JPH0467330U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0467330U JPH0467330U JP11062890U JP11062890U JPH0467330U JP H0467330 U JPH0467330 U JP H0467330U JP 11062890 U JP11062890 U JP 11062890U JP 11062890 U JP11062890 U JP 11062890U JP H0467330 U JPH0467330 U JP H0467330U
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- JP
- Japan
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- parts
- wiring
- electrode parts
- electrode
- semiconductor
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- Pending
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- WQJQOUPTWCFRMM-UHFFFAOYSA-N tungsten disilicide Chemical compound [Si]#[W]#[Si] WQJQOUPTWCFRMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910021342 tungsten silicide Inorganic materials 0.000 claims 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の半導体装置の一実施例である
２層配線ＬＳＩの一例を示す部分拡大断面図、第
２図は第１図の２層配線ＬＳＩの製造プロセスを
説明する図、第３図は従来の２層配線ＬＳＩの一
例を示す部分拡大断面図である。 １……２層配線ＬＳＩ（半導体装置）、２……
シリコン基板（半導体基板）、６……ゲート電極
部（電極部）、１２……配線部、１３……電極配
線部、１３ａ……ソース電極部（電極部）、１３
ｂ……配線部、１６……配線部。
２層配線ＬＳＩの一例を示す部分拡大断面図、第
２図は第１図の２層配線ＬＳＩの製造プロセスを
説明する図、第３図は従来の２層配線ＬＳＩの一
例を示す部分拡大断面図である。 １……２層配線ＬＳＩ（半導体装置）、２……
シリコン基板（半導体基板）、６……ゲート電極
部（電極部）、１２……配線部、１３……電極配
線部、１３ａ……ソース電極部（電極部）、１３
ｂ……配線部、１６……配線部。
Claims (1)
- 半導体基板上に２個以上の電極部と、前記電極
部にそれぞれ接続された配線部とが形成された半
導体装置において、すべての前記電極部及び配線
部の材質がタングステンシリサイドであることを
特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11062890U JPH0467330U (ja) | 1990-10-23 | 1990-10-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11062890U JPH0467330U (ja) | 1990-10-23 | 1990-10-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0467330U true JPH0467330U (ja) | 1992-06-15 |
Family
ID=31857991
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11062890U Pending JPH0467330U (ja) | 1990-10-23 | 1990-10-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0467330U (ja) |
-
1990
- 1990-10-23 JP JP11062890U patent/JPH0467330U/ja active Pending