JPH0520492Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この考案は、半導体等の製造工程でシリコン等
のインゴツトを薄く切断するスライサに係り、特
に、スライサのブレードの内周刃にクーラントを
供給するクーラントノズルの位置決めが簡単にで
きるようにした位置調整装置に関する。

［従来の技術］ この種のスライサとして、リング状薄板からな
るブレードの内周縁にダイヤモンド砥石等の内周
刃を設け、これによりシリコン等のインゴツトを
スライスするものが知られている。

この内周刃の内側にはクーラントノズルが対向
配置され、クーラントが供給されるようになつて
いる。

［考案が解決しようとする問題点］ ところで、上述した従来の調整装置では、ブレ
ードの回転中に手動でクーラントノズルの位置調
整をしなければならなかつた。すなわち、クーラ
ントノズルを、ｘ−ｙ−ｚの各軸方向に手動で移
動させながら、最適の位置に設定するようになつ
ていた。

このように、ブレード回転中に操作するので、
作業者の危険性が大きかつた。

また、ブレードと直交する方向（たとえばｘ軸
方向）の位置決めは容易に行えるものの、ブレー
ドと平行な平面（たとえばｙ−ｚ平面）上の位置
決めは困難であつたため、作業能率が悪いという
欠点があつた。上記位置決めが困難な理由は、内
周刃が円弧状であるため、一つの軸の移動が、他
の軸の移動量に影響を及ぼし、各軸独立した調整
ができないからである。

さらに、従来装置では、３軸の位置調整装置が
必要となり、装置が大きくなつてしまうという欠
点があつた。

この考案は、このような背景の下になされたも
ので、調整が簡単で、かつ小型化を図ることので
きるスライサのクーラントノズル位置調整装置を
提供することを目的とする。

［問題点を解決するための手段］ 上記問題点を解決するためにこの考案は、ブレ
ードと所定の間隔を隔てて固定された本体と、前
記ブレード平面に垂直な状態で前記本体に取り付
けられた回動軸を中心として回動可能に取り付け
られた上下器と、前記上下器に前記回動軸と平行
な方向に移動可能に取り付けられた前後器と、前
記前後器に前記回動軸と平行に取り付けられ、前
記ブレードの刃にクーラントを供給するクーラン
トノズルと、前記上下器の回動位置と固定する第
１の固定手段と、前記前後器の移動位置を固定す
る第２の固定手段とを具備することを特徴とす
る。

［作用］ 上記構成によれば、前後器によりブレード平面
と垂直な方向にクーラントノズルを移動させる一
方、上下器により前記平面と同一平面、または平
行な平面内でクーラントノズルの先端を回動させ
て位置調整することができる。

すなわち、２軸で、しかも各軸独立に調整する
ことにより、クーラントノズルを最適の位置に設
置することができるから、設定操作が簡単化され
る。また、軸数が少ないので、装置の小型化を図
ることができる。

［実施例］ 以下、図面を参照して、本考案の実施例を説明
する。

第１図は、この考案の一実施例の構成を示す図
である。

図において、１はブレードであり、その内周縁
には、ダイヤモンド砥石等からなる内周刃１ａが
設けられている。このブレード１と所定の間隔を
隔てた位置には、基台２に本体３が固定されてい
る。すなわち、本体３の下部には凹部４が形成さ
れ、この凹部４が、基台２に取り付けられた取り
付け板４ａに嵌め込まれて、ねじ止めされ固定さ
れている。

上記本体３の上半部には、凹部５が形成されて
おり、この凹部５に上下器１０が回動可能に嵌装
されている。該上下器１０は、ブレード１の平面
に垂直な状態で、本体３に固定された横ピン６を
中心として、一定の範囲で回動可能になつてい
る。すなわち、上下器１０の下部の角部１０ａは
鋭角状に丸められ、上下器１０は、その底部と本
体３との間に挿入されたスプリング（図示略）に
より、第１図ｂの矢印Ｂと反対方向に付勢される
一方、本体３の側面に取り付けられたねじ１１に
より、矢印Ｂの方向に押圧されている。したがつ
て、ねじ１１を回転することにより、上下器１０
を横ピン６の回りに回動させることができる。そ
して、上下器１０の回動位置は、ロツク用のねじ
１２により固定される。なお、ねじ１１，１２の
頭には、操作用のノブ１１ａ，１２ａが取り付け
られている。

