JPH0467431A - 磁気記録媒体の保護潤滑膜形成方法 - Google Patents
磁気記録媒体の保護潤滑膜形成方法Info
- Publication number
- JPH0467431A JPH0467431A JP17995290A JP17995290A JPH0467431A JP H0467431 A JPH0467431 A JP H0467431A JP 17995290 A JP17995290 A JP 17995290A JP 17995290 A JP17995290 A JP 17995290A JP H0467431 A JPH0467431 A JP H0467431A
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- Japan
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- film
- recording medium
- lubricant
- magnetic recording
- magnetic
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- Pending
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁気記録媒体の表面を被覆する保護潤滑膜の
形成方法に関する。
形成方法に関する。
強磁性金属（Ｃｏ系、Ｃｏ−Ｃｒ系、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｎｉ
系等）からなる磁性膜を記録層とする金属薄膜型磁気記
録媒体は、スパッタリング法等の成膜法を利用し、成膜
チャンバ内において非磁性基体の表面に所定の成膜操作
を行うことにより製作される。
系等）からなる磁性膜を記録層とする金属薄膜型磁気記
録媒体は、スパッタリング法等の成膜法を利用し、成膜
チャンバ内において非磁性基体の表面に所定の成膜操作
を行うことにより製作される。
その記録メディアとしての機能および耐用寿命を安定化
するには、磁性膜面に近接対向する記録・再生用磁気ヘ
ッドとの接触を滑らかにし、磁性膜と磁気ヘッドの摩耗
・損傷を防止することが必要なことは言うまでもない。
するには、磁性膜面に近接対向する記録・再生用磁気ヘ
ッドとの接触を滑らかにし、磁性膜と磁気ヘッドの摩耗
・損傷を防止することが必要なことは言うまでもない。
従来より、そのための保護潤滑膜として、磁性膜表面に
液体潤滑剤（パーフルオロポリエーテル等）を塗布する
ことが行われている。磁性膜の表面にダイヤモンド・ラ
イク・カーボンやグラファイト・ライク・カーボン等の
炭素質膜に代表される固体保護膜を積層成膜する場合に
も、その固体保護膜に対する磁気ヘッドの接触を滑らか
にするために、固体保護膜の表面に液体潤滑剤を塗布す
るのが一般である。その潤滑膜厚さは、概ね１０〜４０
人である。
液体潤滑剤（パーフルオロポリエーテル等）を塗布する
ことが行われている。磁性膜の表面にダイヤモンド・ラ
イク・カーボンやグラファイト・ライク・カーボン等の
炭素質膜に代表される固体保護膜を積層成膜する場合に
も、その固体保護膜に対する磁気ヘッドの接触を滑らか
にするために、固体保護膜の表面に液体潤滑剤を塗布す
るのが一般である。その潤滑膜厚さは、概ね１０〜４０
人である。
非磁性基体上に成膜された磁性膜の表面、またはその膜
面に積層形成された固体保護膜の表面（以下、その表面
を「媒体の表面」とも言う）に液体潤滑剤を塗布し、媒
体表面と磁気へンドとの間の摩擦・摩耗を緩和する保護
潤滑膜として安定に機能させるためには、媒体表面に対
してその潤滑膜を強固に付着させることが必要である。
面に積層形成された固体保護膜の表面（以下、その表面
を「媒体の表面」とも言う）に液体潤滑剤を塗布し、媒
体表面と磁気へンドとの間の摩擦・摩耗を緩和する保護
潤滑膜として安定に機能させるためには、媒体表面に対
