JPS6129702A - 磁気スケ−ルおよびその製造方法 - Google Patents
磁気スケ−ルおよびその製造方法Info
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- JPS6129702A JPS6129702A JP15225484A JP15225484A JPS6129702A JP S6129702 A JPS6129702 A JP S6129702A JP 15225484 A JP15225484 A JP 15225484A JP 15225484 A JP15225484 A JP 15225484A JP S6129702 A JPS6129702 A JP S6129702A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 17
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 abstract description 11
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 abstract description 11
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 abstract description 8
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 238000007747 plating Methods 0.000 abstract description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000004299 exfoliation Methods 0.000 abstract 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910000702 sendust Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005491 wire drawing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、耐食性に優れた磁気スケ−１しおよびその製
造方法に係る。
造方法に係る。
（従来技術とその問題点）
悪環境下でも記録媒体の酸化ｆこよる磁気特性の劣化が
生じない磁気スケールの要求が強い。このような耐食性
に優れた磁気スケールおよびその製造方法として、本発
明者らは、Ｎ１−ＰあるいはＺｎ左 のメッキ層を形成すること２提案した。し特願昭５８−
０５５４４４〜５８−０５５４４６）。しかしながら、
上記方法は、耐食性には優れているものの、機械的強度
の点では、十分でない。即ち、メッキ層が周囲からの衝
撃によって剥れたり、また検出素子あるいはその他構造
部との摺動着こよって摩耗したりするなどの欠点があっ
た。
生じない磁気スケールの要求が強い。このような耐食性
に優れた磁気スケールおよびその製造方法として、本発
明者らは、Ｎ１−ＰあるいはＺｎ左 のメッキ層を形成すること２提案した。し特願昭５８−
０５５４４４〜５８−０５５４４６）。しかしながら、
上記方法は、耐食性には優れているものの、機械的強度
の点では、十分でない。即ち、メッキ層が周囲からの衝
撃によって剥れたり、また検出素子あるいはその他構造
部との摺動着こよって摩耗したりするなどの欠点があっ
た。
（発明の目的）
本発明は、このような従来の欠点を除去せしめて、耐食
性に優れた磁気スケールおよびその製造方法を提供する
ことにある。
性に優れた磁気スケールおよびその製造方法を提供する
ことにある。
（発明の構成）
すなわち、本発明は、高保磁力ＦｅＯｏＭｎｏ系合金線
材を記録媒体とした磁気スケールにおいて、前記ＦｅＣ
ｏＭｎＣ系合金線材の全周面あるいはその一部にＴｉイ
オンが５０ｎｍ〜５００ ｎｍ の深さ、イオン打ち
込みされていることを特徴とＴる磁気スケールおよびＦ
ｅＣｏＭｎＣ系合金線材を高保磁力とするための熱処理
工程と、ＰｅＯｏＭｎＯ系合金線材にＴｉイオンを打ち
込む工程を有することを特徴とする磁気スケールの製造
方法である。
材を記録媒体とした磁気スケールにおいて、前記ＦｅＣ
ｏＭｎＣ系合金線材の全周面あるいはその一部にＴｉイ
オンが５０ｎｍ〜５００ ｎｍ の深さ、イオン打ち
