JPH0499164A - オイルマスク用蒸発器 - Google Patents
オイルマスク用蒸発器Info
- Publication number
- JPH0499164A JPH0499164A JP2207437A JP20743790A JPH0499164A JP H0499164 A JPH0499164 A JP H0499164A JP 2207437 A JP2207437 A JP 2207437A JP 20743790 A JP20743790 A JP 20743790A JP H0499164 A JPH0499164 A JP H0499164A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evaporator
- oil
- substrate
- oil mask
- mask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/018—Dielectrics
- H01G4/06—Solid dielectrics
- H01G4/14—Organic dielectrics
- H01G4/145—Organic dielectrics vapour deposited
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、真空蒸着工程において金属化されない部分を
形成させることが必要なメタライズドフィルムコンデン
サの製造に使用されるオイルマスク用蒸発器に関する。
形成させることが必要なメタライズドフィルムコンデン
サの製造に使用されるオイルマスク用蒸発器に関する。
従来の技術
従来、この種のオイルマスク用蒸発器は、蒸発器に多数
個の開口部を設け、その内部に発生したオイル蒸気をそ
の開口部から吐出させ、そのオイル蒸気に接触しながら
走行する誘電体フィルムまたはその他のサブストレート
と蒸発器との接触面にオイル被膜を形成し、その後サブ
ストレートに真空蒸着によりアルミニュウム、亜鉛また
はその他の金属被膜を形成していた。このようにして金
属化されないストライブを得ていた。この場合、サブス
トレートとオイルマスク用蒸発器を常に接触させて走行
させるため、オイルマスク用蒸発器の外筒部を硬質Ｃｒ
メツキをした後、パフ研磨を行い、表面を鏡面に仕上げ
していた。
個の開口部を設け、その内部に発生したオイル蒸気をそ
の開口部から吐出させ、そのオイル蒸気に接触しながら
走行する誘電体フィルムまたはその他のサブストレート
と蒸発器との接触面にオイル被膜を形成し、その後サブ
ストレートに真空蒸着によりアルミニュウム、亜鉛また
はその他の金属被膜を形成していた。このようにして金
属化されないストライブを得ていた。この場合、サブス
トレートとオイルマスク用蒸発器を常に接触させて走行
させるため、オイルマスク用蒸発器の外筒部を硬質Ｃｒ
メツキをした後、パフ研磨を行い、表面を鏡面に仕上げ
していた。
発明が解決しようとする課題
このような従来の構成では、サブストレートと蒸発器と
の接触角を大きくした時や、サブストレートの張力を上
げた場合、また、ポリプロピレンフィルムのようにサブ
ストレート自体が金属化しに＜＜、傷つき易いものを用
いた場合などには、サブストレートと接触する蒸発器の
表面に不純物が堆積し、サブストレートが損傷をうけた
り、金属化されないストライブのエツジにボケが生ずる
などの不都合が発生する。また、この不純物の堆積が増
加してい°（とサブストレートの切断が起こるという問
題があった。
の接触角を大きくした時や、サブストレートの張力を上
げた場合、また、ポリプロピレンフィルムのようにサブ
ストレート自体が金属化しに＜＜、傷つき易いものを用
いた場合などには、サブストレートと接触する蒸発器の
表面に不純物が堆積し、サブストレートが損傷をうけた
り、金属化されないストライブのエツジにボケが生ずる
などの不都合が発生する。また、この不純物の堆積が増
加してい°（とサブストレートの切断が起こるという問
題があった。
本発明はこのような課題を解決するもので、サブストレ
ートに損傷や切断などの不都合を発生させず、高能率で
オイルマスクを実施できるオイルマスク用蒸発器を提供
することを目的とするものである。
ートに損傷や切断などの不都合を発生させず、高能率で
オイルマスクを実施できるオイルマスク用蒸発器を提供
することを目的とするものである。
課題を解決するための手段
この課題を解決するために本発明は、少なくともサブス
トレートとオイルマスク用蒸発器との接触面がふっ素樹
