JPH05159383A

JPH05159383A - 光記録媒体製造用スタンパーの電鋳方法

Info

Publication number: JPH05159383A
Application number: JP3347793A
Authority: JP
Inventors: Toshiya Yuasa; 俊哉湯浅; Takashi Kai; 丘甲斐; Hirofumi Kamitakahara; 弘文上高原; Hisanori Hayashi; 久範林; Osamu Shikame; 修鹿目; Naoki Kushida; 直樹串田; Hitoshi Yoshino; 斉芳野
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1991-12-04
Filing date: 1991-12-04
Publication date: 1993-06-25

Abstract

(57)【要約】【目的】膜厚が均一な高品質のスタンパーを得る光記
録媒体製造用スタンパーの電鋳方法を提供する。【構成】記録すべき情報に対応した凹凸パターンが形
成された原盤に導電化処理を施し導電膜を形成した後、
電鋳を行い電鋳膜を形成し、導電膜と電鋳膜を一体に剥
離して光記録媒体製造用スタンパーを製造する方法にお
いて、対向する陰極と陽極の間に陽イオン交換膜を設け
て電鋳を行うスタンパーの電鋳方法。また、対向する陰
極と陽極の間に導電性を有する補助部材を設け、該補助
部材を該陰極と同極性にして陽極との間に通電して電鋳
を行うスタンパーの電鋳方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光学的に情報の記録・
再生を行なう光記録媒体製造用スタンパーの電鋳方法に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、各種情報の記録には、磁気テー
プ、磁気ディスク等の磁気材料、各種半導体メモリー等
が主として用いられてきた。この様な磁気メモリー、半
導体メモリーは情報の書き込み及び、読みだしを容易に
行うことができるという利点はあるが、反面、情報の内
容を容易に書き換えられたり、また高密度記録ができな
いという問題点があった。

【０００３】この様な、問題点を解決するために、多種
多様の情報を効率良く取り扱う手段として、光記録媒体
による光学的情報記録方法が提案され、そのための光学
的情報記録担体、記録再生方法、記録再生装置が提案さ
れている。かかる情報記録担体としての光記録媒体は、
一般にレーザー光を用いて情報記録担体上の光記録層の
一部を揮散させるか、反射率の変化を生じさせるか、あ
るいは変形を生じさせて光学的な反射率や透過率の差に
よって情報を記録し、あるいは再生を行なっている。こ
の場合、光記録層は情報を書き込み後、現像処理などの
必要がなく、「書いた後に直読する」ことのできる、い
わゆるＤＲＡＷ（ダイレクト・リード・アフター・ライ
ト）媒体であり、高密度記録が可能であり、また追加書
き込みも可能であることから、情報の記録・保存媒体と
して有効である。

【０００４】図５（ａ），（ｂ）は従来の光記録媒体
（光ディスク、光カード）の模式的断面図である。図５
（ａ）は光ディスクを示し、トラック溝部１３を設けた
透明基板１２上に光記録層１４を形成し、該光記録層１
４の上にスペーサー１５を介して保護基板１７を設けて
なるものである。

【０００５】図５（ｂ）は光カードを示し、トラック溝
部１３を設けた透明基板１２上に光記録層１４を形成
し、該光記録層１４の上に接着剤層１６を介して保護基
板１７を設けてなるものである。

【０００６】図５において、記録・再生は、トラック溝
部１３の微細な凹凸を利用してレーザー光の位相差によ
り位置決めをしながら行なっている。一般的な光記録媒
体では、熱可塑性樹脂であるポリカーボネート樹脂やポ
リメチルメタクリル樹脂を、トラックや情報に対応する
凹凸パターンが記録されているスタンパーを用いて、そ
の凹凸パターンを転写してトラック溝部１３を形成して
いる。

【０００７】スタンパーの製造方法としては、一般的
に、図６に示す様に、平面性良く研磨されたガラス原盤
２１の上に、レジストや感光性樹脂のレジスト層２２
に、記録すべき情報に対応した所定の深さの凹凸パター
ン２３を形成した後に（図６（ａ）参照）、導電化処理
を施し導電膜２４を形成し（図６（ｂ）参照）、次いで
所定の厚さまで電鋳を行なって電鋳膜２５を形成し（図
６（ｃ）参照）、その電鋳膜２５を導電膜２４と共にレ
ジスト層２２より剥離することによって金属スタンパー
を得ている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】従来の電鋳方法におい
ては、例えばニッケル電鋳用スルファミン酸浴を用いて
電鋳を行なう場合、ｐＨを調整するためにスルファミン
酸を添加すると、スルファミン酸イオン濃度が増大する
ことによって陽極のニッケルの溶解速度が増大し、ニッ
ケルイオン濃度が上昇し、電鋳における液組成の安定性
が損なわれる。従って、電鋳膜の膜厚にもばらつきが生
じ、スタンパーの精度が不安定となる問題を有してい
た。

