JPH0489595A - 液晶表示パネル検査装置 - Google Patents
液晶表示パネル検査装置Info
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- JPH0489595A JPH0489595A JP20434690A JP20434690A JPH0489595A JP H0489595 A JPH0489595 A JP H0489595A JP 20434690 A JP20434690 A JP 20434690A JP 20434690 A JP20434690 A JP 20434690A JP H0489595 A JPH0489595 A JP H0489595A
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 13
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
この発明はＸＹステージのコントロール回路に関し、た
とえば、液晶表示パネルの欠陥を画像上で表示するよう
な検査装置におけるＸＹステージをコントロールするよ
うなコントロール回路に関する。
とえば、液晶表示パネルの欠陥を画像上で表示するよう
な検査装置におけるＸＹステージをコントロールするよ
うなコントロール回路に関する。
Ｕ従来の技術］
液晶表示パネルなどの検査においては、通常、検査対象
物を任意の位置に移動させ得るＸＹステージに取付け、
これをＸＹステージ上に保持された顕微鏡およびＣＣＤ
カメラなどの光学系で観察している。拡大倍率を上げる
場合や、観察下でリペア加工などのある特定の加工をす
る場合などには、検査対象物の特定箇所を視野の中央に
持って来るようにＸＹステージを移動させる必要がある
。
物を任意の位置に移動させ得るＸＹステージに取付け、
これをＸＹステージ上に保持された顕微鏡およびＣＣＤ
カメラなどの光学系で観察している。拡大倍率を上げる
場合や、観察下でリペア加工などのある特定の加工をす
る場合などには、検査対象物の特定箇所を視野の中央に
持って来るようにＸＹステージを移動させる必要がある
。
ＸＹステージを移動させるには、手動式の送りハンドル
操作や電動式の場合にはスイッチ操作により指示してい
る。
操作や電動式の場合にはスイッチ操作により指示してい
る。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、従来の手動式の送りハンドル方式では、
検査作業者への負担が大きく、作業能率もよくない。ま
た、高倍率で観察する場合などは、特に、ハンドル操作
による振動やぶれなども問題になる。電動式の場合でも
、ステージ移動速度が比較的速い場合には、オーバーラ
ン（行過ぎ）などで、特定箇所でＸＹステージを止めら
れないことが多い。特に、高倍率で観察する場合には、
その傾向が大である。
検査作業者への負担が大きく、作業能率もよくない。ま
た、高倍率で観察する場合などは、特に、ハンドル操作
による振動やぶれなども問題になる。電動式の場合でも
、ステージ移動速度が比較的速い場合には、オーバーラ
ン（行過ぎ）などで、特定箇所でＸＹステージを止めら
れないことが多い。特に、高倍率で観察する場合には、
その傾向が大である。
それゆえに、この発明の主たる目的は、被検査物の特定
箇所を視野の中央に、簡単な操作でかつ迅速に移動させ
得るＸＹステージのコントロール回路を提供することで
ある。
箇所を視野の中央に、簡単な操作でかつ迅速に移動させ
得るＸＹステージのコントロール回路を提供することで
ある。
［課題を解決するための手段］
この発明はＸＹステージのコントロール回路であって、
その上に検査対象が載置され、平面上を移動可能なテー
ブルと、テーブルの平面上の移動位置を検出する検出手
段と、検査対象範囲を任意に拡大あるいは縮小して指定
し得て、検出された検査対象に相当する画像を表示する
ための表示手段と、表示手段の表示面で検査対象の任意
