JPH0520631A

JPH0520631A - 磁気ヘツド用コア及びその製造方法

Info

Publication number: JPH0520631A
Application number: JP20003291A
Authority: JP
Inventors: Motoichiro Matsuzawa; 素一郎松沢; Nobuhiro Terada; 伸大寺田
Original assignee: NGK Insulators Ltd
Current assignee: NGK Insulators Ltd
Priority date: 1991-07-15
Filing date: 1991-07-15
Publication date: 1993-01-29

Abstract

(57)【要約】【目的】磁気ギャップ近傍に金属磁性膜を配置した構
造のＭＩＧヘッド用コアにおいて、擬似ギャップの発生
を解消する。【構成】コイル巻線溝の設けられた第一のコア部材に
対し、かかる巻線溝の開口部を閉じる様に第二のコア部
材を突き合わせ、それらコア部材の一方の突き合わせ部
位間に所定の磁気ギャップを形成する一方、他方の突き
合わせ部位を一体的に接合せしめてなる磁気ヘッド用コ
アにおいて、該第二のコア部材の少なくとも前記一方の
突き合わせ部位に位置する部分を非磁性部とする一方、
所定のトラック幅を与えるように前記一方の突き合わせ
部位において細幅とされた金属磁性膜を前記他方の突き
合わせ部位に向って延設し、且つ該金属磁性膜と前記第
一のコア部材の一方の突き合わせ部位との間に所定厚さ
の非磁性材料からなるギャップスペーサを介装して、そ
れら金属磁性膜と第一のコア部材との間に前記磁気ギャ
ップを形成すると共に、少なくとも該第一のコア部材と
金属磁性膜とを含んで環状の磁路を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【技術分野】本発明は、磁気ヘッド用コア及びその製造
方法に係り、特に、磁気ギャップ近傍に金属磁性膜を配
置してなるメタル・イン・ギャップ型磁気ヘッド、所謂
ＭＩＧヘッドにおけるヘッド特性を向上せしめる技術に
関するものである。

【０００２】

【背景技術】従来から、コイル巻線溝の設けられた第一
のコア部材に対し、かかる巻線溝の開口部を閉じる様に
第二のコア部材を突き合わせ、それらコア部材の一方の
突き合わせ部位間に所定の磁気ギャップを形成する一
方、他方の突き合わせ部位を一体的に接合せしめてなる
構造の磁気ヘッド用コアが知られており、ＶＴＲ用ヘッ
ドをはじめ、ＦＤＤ用ヘッド、ＲＤＤ用ヘッド、ＤＡＴ
用ヘッド等の磁気ヘッドのためのコアとして用いられて
きている。そして、この種の磁気ヘッド用コアには、近
年における高記録密度化の要請のために、磁気ギャップ
近傍に金属磁性膜を配置した構造の複合型磁気ヘッド用
コア、換言すればＭＩＧヘッド用コアが種々提案され、
例えば特開昭５８−１５５５１３号公報、特開昭６１−
２６５７１４号公報、特開昭６１−２７３７０６号公
報、特開昭６３−３０６５０５号公報等において、各種
の構造のものが明らかにされている。また、このＭＩＧ
ヘッド用コアにあっては、金属磁性膜は、磁気ギャップ
の片側若しくは両側に配置されることとなるが、例えば
ＲＤＤ用ヘッドのためのコアの場合にあっては、ヘッド
特性に対する歩留り、コスト等の点から、磁気ギャップ
の一方の側に金属磁性膜を配置せしめる片側タイプのも
のが主流を占めている。

【０００３】ところで、このようなＭＩＧヘッド用コア
構造にあっては、所定の金属磁性膜が磁気ギャップの近
傍に配置され、コア部材を構成するフェライトと接する
ように設けられているところから、そのような金属磁性
膜とフェライト（コア部材）との界面での磁気特性の劣
化により、擬似ギャップ出力が発生する問題を内在して
いるのであり、ヘッド特性上の問題となっている。

【０００４】

【解決課題】本発明は、かかる事情を背景にして為され
たものであって、その課題とするところは、上記の如き
ＭＩＧヘッド用コアにおける擬似ギャップの発生のない
コア構造及びそのようなコアを有利に製造する方法を提
供することにある。

【０００５】

【解決手段】そして、本発明は、かくの如き課題解決の
ために、コイル巻線溝の設けられた第一のコア部材に対
し、かかる巻線溝の開口部を閉じる様に第二のコア部材
を突き合わせ、それらコア部材の一方の突き合わせ部位
間に所定の磁気ギャップを形成する一方、他方の突き合
わせ部位を一体的に接合せしめてなる磁気ヘッド用コア
において、該第二のコア部材の少なくとも前記一方の突
き合わせ部位に位置する部分が非磁性部とされている一
方、所定のトラック幅を与えるように前記一方の突き合
わせ部位において細幅とされた金属磁性膜が前記他方の
突き合わせ部位に向って延設され、且つ該金属磁性膜と
前記第一のコア部材の一方の突き合わせ部位との間に所
定厚さの非磁性材料からなるギャップスペーサが介装せ
しめられて、それら金属磁性膜と第一のコア部材との間
に前記磁気ギャップが形成されていると共に、少なくと
も該第一のコア部材と金属磁性膜とを含んで環状の磁路
が形成されていることを特徴とする磁気ヘッド用コア
を、その要旨とするものである。

