JPH0520231B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0520231B2 JPH0520231B2 JP30389686A JP30389686A JPH0520231B2 JP H0520231 B2 JPH0520231 B2 JP H0520231B2 JP 30389686 A JP30389686 A JP 30389686A JP 30389686 A JP30389686 A JP 30389686A JP H0520231 B2 JPH0520231 B2 JP H0520231B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bath
- plating film
- base metal
- acid
- chloride
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(イ) 産業上の利用分野
本発明は、電着式砥石の製造方法に関するもの
である。
である。
(ロ) 従来の技術
従来の電着式砥石の製造方法は、例えば特開昭
58−45871号公報に示されるように塩化物含有ス
ルフアミン酸浴を用いて、又は特開昭58−66668
号公報に示されるようにワツト浴を用いて、電気
ニツケルめつきによつて台金にダイヤモンド、立
方晶窒化ホウ素などの砥粒を電着させるようにし
たものである。
58−45871号公報に示されるように塩化物含有ス
ルフアミン酸浴を用いて、又は特開昭58−66668
号公報に示されるようにワツト浴を用いて、電気
ニツケルめつきによつて台金にダイヤモンド、立
方晶窒化ホウ素などの砥粒を電着させるようにし
たものである。
(ハ) 発明が解決しようとする問題点
シリコン、水晶、フエライトなどの硬くてもろ
い材料を薄片に切断する内周刃方式、マルチブレ
ード方式などのスライシングマシンに用いられる
切断刃（砥石）の場合には、切断代を少なくする
ために切断刃の厚さをできる限り薄くする。この
ため、切断刃の単位面積当りの切断抵抗が大きく
なるが、これに耐えられるように切断刃のめつき
皮膜には切断方向に直交する方向に予備引張応力
を与える（いわゆる、張り上げ）。すなわち、台
金に引張方向の塑性変形を与える。しかし、上記
のような従来の製造方法によつて得られるめつき
皮膜には最初から引張応力が残留する。塩化物浴
からのニツケルめつきは特に引張応力が大きい
（「表面技術総覧−めつき・陽極酸化編−」広信
社、昭和58年６月15日発行の第310頁及び第313頁
参照）。このため、めつきによる残留引張応力に
加えて切断刃の張り上げによる引張応力がめつき
皮膜に加えられるため、必要以上に大きな引張応
力が作用することになり、台金からめつき皮膜が
はく離したり、めつき皮膜から砥粒が脱落したり
しやすくなる。また、切断中には切断による引張
応力が付加されるためめつき皮膜が早期に疲労破
壊し、ここに応力が集中し、台金も破断される場
合がある。本発明は、このような問題点を解決す
ることを目的としている。
い材料を薄片に切断する内周刃方式、マルチブレ
ード方式などのスライシングマシンに用いられる
切断刃（砥石）の場合には、切断代を少なくする
ために切断刃の厚さをできる限り薄くする。この
ため、切断刃の単位面積当りの切断抵抗が大きく
なるが、これに耐えられるように切断刃のめつき
皮膜には切断方向に直交する方向に予備引張応力
を与える（いわゆる、張り上げ）。すなわち、台
金に引張方向の塑性変形を与える。しかし、上記
のような従来の製造方法によつて得られるめつき
皮膜には最初から引張応力が残留する。塩化物浴
からのニツケルめつきは特に引張応力が大きい
（「表面技術総覧−めつき・陽極酸化編−」広信
社、昭和58年６月15日発行の第310頁及び第313頁
参照）。このため、めつきによる残留引張応力に
加えて切断刃の張り上げによる引張応力がめつき
皮膜に加えられるため、必要以上に大きな引張応
力が作用することになり、台金からめつき皮膜が
はく離したり、めつき皮膜から砥粒が脱落したり
しやすくなる。また、切断中には切断による引張
応力が付加されるためめつき皮膜が早期に疲労破
壊し、ここに応力が集中し、台金も破断される場
合がある。本発明は、このような問題点を解決す
ることを目的としている。
(ニ) 問題点を解決するための手段