脂層により覆われており、非粘着性および潤滑性を従来
の蒸発器より大幅に向上し、オイルマスク形成能を大幅
に改良したものである。
トレートとオイルマスク用蒸発器との接触面がふっ素樹
脂層により覆われており、非粘着性および潤滑性を従来
の蒸発器より大幅に向上し、オイルマスク形成能を大幅
に改良したものである。
作用
本発明は、サブストレートと蒸発器との接触面にふっ素
樹脂層を形成することにより、従来の金属面と比較して
非粘着性が向上し、潤滑性に冨む表面が得られるので、
接触面での傷の発生や不純物の堆積によるサブストレー
トの切断などの事故を防止できる。
樹脂層を形成することにより、従来の金属面と比較して
非粘着性が向上し、潤滑性に冨む表面が得られるので、
接触面での傷の発生や不純物の堆積によるサブストレー
トの切断などの事故を防止できる。
一般的にふっ素樹脂は耐熱性、耐薬品性に優れ、本発明
の使用条件下において十分な耐久性を有することから、
従来の金属表面にかわり使用できることとなる。
の使用条件下において十分な耐久性を有することから、
従来の金属表面にかわり使用できることとなる。
実施例
本発明の実施例を図面を参考にして説明する。
第１図に本発明の一実施例のオイルマスク用蒸発器の構
成を示す。図に示すようにオイルマスク用蒸発器の外筒
ｌは軸方向に長く、鉄鋼もしくはその他の金属からなり
、多数個の開口部２に対応する凸部を有している。外筒
１の内部にはヒータ３とオイルｂがあり、ヒータ３によ
りオイルｂが加熱され、オイル蒸気が発生する構成とな
っている。
成を示す。図に示すようにオイルマスク用蒸発器の外筒
ｌは軸方向に長く、鉄鋼もしくはその他の金属からなり
、多数個の開口部２に対応する凸部を有している。外筒
１の内部にはヒータ３とオイルｂがあり、ヒータ３によ
りオイルｂが加熱され、オイル蒸気が発生する構成とな
っている。
外筒１の表面にはふっ素樹脂層４が形成してあり、サブ
ストレートａはふっ素樹脂層４に接触し、その接触面に
オイル被膜を形成された後クーリングロール５に送られ
、メタル蒸発源６の上部でオイル被膜が形成された所以
外のサブストレート表面を金属化する。
ストレートａはふっ素樹脂層４に接触し、その接触面に
オイル被膜を形成された後クーリングロール５に送られ
、メタル蒸発源６の上部でオイル被膜が形成された所以
外のサブストレート表面を金属化する。
第２図および第３図は、それぞれ、ふっ素樹脂被膜形成
した外筒１の状態の例を示している。
した外筒１の状態の例を示している。
なお、本図のオイルマスク用蒸発器は開口部が段付き状
の凸部に設けらているが、凸部のない平坦状の蒸発器で
もよいことは勿論である。
の凸部に設けらているが、凸部のない平坦状の蒸発器で
もよいことは勿論である。
このようなオイルマスク用蒸発器にふっ素樹脂をコーテ
ィングする場合は、耐久性の面から１０μｍ〜５００μ
ｍの厚みがあることが好ましく、−船釣に下地との接合
力を高めるため、ブラスト処理などの下地処理をおこな
う。
ィングする場合は、耐久性の面から１０μｍ〜５００μ
ｍの厚みがあることが好ましく、−船釣に下地との接合
力を高めるため、ブラスト処理などの下地処理をおこな
う。
ふっ素樹脂テープを使用する場合は粘着テープが望まし
く、オイルマスク用蒸発器の開口部の前方と後方の両側
にテープを貼り付けるだけで前記の欠点を解決できる。
く、オイルマスク用蒸発器の開口部の前方と後方の両側
にテープを貼り付けるだけで前記の欠点を解決できる。
ふっ素樹脂熱収縮チューブを使用する場合は、蒸発器外
筒より数ミリ程度大きいチューブを用い加熱収縮後間口
部にそって穴をあけるのが望ましい。
筒より数ミリ程度大きいチューブを用い加熱収縮後間口
部にそって穴をあけるのが望ましい。
ふっ素樹脂材料は４フツ化エチレン、６フツ化エチレン
などのふっ素樹脂を使用したところ、実際の使用におい
ての問題はなかった。
などのふっ素樹脂を使用したところ、実際の使用におい
ての問題はなかった。
第５図に本実施例のオイルマスク用蒸発器を用いてフィ
ルムコンデンサ用メタライズフィルムを作成するときの
製造装置の構成を示す。原反７から供給させるサブスト
レートａはオイルマスク用蒸発器１でマスクされ、冷却
ロール上でメタル蒸発源６によりメタライズされる。こ
の工程を２回繰り返して、両面がメタライズされ、第６
図に示すフィルムコンデンサ用メタライズフィルムがつ
くられる。図においてサブストレートａの両面に金属蒸
着層８が形成されている。
ルムコンデンサ用メタライズフィルムを作成するときの
製造装置の構成を示す。原反７から供給させるサブスト