してその潤滑膜を強固に付着させることが必要である。
付着力が十分でないと、記録再生操作過程における磁気
記録媒体の高速度回転に伴う遠心力の作用で液体潤滑剤
が媒体表面上を移動するマイグレーションを生じ、また
磁気ヘッドの反復接触により潤滑剤が飛散・消失し潤滑
効果が著しく減殺されてしまうからである。その付着力
を高める方法として、媒体表面に液体潤滑剤を塗布した
のち、約１００°Ｃ前後の温度で加熱処理することが行
われているが、その効果は十分なものと言えない。
記録媒体の高速度回転に伴う遠心力の作用で液体潤滑剤
が媒体表面上を移動するマイグレーションを生じ、また
磁気ヘッドの反復接触により潤滑剤が飛散・消失し潤滑
効果が著しく減殺されてしまうからである。その付着力
を高める方法として、媒体表面に液体潤滑剤を塗布した
のち、約１００°Ｃ前後の温度で加熱処理することが行
われているが、その効果は十分なものと言えない。
本発明は、媒体表面に対する上記潤滑膜の付着力を高め
、磁性膜・磁気へ・ノド間の保護潤滑膜としての機能を
向上安定させることを目的としてなされたものである。
、磁性膜・磁気へ・ノド間の保護潤滑膜としての機能を
向上安定させることを目的としてなされたものである。
〔課題を解決するための手段および作用〕本発明は、成
膜チャンバ内でのスパッタリング等による所定の成膜操
作を経て製作される金属薄膜型磁気記録媒体の表面に液
体潤滑剤の塗膜を形成する方法において、 前記成膜チャンバ内で所定の成膜操作を終了した後の磁
気記録媒体の表面に対する潤滑剤の塗膜の形成を、（ｉ
）その成膜チャンバ内において行うこと、また（ ｉｉ
）成膜チャンバの外に取出す場合は、取出した後、２
４時間以内に行うこと、を特徴としている。
膜チャンバ内でのスパッタリング等による所定の成膜操
作を経て製作される金属薄膜型磁気記録媒体の表面に液
体潤滑剤の塗膜を形成する方法において、 前記成膜チャンバ内で所定の成膜操作を終了した後の磁
気記録媒体の表面に対する潤滑剤の塗膜の形成を、（ｉ
）その成膜チャンバ内において行うこと、また（ ｉｉ
）成膜チャンバの外に取出す場合は、取出した後、２
４時間以内に行うこと、を特徴としている。
以下、本発明について詳しく説明する。
非磁性基体に、スパッタリング法等による成膜操作が施
されて製造された磁気記録媒体は、成膜チャンバ内から
大気中に取出された後の保管過程で、経時的に酸素、水
分、炭酸ガス、ハイドロカーボン等の分子レベルの物質
が吸着することによる汚染を免れない。
されて製造された磁気記録媒体は、成膜チャンバ内から
大気中に取出された後の保管過程で、経時的に酸素、水
分、炭酸ガス、ハイドロカーボン等の分子レベルの物質
が吸着することによる汚染を免れない。
本発明は、磁気記録媒体の表面（磁性膜面、その膜面上
に固体保護膜が積層形成されている場合は固体保護膜の
表面）に吸着したこのような汚染物質の存在が媒体表面
と液体潤滑剤との均質で強固な付着関係を妨げる大きな
要因をなしていることに鑑み、媒体表面に対する液体潤
滑剤の塗布を、媒体表面が実質的に清浄な状態に保持さ
れている間に行うようにしたのである。
に固体保護膜が積層形成されている場合は固体保護膜の
表面）に吸着したこのような汚染物質の存在が媒体表面
と液体潤滑剤との均質で強固な付着関係を妨げる大きな
要因をなしていることに鑑み、媒体表面に対する液体潤
滑剤の塗布を、媒体表面が実質的に清浄な状態に保持さ
れている間に行うようにしたのである。
本発明の第一の方法により、媒体表面の潤滑剤の塗布を
成膜チャンバ内で行う場合は、大気との接触がなく、媒
体表面の汚染は完全に回避される。
成膜チャンバ内で行う場合は、大気との接触がなく、媒
体表面の汚染は完全に回避される。
また、磁気記録媒体を成膜チャンバから取出した後に潤
滑剤の塗布を行う場合においても、２４時間以内に塗布
を行うこととすれば、媒体表面の汚染の影響は少なく、
改良された塗膜付着力を得ることができる。むろん、チ