【０００９】一方、従来の電鋳方法においては、対向す
る陰極と陽極の間に、邪魔板として絶縁性の補助部材を
設け、電鋳膜の膜厚分布を均一化する処置がとられてい
る（特開昭５９−１７７３８８号公報，特開昭６０−１
７０８９号公報，特開昭６１−２７９６９９号公報）。

【００１０】しかしながら、電鋳時に陽極から陰極に向
かって発生する電気力線は、上記の邪魔板を容易に回避
して陰極上に到達するために、陰極上に発生する膜厚の
不均一を完全に防止することは出来なかった。とりわ
け、前記のガラスなどの原盤上に形成されるレジストや
感光性樹脂の凹凸により膜厚が不均一になっている部分
や、エッジ部分に電気力線が集中することにより電鋳膜
が盛り上がって形成されることを無くすことは非常に困
難であった。

【００１１】本発明は、上記の問題を解決するためにな
されたものであり、対向する陰極と陽極の間に陽イオン
交換膜を設けて電鋳を行うことにより、膜厚が均一な高
品質のスタンパーを得ることができる光記録媒体製造用
スタンパーの電鋳方法を提供することを目的とするもの
である。

【００１２】さらに、本発明の他の目的は、対向する陰
極と陽極の間に導電性を有する補助部材を設け、該補助
部材を該陰極と同極性にして陽極との間に通電して電鋳
を行うことにより、電鋳膜の膜厚が均一な高品質のスタ
ンパーを得ることができる光記録媒体製造用スタンパー
の電鋳方法を提供することを目的とするものである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】即ち、本発明の第一の発
明は、光ビームの照射により光学特性を変化させて、情
報の記録・再生を行なう光記録媒体の製造に用いられ、
記録すべき情報に対応した凹凸パターンが形成された原
盤に導電化処理を施し導電膜を形成した後、電鋳を行い
電鋳膜を形成し、導電膜と電鋳膜を一体に剥離してスタ
ンパーを製造する方法において、対向する陰極と陽極の
間に陽イオン交換膜を設けて電鋳を行うことを特徴とす
る光記録媒体製造用スタンパーの電鋳方法である。

【００１４】また、本発明の第二の発明は、光ビームの
照射により光学特性を変化させて、情報の記録・再生を
行なう光記録媒体の製造に用いられ、記録すべき情報に
対応した凹凸パターンが形成された原盤に導電化処理を
施し導電膜を形成した後、電鋳を行い電鋳膜を形成し、
導電膜と電鋳膜を一体に剥離してスタンパーを製造する
方法において、対向する陰極と陽極の間に導電性を有す
る補助部材を設け、該補助部材を該陰極と同極性にして
陽極との間に通電して電鋳を行うことを特徴とする光記
録媒体製造用スタンパーの電鋳方法である。

【００１５】以下、本発明を詳細に説明する。先ず、本
発明の第一の発明について説明する。本発明は、光ビー
ムの照射によって光学特性を変化させて情報の記録、再
生を行なう光記録媒体の製造に用いられるスタンパを、
記録すべき情報に対応した凹凸パターンが形成された原
盤に電鋳を行なうことによって製造する方法において、
対向する陰極と陽極の間に陽イオン交換膜を設けて電鋳
を行なうことにより、陽極近傍のアニオン濃度を一定に
し、膜厚が均一な高品質のスタンパーを安定して得るこ
とができる。

【００１６】前記陽イオン交換膜は、陽極を被覆する様
に設けることが好ましい。陽イオン交換膜で陽極を被覆
すると、陽極からアノード溶解した金属イオンは、陽イ
オン交換膜を選択的に透過し、陰極に到達して電着し、
電鋳膜を形成することができる。