レートａはオイルマスク用蒸発器１でマスクされ、冷却
ロール上でメタル蒸発源６によりメタライズされる。こ
の工程を２回繰り返して、両面がメタライズされ、第６
図に示すフィルムコンデンサ用メタライズフィルムがつ
くられる。図においてサブストレートａの両面に金属蒸
着層８が形成されている。
発明の効果
以上の実施例の説明からも明らかなように、本発明によ
れば、オイルマスク用蒸発器とサブストレートとを接触
させながら走行させる形式のものにおいて、オイルマス
ク用蒸発器とサブストレートとの接触角を大幅に太き（
しても従来からの欠点であるサブストレートへの傷、蒸
発器表面への不純物付着を防止でき、蒸着されないスト
ライプのエツジをシャープに安定して形成することがで
きる。従来のオイルマスク用蒸発器では傷発生を防ぐた
め、表面を０．２Ｓ以下に仕上げる必要があったが、本
発明によるとサブストレートと接触する面にふっ素樹脂
加工を施すことにより鏡面仕上げは不要となる。
れば、オイルマスク用蒸発器とサブストレートとを接触
させながら走行させる形式のものにおいて、オイルマス
ク用蒸発器とサブストレートとの接触角を大幅に太き（
しても従来からの欠点であるサブストレートへの傷、蒸
発器表面への不純物付着を防止でき、蒸着されないスト
ライプのエツジをシャープに安定して形成することがで
きる。従来のオイルマスク用蒸発器では傷発生を防ぐた
め、表面を０．２Ｓ以下に仕上げる必要があったが、本
発明によるとサブストレートと接触する面にふっ素樹脂
加工を施すことにより鏡面仕上げは不要となる。
なお、蒸着速度を５４０ｍ／ｍｉｎ、サブストレートに
かかる張力を５ＯＮに設定し、ポリプロピレンフィルム
にアルミニュウムと亜鉛を蒸着した場合、第４図に示す
ように従来例Ｂに対し本発明Ａは傷発生率が大幅に改善
できた。また従来の蒸発器のように、サブストレートの
種類によって必要であった微妙な接触角管理は不要とな
り、従来の接触式のオイルマスクでは不可能だった種々
のサブストレートにたいして蒸着を可能にすることがで
きる。
かかる張力を５ＯＮに設定し、ポリプロピレンフィルム
にアルミニュウムと亜鉛を蒸着した場合、第４図に示す
ように従来例Ｂに対し本発明Ａは傷発生率が大幅に改善
できた。また従来の蒸発器のように、サブストレートの
種類によって必要であった微妙な接触角管理は不要とな
り、従来の接触式のオイルマスクでは不可能だった種々
のサブストレートにたいして蒸着を可能にすることがで
きる。
本発明の応用実例としては、例えばフィルムコンデンサ
用の蒸着フィルムの製造に遺しており、従来より高精度
高品質で、安価な製品を簡単に得られる。
用の蒸着フィルムの製造に遺しており、従来より高精度
高品質で、安価な製品を簡単に得られる。
第１図は本発明の一実施例のオイルマスク用蒸発器の要
部断面図、第２図は同ふっ素樹脂層をコーティングまた
はふっ素樹脂熱収縮チューブを被服したオイルマスク用
蒸発器の斜視図、第３図は同ふっ素樹脂テープを接着し
たオイルマスク用蒸発器の斜視図、第４図は同オイルマ
スク用蒸発器とサブストレートとの接触角θと傷発生率
の関係を示すグラフ、第５図は同オイルマスク用蒸発器
をフィルムコンデンサに応用したときの構成図、第６図
はフィルムコンデンサ用メタライズフィルムの断面図で
ある。 ｌ・・・・・・外筒、２・・・・・・開口部、３・・・
・・・ヒータ、４・・・・・・ふっ素樹脂層、５・・・
・・・冷却ロール、６・・・・・・メタル蒸発源、７・
・・・・・原反、８・・・・・・金属蒸着層、ａ・・・
・・・サブストレート、ｂ・・・・・・オイル。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ばか１名ｆ−−外筒 ？−閲０Ｖ ９− （−タ 。、−ふ、象片１１ ５−９−二◆玄ｐｎ−ル Ｃ・−メクル苺Ｊじシー ｂ・−・χイル 第 図 第 図 第 図 ７−−−原夏
部断面図、第２図は同ふっ素樹脂層をコーティングまた
はふっ素樹脂熱収縮チューブを被服したオイルマスク用
蒸発器の斜視図、第３図は同ふっ素樹脂テープを接着し
たオイルマスク用蒸発器の斜視図、第４図は同オイルマ
スク用蒸発器とサブストレートとの接触角θと傷発生率
の関係を示すグラフ、第５図は同オイルマスク用蒸発器
をフィルムコンデンサに応用したときの構成図、第６図
はフィルムコンデンサ用メタライズフィルムの断面図で
ある。 ｌ・・・・・・外筒、２・・・・・・開口部、３・・・
・・・ヒータ、４・・・・・・ふっ素樹脂層、５・・・
・・・冷却ロール、６・・・・・・メタル蒸発源、７・
・・・・・原反、８・・・・・・金属蒸着層、ａ・・・