ャンバから取出した後の潤滑剤塗布までの経過時間は短
い程良い。本発明者の実験によれば、チャンバから取出
した後、５〜６時間以内であれば、チャンバ内で塗布を
行ったものと略同等の塗膜付着力が確保できる。
滑剤の塗布を行う場合においても、２４時間以内に塗布
を行うこととすれば、媒体表面の汚染の影響は少なく、
改良された塗膜付着力を得ることができる。むろん、チ
ャンバから取出した後の潤滑剤塗布までの経過時間は短
い程良い。本発明者の実験によれば、チャンバから取出
した後、５〜６時間以内であれば、チャンバ内で塗布を
行ったものと略同等の塗膜付着力が確保できる。
本発明において使用される液体潤滑剤は、むろんその材
質に制限はなく、例えばパーフルオロポリエーテル等に
代表される公知の各種潤滑剤が任意に選択される。塗布
法についても制限はなく、所定の液体潤滑剤に媒体を浸
漬する浸漬塗布法、媒体を回転させながら液体潤滑剤を
吹付けるスピンコーティング法、または液体潤滑剤を加
熱蒸発させて媒体表面に沈着させる蒸着法等の公知の方
法に従って行えばよい。成膜チャンバ内で潤滑剤を塗布
する場合は、その成膜チャンバ内に、液体潤滑剤を収容
した容器を予め納置しておき、所定の成膜操作につづい
てそのチャンバ内で蒸着法による塗布を行うようにする
こともできる。
質に制限はなく、例えばパーフルオロポリエーテル等に
代表される公知の各種潤滑剤が任意に選択される。塗布
法についても制限はなく、所定の液体潤滑剤に媒体を浸
漬する浸漬塗布法、媒体を回転させながら液体潤滑剤を
吹付けるスピンコーティング法、または液体潤滑剤を加
熱蒸発させて媒体表面に沈着させる蒸着法等の公知の方
法に従って行えばよい。成膜チャンバ内で潤滑剤を塗布
する場合は、その成膜チャンバ内に、液体潤滑剤を収容
した容器を予め納置しておき、所定の成膜操作につづい
てそのチャンバ内で蒸着法による塗布を行うようにする
こともできる。
本発明に従って、磁気記録媒体表面に対する潤滑剤の塗
布を成膜チャンバ内で行うか、または同チャンバから取
出した後、速やかに行うことにより、媒体表面と潤滑膜
の界面の密着性が向上すると共に、媒体表面に対する塗
膜構成分子の配向性が高められ、その効果として媒体表
面に対する塗膜の付着力が強化され、実機使用時のマイ
グレーションや磁気ヘッドの摺接による膜面損傷に対す
る抵抗性が向上し、長期に亘って良好な潤滑機能が維持
される。
布を成膜チャンバ内で行うか、または同チャンバから取
出した後、速やかに行うことにより、媒体表面と潤滑膜
の界面の密着性が向上すると共に、媒体表面に対する塗
膜構成分子の配向性が高められ、その効果として媒体表
面に対する塗膜の付着力が強化され、実機使用時のマイ
グレーションや磁気ヘッドの摺接による膜面損傷に対す
る抵抗性が向上し、長期に亘って良好な潤滑機能が維持
される。
〔Ｉ〕供試磁気ディスク
アルミニウム合金基板（Ｎ’ｉ−Ｐ無電解めっき処理）
に、クロム膜（膜厚： １５００人）、ＣｏＮｉＣｒ系
合金磁性膜（膜厚ニア００人）、および炭素膜（膜厚：
３００人）がこの順に積層成膜され、膜面にバーニッシ
ュ処理が施された３、５″型磁気記録媒体を使用。
に、クロム膜（膜厚： １５００人）、ＣｏＮｉＣｒ系
合金磁性膜（膜厚ニア００人）、および炭素膜（膜厚：
３００人）がこの順に積層成膜され、膜面にバーニッシ
ュ処理が施された３、５″型磁気記録媒体を使用。
（ＩＩＩ液体潤滑剤の塗布
潤滑剤としてパーフルオロポリエーテル（モンテジソン
社製ｒＡＭ２００１Ｊ ）を使用。膜厚はいずれも３０
人とした。
社製ｒＡＭ２００１Ｊ ）を使用。膜厚はいずれも３０
人とした。
（１）供試ディスクＮｏ、 １
成膜チャンバ内でのスパッタ成膜完了後、同チャンバ内
に予め設置しておいて液体潤滑剤収容ルツボの潤滑剤を
加熱し蒸着法により塗膜を形成。
に予め設置しておいて液体潤滑剤収容ルツボの潤滑剤を
加熱し蒸着法により塗膜を形成。
（２）供試ディスクＮｏ、 ２〜４
成膜チヤンバ内でスパッタ成膜を完了したディスクを同