【０００６】なお、このような本発明に従う磁気ヘッド
用コアにおいて、第二のコア部材が所定の非磁性材料か
ら構成されている場合にあっては、金属磁性膜は磁気ギ
ャップの形成されない他方の突き合わせ部位にまで到達
するように設けられており、これによって、金属磁性膜
は該他方の突き合わせ部位に位置する第一のコア部材に
対して、磁気回路的に接続せしめられるようになってい
る。また、本発明をＲＤＤ用ヘッドのコアに適用する場
合にあっては、上記の如き構造の磁気ヘッド用コアがス
ライダ本体と一体に構成されてなるモノリシック型コア
スライダとして、或いは上記の如き磁気ヘッド用コアが
スライダ本体とは別個に作製され、該磁気ヘッド用コア
が該スライダ本体に対して適当な固着剤により固定せし
められているコンポジット型コアスライダとして構成さ
れることとなる。

【０００７】また、本発明は、上記の如き磁気ヘッド用
コアを得るべく、コイル巻線溝の設けられた第一のコア
部材に対し、かかる巻線溝の開口部を閉じる様に第二の
コア部材を突き合わせ、それらコア部材の一方の突き合
わせ部位間に所定の磁気ギャップを形成する一方、他方
の突き合わせ部位を一体的に接合せしめてなる磁気ヘッ
ド用コアを製造する方法において、（ａ）前記第一のコ
ア部材を準備する工程と、（ｂ）少なくとも前記一方の
突き合わせ部位に位置する部分が非磁性部とされた前記
第二のコア部材を準備する工程と、（ｃ）前記第一のコ
ア部材のコイル巻線溝の開口部において、前記一方の突
き合わせ部位側と前記他方の突き合わせ部位側とを橋絡
するように、非磁性材料をモールドするモールド工程
と、（ｄ）かかるモールドされた非磁性材料の前記第二
のコア部材側の面と前記二つの突き合わせ部位とが面一
となるように研磨を行なった後、その研磨面上に、非磁
性材料からなるギャップスペーサを少なくとも前記一方
の突き合わせ部位上に位置するように所定厚さで形成せ
しめ、更に該ギャップスペーサ上に、所定トラック幅を
与えるように前記一方の突き合わせ部位において細幅と
なる金属磁性膜を前記他方の突き合わせ部位に向って延
びるように形成する工程と、（ｅ）このギャップスペー
サ及び金属磁性膜の形成された第一のコア部材に対し
て、前記第二のコア部材を、その非磁性部が少なくとも
前記一方の突き合わせ部位に位置するようにして接合せ
しめ、それら金属磁性膜と第一のコア部材との間に前記
磁気ギャップが形成される一方、少なくとも該第一のコ
ア部材と金属磁性膜とを含んで環状の磁路が形成された
コア接合体を得る工程とを有することを特徴とする磁気
ヘッド用コアの製造方法を、その要旨とするものであ
る。

【０００８】更にまた、本発明は、前記の如き本発明に
従う磁気ヘッド用コアを得るべく、コイル巻線溝の設け
られた第一のコア部材に対し、かかる巻線溝の開口部を
閉じる様に第二のコア部材を突き合わせ、それらコア部
材の一方の突き合わせ部位間に所定の磁気ギャップを形
成する一方、他方の突き合わせ部位を一体的に接合せし
めてなる磁気ヘッド用コアを製造する方法において、
（ａ）前記第一のコア部材を準備する工程と、（ｂ）少
なくとも前記一方の突き合わせ部位に位置する部分が非
磁性部とされた前記第二のコア部材を準備する工程と、
（ｃ）該第二のコア部材の前記第一のコア部材に対して
突き合わされる側の面に、所定のトラック幅を与えるよ
うに前記一方の突き合わせ部位において細幅となる金属
磁性膜を、前記他方の突き合わせ部位に向って延びるよ
うに形成する工程と、（ｄ）かかる金属磁性膜の形成さ
れた第二のコア部材を、該金属磁性膜と前記第一のコア
部材の一方の突き合わせ部位との間に非磁性材料からな
る所定厚さのギャップスペーサを位置せしめて、該第一
のコア部材に接合し、それら金属磁性膜と第一のコア部
材との間に前記磁気ギャップを形成すると共に、少なく
とも該第一のコア部材と金属磁性膜とを含んで環状の磁
路を形成せしめる工程とを有することを特徴とする磁気
ヘッド用コアの製造方法をも、その要旨とするものであ
る。