本発明は、めつき皮膜に圧縮応力を残留させる
組成の浴中で電着を行うことにより上記問題点を
解決する。本発明による電着式砥石の製造方法
は、塩化物含有スルフアミン酸浴に亜リン酸及び
次亜リン酸のいずれか一方又は両方を20〜50ｇ／
添加しためつき浴を行い、台金表面上に析出さ
せためつき皮膜に圧縮応力を残存させることを特
徴としている。上記塩化物含有スルフアミン酸浴
は、スルフアミン酸ニツケル、塩化ニツケル及び
ホウ酸から成るものとするとよい。例えばスルフ
アミン酸ニツケル450ｇ／、塩化ニツケル10
ｇ／、ホウ酸40ｇ／、亜リン酸及び次亜リン
酸のいずれか一方又は両方は30〜50ｇ／の浴組
成で電着を行えばよい。なお、添加量が50ｇ／
を越えると、電流効率が低下して生産性が悪くな
り、まためつき皮膜の品質も低下する。
組成の浴中で電着を行うことにより上記問題点を
解決する。本発明による電着式砥石の製造方法
は、塩化物含有スルフアミン酸浴に亜リン酸及び
次亜リン酸のいずれか一方又は両方を20〜50ｇ／
添加しためつき浴を行い、台金表面上に析出さ
せためつき皮膜に圧縮応力を残存させることを特
徴としている。上記塩化物含有スルフアミン酸浴
は、スルフアミン酸ニツケル、塩化ニツケル及び
ホウ酸から成るものとするとよい。例えばスルフ
アミン酸ニツケル450ｇ／、塩化ニツケル10
ｇ／、ホウ酸40ｇ／、亜リン酸及び次亜リン
酸のいずれか一方又は両方は30〜50ｇ／の浴組
成で電着を行えばよい。なお、添加量が50ｇ／
を越えると、電流効率が低下して生産性が悪くな
り、まためつき皮膜の品質も低下する。
(ホ) 作用
上記のような浴組成により電着を行うことによ
り、砥粒を台金に固着するためのめつき皮膜に圧
縮応力が残留する。めつき皮膜の圧縮応力が残留
しているので張り上げによつて生ずる引張応力が
軽減される。これにより砥粒の脱落、めつき皮膜
のはく離、疲労破壊などを防止することができ
る。
り、砥粒を台金に固着するためのめつき皮膜に圧
縮応力が残留する。めつき皮膜の圧縮応力が残留
しているので張り上げによつて生ずる引張応力が
軽減される。これにより砥粒の脱落、めつき皮膜
のはく離、疲労破壊などを防止することができ
る。
(ヘ) 実施例
第１図に電着式砥石の部分断面図を示す。台金
１０に対してめつき皮膜１２が設けられ、このめ
つき皮膜１２によつて例えばダイヤモンドなどの
砥粒１４が保持される。このための電気めつきは
例えば次のような条件で行われる。
１０に対してめつき皮膜１２が設けられ、このめ
つき皮膜１２によつて例えばダイヤモンドなどの
砥粒１４が保持される。このための電気めつきは
例えば次のような条件で行われる。
（第１例）
厚さ0.2mm、幅６mm、長さ420mmの台金（素材
SK6）を脱脂、酸洗などの前処理工程を行つた
後、次のような組成のめつき浴で電気めつきを行
つた。
SK6）を脱脂、酸洗などの前処理工程を行つた
後、次のような組成のめつき浴で電気めつきを行
つた。
浴組成
スルフアミン酸ニツケル 450ｇ／
塩化ニツケル 10ｇ／
ホウ酸 40ｇ／
亜リン酸 50ｇ／
電解条件
浴温度 50℃
PH 1.2
電流密度 10A／ｄm2
めつき厚さ 40μｍ
なお、40〜60μｍの大きさのダイヤモンド砥粒
は台金に仮り付けした後余分なものを除去し、そ
の後で最終的に固着する方式とした。
は台金に仮り付けした後余分なものを除去し、そ
の後で最終的に固着する方式とした。
得られためつき皮膜の残留圧縮応力は15Kg／mm2
であつた。こうして得られた砥石を引張試験機に
取付け、引張力を作用させて台金を塑性変形さ
せ、200Kgまで張り上げを行つた。その結果、め
つき皮膜のはく離及び砥粒の脱落は発生しなかつ
た。また、この砥石をマルチブレード型スライシ
ングマシンに取付け、単結晶シリコンを切断速度
2.5mm／hrの条件で切断を行つた。切断後もめつ
き皮膜のはく離及び砥粒の脱落は発生しなかつ
た。
であつた。こうして得られた砥石を引張試験機に
取付け、引張力を作用させて台金を塑性変形さ
せ、200Kgまで張り上げを行つた。その結果、め
つき皮膜のはく離及び砥粒の脱落は発生しなかつ
た。また、この砥石をマルチブレード型スライシ
ングマシンに取付け、単結晶シリコンを切断速度
2.5mm／hrの条件で切断を行つた。切断後もめつ
き皮膜のはく離及び砥粒の脱落は発生しなかつ
た。
（第２例）
次のような浴組成及び電解条件でめつきを行つ
た。