チャンバから取出した後、浸漬塗布法により塗膜を形成
、チャンバ取出し後、浸漬塗布に付すまでの経過時間は
、Ｎｏ、 ２ ： ５ Ｈｒ、 Ｎｏ、 ３ ： ２０
Ｈｒ。
チャンバから取出した後、浸漬塗布法により塗膜を形成
、チャンバ取出し後、浸漬塗布に付すまでの経過時間は
、Ｎｏ、 ２ ： ５ Ｈｒ、 Ｎｏ、 ３ ： ２０
Ｈｒ。
Ｎｏ、 ４ ： ３０Ｈｒとした。
（３）供試ディスクＮ０１５
供試ディスクＮｏ、 ４と同じ条件で潤滑剤の塗布を行
ったのち、抵抗発熱体を内蔵した加熱チャンバ内で加熱
処理（１００°ＣＸＩＨｒ）を行った。
ったのち、抵抗発熱体を内蔵した加熱チャンバ内で加熱
処理（１００°ＣＸＩＨｒ）を行った。
（ＩＶ）Ｃ３Ｓテスト
各供試ディスクについて、表面に磁気ヘッドを反復接触
させるＣＳＳテスト（Ｃｏｎｔａｃｔ ５ｔａｒｔＳｔ
ｏｐ Ｔｅ５ｔ）を行い、反復回数１０４回後の摩擦係
数（μ）をテスト前のそれと比較した。ディスク回転速
度は３６００ｒｐｍとした。使用した磁気ヘッドは薄膜
ヘッドである。
させるＣＳＳテスト（Ｃｏｎｔａｃｔ ５ｔａｒｔＳｔ
ｏｐ Ｔｅ５ｔ）を行い、反復回数１０４回後の摩擦係
数（μ）をテスト前のそれと比較した。ディスク回転速
度は３６００ｒｐｍとした。使用した磁気ヘッドは薄膜
ヘッドである。
上記試験結果を第１表に示す。供試Ｎｏ、 ４は、成膜
チャンバから取出した後、塗膜形成までに長時間を経過
した例であり、Ｃ８Ｓテスト後の摩擦係数は大幅に増大
している。この摩擦係数の大幅な増加は、Ｃ３Ｓテスト
過程でのマイグレーションや磁気ヘッドの反復接触によ
り、潤滑塗膜がテスト前の健全な膜面形態が損なわれた
からに他ならない。これに対し、成膜チャンバ内で塗膜
形成を行ったＮα１の摩擦係数の変化はわずかであり、
Ｃ３Ｓテスト後も低い摩擦係数を保持している。また、
成膜チャンバから取出して塗膜形成を行う場合でも、Ｎ
ｏ、 ２やＮα３に示すように塗膜形成までの経過時間
を規制し、一定時間内に行うことにより、摩擦係数の大
幅な増加が回避され、低摩擦係数を保持することができ
る。
チャンバから取出した後、塗膜形成までに長時間を経過
した例であり、Ｃ８Ｓテスト後の摩擦係数は大幅に増大
している。この摩擦係数の大幅な増加は、Ｃ３Ｓテスト
過程でのマイグレーションや磁気ヘッドの反復接触によ
り、潤滑塗膜がテスト前の健全な膜面形態が損なわれた
からに他ならない。これに対し、成膜チャンバ内で塗膜
形成を行ったＮα１の摩擦係数の変化はわずかであり、
Ｃ３Ｓテスト後も低い摩擦係数を保持している。また、
成膜チャンバから取出して塗膜形成を行う場合でも、Ｎ
ｏ、 ２やＮα３に示すように塗膜形成までの経過時間
を規制し、一定時間内に行うことにより、摩擦係数の大
幅な増加が回避され、低摩擦係数を保持することができ
る。
なお、塗膜形成の後に加熱処理を施した阻５の摩擦係数
の増加はや−少な（、Ｎα４に比し、改良された潤滑性
能を有してはいるが、発明例のそれとは比肩すべくもな
い。
の増加はや−少な（、Ｎα４に比し、改良された潤滑性
能を有してはいるが、発明例のそれとは比肩すべくもな
い。
これらのことから、本発明の潤滑膜形成方法は、ディス
ク表面に対する潤滑膜の付着力を高め、潤滑機能の安定
化・耐久性向上に極めて有効であることがわかる。
ク表面に対する潤滑膜の付着力を高め、潤滑機能の安定
化・耐久性向上に極めて有効であることがわかる。
本発明方法により磁気記録媒体の表面に形成される保護
潤滑膜は、媒体表面に対して強い付着力を有し、記録再
生操作の反復過程におけるマイグレーションや磁気ヘッ
ドの摺接による膜面損傷を生じにく１、良好な潤滑作用
が長期に亘って保持されるので、磁性膜や磁気ヘッドの
保護効果にすくれ、記録メディアとしての信顛性、安定
性の向上に寄与するものである。
潤滑膜は、媒体表面に対して強い付着力を有し、記録再
生操作の反復過程におけるマイグレーションや磁気ヘッ
ドの摺接による膜面損傷を生じにく１、良好な潤滑作用