上下器１０には、横ピン６と平行な方向に、孔
１３が形成され、この孔１３には円筒状の前後器
２０が振動可能に嵌め込まれている。前後器２０
の前端には、フランジ２１が形成され、該フラン
ジ２１と上下器１０の前面との間の円筒部外周に
は、前後器２０を前方（第１図ａの矢印Ａ方向）
に付勢するスプリング２２が被嵌されている。

一方、前後器２０の後部外周には、ねじ２３が
形成され、内周に雌ねじが形成されたノブ２４と
螺合され、ノブ２４の前面が本体３の後面に当接
している。よつて、ノブ２４を回転することによ
り、前後器２０は、前後方向（第１図ａの左右方
向）に移動する。この移動位置は、ロツク用のね
じ２５により固定される。なお、ねじ２５の頭に
は，ノブ２５ａが取り付けられている。

上記前後器２０の中間部、すなわち、本体３に
嵌め込まれた部分には、キー溝２６が形成され、
本体３に形成されたキー溝７と上記キー溝２６と
にキー２７が嵌め込まれている。これにより、前
後器２０の回転が防止される。

円筒状の前後器２０の中空部には、後方より、
チユーブ金具３１を介してクーラントが送り込ま
れ、これが連結部３２を介して前後器２０の前端
に固定されたクーラントノズル３０に供給され
る。クーラントノズル３０の先端３０ａは、ほぼ
直角に曲げられ、ブレード１の内周刃１ａと対向
している。

なお、上記構成において、横ピン６が回動軸を
なし、上下器１０の回動位置を固定するロツク用
のねじ１２が第１の固定手段を、前後器２０の移
動位置を固定するロツク用のねじ２５が第２の固
定手段をなしている。

上記構成において、前後器２０のノブ２４を回
転すると、前後器２０が前後方向に移動し、クー
ラントノズル３０の先端３０ａがブレード１と直
交する方向に移動する。そして、上記先端３０ａ
が最適の位置にきたときに、ねじ２５により前後
器２０の移動位置を固定する。

一方、ねじ１１のノブ１１ａを回転すると、ね
じ１１が上下器１０を押し、上下器１０は横ピン
６を軸として回動する。すなわち、クーラントノ
ズル３０は、水平な状態を保持したまま、横ピン
６を軸として、第１図ｂの矢印Ｂ方向、またはそ
の反対方向に、円弧状に回動する。この結果、ク
ーラントノズル３０の先端３０ａは、ブレード１
と同一（または平行な）平面内で円弧状（この円
弧は、内周刃１ａの円弧と逆向きである）に回動
し、内周刃１ａとの間隔が調整される。そして、
最適な位置にきたときに、ねじ１２により上下器
１０の移動位置が固定される。

［考案の効果］ 以上説明したように、この考案は、前後器によ
りブレードの平面と直交する方向にクーラントノ
ズルを移動させる一方、上下器により前記平面と
同一平面、または平行な平面内でクーラントノズ
ルの先端を回動させうるようにしたので、次のよ
うな効果を上げることができる。

２軸で最適な調整ができ、しかも各軸独立に
調整ができるので、調整が著しく簡単化され
る。

２軸で構成されるので、装置の小型化を図る
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例の構成を示す図
で、同図ａは側面図、同図ｂは背面図である。 １……ブレード、１ａ……内周刃、３……本
体、６……横ピン（回動軸）、１０……上下器、
１２……ロツク用ねじ（第１の固定手段）、２０
……前後器、２５……ロツク用ねじ（第２の固定
手段）、３０……クーラントノズル。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 ブレードと所定の間隔を隔てて固定された本体
   と、 前記ブレード平面に垂直な状態で前記本体に取
   り付けられた回動軸を中心として回動可能に取り
   付けられた上下器と、 前記上下器に前記回動軸と平行な方向に移動可
   能に取り付けられた前後器と、 前記前後器に前記回動軸と平行に取り付けら
   れ、前記ブレードの刃にクーラントを供給するク
   ーラントノズルと、 前記上下器の回動位置を固定する第１の固定手
   段と、 前記前後器の移動位置を固定する第２の固定手
   段と を具備することを特徴とするスライサのクーラン
   トノズル位置調整装置。