JPH05155671A - 窒化けい素系構造体 - Google Patents
窒化けい素系構造体Info
- Publication number
- JPH05155671A JPH05155671A JP3320760A JP32076091A JPH05155671A JP H05155671 A JPH05155671 A JP H05155671A JP 3320760 A JP3320760 A JP 3320760A JP 32076091 A JP32076091 A JP 32076091A JP H05155671 A JPH05155671 A JP H05155671A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon nitride
- structural body
- dense
- porous
- porous structure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05C—INDEXING SCHEME RELATING TO MATERIALS, MATERIAL PROPERTIES OR MATERIAL CHARACTERISTICS FOR MACHINES, ENGINES OR PUMPS OTHER THAN NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES
- F05C2201/00—Metals
- F05C2201/02—Light metals
- F05C2201/021—Aluminium
Landscapes
- Cylinder Crankcases Of Internal Combustion Engines (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
- Porous Artificial Stone Or Porous Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 窒化けい素系構造物は、一般に高温強度に優
れるが、熱伝導率が大きい。そこで、構造物全体の高温
強度は保持つつ断熱性を大幅に向上させた窒化けい素系
構造物を得る。 【構成】 緻密構造の窒化けい素構造物1と、相対密度
が10〜70%である多孔質構造の窒化けい素構造物2
とを一体に構成した。
れるが、熱伝導率が大きい。そこで、構造物全体の高温
強度は保持つつ断熱性を大幅に向上させた窒化けい素系
構造物を得る。 【構成】 緻密構造の窒化けい素構造物1と、相対密度
が10〜70%である多孔質構造の窒化けい素構造物2
とを一体に構成した。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、窒化けい素系構造体に
係り、特に高温強度と断熱性に優れた窒化けい素系構造
体に関するものである。
係り、特に高温強度と断熱性に優れた窒化けい素系構造
体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来から自動車のエンジンなどをセラミ
ックスによって造る研究が盛んに行われている。この場
合、各種セラミックスの優れた特質を十分に発揮できる
ように、エンジンの部位によってセラミックスの種類も
変えている。例えばピストン、シリンダーライナ、排気
バルブ、ターボチャージャなどのように、高温強度の他
に耐熱衝撃性が要求される部位では窒化けい素系のセラ
ミックスが用いられ、また排気マニホールド、ポートラ
イナなどのように耐熱衝撃性の他に断熱性が要求される
部位ではコーデュエライトやチタン酸アルミが用いられ
ている。
ックスによって造る研究が盛んに行われている。この場
合、各種セラミックスの優れた特質を十分に発揮できる
ように、エンジンの部位によってセラミックスの種類も
変えている。例えばピストン、シリンダーライナ、排気
バルブ、ターボチャージャなどのように、高温強度の他
に耐熱衝撃性が要求される部位では窒化けい素系のセラ
ミックスが用いられ、また排気マニホールド、ポートラ
イナなどのように耐熱衝撃性の他に断熱性が要求される
部位ではコーデュエライトやチタン酸アルミが用いられ
ている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