が長期に亘って保持されるので、磁性膜や磁気ヘッドの
保護効果にすくれ、記録メディアとしての信顛性、安定
性の向上に寄与するものである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、成膜チャンバ内でのスパッタリング等による所定の
成膜操作を経て製作される金属薄膜型磁気記録媒体の表
面に液体潤滑剤の塗膜を形成する方法において、 前記成膜チャンバ内で所定の成膜操作を終了した後、同
チャンバ内において媒体の表面に液体潤滑剤を蒸着させ
ることを特徴とする磁気記録媒体の保護潤滑膜形成方法
。 ２、成膜チャンバ内でのスパッタリング等による所定の
成膜操作を経て製作される金属薄膜型磁気記録媒体の表
面に液体潤滑剤の塗膜を形成する方法において、 前記成膜チャンバ内で製作された磁気記録媒体を同チャ
ンバから取出した後、２４時間以内にその表面に液体潤
滑剤を塗布することを特徴とする磁気記録媒体の保護潤
滑膜形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17995290A JPH0467431A (ja) | 1990-07-06 | 1990-07-06 | 磁気記録媒体の保護潤滑膜形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17995290A JPH0467431A (ja) | 1990-07-06 | 1990-07-06 | 磁気記録媒体の保護潤滑膜形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0467431A true JPH0467431A (ja) | 1992-03-03 |
Family
ID=16074828
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17995290A Pending JPH0467431A (ja) | 1990-07-06 | 1990-07-06 | 磁気記録媒体の保護潤滑膜形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0467431A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01184722A (ja) * | 1988-01-19 | 1989-07-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| JPH01184723A (ja) * | 1988-01-19 | 1989-07-24 | Fuji Electric Co Ltd | 金属薄膜磁気ディスク媒体の製造方法 |
| JPH02128321A (ja) * | 1988-11-07 | 1990-05-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
-
1990
- 1990-07-06 JP JP17995290A patent/JPH0467431A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01184722A (ja) * | 1988-01-19 | 1989-07-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| JPH01184723A (ja) * | 1988-01-19 | 1989-07-24 | Fuji Electric Co Ltd | 金属薄膜磁気ディスク媒体の製造方法 |
| JPH02128321A (ja) * | 1988-11-07 | 1990-05-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
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