【００１７】図１は本発明のスタンパーの電鋳方法に用
いる電鋳装置の一実施態様を示す概略断面図である。同
図において、電鋳液７を満たした電鋳槽３中に陽極２と
陰極１が対向する位置に設置され、陰極１はモーター４
によって回転する。陽極２は、試料である球状金属２ａ
をチタンより成る網状保持体２ｂ中に保持し、陰極１と
の間で通電することにより試料金属をアノード溶解さ
せ、陰極１に試料金属を還元して電鋳膜を形成する。

【００１８】更に、陽極２は、陽イオン交換膜３０で被
覆され、また陽極２と陰極１との間には電鋳膜厚を均一
化するための邪魔板６が設けられている。陰極１は、図
４に示す如く構成され、ガラス等の原盤９上にフォトポ
リマー等でパターンを形成し、表面をスパッター等で導
電化処理を施したものを原盤ホルダー８にセットし、モ
ーター４により回転自在に設置されている。

【００１９】次に、本発明の光記録媒体製造用スタンパ
ーの電鋳方法を、ニッケル電鋳用スルファミン酸浴を例
に挙げて説明する。スルファミン酸浴はｐＨの上昇を抑
える目的で適宜スルファミン酸を加える必要がある。こ
れによって、スルファミン酸イオンの液中濃度が上昇し
ていき、通常、陽極からのニッケルのアノード溶解速度
が増大していく。しかし、本発明においては、陽極は陽
イオン交換膜で被覆されているために、浴中にスルファ
ミン酸を添加しても陽極近傍のスルファミン酸イオン濃
度は増大せず、陽極のニッケルのアノード溶解速度を安
定化させることができる。従って、電鋳を行なう過程で
ニッケルイオン濃度は安定化し、形成される電鋳膜の膜
厚のばらつきを抑えることができる。

【００２０】本発明において用いられる陽イオン交換膜
としては、陽イオン（カチオン）を選択的に透過させる
ものであれば特に制限することなく用いることができ
る。陽イオン交換膜には、変換基の種類と膜を構成する
母体の種類及びその構造状態によって多様なものがある
が、例えばカチオン変換基には、スルホン基，カルボキ
シル基，ホスホン基などを用いたものが挙げられる。

【００２１】陽イオン交換膜としては、具体的にはフェ
ノールスルホン酸、メタクリル酸、スチレンジビニルベ
ンゼン、ビニル・ジビニルベンゼン、エチレン・イミン
・エピクロロヒドリン、エポキシ等を交換基と共重合、
あるいは共縮合させて得られるものと、スチレンジビニ
ルベンゼン、スチレンブタジエン等の膜状高分子に交換
基を導入したのもがあり、いずれも用いることができ
る。

【００２２】また、従来の電鋳方法においては、陽極金
属のアノード溶解に伴なって発生する不純物（スラッ
ジ）を電鋳液中に拡散させないようにする目的で陽極を
綿布等で被覆しているが、本発明においては、陽極を陽
イオン交換膜で被覆することにより、スラッジの拡散を
防ぐことが出来るため、従来の様に陽極を綿布等で被覆
する必要はない。

【００２３】本発明の電鋳方法における電鋳液の循環方
法としては、例えば図１に示す様な方法が用いられる。
同図１において、電鋳液７は調整槽２８よりポンプ２７
によってくみ上げられ、吐出口２６より矢印方向に吐出
される。この電鋳液７の液流は、陽極２と陰極１の間隙
へ向けて矢印Ａの方向に吐出され、排出口２９によって
調整槽２８に回収される循環経路を取り、常に新しい電
解液７が電解槽３に供給される。

【００２４】電鋳液を送り込むための吐出口２６は、陰
極１の面に直角方向に向ければ陰極面に発生する水素ガ
スの除去効果が大きいが、さらに水素ガスを均一に除去
するために、必要に応じて角度をつけたり、また吐出口
の数を増減させてもよい。

【００２５】電鋳液７の吐出流量は１５〜３００リット
ル／分、好ましくは３０〜１８０リットル／分程度が望
ましく、１５リットル／分未満では陰極面上の水素ガス
を除去するだけの流速が得られず、３００リットル／分
を越えるとポンプや吐出口などに過大な圧力がかかって
好ましくない。

【００２６】陽極２に用いられる試料金属は、上記の図
１に示す実施態様では球状金属を使用しているが、その
他の形状のものでもよく、例えば板状、塊状、毛状、フ
レーク状、多孔質体、粉体等の形状のものを任意に用い
ることができる。また、試料金属を支給する網状支持体
には、チタン、金、白金等の貴金属やプラスチック等を
用いて試料金属のみを選択的に溶出させることが望まし
い。