なセラミックエンジンの場合、冷却効率の点から断熱特
性を向上させるためには、ピストンおよびシリンダライ
ナの断熱性を上げる必要がある。しかし、これらピスト
ンなどを構成していた窒化けい素の焼結体は熱伝導率が
大きく、また従来におけるピストンは窒化けい素の一体
焼結物で構成されていたために、熱の伝わりがよく断熱
性の点で十分であるとはいえなかった。一方、他のコー
デュエライト、チタン酸アルミなどのセラミックスは、
断熱性の点では窒化けい素より優れているものの高温で
の機械強度に問題を有しており、ピストンなどに用いる
ことはできなかった。
なセラミックエンジンの場合、冷却効率の点から断熱特
性を向上させるためには、ピストンおよびシリンダライ
ナの断熱性を上げる必要がある。しかし、これらピスト
ンなどを構成していた窒化けい素の焼結体は熱伝導率が
大きく、また従来におけるピストンは窒化けい素の一体
焼結物で構成されていたために、熱の伝わりがよく断熱
性の点で十分であるとはいえなかった。一方、他のコー
デュエライト、チタン酸アルミなどのセラミックスは、
断熱性の点では窒化けい素より優れているものの高温で
の機械強度に問題を有しており、ピストンなどに用いる
ことはできなかった。
【0004】そこで、本発明の技術的課題は、自動車の
エンジンなど高温での使用に耐え得るような断熱性およ
び高温機械強度に優れたセラミック構造体を提供するこ
とである。
エンジンなど高温での使用に耐え得るような断熱性およ
び高温機械強度に優れたセラミック構造体を提供するこ
とである。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記技術的課
題を解決するために、緻密構造の窒化けい素構造物と、
相対密度が10〜70%である多孔質構造の窒化けい素
構造物とを一体とした窒化けい素系構造体を手段とす
る。
題を解決するために、緻密構造の窒化けい素構造物と、
相対密度が10〜70%である多孔質構造の窒化けい素
構造物とを一体とした窒化けい素系構造体を手段とす
る。
【0006】緻密構造の窒化けい素構造物は、従来から
セラミックエンジンのピストン等に用いられていたもの
と同じものであり、例えば所定形状の枠体の中で窒化け
い素の粉末または粒状体を高温で焼結することにより得
られる。
セラミックエンジンのピストン等に用いられていたもの
と同じものであり、例えば所定形状の枠体の中で窒化け
い素の粉末または粒状体を高温で焼結することにより得
られる。
【0007】一方、相対密度が10〜70%である多孔
質構造体は、緻密構造体と同じ窒化けい素により構成さ
れる。そのため、両者は同一の熱膨張率を有する。この
ように両者の熱膨張率を同一としたのは、上下2個の緻
密構造体の間に多孔質構造体を挟み込み、上下の緻密構
造体を接合するときに、例えばムライトのように熱膨張
率が窒化けい素のそれに比べて大きいセラミックスで
は、接合時の昇温過程において多孔質構造体の方が大き
く膨張してしまって緻密構造体が破損したり、また接合
昇温時で位置調整してある場合には冷却時に多孔質構造
体にクラックが生じたり、緻密構造体との間に隙間を生
じるからである。一方、多孔質構造体として、緻密構造
体より熱膨張率の小さいコーデュエライト材やチタン酸
アルミを使用した場合には、高温での使用時に多孔質構
造体に比べて緻密構造体の膨張が大きく、両者の間に隙
間を生じてしまうからである。隙間が生じている状態で
使用すると、緻密構造体に外力を加えた時に多孔質構造
体に十分に力が伝達されず、緻密構造体の破損の原因と
なるので好ましくない。この点、多孔質構造体として窒
化けい素を用いた場合には、熱膨張率が緻密構造体と等
しく、また窒素ガス雰囲気では1800℃まで安定であ
ることから、緻密構造体同士を接合する際の制約が少な
くて済む。この点でも、コーデュエライト材は、130
0℃以上の非酸化雰囲気では窒化けい素材と反応溶解
し、またチタン酸アルミでは1000℃以上において還
元分解してしまうといった問題がある。
質構造体は、緻密構造体と同じ窒化けい素により構成さ
れる。そのため、両者は同一の熱膨張率を有する。この
ように両者の熱膨張率を同一としたのは、上下2個の緻
密構造体の間に多孔質構造体を挟み込み、上下の緻密構
造体を接合するときに、例えばムライトのように熱膨張
率が窒化けい素のそれに比べて大きいセラミックスで
は、接合時の昇温過程において多孔質構造体の方が大き