の位置を指定するための指定手段と、指定手段によって
検査対象に相当する画像の任意の位置が指定されたこと
に応じて、その位置に対応するテーブルの位置が表示手
段の中央となるようにテーブルを移動させるための制御
手段とを備えて構成される。
その上に検査対象が載置され、平面上を移動可能なテー
ブルと、テーブルの平面上の移動位置を検出する検出手
段と、検査対象範囲を任意に拡大あるいは縮小して指定
し得て、検出された検査対象に相当する画像を表示する
ための表示手段と、表示手段の表示面で検査対象の任意
の位置を指定するための指定手段と、指定手段によって
検査対象に相当する画像の任意の位置が指定されたこと
に応じて、その位置に対応するテーブルの位置が表示手
段の中央となるようにテーブルを移動させるための制御
手段とを備えて構成される。
［作用］
この発明に係るＸＹステージのコントロール回路は、表
示手段に表示されている検査対象に相当する画像の任意
の位置が指定されたことに応じて、その位置に対応する
テーブルの位置を表示手段の中央となるようにテーブル
を移動させる。
示手段に表示されている検査対象に相当する画像の任意
の位置が指定されたことに応じて、その位置に対応する
テーブルの位置を表示手段の中央となるようにテーブル
を移動させる。
［発明の実施例］
第１図はこの発明の一実施例の外観斜視図であり、第２
図は同じく正面図である。
図は同じく正面図である。
第１図および第２図を参照して、筐体１のベース２上に
は、Ｘ、 Ｙ方向に移動可能なＸＹステージ３か配置さ
れる。このＸＹステージ３上には、被加工物としての液
晶パネルが載置される。ＸＹステージ３上に載置された
被加工物を検査するために、Ｚ方向（上下方向）にのみ
に移動可能なＺ軸テーブル４が設けられる。このＺ軸テ
ーブル４には電動リボルバ５と顕微鏡照明用光源６とＣ
ＣＤカメラ７とが設けられる。電動リボルバ５は倍率の
異なるレンズを切換えるものであり、顕微鏡照明用光源
６は被加工物を照明する。ＣＣＤカメラ７は電動リボル
バ５のレンズを介して被加工物の表面を撮像する。なお
、ＸＹステージ３の下部には第２図に示すように、被加
工物を透過照明するための光源１０が設けられている。
は、Ｘ、 Ｙ方向に移動可能なＸＹステージ３か配置さ
れる。このＸＹステージ３上には、被加工物としての液
晶パネルが載置される。ＸＹステージ３上に載置された
被加工物を検査するために、Ｚ方向（上下方向）にのみ
に移動可能なＺ軸テーブル４が設けられる。このＺ軸テ
ーブル４には電動リボルバ５と顕微鏡照明用光源６とＣ
ＣＤカメラ７とが設けられる。電動リボルバ５は倍率の
異なるレンズを切換えるものであり、顕微鏡照明用光源
６は被加工物を照明する。ＣＣＤカメラ７は電動リボル
バ５のレンズを介して被加工物の表面を撮像する。なお
、ＸＹステージ３の下部には第２図に示すように、被加
工物を透過照明するための光源１０が設けられている。
第３図はこの発明の一実施例の概略ブロック図である。
次に、第３図を参照して、この発明の一実施例の電気的
構成について説明する。ＣＰＵ２１は内蔵のメモリに記
憶されているプログラムに従って全体の制御を行なう。
構成について説明する。ＣＰＵ２１は内蔵のメモリに記
憶されているプログラムに従って全体の制御を行なう。
すなわち、ＣＰＵ２１はＸＹステージ３をＹ方向に移動
させるための指令信号を、ｌ１０２２を介してＹパルス
コントローラ２３に与える。Ｙパルスコントローラ２３
は指令信号に応じてＹパルスを発生させる。このＹパル
スはＹモータドライバ２４に与えられる。
させるための指令信号を、ｌ１０２２を介してＹパルス
コントローラ２３に与える。Ｙパルスコントローラ２３
は指令信号に応じてＹパルスを発生させる。このＹパル
スはＹモータドライバ２４に与えられる。
Ｙモータドライバ２４は与えられたパルスの数だけＹモ
ータ２５を回転させる。Ｙモータ２５はＸＹ子テーブル
をＹ方向に移動させる。Ｙモータ２５の回転数はＹエン
コーダ２６によって検出される。Ｙエンコーダ２６はＹ