【００２７】上記の電鋳方法を用いてスタンパーを製造
する方法は、例えば図６に示す様に、平面性良く研磨さ
れたガラス原盤２１の上に、レジストや感光性樹脂のレ
ジスト層２２に、記録すべき情報に対応した所定の深さ
の凹凸パターン２３を形成した後に（図６（ａ）参
照）、導電化処理を施し導電膜２４を形成し（図６
（ｂ）参照）、次いで所定の厚さまで電鋳を行なって電
鋳膜２５を形成し（図６（ｃ）参照）、その電鋳膜２５
を導電膜２４と共にレジスト層２２より剥離することに
よってスタンパーを得ることができる。

【００２８】次に、本発明の第二の発明について説明す
る。本発明は、光ビームの照射によって光学特性を変化
させて情報の記録、再生を行なう光記録媒体の製造に用
いられるスタンパーを、記録すべき情報に対応した凹凸
パターンが形成された原盤に電鋳を行なうことによって
製造する方法において、対向する陰極と陽極の間に、該
陰極と陽極とは別の導電性を有する補助部材を設け、該
補助部材を陰極と同極性にして陽極との間に通電して電
鋳を行なうことにより、電鋳膜の膜厚分布を均一化し、
膜厚が均一な高品質のスタンパーを安定して得ることが
できる。

【００２９】本発明において、前記補助部材は、該陰極
上に形成される電鋳膜の膜厚が厚くなる部分に選択的に
配置されることを特徴とする。該補助部材をメッシュ状
とすることによって膜厚を精度よく均一にすることがで
きる。

【００３０】図２は本発明のスタンパー電鋳方法に用い
る電鋳装置の一実施態様を示す概略断面図である。同図
において、電鋳液７を満たした電鋳槽３中に陽極２と陰
極１が対向する位置に設置され、陰極１はモーター４に
よって回転する。陽極２は、試料である球状金属２ａを
チタンより成る網状保持体２ｂ中に保持し、陰極１との
間で通電することにより試料金属をアノード溶解させ、
陰極１に試料金属を還元して電鋳膜を形成する。

【００３１】陰極１は、図４に示す如く構成され、ガラ
ス等の原盤９上にフォトポリマー等でパターンを形成
し、表面をスパッター等で導電化処理を施したものを原
盤ホルダー８にセットし、モーター４により回転自在に
設置されている。

【００３２】陽極２と陰極１の間には、導電性を有する
補助部材３１が設けられ、陽極２に対し陰極として作用
するように電位がかけられる。これにより、陰極１上の
感光性樹脂やレジストのエッジ部等に形成される電鋳膜
の局部的な盛り上がり部分を補助部材３１の表面に電着
させ、陰極１上の導電膜に電鋳する電鋳膜の平面性を確
保し、膜厚を均一化させることが可能になる。また、エ
ッジ部分以外の電鋳膜の膜厚の不均一も、電位を与える
補助部材３１の位置を、膜厚の不均一となる箇所に設置
することによって不必要な部分に形成される電鋳膜の突
出を防止することができる。

【００３３】次に、上記の補助部材３１の一例を図３に
示す。同図において、補助部材３１は円板状の導電性の
メッシュ状の金属からなり、同心円状に３１−１から３
１−６までの６つの部分に分かれており、それぞれスイ
ッチＳ１〜Ｓ６によって陰極１に結線されている。

【００３４】例えば、図３では図示していない陰極１に
おいて、形成される電鋳膜の最外周部に突出部が生じる
ときはスイッチＳ１のみを閉じ、補助部材３１−１の部
分に電位を付与して通電して電着させることによって、
電鋳膜の最外周部の突出を取り除くことが出来る。

【００３５】また、形成される電鋳膜の突出部が最外周
部より少し内側に発生する場合には、スイッチＳ２のみ
を閉じ、補助部材３１−２の部分に電位を付与して通電
して電着させることにより突出を取り除くことができ
る。同様にして、補助部材３１−３〜３１−６までの部
分にスイッチＳ１〜Ｓ６を使用して電位を与え、それぞ
れの部分の電鋳膜の突出を取り除くことができる。ま
た、同時に２つ以上のスイッチを閉じ、２ヶ所以上の電
鋳膜の突出を同時に取り除いてもよい。また、上記の例
では、補助部材３１を６個の部分に同心円状に分けてい
るが、必ずしもこれらの形状に限定される必要はなく、
また分割する数や形状は適宜設定することができる。