【０００９】

【具体的構成・実施例】以下、本発明の代表的な幾つか
の実施例を図面に基づいて説明し、本発明の構成につい
て、更に具体的に明らかにすることとする。

【００１０】先ず、本発明において、目的とする磁気ヘ
ッド用コアを製造するために用いられる第一及び第二の
コア部材には、従来からコア材料として知られている磁
性材料の何れもが用いられ、中でも、従来から公知の高
透磁率のフェライト材料が有利に用いられることとな
る。なお、この高透磁率のフェライトとしては、Ｍｎ−
Ｚｎフェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライト等の単結晶体若
しくは多結晶体、或いはそれらの複合体がある。尤も、
第二のコア部材は、後述のように、その全体を非磁性と
することも出来るところから、ＣａＴｉＯ₃やＺｎフェ
ライト等の非磁性材にて構成することも可能である。

【００１１】そして、それらコア部材のうち、第一のコ
ア部材２には、本発明の第一の具体例に係る図１に示さ
れるように、従来と同様な機械加工による巻線溝加工が
施されて、コイル巻線溝６が形成される。なお、ここで
は、第一のコア部材２は、複数のコアブロックを与え、
更にそれらコアブロックから複数の磁気ヘッド用コアを
切り出し得る大きさとされている。そして、この第一の
コア部材２のコイル巻線溝６の設けられた側の面、換言
すれば図３に示される第二のコア部材４が突き合わされ
る側の面に、ガラスの如き非磁性材料８が配置され、か
かる巻線溝６の開口部において、それを閉塞するよう
に、即ち巻線溝６の開口部を橋絡するように、前記非磁
性材料８によるモールドが行なわれる。そして、更に、
この非磁性材料８のモールドされた第一のコア部材２の
第二のコア部材４に対する突き合わせ面には、研磨加工
が施され、かかるモールドされた非磁性材料８の第二の
コア部材４側の面と、第一のコア部材２の突き合わせ部
位の面とが面一となるようにされる。

【００１２】次いで、このように余分な非磁性材料８が
除去され、突き合わせ面の研磨された第一のコア部材２
には、図２に示されるように、その研磨面上に、ＳｉＯ
₂やＡｌ₂Ｏ₃等の非磁性材料からなるギャップスペー
サ１０が、スパッタ等の公知の手法によって形成され
る。このギャップスペーサ１０は、磁気ギャップのギャ
ップ長を規定するものであるところから、目的とする磁
気ヘッド用コアにおけるギャップ長に相当する厚さにお
いて形成されることとなる。そして、かかるギャップス
ペーサ１０上には、金属磁性膜１２が、所定の金属磁性
材をスパッタ、蒸着、メッキ、ＣＶＤ等の操作によっ
て、所定厚さにおいて、例えば２μｍ程度の厚さにおい
て被着せしめることによって、形成される。なお、この
被着される金属磁性材としては、Ｆｅ−Ｓｉ合金、Ｆｅ
−Ａｌ−Ｓｉ合金（センダスト）、Ｎｉ−Ｆｅ合金（パ
ーマロイ）等で代表される結晶質合金があり、またＦｅ
−Ｃｏ−Ｓｉ−Ｂ系で代表されるメタル−メタロイド合
金やＣｏ−Ｚｒ−Ｎｂ系等で代表されるメタル−メタル
合金等の非晶質合金が適宜に選択される。

【００１３】そして、このようにして形成された金属磁
性膜１２に対して、トラック加工が施される。このトラ
ック加工は、パターニングされたフォトレジストをマス
クとして、Ａｒ等のガスを用いたイオンエッチング法或
いはＣＣｌ₄等のガスを用いたリアクティブ・イオンエ
ッチング法の如きフォトエッチング法等にて、金属磁性
膜１２のみ、或いはギャップスペーサ１０をも含めてエ
ッチングを行ない、更にその後レジストの剥離を行なう
ことにより、実施される。なお、本実施例では、そのよ
うなエッチング手法にて、ギャップスペーサ１０及び金
属磁性膜１２の両者が、所定のパターン形状を与えるよ
うに、エッチングされている。また、この金属磁性膜１
２のエッチングについては、塩酸等の酸で行なうことも
可能である。そして、このトラック加工によって、図２
の下段に示されるように、所定パターンの金属磁性膜１
２が、第一のコア部材２の突き合わせ面上に、それぞれ
の磁気ヘッド用コアの形成部位において形成されるが、
この金属磁性膜１２は、図から明らかなように、第一の
コア部材２の一方の突き合わせ部位から他方の突き合わ
せ部位に延びるように設けられており、該一方の突き合
わせ部位においては、所定のトラック幅を与えるよう
に、細幅部１２ａとされ、更に該細幅部１２ａから延び
る広幅部１２ｂにおいて、他方の突き合わせ部位上に至
る大きさにおいて設けられている。

【００１４】一方、第二のコア部材４には、図３に示さ
れるように、その第一のコア部材２に突き合わされる側
の面において、磁気ギャップ形成部位たる前記金属磁性
膜１２の細幅部１２ａが位置する第一のコア部材２の突
き合わせ面に対応する部位に対して、溝加工が施され、
そこに、充分な大きさ及び深さの溝１４が形成される。
そして、この溝１４には、適当な非磁性材、例えば軟化
温度が４００〜４５０℃程度のガラスが６００℃程度の
温度で溶融充填せしめられ、以て非磁性部１６を有する
第二のコア部材４が形成される。なお、この第二のコア
部材４の突き合わせ面上に存在する余分なガラス等の非
磁性材（１６）は適宜に研磨除去せしめられ、以て面一
の突き合わせ面とされる。