く膨張してしまって緻密構造体が破損したり、また接合
昇温時で位置調整してある場合には冷却時に多孔質構造
体にクラックが生じたり、緻密構造体との間に隙間を生
じるからである。一方、多孔質構造体として、緻密構造
体より熱膨張率の小さいコーデュエライト材やチタン酸
アルミを使用した場合には、高温での使用時に多孔質構
造体に比べて緻密構造体の膨張が大きく、両者の間に隙
間を生じてしまうからである。隙間が生じている状態で
使用すると、緻密構造体に外力を加えた時に多孔質構造
体に十分に力が伝達されず、緻密構造体の破損の原因と
なるので好ましくない。この点、多孔質構造体として窒
化けい素を用いた場合には、熱膨張率が緻密構造体と等
しく、また窒素ガス雰囲気では1800℃まで安定であ
ることから、緻密構造体同士を接合する際の制約が少な
くて済む。この点でも、コーデュエライト材は、130
0℃以上の非酸化雰囲気では窒化けい素材と反応溶解
し、またチタン酸アルミでは1000℃以上において還
元分解してしまうといった問題がある。
【0008】本発明における多孔質構造体は、相対密度
が10〜70%の範囲にある。これは10%より小さく
なると十分な強度が得られず断熱材としての実用性に乏
しくなり、また70%より大きくなると十分な断熱性能
が得られなくなるからである。したがって、それを構成
する窒化けい素は、緻密構造体のものとは異なって、そ
の一つ一つが針状もしくは繊維状になっているものがよ
い。これは、これら針状もしくは繊維状の多数の細片を
互いに絡ませて結合させ、所定形状に形成したときに、
多孔質構造体の内部に多くの気孔を作り易くして断熱効
果を高めるためであり、また粒状または粉末状の窒化け
い素材に比べて、得られる多孔質構造体の機械強度を高
く保ちつつ低密度化することが可能となるからである。
本発明において相対密度を10〜70%の範囲に調整す
るためには、多孔質構造体の気孔率を90〜30%の間
に設定するのが望ましい。
が10〜70%の範囲にある。これは10%より小さく
なると十分な強度が得られず断熱材としての実用性に乏
しくなり、また70%より大きくなると十分な断熱性能
が得られなくなるからである。したがって、それを構成
する窒化けい素は、緻密構造体のものとは異なって、そ
の一つ一つが針状もしくは繊維状になっているものがよ
い。これは、これら針状もしくは繊維状の多数の細片を
互いに絡ませて結合させ、所定形状に形成したときに、
多孔質構造体の内部に多くの気孔を作り易くして断熱効
果を高めるためであり、また粒状または粉末状の窒化け
い素材に比べて、得られる多孔質構造体の機械強度を高
く保ちつつ低密度化することが可能となるからである。
本発明において相対密度を10〜70%の範囲に調整す
るためには、多孔質構造体の気孔率を90〜30%の間
に設定するのが望ましい。
【0009】上述のような針状もしくは繊維状の窒化け
い素としては、線径が0.05〜10μm程度、長さが
0.01〜10mm程度のものが好ましい。そして、そ
の種類として、例えばα−窒化けい素ウイスカー、β−
窒化けい素ウイスカー、窒化けい素繊維などを良好に用
いることができる。また、本発明では多孔質構造体の強
度を高めるために、結合剤を用いることが望ましい。こ
の結合剤は、例えば酸化アルミニウム、酸化カルシウ
ム、希土類酸化物の中から選ばれた少なくとも1種類
と、酸化けい素とからなるものが好ましいが、少なくと
も酸化けい素だけでもよい。そして、多孔質構造体を作
る場合には、多孔質構造体を成形する前に予めこれら結
合剤を窒化けい素ウイスカーや窒化けい素繊維に所定量
配合し、よく混合してから所定形状に合わせて吸引濾過
したのちこれを焼結する。そうすることにより、結合剤
が窒化けい素のウイスカーや繊維と反応して酸窒化物を
形成し、この酸窒化物がウイスカー同士、又は繊維同士
の結合を助け、所定の強度を確保することになる。ま
た、添加したアルミニウムや酸素原子などが窒化けい素
に固溶することにより窒化けい素の熱伝導率が減少す
る。上記α−窒化けい素ウイスカーとβ−窒化けい素ウ
イスカーとを比較したときに、断熱性の点ではα−窒化
けい素ウイスカーの方が好ましいが、この場合、多孔質
構造体を成形するときの焼結温度を1600℃以下とす
る必要がある。なお、結合剤を30wt%以上添加する
ことは、窒化けい素との間に熱膨張率の差を生じて好ま
しくない。
い素としては、線径が0.05〜10μm程度、長さが
