理由により容易に短時間で安価に製
造できるので、本発明の工業的意義が大きい。
(実施例)
以下、実施例により本発明を更に具体的に説明する。但
し本発明はこれらの実施例により制限されるものではな
い。
し本発明はこれらの実施例により制限されるものではな
い。
実施例I
PAN系炭素炭素繊維織布し■製、トレカクロス#63
43)をアセトンで洗浄した後、HF−BF3の存在下
ナフタレンを重合して得られたメソフェースピンチ(軟
化点218℃1粘度が80ポイズになる温度が約300
℃8600′Cに加熱した時の炭化収率85χ)を減圧
下300″Cで含浸させ、余分のピッチをホットロール
を通して絞り取った。
43)をアセトンで洗浄した後、HF−BF3の存在下
ナフタレンを重合して得られたメソフェースピンチ(軟
化点218℃1粘度が80ポイズになる温度が約300
℃8600′Cに加熱した時の炭化収率85χ)を減圧
下300″Cで含浸させ、余分のピッチをホットロール
を通して絞り取った。
次に予備加熱処理として、この含浸物を昇温速度5℃/
minで370℃まて昇温し、20分間保持することに
よって、炭素繊維含有率約50w tχの融着性を有す
るフ”しブリグを3同調した。
minで370℃まて昇温し、20分間保持することに
よって、炭素繊維含有率約50w tχの融着性を有す
るフ”しブリグを3同調した。
こうして得られたプレプリグを、バインダーを加えるこ
となく積層して、窒素雰囲気下500℃までホットプレ
ス装置を用いてプレスした(昇温速度1℃/min、最
高プレス圧200kgf/cm2)。ソノ後プレス圧を
開放し、アルゴン雰囲気下、昇温速度1°(:/min
で1300℃まで昇温することにより、直径60mm、
厚さ10mmの炭化物を得た。
となく積層して、窒素雰囲気下500℃までホットプレ
ス装置を用いてプレスした(昇温速度1℃/min、最
高プレス圧200kgf/cm2)。ソノ後プレス圧を
開放し、アルゴン雰囲気下、昇温速度1°(:/min
で1300℃まで昇温することにより、直径60mm、
厚さ10mmの炭化物を得た。
実施例2
実施例1で得られた炭化物を更にアルゴン雰囲気下で2
500℃まで昇温し、黒鉛化物を得た。
500℃まで昇温し、黒鉛化物を得た。
L賽咋↓
実施例1と同様のプリプレグを用い、バインダを加える
ことなく積層し、常温で直径60mm、厚さ10mmに
成型した(成型圧力200Jf/cm2)。その後、常
圧アルゴン雰囲気下、1300′Cまて昇温し、炭化物
を得た。
ことなく積層し、常温で直径60mm、厚さ10mmに
成型した(成型圧力200Jf/cm2)。その後、常
圧アルゴン雰囲気下、1300′Cまて昇温し、炭化物
を得た。
実施例4
実施例3で得られた炭化物を更にアルゴン雰囲気下で2
500℃まで昇温し、黒鉛化物を得た。
500℃まで昇温し、黒鉛化物を得た。
窯】l建i
サイジング剤を除去した炭素繊維不織布(呉羽化学工業
■製、クレカペーパーE−20)に、FIP−BF。
■製、クレカペーパーE−20)に、FIP−BF。
の存在下ナフタレンを重合して得られたメソフェースピ
ンチ(軟化点285℃1粘度が80ボイズになる温度が
約380℃1600″Cに加熱した時の炭化収率87χ
)を常圧下380℃で含浸させ、余分のピンチをホット
ロールを通して絞り取った。
ンチ(軟化点285℃1粘度が80ボイズになる温度が
約380℃1600″Cに加熱した時の炭化収率87χ
)を常圧下380℃で含浸させ、余分のピンチをホット
ロールを通して絞り取った。
次に予備加熱処理として、この含浸物を昇温速度5℃/
minで430℃まで昇温し、10分間保持することに
よって、炭素繊維含有率約50wtχの融着性を有する
ブレブリグを調製した。
minで430℃まで昇温し、10分間保持することに
よって、炭素繊維含有率約50wtχの融着性を有する
ブレブリグを調製した。
バインダーを加えずにこのプレプリグを積層し、100
kgf/cm2の圧力下500℃においてホントプレス
した後、常圧下1300℃で炭化し、直径60mm、厚
さ10mmの炭化物を得た。
kgf/cm2の圧力下500℃においてホントプレス
した後、常圧下1300℃で炭化し、直径60mm、厚
さ10mmの炭化物を得た。
実施例6
実施例5で得られた炭化物を更にアルゴン雰囲気下で2
500℃まで昇温し、黒鉛化物を得た。
500℃まで昇温し、黒鉛化物を得た。
各実施例で得られた炭化物の評価結果を次に示す。
特許出願人 三菱瓦斯化学株式会社
代理人 弁理士 小 堀 貞 文
手
続
補
正
書
(自発)
6゜
補正の内容
Claims (3)
- (1)炭素繊維集合体を用いた複数のプリプレグが積層
されてなる炭素繊維強化炭素材料を製造するに際し、炭
素繊維集合体に軟化点350℃以下で粘度が80ポイズ
になる温度が400℃以下であり600℃における炭化
収率70%以上であるメソフェースピッチを溶融含浸さ
せて予備加熱処理したプリプレグを積層し、バインダー
を用いることなくプレスしたのち焼成することを特徴と
する炭素繊維強化材料の製造方法 - (2)予備加熱処理工程を、非酸化性雰囲気下350〜
490℃の温度で行う請求項1の炭素繊維強化材料の製
造方法 - (3)プレス工程を非酸化性雰囲気下300〜600℃
で行う請求項1の炭素繊維強化材料の製造方法(4)焼
成工程が、プレスした積層体を非酸化性雰囲気下600
〜1500℃の温度で炭化する工程、或いは更に200
0〜3000℃の温度で黒鉛化する工程からなる請求項
1の炭素繊維強化材料の製造方法
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17454890A JP3220983B2 (ja) | 1990-07-03 | 1990-07-03 | 炭素繊維強化炭素材料の製造方法 |
| US07/724,892 US5205888A (en) | 1990-07-03 | 1991-07-02 | Process for producing carbon fiber reinforced carbon materials |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17454890A JP3220983B2 (ja) | 1990-07-03 | 1990-07-03 | 炭素繊維強化炭素材料の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0465358A true JPH0465358A (ja) | 1992-03-02 |
| JP3220983B2 JP3220983B2 (ja) | 2001-10-22 |
Family
ID=15980483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17454890A Expired - Fee Related JP3220983B2 (ja) | 1990-07-03 | 1990-07-03 | 炭素繊維強化炭素材料の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3220983B2 (ja) |
-
1990
- 1990-07-03 JP JP17454890A patent/JP3220983B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3220983B2 (ja) | 2001-10-22 |
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