モータ２５の回転に応じたパルス信号を発生してＹカウ
ンタ２７に与える。Ｙカウンタ２７はそのパルス信号を
計数し、その計数出力を、ｌ１０２２を介してＣＰＵ２
１に与える。
ータ２５を回転させる。Ｙモータ２５はＸＹ子テーブル
をＹ方向に移動させる。Ｙモータ２５の回転数はＹエン
コーダ２６によって検出される。Ｙエンコーダ２６はＹ
モータ２５の回転に応じたパルス信号を発生してＹカウ
ンタ２７に与える。Ｙカウンタ２７はそのパルス信号を
計数し、その計数出力を、ｌ１０２２を介してＣＰＵ２
１に与える。
同様にして、ＣＰＵ２１はＸＹステージ３をＸ方向に移
動させるための指令信号を、ｌ１０２９を介してＸモー
タドライバ３１に与える。Ｘモータドライバ３１は、指
令信号に応じてＸモータ３２を回転させる。Ｘモータ３
２はＸＹステージ３をＸ方向に移動させるために設けら
れている。Ｘモータ３２の回転数はＸエンコーダ３３に
よって検出され、その回転数に応じたパルス信号がＸカ
ウンタ３４に与えられる。Ｘカウンタ３４はパルス信号
を計数し、その計数出力を、ｌ１０２９を介してＣＰＵ
２１に与える。ＣＰＵ２１はＹカウンタ２７およびＸカ
ウンタ３４の計数出力によって、ＸＹステージ３のＸ方
向およびＸ方向の位置を判別する。
動させるための指令信号を、ｌ１０２９を介してＸモー
タドライバ３１に与える。Ｘモータドライバ３１は、指
令信号に応じてＸモータ３２を回転させる。Ｘモータ３
２はＸＹステージ３をＸ方向に移動させるために設けら
れている。Ｘモータ３２の回転数はＸエンコーダ３３に
よって検出され、その回転数に応じたパルス信号がＸカ
ウンタ３４に与えられる。Ｘカウンタ３４はパルス信号
を計数し、その計数出力を、ｌ１０２９を介してＣＰＵ
２１に与える。ＣＰＵ２１はＹカウンタ２７およびＸカ
ウンタ３４の計数出力によって、ＸＹステージ３のＸ方
向およびＸ方向の位置を判別する。
ＣＣＤカメラ７はＸＹステージ３上に配置されている被
加工物を撮像するものであり、そのビデオ出力は画面切
換回路４１に与えられる。画面切換回路４１はＣＣＤカ
メラ７の出力であるビデオ信号と、ＣＰＵ２１から与え
られるコンピュータの画像信号とを切換えてモニターテ
レビ４ｏに表示させる。なお、ＣＰＵ２１にはマウスコ
ントロール回路４３を介してマウス４２から指令信号が
与えられる。
加工物を撮像するものであり、そのビデオ出力は画面切
換回路４１に与えられる。画面切換回路４１はＣＣＤカ
メラ７の出力であるビデオ信号と、ＣＰＵ２１から与え
られるコンピュータの画像信号とを切換えてモニターテ
レビ４ｏに表示させる。なお、ＣＰＵ２１にはマウスコ
ントロール回路４３を介してマウス４２から指令信号が
与えられる。
第４図はこの発明の一実施例の具体的な動作を説明する
ため、のフロー図であり、第５図はこの発明の一実施例
によってモニター画面に表示されるコンピュータ画像の
一例を示す図である。
ため、のフロー図であり、第５図はこの発明の一実施例
によってモニター画面に表示されるコンピュータ画像の
一例を示す図である。
次に、第１図ないし第５図を参照して、この発明の一実
施例の具体的な動作について説明する。
施例の具体的な動作について説明する。
第５図に示すように、モニターテレビ４０にはＸＹステ
ージ３の現在位置を表示するための表示領域４０１と、
現在の装置の状態の情報を表示する表示領域４０２と、
各種実行コマンドのメニューが表示される表示領域４０
３とが設けられている。
ージ３の現在位置を表示するための表示領域４０１と、
現在の装置の状態の情報を表示する表示領域４０２と、
各種実行コマンドのメニューが表示される表示領域４０
３とが設けられている。
情報表示領域４０２は、ＸＹステージにおけるＸ方向お
よびＸ方向の位置座標や拡大倍率や現行のモードなどが
表示される。コマンド表示領域４０３には、拡大、縮小
、ステージ移動１泣置記憶などが表示され、それぞれの
コマンドはマウス４２によって指定できる。
よびＸ方向の位置座標や拡大倍率や現行のモードなどが
表示される。コマンド表示領域４０３には、拡大、縮小