0.01〜10mm程度のものが好ましい。そして、そ
の種類として、例えばα−窒化けい素ウイスカー、β−
窒化けい素ウイスカー、窒化けい素繊維などを良好に用
いることができる。また、本発明では多孔質構造体の強
度を高めるために、結合剤を用いることが望ましい。こ
の結合剤は、例えば酸化アルミニウム、酸化カルシウ
ム、希土類酸化物の中から選ばれた少なくとも1種類
と、酸化けい素とからなるものが好ましいが、少なくと
も酸化けい素だけでもよい。そして、多孔質構造体を作
る場合には、多孔質構造体を成形する前に予めこれら結
合剤を窒化けい素ウイスカーや窒化けい素繊維に所定量
配合し、よく混合してから所定形状に合わせて吸引濾過
したのちこれを焼結する。そうすることにより、結合剤
が窒化けい素のウイスカーや繊維と反応して酸窒化物を
形成し、この酸窒化物がウイスカー同士、又は繊維同士
の結合を助け、所定の強度を確保することになる。ま
た、添加したアルミニウムや酸素原子などが窒化けい素
に固溶することにより窒化けい素の熱伝導率が減少す
る。上記α−窒化けい素ウイスカーとβ−窒化けい素ウ
イスカーとを比較したときに、断熱性の点ではα−窒化
けい素ウイスカーの方が好ましいが、この場合、多孔質
構造体を成形するときの焼結温度を1600℃以下とす
る必要がある。なお、結合剤を30wt%以上添加する
ことは、窒化けい素との間に熱膨張率の差を生じて好ま
しくない。
【0010】次に、緻密構造体と多孔質構造体を一体に
する方法について説明する。第1の方法は、図1に示し
たように、カップ状のベース1を緻密構造体で形成し、
その内部に多孔質構造体2を嵌め入れ、さらにその上を
緻密構造体からなるプレート3で覆い、ベース1とプレ
ート3を例えばCaO-SiO2-Si3N4系ガラスからなる接合剤
4により接合して緻密構造体の中に多孔質構造体2を封
じ込めたものである。第2の方法は、図2に示したよう
に緻密構造体からなるベース1と多孔質構造体2を例え
ばCaO-SiO2-Si3N4系ガラスからなる接合剤5により直接
に接合したものである。また、第3の方法は、図3に示
したように、カップ状のベース1内にカップの上面より
突出する多孔質構造体2を嵌め入れ、ホットプレス法に
より多孔質構造体2をベース1内に埋め込むものであ
る。なお、上記第1〜3の方法は、互いに組み合わせて
行うことも可能であり、例えば第1の方法でベース1と
多孔質構造体2とを接合してもよく、また第2、第3の
方法でプレート3を用いて多孔質構造体2を緻密構造体
の中に封じ込めてもよい。
する方法について説明する。第1の方法は、図1に示し
たように、カップ状のベース1を緻密構造体で形成し、
その内部に多孔質構造体2を嵌め入れ、さらにその上を
緻密構造体からなるプレート3で覆い、ベース1とプレ
ート3を例えばCaO-SiO2-Si3N4系ガラスからなる接合剤
4により接合して緻密構造体の中に多孔質構造体2を封
じ込めたものである。第2の方法は、図2に示したよう
に緻密構造体からなるベース1と多孔質構造体2を例え
ばCaO-SiO2-Si3N4系ガラスからなる接合剤5により直接
に接合したものである。また、第3の方法は、図3に示
したように、カップ状のベース1内にカップの上面より
突出する多孔質構造体2を嵌め入れ、ホットプレス法に
より多孔質構造体2をベース1内に埋め込むものであ
る。なお、上記第1〜3の方法は、互いに組み合わせて
行うことも可能であり、例えば第1の方法でベース1と
多孔質構造体2とを接合してもよく、また第2、第3の
方法でプレート3を用いて多孔質構造体2を緻密構造体
の中に封じ込めてもよい。
【0011】
【作用】上述の手段によれば、多孔質構造体と緻密構造
体とは一体に構成したことにより多孔質構造体自身およ
び多孔質構造体と緻密構造体との間の熱伝達が悪く、全
体として断熱効果の大きい窒化けい素構造体となる。ま
た、多孔質構造体は緻密構造体と熱膨張率が同じなの
で、高温での接合および使用に際しても両者の熱膨張差
によって多孔質構造体または緻密構造体にクラックが入
ったり、両者の間に隙間が生じたりといったことはな
い。
体とは一体に構成したことにより多孔質構造体自身およ
び多孔質構造体と緻密構造体との間の熱伝達が悪く、全
体として断熱効果の大きい窒化けい素構造体となる。ま
た、多孔質構造体は緻密構造体と熱膨張率が同じなの
で、高温での接合および使用に際しても両者の熱膨張差
によって多孔質構造体または緻密構造体にクラックが入