【００１５】そして、かくして得られた第一のコア部材
２及び第二のコア部材４を用い、それらの突き合わせ面
の少なくとも何れか一方に、接合用のガラスを付与せし
めた後、それら第一及び第二のコア部材２，４を突き合
わせ、かかる接合用ガラスを加熱・溶融せしめて、接合
するのである。図４には、そのようにして接合された第
一のコア部材２と第二のコア部材４とからなるコア接合
体が示されており、そこにおいて、１８はそれらコア部
材を接合する接合ガラスを示している。なお、このコア
部材を接合するためのガラス１８の種類や接合温度は、
金属磁性膜１２の材質により適宜に選択され、例えば金
属磁性膜１２がＦｅ−Ｓｉ−Ａｌ合金からなる場合にお
いて、接合用ガラス１８としては、軟化温度が５００℃
程度のものが用いられ、そして５５０℃程度の温度で接
合操作が為されることとなる。

【００１６】その後、かかる第一のコア部材２と第二の
コア部材４とが接合されてなる図４に示される如きコア
接合体には、目的とする磁気ヘッド用コアを切り出すた
めのコアブロック２０を得るべく、切断線２２部位にお
ける切断・分割操作が実施される。そして、この得られ
たコアブロック２０には底面研磨が施され、更に図５に
示される如く、第二のコア部材４の不要部分を除去すべ
く切断線２４部位における切断操作が施された後、更に
磁気ディスク等の磁気記録媒体摺動側の面に対して、公
知の如きトレーリング・チャンハー加工、デプス研磨加
工、リーディング・テーパ加工が施される。なお、図５
において、２６はリーディング・テーパ部であり、２８
はトレーリング・チャンハー加工部である。また、デプ
ス研磨加工によって、コアブロック２０の磁気記録媒体
摺動側の面には、ギャップスペーサ１０と共に、金属磁
性膜１２の細幅部１２ａの先端部が露呈せしめられるこ
ととなり、更に第二のコア部材２の磁気記録媒体摺動側
の部位が非磁性部１６にて構成せしめられることとな
る。

【００１７】そして、上記の如き加工の施されたコアブ
ロック２０から、ここでは、モノリシック型のＲＤＤ
（固定磁気ディスク装置）用コアスライダを得るべく、
かかるコアブロック２０の摺動側の面に、図６に示され
る如き空気ベアリング部３０，３０が、スライダ本体と
なる第一のコア部材２上に位置するように、互いに平行
に設けられる。この空気ベアリング部３０の形成加工
は、有利には、燐酸等を用いた公知の化学エッチング手
法にて行なわれることとなるが、また、機械加工等の他
の公知の手法によることも可能である。その後、この空
気ベアリング部３０が形成されたコアブロック２０に
は、図７に示されるように、従来と同様なヨーク加工
が、その第二のコア部材４側に施され、そして切断線３
２部位におけるチップスライスにより、目的とする磁気
ヘッド用コアがスライダ本体と一体に構成されてなるモ
ノリシック型コアスライダが完成されるのである。

【００１８】このようにして得られるモノリシック型コ
アスライダは、図８に示されるように、スライダ本体を
与える第一のコア部材２と第二のコア部材４とから構成
されて成り、その磁気記録媒体摺動側の面には、互いに
平行な所定幅の一対の空気ベアリング部３０，３０が第
一のコア部材２部位において設けられており、そしてこ
の空気ベアリング３０の摺動方向におけるトレーリング
側の端部に、ギャップスペーサ１０を介して金属磁性膜
１２の細幅部１２ａの先端部が配置されて露呈せしめら
れており、またかかる金属磁性膜１２の細幅部１２ａ
は、第二のコア部材４に設けられた非磁性部１６によっ
て背部から支持せしめられるようになっている一方、金
属磁性膜１２の広幅部１２ｂは、図８からは明らかでな
いが、第一のコア部材２と第二のコア部材４との下部の
突き合わせ部位において、第一のコア部材２に対して磁
気的に接続せしめられることとなり、これによって、第
一のコア部材２と金属磁性膜１２（実質的には、その細
幅部１２ａ）との間に磁気ギャップが形成される一方、
かかる第一のコア部材２と金属磁性膜１２とを含んで、
環状の磁路が形成されるのである。

【００１９】従って、このような構造のコアスライダに
あっては、磁気ギャップが、第一のコア部材２と金属磁
性膜１２との間においてのみ形成され、かかる金属磁性
膜１２、特に磁気ギャップ形成部位に位置する金属磁性
膜１２の細幅部１２ａの背部には、非磁性部１６が存在
せしめられて、磁気記録媒体摺動側に第二のコア部材４
が露出されることがなく、磁気ギャップから第二のコア
部材４が遠避けられているところから、かかる金属磁性
膜１２と第二のコア部材４との間において擬似ギャップ
が生じ、以て擬似ギャップ出力が発生するようなことは
全くないのである。しかも、そのような磁気ギャップに
おけるギャップ幅（トラック幅）は、金属磁性膜１２の
細幅部１２ａの幅寸法のみにて規制することが可能とな
るのである。