、ステージ移動１泣置記憶などが表示され、それぞれの
コマンドはマウス４２によって指定できる。
表示領域４０１は升目状に区切られていて、ＸＹステー
ジ３上に載置された検査対象のそれぞれの位置における
欠陥数が表示される。この表示領域４０１のうちいずれ
かの升目をマウス４２によって指定し、さらにコマンド
表示領域４０３に表示されている拡大コマンドをマウス
４２によって指定することによって、その升目の領域が
拡大され、その拡大された表示領域４０４もまた升目状
区切られていて、いずれの位置に欠陥があるかを示すた
めの欠陥数か表示される。さらに、表示領域４０４のい
ずれかの升目をマウス４２によって指定し、拡大コマン
ドを指定することによって、さらにその領域が拡大され
、拡大された領域４゜５が表示される。
ジ３上に載置された検査対象のそれぞれの位置における
欠陥数が表示される。この表示領域４０１のうちいずれ
かの升目をマウス４２によって指定し、さらにコマンド
表示領域４０３に表示されている拡大コマンドをマウス
４２によって指定することによって、その升目の領域が
拡大され、その拡大された表示領域４０４もまた升目状
区切られていて、いずれの位置に欠陥があるかを示すた
めの欠陥数か表示される。さらに、表示領域４０４のい
ずれかの升目をマウス４２によって指定し、拡大コマン
ドを指定することによって、さらにその領域が拡大され
、拡大された領域４゜５が表示される。
次に、第４図を参照して動作について説明する。
ＣＰＵＩＩはマウスコントロール回路４３を介してマウ
ス４２から指定信号が入力されるまで待機している。マ
ウス４２によってモニター４０の表示領域４０１のいず
れかの位置が指定されたが否かを判別し、表示領域４０
１のいずれがが指定されたことを判別すると、指定され
た領域のデータ（Ｘ＋ 、Ｙ＋ ）を読む。ＸＹステー
ジ３が移動したときには、Ｙモータ２５およびＸモータ
３２の回転数をそれぞれＸエンコーダ２６およびＸエン
コーダ３３の出力をＹカウンタ２７、Ｘカウンタ３４か
計数し、その計数ａカが現在のステージ位ｆｆｉ、、！
：してｌ１０２２．２９を介してＣＰＵ２１ｉ：与えら
れる。ＣＰＵ２１はステージの現在位置（Ｘｏ 、 Ｙ
ｏ ）を読み、指定位置データ（Ｘ、。
ス４２から指定信号が入力されるまで待機している。マ
ウス４２によってモニター４０の表示領域４０１のいず
れかの位置が指定されたが否かを判別し、表示領域４０
１のいずれがが指定されたことを判別すると、指定され
た領域のデータ（Ｘ＋ 、Ｙ＋ ）を読む。ＸＹステー
ジ３が移動したときには、Ｙモータ２５およびＸモータ
３２の回転数をそれぞれＸエンコーダ２６およびＸエン
コーダ３３の出力をＹカウンタ２７、Ｘカウンタ３４か
計数し、その計数ａカが現在のステージ位ｆｆｉ、、！
：してｌ１０２２．２９を介してＣＰＵ２１ｉ：与えら
れる。ＣＰＵ２１はステージの現在位置（Ｘｏ 、 Ｙ
ｏ ）を読み、指定位置データ（Ｘ、。
Ｙ＋）と現在位置データ（Ｘｏ、Ｙｏ）の差および電動
リボシル５の現在の拡大倍率により、ＸＹステージ３の
Ｘ方向およびＸ方向の移動量を計算する。そして、ＣＰ
Ｕ２１は計算した量に該当するパルスを発生するための
指令信号を、ｌ１０２２．２９を介してＹパルスコント
ローラ２３およびＸパルスコントローラ３０に与える。
リボシル５の現在の拡大倍率により、ＸＹステージ３の
Ｘ方向およびＸ方向の移動量を計算する。そして、ＣＰ
Ｕ２１は計算した量に該当するパルスを発生するための
指令信号を、ｌ１０２２．２９を介してＹパルスコント
ローラ２３およびＸパルスコントローラ３０に与える。
応じてＹパルスコントローラ２３はＹモータドライバ２
４を介してＹモータ２５に駆動パルスを与え、Ｘパルス
コントローラ３０はＸモータドライバ３１を介してＸモ
ータ３２に駆動パルスを与える。それによって、ＸＹス
テージ３は指定された位置に移動する。さらに、ＣＰＵ
２１は画面切換回路４１を介してモニター４３画面上Ｘ
Ｙステージ３の現在位置の表示を更新する。ＣＰＵ２１