ったり、両者の間に隙間が生じたりといったことはな
い。
【0012】
実施例1 80wt%のβ−窒化けい素ウイスカーと20wt%のシリ
カゲルを十分に混合したのち所定形状に成形し、焼成し
て気孔率70%の断熱材を得た。この断熱材は、曲げ強
度が5kg/mm2、圧縮強度が5kg/mm2、熱伝導率が2w/mk
の特性を有していた。次に、上記断熱材を用いて図4に
示したようなエンジン用のピストンヘッド6を作製し
た。このピストンヘッド6は、下部フランジ7を有する
緻密構造体としてのリング部材8内に緻密構造体として
のベース部材9を嵌め入れて下部フランジ7上に載置す
るとともに、ベース部材9の上面に多孔質構造体として
の断熱材10を載置した。その後、リング部材8とベー
ス部材9との間およびベース部材9と断熱材10との間
をCaO-SiO2-Si3N4系ガラスからなる接合剤11によりそ
れぞれ接合し、リング部材8に対してベース部材9およ
び断熱材10を固定した。次に、リング部材8の上面全
周にCaO-SiO2-Si3N4ガラスからなる接合剤12を断熱材
10の高さより多少厚く塗布したのち、断熱材10の上
に緻密構造からなるプレート部材13を載置し、加熱下
でプレート部材13上に所定の圧力を加えてリング部材
8の上面にプレート部材13の周縁部を接合した。この
場合、プレート部材13の上面に加熱下で圧力を加える
ことにより接合剤12は次第に軟化し、プレート部材1
3が次第に下がっていくが、断熱材10に均一に当たる
ことにより下がるのが止まり、プレート部材13とリン
グ部材8との間が接合され、断熱材10が緻密構造体の
内部に封じ込まれた構造となる。
カゲルを十分に混合したのち所定形状に成形し、焼成し
て気孔率70%の断熱材を得た。この断熱材は、曲げ強
度が5kg/mm2、圧縮強度が5kg/mm2、熱伝導率が2w/mk
の特性を有していた。次に、上記断熱材を用いて図4に
示したようなエンジン用のピストンヘッド6を作製し
た。このピストンヘッド6は、下部フランジ7を有する
緻密構造体としてのリング部材8内に緻密構造体として
のベース部材9を嵌め入れて下部フランジ7上に載置す
るとともに、ベース部材9の上面に多孔質構造体として
の断熱材10を載置した。その後、リング部材8とベー
ス部材9との間およびベース部材9と断熱材10との間
をCaO-SiO2-Si3N4系ガラスからなる接合剤11によりそ
れぞれ接合し、リング部材8に対してベース部材9およ
び断熱材10を固定した。次に、リング部材8の上面全
周にCaO-SiO2-Si3N4ガラスからなる接合剤12を断熱材
10の高さより多少厚く塗布したのち、断熱材10の上
に緻密構造からなるプレート部材13を載置し、加熱下
でプレート部材13上に所定の圧力を加えてリング部材
8の上面にプレート部材13の周縁部を接合した。この
場合、プレート部材13の上面に加熱下で圧力を加える
ことにより接合剤12は次第に軟化し、プレート部材1
3が次第に下がっていくが、断熱材10に均一に当たる
ことにより下がるのが止まり、プレート部材13とリン
グ部材8との間が接合され、断熱材10が緻密構造体の
内部に封じ込まれた構造となる。
【0013】このような構造からなるピストンヘッド6
において、接合加熱時におけるリング部材8およびプレ
ート部材13の破壊変形は認められず、また断熱材10
とプレート部材13との間では両者の間に隙間が生ずる
などの問題はなかった。更に、プレート部材13の上か
ら5トンの荷重を加え、繰り返し疲労試験を行ったが、
断熱材10の剥離破損およびプレート部材13の破損な
どの問題はなかった。
において、接合加熱時におけるリング部材8およびプレ
ート部材13の破壊変形は認められず、また断熱材10
とプレート部材13との間では両者の間に隙間が生ずる
などの問題はなかった。更に、プレート部材13の上か
ら5トンの荷重を加え、繰り返し疲労試験を行ったが、
断熱材10の剥離破損およびプレート部材13の破損な
どの問題はなかった。
【0014】比較例1 ムライト材を用いて上記と同様の多孔質体からなる断熱
材を作り、図4に示したのと同じ構造からなるピストン
ヘッドを試作した。なお、リング部材、ベース部材およ
びプレート部材は、いずれも上記と同様の窒化けい素に
より構成した。そして、上記と同様の接合剤を用いてリ
ング部材とプレート部材とを接合させたところ、ムライ
ト材の熱膨張によりリング部材が破壊した。