【００２０】また、上記したコアスライダの製造法の如
く、磁気ギャップ形成相手である第一のコア部材２側
に、ギャップスペーサ１０を介して、金属磁性膜１２を
形成して、それら第一のコア部材２と金属磁性膜１２と
の間に所定の磁気ギャップを形成せしめた後、第二のコ
ア部材４との突き合わせ接合を行なうようにすれば、ご
み等の介在物の存在により磁気ギャップのギャップ長が
変動するような問題も良好に解消され、以て高精度な磁
気ギャップの形成が可能となる利点もある。

【００２１】ところで、上述した具体例は、磁気ヘッド
用コアとスライダ本体とが一体に構成されてなるモノリ
シック型のＲＤＤ用コアスライダであったが、本発明
は、また、スライダ本体に対して別途作製された磁気ヘ
ッド用コアを一体的に取り付けてなるコンポジット型の
ＲＤＤ用コアスライダにも、有利に適用され得るもので
ある。

【００２２】すなわち、本発明の第二の具体例に係る図
９には、そのようなコンポジット型コアスライダに用い
られる磁気ヘッド用コア（コアチップ）を切り出すため
のコアブロック３４が示されている。このコアブロック
３４は、前例のコアブロック２０と同様にして製造され
ることとなるが、その第一のコア部材２や第二のコア部
材４の大きさは、コアブロック２０の場合とは異なり、
後述するスライダ本体のコアチップ挿入溝内に挿入し得
るコアチップを与える大きさとされている。また、この
コアブロック３４の摺動面におけるリーディング側の角
部がチャンハー加工されて、そこにガラス３６がモール
ドされている。そして、このコアブロック３４には切断
線３８部位における切断操作が施されて、その不要部分
が切除された後、更に図１０に示される如く、目的とす
るコアチップを得るべくコアブロック３４は切断線３９
部位において順次切断される。この切断によって、図１
１に示される如きコアチップ４０が得られることとな
る。なお、コアチップ４０には、前記モノリシック型コ
アスライダにおける磁気ヘッド用コア部分と同様に、第
一のコア部材２と金属磁性膜１２の細幅部１２ａとの間
において、所定の磁気ギャップが形成されている一方、
環状の磁気回路が第一のコア部材２と金属磁性膜１２と
を含んで構成されている。

【００２３】一方、スライダ本体４２は、良く知られて
いるように、ＣａＴｉＯ₃等の材料から構成され、図１
２に示される如く、その磁気記録媒体対向側（摺動側）
の面に互いに平行な所定高さの空気ベアリング部４４，
４４を有している一方、コアチップ挿入孔４６やコイル
巻線用の溝４８がそれぞれ設けられている。また、この
チップ挿入孔４６のコアチップ側面と接する面には、接
合用ガラス５０が所定厚さにおいて付与されている。

【００２４】そして、このスライダ本体４２のコアチッ
プ挿入孔４６内に、図１１に示されるコアチップ４０を
挿入・位置せしめて、従来と同様にして、必要に応じて
無機接着剤で仮止めを行なった後、スライダ本体４２に
モールドされたガラス５０を軟化させて、コアチップ４
０を固着せしめることによって、図１３に示される如
く、スライダ本体４２にコアチップ４０が一体的に取り
付けられるのである。なお、コアチップ４０における第
一のコア部材２と金属磁性膜１２の細幅部１２ａにて構
成される磁気ギャップは、スライダ本体４２の空気ベア
リング部４４と面一となるように配置されることとな
る。そして、このようなコアチップ４０が一体的に取り
付けられてなるスライダ本体４２には、更に従来と同様
に、トレーリング・チャンハー加工、デプス研磨加工、
リーディング・テーパ加工が施され、以て目的とするコ
ンポジット型のコアスライダが完成されるのである。

【００２５】また、このようなコンポジット型のコアス
ライダの製作に際しては、スライダ本体とコアチップと
を接合するための固着剤としてのガラスを、予めコアチ
ップ側にモールドしておくことも可能である。

【００２６】例えば、本発明の第三の具体例に係る図１
４に示されるように、コイル巻線溝６の開口部が非磁性
材料８にて橋絡されてなる第一のコア部材２の磁気記録
媒体摺接側の面に、接合用ガラスのモールド用溝５２を
砥石加工等の公知の手法に従って形成し、そしてそのモ
ールド用溝５２内に、所定の接合用ガラス５４を、図１
５に示される如くモールドし、同時に第一のコア部材２
のチャンハー加工部分にもガラス５４をモールドした
後、先の第一の具体例と同様にして、ギャップスペーサ
１０及び金属磁性膜１２が形成され、更にフォトリソグ
ラフィとエッチング手法の組み合わせによって、かかる
金属磁性膜１２をフォトエッチングすることにより、図
１６に示される如く、所定パターンの金属磁性膜１２が
突き合わせ面に設けられ、そしてこの金属磁性膜１２を
挟むようにして、前記第一の具体例と同様な第二のコア
部材４が突き合わされて接合せしめられた後、図１７に
示される如く切断線３８及び３９部位において切断され
ることにより、第一のコア部材２の磁気記録媒体との摺
接面５６の周りに接合用ガラス５４がモールドされたコ
アチップ５８が、順次切り出されるのである。