【００３６】補助部材３１は、導電性のメッシュ状のも
のであれば良く、例えばステンレス、アルミニウム、
銅、チタン及びこれらの合金などの金属が好ましい。

【００３７】また、メッシュの形状は、例えば陰極１の
形状が直径３５５ｍｍの円形の場合、格子状、多孔状、
もしくは網状の金属を直径３５５ｍｍの円盤状に切り、
外周部から半径方向に３０ｍｍおきに区切りを設けて、
順に３１−１、３１−２、・・・３１−６の各部を形成
したのもが好ましい。

【００３８】本発明の電鋳方法における電鋳液の循環方
法としては、例えば図２に示す様な方法が用いられる。
同図２において、電鋳液７は調整槽２８よりポンプ２７
によってくみ上げられ、吐出口２６より矢印方向に吐出
される。この電鋳液７の液流は、陽極２と陰極１の間隙
へ向けて矢印Ａの方向に吐出され、排出口２９によって
調整槽２８に回収される循環経路を取り、常に新しい電
解液７が電解槽３に供給される。

【００３９】電鋳液を送り込むための吐出口２６は、陰
極１の面に直角方向に向ければ陰極面に発生する水素ガ
スの除去効果が大きいが、さらに水素ガスを均一に除去
するために、必要に応じて角度をつけたり、また吐出口
の数を増減させてもよい。

【００４０】電鋳液７の吐出流量は１５〜３００リット
ル／分、好ましくは３０〜１８０リットル／分程度が望
ましく、１５リットル／分未満では陰極面上の水素ガス
を除去するだけの流速が得られず、３００リットル／分
を越えるとポンプや吐出口などに過大な圧力がかかって
好ましくない。

【００４１】陽極２に用いられる試料金属は、上記の図
２に示す実施態様では球状金属を使用しているが、その
他の形状のものでもよく、例えば板状、塊状、毛状、フ
レーク状、多孔質体、粉体等の形状のものを任意に用い
ることができる。また、試料金属を支給する網状支持体
には、チタン、金、白金等の貴金属やプラスチック等を
用いて試料金属のみを選択的に溶出させることが望まし
い。

【００４２】上記の電鋳方法を用いてスタンパーを製造
する方法は、例えば図６に示す様に、平面性良く研磨さ
れたガラス原盤２１の上に、レジストや感光性樹脂のレ
ジスト層２２に、記録すべき情報に対応した所定の深さ
の凹凸パターン２３を形成した後に（図６（ａ）参
照）、導電化処理を施し導電膜２４を形成し（図６
（ｂ）参照）、次いで所定の厚さまで電鋳を行なって電
鋳膜２５を形成し（図６（ｃ）参照）、その電鋳膜２５
を導電膜２４と共にレジスト層２２より剥離することに
よって得ることができる。

【００４３】

【実施例】以下、実施例を示し、本発明をさらに具体的
に説明する。

【００４４】実施例１厚さ１０ｍｍ、直径３５５ｍｍのガラス板（旭ガラス
製）上に、フォトレジスト（ＡＺ１３００、ヘキストジ
ャパン製）を０．１１μｍの厚さに回転塗布してから、
レーザー露光機（松下電器製）でパターンを露光し、現
像して、ピッチ１．６μｍ、幅０．７μｍ、深さ１１０
０Åの同心円の凹凸パターンを形成した。その後で、ニ
ッケルを１０００Åの厚さにスパッターして導電化処理
した。この凹凸パターンの形成されたガラス原盤を外形
直径４００ｍｍ、角度４５度、長さ１０ｍｍのテーパー
の形成された、丸型原盤ホールダーに固定した。

【００４５】これを陰極として、図１に示す装置を用い
て、陽極にニッケル球をチタンの籠に入れたものを用
い、更にその上をスチレン−ジビニルベンゼンにスルホ
ン基を導入したものからなる陽イオン交換膜で被覆して
電鋳を行なった。

【００４６】電鋳液としては下記の組成に混合した液を
５００リットル用いて、電鋳層１５０リットル、予備層
３５０リットルの電鋳槽に入れて、液温度４５℃、ｐＨ
４．０の状態で、液全体を１０回／時間のサイクルで循
環させた。