材を作り、図4に示したのと同じ構造からなるピストン
ヘッドを試作した。なお、リング部材、ベース部材およ
びプレート部材は、いずれも上記と同様の窒化けい素に
より構成した。そして、上記と同様の接合剤を用いてリ
ング部材とプレート部材とを接合させたところ、ムライ
ト材の熱膨張によりリング部材が破壊した。
【0015】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る窒化
けい素系構造体によれば、緻密構造体と多孔質構造体と
をいずれも窒化けい素により構成し、これらを一体の構
造物としたから、構造物全体が高温強度を保ちつつしか
も断熱性が大幅に向上した。その結果、この窒化けい素
系構造体を、例えば自動車のセラミックエンジンのピス
トンなどに適用した場合には、ピストンでの発熱を抑え
ることができ、エンジン全体の冷却効率を上げることが
できる。
けい素系構造体によれば、緻密構造体と多孔質構造体と
をいずれも窒化けい素により構成し、これらを一体の構
造物としたから、構造物全体が高温強度を保ちつつしか
も断熱性が大幅に向上した。その結果、この窒化けい素
系構造体を、例えば自動車のセラミックエンジンのピス
トンなどに適用した場合には、ピストンでの発熱を抑え
ることができ、エンジン全体の冷却効率を上げることが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】緻密構造体の内部に多孔質構造体を封じ込めて
一体構造とした断面図である。
一体構造とした断面図である。
【図2】緻密構造体に多孔質構造体を接合して一体構造
とした断面図である。
とした断面図である。
【図3】緻密構造体に多孔質構造体を埋め込んで一体構
造とした断面図である。
造とした断面図である。
【図4】ピストンヘッドの断面図である。
1 ベース(緻密構造体) 2 多孔質構造体 3 プレート(緻密構造体)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 馬渕 真 千葉県船橋市豊富町585番地 住友セメン ト株式会社中央研究所内 (72)発明者 鈴木 弘 千葉県船橋市豊富町585番地 住友セメン ト株式会社中央研究所内
Claims (3)
- 【請求項1】 緻密構造の窒化けい素構造物と、相対密
度が10〜70%である多孔質構造の窒化けい素構造物
とを一体に構成したことを特徴とする窒化けい素系構造
体。 - 【請求項2】 多孔質構造の窒化けい素構造物は、針状
もしくは繊維状に形成された窒化けい素の細片の集合物
を、結合剤により結合させたものである請求項1記載の
窒化けい素系構造体。 - 【請求項3】 結合剤は、酸化アルミニウム、酸化カル
シウム、希土類酸化物の中から選ばれた少なくとも1種
類と酸化けい素とで構成され、これを30wt%以下含む
ことを特徴とする請求項2記載の窒化けい素系構造体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3320760A JPH05155671A (ja) | 1991-12-04 | 1991-12-04 | 窒化けい素系構造体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3320760A JPH05155671A (ja) | 1991-12-04 | 1991-12-04 | 窒化けい素系構造体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05155671A true JPH05155671A (ja) | 1993-06-22 |
Family
ID=18124960
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3320760A Pending JPH05155671A (ja) | 1991-12-04 | 1991-12-04 | 窒化けい素系構造体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05155671A (ja) |
-
1991
- 1991-12-04 JP JP3320760A patent/JPH05155671A/ja active Pending
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