【００２７】従って、このようにして得られたコアチッ
プ５８を用い、それを図１２に示される如きスライダ本
体４２（但し、コアチップ挿入溝４６内には接合用ガラ
ス５０は付与されていない）のコアチップ挿入溝４６内
に挿入・セットし、コアチップ５８の摺接面５６周りの
接合用ガラス５４を加熱・軟化せしめて、スライダ本体
４２に固着せしめるようにすれば、目的とするコンポジ
ット型のコアスライダを完成させることが出来るのであ
る。

【００２８】更に、以上の具体例においては、何れも、
金属磁性膜が第一のコア部材に対して形成されていた
が、そのような金属磁性膜を第二のコア部材側に設ける
ことも可能である。

【００２９】すなわち、図３に示される如き、溝入れ加
工及びガラスモールドが施されて、非磁性部１６が形成
されてなる第二のコア部材４に対して、その突き合わせ
側の面に、上述した各具体例と同様にして金属磁性膜１
２を形成し、更にその金属磁性膜１２をフォトエッチン
グして、図１８に示される如きパターンの金属磁性膜１
２を設けた第二のコア部材４を作製した後、切断線５９
部位において３分割して、個々のコア部材（４）と為
し、これに、前記具体例の如き非磁性材料８をモールド
してなる第一のコア部材２を突き合わせて接合せしめ、
更に前記具体例と同様にして加工すれば、目的とするコ
アチップを得ることが出来る。図１９には、そのような
加工の施されるコア接合体が示されている。なお、この
第二のコア部材４に対する第一のコア部材２の接合に先
立って、磁気ギャップのギャップ長を規定するギャップ
スペーサ１０が、それらコア部材２，４の何れか一方の
突き合わせ面に形成されることとなることは、前記具体
例と同様であり、またそれら突き合わせ面の少なくとも
何れか一方に、接合用ガラスが付与されることも同様で
ある。

【００３０】更にまた、上記の各具体例においては、金
属磁性膜１２のパターン形状が、フォトエッチング操作
にて形成され、以てそのパターンの細幅部１２ａの幅に
よってトラック幅（ギャップ幅）が規定されるようにな
っているが、これに代えて公知の機械加工等によるトラ
ック加工を採用して、金属磁性膜の細幅部の幅寸法を規
制し、目的とする磁気ヘッド用コアを作製することも可
能である。

【００３１】例えば、図２０に示されるように、第一の
コア部材２のコイル巻線溝６の開口部に対する非磁性材
料８のモールド、更にはその突き合わせ面側へのギャッ
プスペーサ１０及び金属磁性膜１２の形成の後、かかる
第一のコア部材２の摺動面側の部位に対して、従来と同
様な砥石によるトラック加工を施し、所定幅のトラック
６０を与えるトラック幅規制溝６２を形成する。そし
て、このトラック溝６２の形成された第一のコア部材２
に対して、図２１に示される如く、そのトラック幅規制
溝６２上に、トラックガラス兼接合用ガラス６４を載置
し、加熱・軟化せしめて、トラック幅規制溝６２内に充
填した後、図１７や図１９に示される如きチップスライ
スを行なうことによって、図２２に示される如きコアチ
ップ６６が完成されるのである。

【００３２】このコアチップ６６においては、トラック
幅規制溝６２の加工によって形成されたトラック６０の
幅に対応する金属磁性膜１２の細幅部１２ａによって、
第一のコア部材２のトラック６０とそのような細幅部１
２ａとの間に形成される磁気ギャップのギャップ幅が規
制されることとなる一方、金属磁性膜１２は第一のコア
部材２の突き合わせ面全面に存在せしめられ、以てそれ
ら第一のコア部材２と金属磁性膜１２とによって、環状
の磁路が形成されることとなる。なお、第二のコア部材
４の非磁性部１６は、該第二のコア部材４の少なくとも
摺動面側の部位を占めるように設けられており、そのよ
うな摺動面において第二のコア部材４を露出させず、金
属磁性膜１２との間において界面を形成しないように構
成されている。

【００３３】なお、このようなコアチップ６６は、前記
各具体例におけるコアチップと同様に、コンポジット型
のコアスライダを得るべく、スライダ本体に対して一体
的に取り付けられるものである。

【００３４】以上、本発明の幾つかの具体例に基づいて
本発明を詳細に説明してきたが、本発明が、そのような
例示の具体例にのみ限定して解釈されるものでは決して
なく、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて、本発明
には当業者の知識に基づいて種々なる変更、修正、改良
等を加えた形態において実施され得るものであることが
理解されるべきである。