は処理が終了したか否かを判別し、終了していなければ
再びマウス４２によって位置が指定されるまで待機する
。なお、マウス４２によってＸＹステージ３の位置セク
ション以外の指定が行なわれた場合には、その指定され
た処理を行なう。
４を介してＹモータ２５に駆動パルスを与え、Ｘパルス
コントローラ３０はＸモータドライバ３１を介してＸモ
ータ３２に駆動パルスを与える。それによって、ＸＹス
テージ３は指定された位置に移動する。さらに、ＣＰＵ
２１は画面切換回路４１を介してモニター４３画面上Ｘ
Ｙステージ３の現在位置の表示を更新する。ＣＰＵ２１
は処理が終了したか否かを判別し、終了していなければ
再びマウス４２によって位置が指定されるまで待機する
。なお、マウス４２によってＸＹステージ３の位置セク
ション以外の指定が行なわれた場合には、その指定され
た処理を行なう。
［発明の効果コ
以上のように、この発明によれば、表示手段の表示面で
検査対象に相当する画像を表示し、検査対象の任意の位
置が指定されたことに応じて、その位置に対応するテー
ブルの位置が表示面の中央となるようにチーシルを移動
させるようにしたので、正確かつ迅速なコントロールを
することができる。
検査対象に相当する画像を表示し、検査対象の任意の位
置が指定されたことに応じて、その位置に対応するテー
ブルの位置が表示面の中央となるようにチーシルを移動
させるようにしたので、正確かつ迅速なコントロールを
することができる。
第１図はこの発明の一実施例の外観斜視図である。第２
図は同じく正面図である。第３図はこの発明の一実施例
の概略ブロック図である。第４図はこの発明の一実施例
の具体的な動作を説明するためのフロー図である。第５
図はこの発明の一実施例によってモニター画面に表示さ
れる画像の一例を示す図である。 図において、３はＸＹステージ、４はＺ軸テーブル、５
は電動リボルバ、７はＣＣＤカメラ、２１はＣＰＵ、２
２．２９はＩｌｏ、２３はＹパルスコントローラ、２４
はＹモータドライバ、２５はＹモータ、２６はＹエンコ
ーダ、２７はＹカウンタ、３０はＸパルスコントローラ
、３１はＸモータドライバ、３２はＸモータ、３３はＸ
エンコーダ、３４はＸカウンタ、４０はモニターテレビ
、４１は画面切換回路、４２はマウス、４３はマウスコ
ントロール回路を示す。 （ほか２名） 第１図 ＣＣＯＣＣカメ ラ４図 第３ 図
図は同じく正面図である。第３図はこの発明の一実施例
の概略ブロック図である。第４図はこの発明の一実施例
の具体的な動作を説明するためのフロー図である。第５
図はこの発明の一実施例によってモニター画面に表示さ
れる画像の一例を示す図である。 図において、３はＸＹステージ、４はＺ軸テーブル、５
は電動リボルバ、７はＣＣＤカメラ、２１はＣＰＵ、２
２．２９はＩｌｏ、２３はＹパルスコントローラ、２４
はＹモータドライバ、２５はＹモータ、２６はＹエンコ
ーダ、２７はＹカウンタ、３０はＸパルスコントローラ
、３１はＸモータドライバ、３２はＸモータ、３３はＸ
エンコーダ、３４はＸカウンタ、４０はモニターテレビ
、４１は画面切換回路、４２はマウス、４３はマウスコ
ントロール回路を示す。 （ほか２名） 第１図 ＣＣＯＣＣカメ ラ４図 第３ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 その上に検査対象が載置され、平面上を移動可能なテー
ブルと、 前記テーブルの平面上の移動位置を検出する検出手段と
、 前記検査対象範囲を任意に拡大あるいは縮小して指定し
得て、 前記検出手段によって検出された検査対象に相当する画
像を表示するための表示手段、 前記表示手段の表示面で前記検査対象の任意の位置を指
定するための指定手段、および 前記指定手段によって前記検査対象に相当する画像の任
意の位置が指定されたことに応じて、その位置に対応す
る前記テーブルの位置が前記表示手段の中央となるよう
に前記テーブルを移動させるための制御手段を備えた、