【００４７】スルファミン酸ニッケル（４水和物）４５０ｇ／１ホウ酸３０ｇ／１ピット防止剤５ｍｌ／１

【００４８】電鋳液を５０リットル／分で調整槽よりく
み上げ、１本の吐出口により陽極の裏側から吐出させな
がら電鋳を行なった。電流条件は最初は３Ａで３０分間
流してから、５０Ａまで電流を上げて、１３０００Ａ分
の積算電流値になるまで電鋳を行なって、３００μｍの
厚さの電鋳スタンパーを得た。

【００４９】さらに、これをくり返し、５枚の電鋳スタ
ンパーを作成し、その厚みをマイクロメーターによって
測定したところ、全体に±１０μｍ以内の誤差範囲内に
おさまっており、均一な厚さに形成された。

【００５０】比較例１実施例１において、陽イオン交換膜のかわりに綿布（旭
繊維工業社製、ＳＰ−１０１）を用いた以外は実施例１
と同様にして電鋳を行なったところ、終了時にニッケル
濃度が増大（比重上昇）し、電鋳液の組成物が変化し
た。また、スタンパーを５枚作成し、その厚みをマイク
ロメーターによって測定したところ、±１０μｍ以上の
ばらつきが認められた。

【００５１】実施例２厚さ１０ｍｍ、直径３６０ｍｍのガラス板（旭ガラス
製）上に、フォトレジスト（ＡＺ１３００、ヘキストジ
ャパン製）を０．１１μｍの厚さに回転塗布してから、
レーザー露光機（松下電器製）でパターンを露光し、現
像して、ピッチ１．６μｍ、幅０．７μｍ、深さ１１０
０Åの同心円の凹凸パターンを形成した。その後で、ニ
ッケルを１０００Åの厚さにスパッターして導電化処理
した。この凹凸パターンの形成されたガラス原盤を外形
直径４００ｍｍ、角度４５度、長さ１０ｍｍのテーパー
の形成された、丸型原盤ホールダーに固定した。

【００５２】これを陰極として、図２に示す装置を用い
て、陽極にニッケル球をチタンの籠に入れたものを用い
て電鋳を行なった。

【００５３】また、陰極には、図３に示した形状のステ
ンレスメッシュ（網目の大きさ１．８ｍｍ）よりなる直
径３６０ｍｍで、３１−１から３１−６まで３０ｍｍず
つ同心円状に分けられた補助部材を設け、スイッチＳ１
を閉じて陰極１と同電位の電圧を印加して電鋳を行なっ
た。

【００５４】電鋳液としては下記の組成に混合した液を
５００リットル用いて、電鋳層１５０リットル、予備層
３５０リットルの電鋳槽に入れて、液温度４５℃、ｐＨ
４．０の状態で、液全体を１０回／時間のサイクルで循
環させた。

【００５５】スルファミン酸ニッケル（４水和物）４５０ｇ／１ホウ酸３０ｇ／１ピット防止剤５ｍｌ／１

【００５６】電鋳液を５０リットル／分で調整槽よりく
み上げ、１本の吐出口により陽極の裏側から吐出させな
がら電鋳を行なった。電流条件は最初は３Ａで３０分間
流してから、５０Ａまで電流を上げて、１３０００Ａ分
の積算電流値になるまで電鋳を行なって、３００μｍの
厚さの電鋳スタンパーを得た。得られたスタンパーの厚
みをマイクロメーターによって測定したところ、全体に
±１０μｍ以内の誤差範囲内で均一な厚さに形成されて
いた。

【００５７】実施例３厚さ１０ｍｍ、直径３６０ｍｍのガラス板上に、厚さ約
８０μｍ、直径２７０ｍｍのフォトポリマー（日本化薬
社製、ＩＮＣ１１８）を真空注入、光硬化によって形成
し、ピッチ１．６μｍ、幅０．７μｍ、深さ１１００Å
の同心円状の凹凸パターンを形成した。

【００５８】その後で、ニッケルを１０００Åの厚さに
スパッターして導電化処理した。これを実施例２と同様
の方法で電鋳を行なった。ただし、補助部材はスイッチ
Ｓ２のみを閉じ、３１−２の部分に陰極１と同電位の電
圧を印加した。その結果、得られたスタンパーの厚み
は、実施例２と同様に均一に形成された。