【００３５】例えば、本発明に従う磁気ヘッド用コアの
構造は、モノリシック型及びコンポジット型の何れにも
同様に適用され得るものであり、従って上記において、
それら一方のタイプに開示した構造は、また同様に他方
のタイプの構造にも採用され得るものである。

【００３６】また、例示の具体例では、第二のコア部材
４が摺動面側に露出しないように第二のコア部材の磁気
ギャップを形成する側の突き合わせ部位が非磁性部とさ
れているが、第二のコア部材はそのような突き合わせ部
位が少なくとも非磁性部とされておればよく、例えば、
かかる第二のコア部材の全体を非磁性部とすること、換
言すれば第二のコア部材を、単に、ＣａＴｉＯ₃等の非
磁性セラミックやＺｎフェライトの如き非磁性フェライ
ト等の非磁性材料にて構成することも可能であり、その
場合においては、金属磁性膜は、他方の突き合わせ部位
にまで到達するように（例示の具体例では、何れも、金
属磁性膜は他方の突き合わせ部位にまで到達している）
設けられている必要がある。

【００３７】さらに、本発明は、単に、例示の如きＲＤ
Ｄ用ヘッドのためのコア若しくはコアスライダに留まる
ことなく、ＶＴＲ用ヘッド、ＦＤＤ用ヘッド、ＤＡＴ用
ヘッド等の磁気ヘッドのためのコアにも、適用され得る
ものであることは言うまでもないところである。

【００３８】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に従う磁気ヘッド用コアによれば、その磁気記録媒体摺
接側の面において、第二のコア部材と金属磁性膜との間
で界面が形成されるものでないところから、擬似ギャッ
プ出力がなく、以て高信頼性のヘッド特性を得ることが
出来るのであり、またそのような優れた特徴を有する磁
気ヘッド用コア乃至はコアスライダが、本発明手法によ
れば、容易に製造され得るのである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の具体例における第一のコア部材
に対する非磁性材料のモールド工程を示す説明図であ
る。

【図２】図１においてモールドされた第一のコア部材に
対するギャップスペーサ及び金属磁性膜を形成する工程
を示す説明図である。

【図３】本発明の第一の具体例において用いられる、非
磁性部を有する第二のコア部材を示す斜視説明図であ
る。

【図４】図２の工程において得られた第一のコア部材
と、図３に示される第二のコア部材とを突き合わせて、
接合せしめてなるコア接合体を示す説明図である。

【図５】図４に示されるコア接合体から切り出されたコ
アブロックに対する加工形態を示す説明図である。

【図６】図５において得られたコアブロックに対して、
空気ベアリング部を設けた状態を示す説明図である。

【図７】図６に示されるコアブロックに対してヨーク加
工を施した状態を示す説明図でる。

【図８】図７におけるコアブロックから切り出されたモ
ノリシック型コアスライダの一つを示す斜視説明図であ
る。

【図９】本発明の第二の具体例におけるコアチップを得
るためのコアブロックを示す斜視説明図である。

【図１０】図９において切り出されたコアブロックをチ
ップスライスして、コアチップを得るための工程を示す
説明図である。

【図１１】図１０においてチップスライスして得られた
コアチップの一つを示す斜視説明図である。

【図１２】本発明の第二の具体例において用いられるス
ライダ本体を示す斜視説明図である。

【図１３】図１２のスライダ本体のコアチップ挿入溝
に、図１１のコアチップを挿入・固定せしめてなる状態
を示す要部拡大説明図である。

【図１４】本発明の第三の具体例において用いられる溝
加工の施された第一のコア部材を示す斜視説明図であ
る。

【図１５】図１４における第一のコア部材のモールド用
溝内にガラスをモールドしてなる状態を示す説明図であ
る。

【図１６】図１５における第一のコア部材に対して、ギ
ャップスペーサ及び金属磁性膜を所定パターンにおいて
形成してなる状態を示す説明図である。

【図１７】図１６の第一のコア部材に対して、第二のコ
ア部材を接合せしめてなる状態を示す説明図である。

【図１８】本発明の第四の具体例において用いられる、
金属磁性膜を所定パターンにおいて設けてなる第二のコ
ア部材を示す斜視説明図である。

【図１９】図１８の第二のコア部材に対して、第一のコ
ア部材を突き合わせ、接合せしめてなるコア接合体を示
す説明図である。

【図２０】本発明の第五の具体例における第一のコア部
材に対してトラック加工する工程を示す説明図である。

【図２１】図２０において得られた第一のコア部材に対
して、第二のコア部材を接合せしめてなるコア接合体に
対し、そのトラック幅規制溝にトラックガラスを充填す
る工程を示す説明図である。

【図２２】図２１においてトラックガラスが充填せしめ
られたコア接合体から切り出されるコアチップの一つを
示す斜視説明図である。

【符号の説明】

２第一のコア部材４第二のコア部材６，４８コイル巻線溝８非磁性材料１０ギャップスペーサ１２金属磁性膜１２ａ細幅部１２ｂ広幅部１４溝１６非磁性部１８，５４接合用ガラス２０，３４コアブロック３０，４４空気ベアリング部３６ガラス４０，５８，６６コアチップ４２スライダ本体４６コアチップ挿入溝５０接合用ガラス５２モールド用溝５６摺接面６０トラック６２トラック幅規制溝６４トラックガラス