ＸＹステージのコントロール回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2204346A JP2601727B2 (ja) | 1990-07-31 | 1990-07-31 | 液晶表示パネル検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2204346A JP2601727B2 (ja) | 1990-07-31 | 1990-07-31 | 液晶表示パネル検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0489595A true JPH0489595A (ja) | 1992-03-23 |
| JP2601727B2 JP2601727B2 (ja) | 1997-04-16 |
Family
ID=16488985
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2204346A Expired - Fee Related JP2601727B2 (ja) | 1990-07-31 | 1990-07-31 | 液晶表示パネル検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2601727B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002231621A (ja) * | 2001-11-19 | 2002-08-16 | Canon Inc | 露光装置およびそのユニットの駆動方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61219200A (ja) * | 1985-03-25 | 1986-09-29 | ミノルタ株式会社 | 電子部品搭載装置 |
| JPS6429765A (en) * | 1987-07-27 | 1989-01-31 | Hitachi Ltd | Diagnosing device for number and activity of cells |
| JPH01159479U (ja) * | 1988-04-22 | 1989-11-06 | ||
| JPH0213996A (ja) * | 1988-07-01 | 1990-01-18 | Fuji Electric Co Ltd | 部分拡大画像表示装置 |
-
1990
- 1990-07-31 JP JP2204346A patent/JP2601727B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61219200A (ja) * | 1985-03-25 | 1986-09-29 | ミノルタ株式会社 | 電子部品搭載装置 |
| JPS6429765A (en) * | 1987-07-27 | 1989-01-31 | Hitachi Ltd | Diagnosing device for number and activity of cells |
| JPH01159479U (ja) * | 1988-04-22 | 1989-11-06 | ||
| JPH0213996A (ja) * | 1988-07-01 | 1990-01-18 | Fuji Electric Co Ltd | 部分拡大画像表示装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002231621A (ja) * | 2001-11-19 | 2002-08-16 | Canon Inc | 露光装置およびそのユニットの駆動方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2601727B2 (ja) | 1997-04-16 |
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