【００５９】比較例２実施例２において補助部材を用いないで、その他は実施
例２と同様にしてスタンパーを得た。その結果、外周部
の膜厚が中心部より約５０μｍ厚くなり、不均一なスタ
ンパーしか得られなかった。

【００６０】比較例３実施例３において、補助部材を用いないで、その他は実
施例３と同様にしてスタンパーを得た。その結果、フォ
トレジストのエッジ部に相当する部分の膜厚が中心部よ
り約５０μｍ厚く、不均一なスタンパーしか得られなか
った。

【００６１】以上の実施例２，３の結果から、本発明の
電鋳方法によって作成されたスタンパーは厚みのばらつ
きがなく、平面性の優れた均一なスタンパーが得られる
ことが認められる。

【００６２】

【発明の効果】以上説明した様に、本発明の陰極と陽極
の間に陽イオン交換膜を設けて電鋳を行なう電鋳方法を
用いることによって、陽極近傍のアニオン濃度の上昇を
抑えて金属イオンの過大な溶解を防ぎ、電鋳液濃度の安
定性を向上させ、膜厚が均一な高品質のスタンパーを得
ることができる。

【００６３】また、本発明の陰極に補助部材を設けて、
形成される電鋳膜の膜厚をコントロールする電鋳方法を
用いることにより、エッジ部分や凹凸に基づく電気力線
の局部的な集中によって起こる電鋳膜厚の不均一化を防
止し、平面性に優れ、膜厚が均一な高品質なスタンパー
を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のスタンパーの電鋳方法に用いる電鋳装
置の一実施態様を示す概略断面図である。

【図２】本発明のスタンパーの電鋳方法に用いる電鋳装
置の他の実施態様を示す概略断面図である。

【図３】図２の電鋳装置に用いられる補助部材の一例を
示す説明図である。

【図４】本発明のスタンパーの電鋳方法の電鋳に用いら
れる原盤ホルダーの概略断面図である。

【図５】従来の光記録媒体の断面図である。

【図６】スタンパーの製造方法を示す概略断面図であ
る。

【符号の説明】

１陰極２陽極２ａ球状金属２ｂ網状支持体３電鋳槽４モーター５上蓋６邪魔板７電鋳液８原盤ホルダー９原盤１０原盤押え部１２透明基板１３トラック溝部１４光記録層１５スペーサー１６接着剤層１７保護基板１８中心孔２１ガラス原盤２２レジスト層２３凹凸パターン２４導電膜２５電鋳膜２６吐出口２７ポンプ２８調整槽２９排出口３０陽イオン交換膜３１補助部材Ｓ１〜Ｓ６スイッチ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者林久範東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者鹿目修東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者串田直樹東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者芳野斉東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光ビームの照射により光学特性を変化さ
せて、情報の記録・再生を行なう光記録媒体の製造に用
いられ、記録すべき情報に対応した凹凸パターンが形成
された原盤に導電化処理を施し導電膜を形成した後、電
鋳を行い電鋳膜を形成し、導電膜と電鋳膜を一体に剥離
してスタンパーを製造する方法において、対向する陰極
と陽極の間に陽イオン交換膜を設けて電鋳を行うことを
特徴とする光記録媒体製造用スタンパーの電鋳方法。
【請求項２】前記陽イオン交換膜によって陽極が被覆
されている請求項１記載の光記録媒体製造用スタンパー
の電鋳方法。
【請求項３】光ビームの照射により光学特性を変化さ
せて、情報の記録・再生を行なう光記録媒体の製造に用
いられ、記録すべき情報に対応した凹凸パターンが形成
された原盤に導電化処理を施し導電膜を形成した後、電
鋳を行い電鋳膜を形成し、導電膜と電鋳膜を一体に剥離
してスタンパーを製造する方法において、対向する陰極
と陽極の間に導電性を有する補助部材を設け、該補助部
材を該陰極と同極性にして陽極との間に通電して電鋳を
行うことを特徴とする光記録媒体製造用スタンパーの電
鋳方法。
【請求項４】前記補助部材は、陰極上に形成される電
鋳膜の膜厚が厚くなる部分に選択的に配置されている請
求項３記載の光記録媒体製造用スタンパーの電鋳方法。
【請求項５】前記補助部材がメッシュ状である請求項
３記載の光記録媒体製造用スタンパーの電鋳方法。