・・・サブストレート、ｂ・・・・・・オイル。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ばか１名ｆ−−外筒 ？−閲０Ｖ ９− （−タ 。、−ふ、象片１１ ５−９−二◆玄ｐｎ−ル Ｃ・−メクル苺Ｊじシー ｂ・−・χイル 第 図 第 図 第 図 ７−−−原夏
Claims (3)
- （１）真空中において、走行する誘電体フイルムなどの
サブストレートに接触し、蒸発器内部から蒸発したオイ
ルを、前記サブストレートの表面に連続してストライプ
状のオイル被膜を形成させるオイルマスク形成装置にあ
って、前記サブストレートと接触する前記オイルマスク
蒸発器の外筒部表面にふっ素樹脂層を形成したオイルマ
スク用蒸発器。 - （２）ふっ素樹脂層がコーティングにより形成され、そ
の膜厚が１０μｍ〜５００μｍである請求項１記載のオ
イルマスク用蒸発器。 - （３）ふっ素樹脂層が厚さ１０μｍ〜５００μｍのテー
プまたは熱収縮性チューブよりなる請求項１記載のオイ
ルマスク用蒸発器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2207437A JPH0499164A (ja) | 1990-08-03 | 1990-08-03 | オイルマスク用蒸発器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2207437A JPH0499164A (ja) | 1990-08-03 | 1990-08-03 | オイルマスク用蒸発器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0499164A true JPH0499164A (ja) | 1992-03-31 |
Family
ID=16539756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2207437A Pending JPH0499164A (ja) | 1990-08-03 | 1990-08-03 | オイルマスク用蒸発器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0499164A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1035553A4 (en) * | 1997-11-18 | 2005-10-12 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | LAMINATE, CONDENSER AND MANUFACTURING PROCESS OF THIS LAMINATE |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58151011A (ja) * | 1982-03-02 | 1983-09-08 | 松下電器産業株式会社 | コンデンサ用金属化フイルムの製造方法 |
| JPS6424865A (en) * | 1987-06-30 | 1989-01-26 | Eastman Kodak Co | Novel polymethine dye and uv absorber |
-
1990
- 1990-08-03 JP JP2207437A patent/JPH0499164A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58151011A (ja) * | 1982-03-02 | 1983-09-08 | 松下電器産業株式会社 | コンデンサ用金属化フイルムの製造方法 |
| JPS6424865A (en) * | 1987-06-30 | 1989-01-26 | Eastman Kodak Co | Novel polymethine dye and uv absorber |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1035553A4 (en) * | 1997-11-18 | 2005-10-12 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | LAMINATE, CONDENSER AND MANUFACTURING PROCESS OF THIS LAMINATE |
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