た。
浴組成
スルフアミン酸ニツケル 450ｇ／
塩化ニツケル 10ｇ／
ホウ酸 40ｇ／
亜リン酸 30ｇ／
電解条件
浴 温 50℃
PH 1.4
電流密度 10A／ｄm2
めつき厚さ 40μｍ
こうして得られた電着式砥石のめつき皮膜の残
留圧縮応力は10Kg／mm2であつた。この電着式砥石
についても200Kgまでの張り上げを行つたが、め
つき皮膜のはく離及び砥粒の脱落は発生しなかつ
た。また、第１例と同様の条件で実際の切断を行
つたところ、めつき皮膜のはく離及び砥粒の脱落
は発生しなかつた。
留圧縮応力は10Kg／mm2であつた。この電着式砥石
についても200Kgまでの張り上げを行つたが、め
つき皮膜のはく離及び砥粒の脱落は発生しなかつ
た。また、第１例と同様の条件で実際の切断を行
つたところ、めつき皮膜のはく離及び砥粒の脱落
は発生しなかつた。
（比較例）
本発明の実施例と比較するために同様の素材に
対して次のような亜リン酸及び次亜リン酸のいず
れをも含まない従来のワツト浴による電気めつき
を行つた。
対して次のような亜リン酸及び次亜リン酸のいず
れをも含まない従来のワツト浴による電気めつき
を行つた。
浴組成
硫酸ニツケル 330ｇ／
塩化ニツケル 45ｇ／
ホウ酸 38ｇ／
電解条件
浴 温 55℃
PH 5.0
電流密度 5A／ｄm2
めつき厚さ 40μｍ
こうして得られた電着式砥石のめつき皮膜に
は、圧縮応力ではなく、逆に14.1Kg／mm2の引張応
力が残留した。この電着式砥石を引張試験機に取
付けて張り上げを行つた結果、張上げ力100Kgで
砥粒が脱落を開始し、張上げ力140Kgでめつき皮
膜がはく離を開始した。
は、圧縮応力ではなく、逆に14.1Kg／mm2の引張応
力が残留した。この電着式砥石を引張試験機に取
付けて張り上げを行つた結果、張上げ力100Kgで
砥粒が脱落を開始し、張上げ力140Kgでめつき皮
膜がはく離を開始した。
第２図に第１例、第２例及び比較例の電着式砥
石に引張力を作用させた場合の伸びと張り上げ力
との関係を示す。上述のように第１例及び第２例
では200Kgの張り上げ力まで全く異常が発生しな
い。しかし、従来例の場合、上述のように100Kg
で砥粒が脱落し、140Kgでめつき皮膜のはく離が
始まる。これにより、圧縮応力を残留させて張り
上げ時の引張応力を緩和する本発明方法の効果を
非常に明確に確認することができる。
石に引張力を作用させた場合の伸びと張り上げ力
との関係を示す。上述のように第１例及び第２例
では200Kgの張り上げ力まで全く異常が発生しな
い。しかし、従来例の場合、上述のように100Kg
で砥粒が脱落し、140Kgでめつき皮膜のはく離が
始まる。これにより、圧縮応力を残留させて張り
上げ時の引張応力を緩和する本発明方法の効果を
非常に明確に確認することができる。
(ト) 発明の効果
以上説明してきたように、本発明によると、台
金に砥粒を固着するめつき皮膜に圧縮応力を残留
させるようにしたので、砥石の張り上げ時におけ
るめつき皮膜のはく離及び砥粒の脱落を防止する
ことができ、また切断時の疲労による砥石の破断
も防止することができる。また、張り上げ力を増
大することができるので、切断速度を増大するこ
とができ生産性を向上することができる。
金に砥粒を固着するめつき皮膜に圧縮応力を残留
させるようにしたので、砥石の張り上げ時におけ
るめつき皮膜のはく離及び砥粒の脱落を防止する
ことができ、また切断時の疲労による砥石の破断
も防止することができる。また、張り上げ力を増
大することができるので、切断速度を増大するこ
とができ生産性を向上することができる。
第１図は電着式砥石の部分断面図、第２図は本
発明の実施例と従来例との張り上げ試験結果を示
す図である。 １０……台金、１２……めつき皮膜、１４……
砥粒。
発明の実施例と従来例との張り上げ試験結果を示
す図である。 １０……台金、１２……めつき皮膜、１４……
砥粒。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 台金上に砥粒を電着させた電着式砥石の製造
方法において、 塩化物含有スルフアミン酸浴に亜リン酸及び次
亜リン酸のいずれか一方又は両方を20〜50ｇ／
添加しためつき浴を行い、台金表面上に析出させ
ためつき皮膜に圧縮応力を残存させることを特徴
とする電着式砥石の製造方法。 ２ 上記塩化物含有スルフアミン酸浴は、スルフ