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】コイル巻線溝の設けられた第一のコア部
材に対し、かかる巻線溝の開口部を閉じる様に第二のコ
ア部材を突き合わせ、それらコア部材の一方の突き合わ
せ部位間に所定の磁気ギャップを形成する一方、他方の
突き合わせ部位を一体的に接合せしめてなる磁気ヘッド
用コアにして、該第二のコア部材の少なくとも前記一方の突き合わせ部
位に位置する部分が非磁性部とされている一方、所定の
トラック幅を与えるように前記一方の突き合わせ部位に
おいて細幅とされた金属磁性膜が前記他方の突き合わせ
部位に向って延設され、且つ該金属磁性膜と前記第一の
コア部材の一方の突き合わせ部位との間に所定厚さの非
磁性材料からなるギャップスペーサが介装せしめられ
て、それら金属磁性膜と第一のコア部材との間に前記磁
気ギャップが形成されていると共に、少なくとも該第一
のコア部材と金属磁性膜とを含んで環状の磁路が形成さ
れていることを特徴とする磁気ヘッド用コア。
【請求項２】前記第二のコア部材が所定の非磁性材料
から構成されている一方、前記金属磁性膜が前記他方の
突き合わせ部位にまで到達している請求項１記載の磁気
ヘッド用コア。
【請求項３】請求項１または２記載の磁気ヘッド用コ
アがスライダ本体と一体に構成されてなるモノリシック
型コアスライダ。
【請求項４】請求項１または２記載の磁気ヘッド用コ
アがスライダ本体とは別個に作製され、該磁気ヘッド用
コアが該スライダ本体に対して適当な固着剤により固定
せしめられているコンポジット型コアスライダ。
【請求項５】コイル巻線溝の設けられた第一のコア部
材に対し、かかる巻線溝の開口部を閉じる様に第二のコ
ア部材を突き合わせ、それらコア部材の一方の突き合わ
せ部位間に所定の磁気ギャップを形成する一方、他方の
突き合わせ部位を一体的に接合せしめてなる磁気ヘッド
用コアを製造する方法にして、前記第一のコア部材を準備する工程と、少なくとも前記一方の突き合わせ部位に位置する部分が
非磁性部とされた前記第二のコア部材を準備する工程
と、前記第一のコア部材のコイル巻線溝の開口部において、
前記一方の突き合わせ部位側と前記他方の突き合わせ部
位側とを橋絡するように、非磁性材料をモールドするモ
ールド工程と、かかるモールドされた非磁性材料の前記第二のコア部材
側の面と前記二つの突き合わせ部位とが面一となるよう
に研磨を行なった後、その研磨面上に、非磁性材料から
なるギャップスペーサを少なくとも前記一方の突き合わ
せ部位上に位置するように所定厚さで形成せしめ、更に
該ギャップスペーサ上に、所定トラック幅を与えるよう
に前記一方の突き合わせ部位において細幅となる金属磁
性膜を前記他方の突き合わせ部位に向って延びるように
形成する工程と、このギャップスペーサ及び金属磁性膜の形成された第一
のコア部材に対して、前記第二のコア部材を、その非磁
性部が少なくとも前記一方の突き合わせ部位に位置する
ようにして接合せしめ、それら金属磁性膜と第一のコア
部材との間に前記磁気ギャップが形成される一方、少な
くとも該第一のコア部材と金属磁性膜とを含んで環状の
磁路が形成されたコア接合体を得る工程とを有すること
を特徴とする磁気ヘッド用コアの製造方法。
【請求項６】コイル巻線溝の設けられた第一のコア部
材に対し、かかる巻線溝の開口部を閉じる様に第二のコ
ア部材を突き合わせ、それらコア部材の一方の突き合わ
せ部位間に所定の磁気ギャップを形成する一方、他方の
突き合わせ部位を一体的に接合せしめてなる磁気ヘッド
用コアを製造する方法にして、前記第一のコア部材を準備する工程と、少なくとも前記一方の突き合わせ部位に位置する部分が
非磁性部とされた前記第二のコア部材を準備する工程
と、該第二のコア部材の前記第一のコア部材に対して突き合
わされる側の面に、所定のトラック幅を与えるように前
記一方の突き合わせ部位において細幅となる金属磁性膜
を、前記他方の突き合わせ部位に向って延びるように形
成する工程と、かかる金属磁性膜の形成された第二のコア部材を、該金
属磁性膜と前記第一のコア部材の一方の突き合わせ部位
との間に非磁性材料からなる所定厚さのギャップスペー
サを位置せしめて、該第一のコア部材に接合し、それら
金属磁性膜と第一のコア部材との間に前記磁気ギャップ
を形成すると共に、少なくとも該第一のコア部材と金属
磁性膜とを含んで環状の磁路を形成せしめる工程とを有
することを特徴とする磁気ヘッド用コアの製造方法。