アミン酸ニツケル、塩化ニツケル及びホウ酸から
成る特許請求の範囲第１項記載の電着式砥石の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30389686A JPS63156663A (ja) | 1986-12-22 | 1986-12-22 | 電着式砥石の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30389686A JPS63156663A (ja) | 1986-12-22 | 1986-12-22 | 電着式砥石の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63156663A JPS63156663A (ja) | 1988-06-29 |
| JPH0520231B2 true JPH0520231B2 (ja) | 1993-03-18 |
Family
ID=17926567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30389686A Granted JPS63156663A (ja) | 1986-12-22 | 1986-12-22 | 電着式砥石の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63156663A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2785376B2 (ja) * | 1989-09-12 | 1998-08-13 | 三菱マテリアル株式会社 | 極薄刃砥石およびその製造方法 |
-
1986
- 1986-12-22 JP JP30389686A patent/JPS63156663A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63156663A (ja) | 1988-06-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US11364591B2 (en) | Outer blade cutting wheel and making method | |
| CA1325785C (en) | Electrodeposited grindstone | |
| JP3302054B2 (ja) | 電着方法 | |
| JPH0520231B2 (ja) | ||
| JPH0225752B2 (ja) | ||
| KR20110048659A (ko) | 와이어 쏘 및 와이어 쏘의 제조방법 | |
| CN109352544B (zh) | 一种金刚石线锯及其制备方法 | |
| JPH01289667A (ja) | 電着式砥石の製造方法 | |
| EP0395644A1 (en) | Abrasive tool and a method of making said tool | |
| JPH06210570A (ja) | 三層構造電鋳ブレード | |
| JPS6311279A (ja) | 電鋳薄刃砥石およびその製造方法 | |
| JP3019593B2 (ja) | 電着砥石およびその製造方法 | |
| JP3039115B2 (ja) | 電着砥石 | |
| JPH0985530A (ja) | 帯鋸切断刃 | |
| CN205799280U (zh) | 超硬磨料带锯 | |
| JP4494590B2 (ja) | 薄刃ブレードの製造方法 | |
| JPH11188634A (ja) | 電鋳薄刃砥石およびその製造方法 | |
| JP2607083B2 (ja) | エンドレスカツター | |
| JPS5959352A (ja) | 切断加工用砥石の製造方法 | |
| JPH0113994B2 (ja) | ||
| SU1138304A1 (ru) | Прав щий абразивный инструмент и способ его изготовлени | |
| JPH0360980A (ja) | 切断加工工具 | |
| JPS6156871A (ja) | 多層電着鋸刃の製造方法 | |
| JPH0577169A (ja) | 電着砥石の製造方法 | |
| JPS5976773A (ja) | 切断加工用砥石の製造方法 |