込みされていることを特徴とＴる磁気スケールおよびＦ
ｅＣｏＭｎＣ系合金線材を高保磁力とするための熱処理
工程と、ＰｅＯｏＭｎＯ系合金線材にＴｉイオンを打ち
込む工程を有することを特徴とする磁気スケールの製造
方法である。
（構成の詳細な説明）
本発明は、上述の構成をとることにより、従来の耐食の
ためのメッキ層の剥落や摩耗が生じるという問題点を解
決した。
ためのメッキ層の剥落や摩耗が生じるという問題点を解
決した。
本発明でいうＦｅＣｏＭｎＣ系合金線材は、Ｆ ｅ ＋
Ｃｏ、ＭｎおよびＣの元素の組成、あるいはＦｅ。
Ｃｏ、ＭｎおよびＣの元素の組成、あるいはＦｅ。
Ｃｏ、Ｍｎ、０ ７Ｃ素からなる組成督こ８ ｉ 、Ｖ
＊ Ｍ ｏ ＋Ｗ、Ｂ、Ｏｒ、Ｂｅ 元素を１種以
上の元素を添加したものである（特願昭５６−１５４３
６９ 、５６−１５４３７０゜５６−１５４３７３ ）
。
＊ Ｍ ｏ ＋Ｗ、Ｂ、Ｏｒ、Ｂｅ 元素を１種以
上の元素を添加したものである（特願昭５６−１５４３
６９ 、５６−１５４３７０゜５６−１５４３７３ ）
。
ＦｅＣｏＭｎＣ系合金線材の全周面あるいは一部にＴｉ
イオンを打ち込む深さは、５０ｎｍ〜５ＱＱｎｍと限定
する。その限定理由は、打ち込み深さが、５Ｑｎｍを下
まわると耐食性が劣化する。また５００ｎｍを上まわっ
てイオン打ち込みを行なっても耐食性が劣化する。
イオンを打ち込む深さは、５０ｎｍ〜５ＱＱｎｍと限定
する。その限定理由は、打ち込み深さが、５Ｑｎｍを下
まわると耐食性が劣化する。また５００ｎｍを上まわっ
てイオン打ち込みを行なっても耐食性が劣化する。
（実施例）
以下、実施例に従って詳細に説明する。
実施例ではＦｅＣｏＭｎＣ合金あるいはＦ ｅ ＯｏＭ
ｎ。
ｎ。
系合金のうち、重量比で４０％Ｃｏ−２０％Ｍｎ−１，
４％８１０．４％０−残ｓＦｅからなる合金を使用する
。前記合金は８５０℃で１時間溶体化処理・急冷した後
、減面率９３％の冷間伸線加工を施し、伸線材を矯正機
で直伸化したものを使用する。
４％８１０．４％０−残ｓＦｅからなる合金を使用する
。前記合金は８５０℃で１時間溶体化処理・急冷した後
、減面率９３％の冷間伸線加工を施し、伸線材を矯正機
で直伸化したものを使用する。
製造工程は、下記のＡおよびＢの２［！類を選んだ。Ｔ
ｉイオン打ち込み時間は３０分、イオン加速電圧は３Ｑ
ＫｅＶ 、および３００ ＫｅＶ 、イオン注入値は
１×１０１８（イオン／ｄ）、真空度はｌ Ｘ １Ｏ−
Ｔｏｒｒ線材の固定は、製造工程Ａの場合は第１図（ａ
）のような記録媒体１を固定台２と止め具３を用い、ネ
ジ４で固定する構造の場合に行なわれ、Ｂの場合は、Ｗ
＆１図Φ）のように固定台ｚ中の記録媒体１の局面の一
部があられれている構造に対して行な゛われる。したが
って、イオン打ち込み時に、製造工程人では、線材を回
転させながら、全周面にイオン打ち込みを行ない、Ｂで
は、回転させずに、固定台でおおわれていない線材の一
部にイオン打ち込みを行なった。
ｉイオン打ち込み時間は３０分、イオン加速電圧は３Ｑ
ＫｅＶ 、および３００ ＫｅＶ 、イオン注入値は
１×１０１８（イオン／ｄ）、真空度はｌ Ｘ １Ｏ−
Ｔｏｒｒ線材の固定は、製造工程Ａの場合は第１図（ａ
）のような記録媒体１を固定台２と止め具３を用い、ネ
ジ４で固定する構造の場合に行なわれ、Ｂの場合は、Ｗ
＆１図Φ）のように固定台ｚ中の記録媒体１の局面の一
部があられれている構造に対して行な゛われる。したが
って、イオン打ち込み時に、製造工程人では、線材を回
転させながら、全周面にイオン打ち込みを行ない、Ｂで
は、回転させずに、固定台でおおわれていない線材の一
部にイオン打ち込みを行なった。
以上のようにして製造された磁気スケール用着磁体は、
８５℃で１００％湿度の環境で耐食試験を行なった。そ
の結果を第１表に示す。
８５℃で１００％湿度の環境で耐食試験を行なった。そ
の結果を第１表に示す。
Ｑ：記録媒体表面が醗化しなかった。Ｘ：記録媒体表面
が酸化した。
が酸化した。
また、センダスト磁気へ、ドを記録媒体に接触させて、
１万往復摺動させた場合についても、上記と同様の耐食
試験を行なった。その結果、第１表と同様の結果が得ら
れた。
１万往復摺動させた場合についても、上記と同様の耐食
試験を行なった。その結果、第１表と同様の結果が得ら
れた。
製造工程人において、イオン打ち込みのイオン加速電圧
を５Ｑ ＫｅＶ 、 ５００ Ｋ ｅ Ｖとした場合に
ついて上記と同様の耐食試験を行なりたとＣろ、 ５０
ＫｅＶの場合は、５００時間、 ５００ ＫｅＶの場合
は２００時間で、記録媒体表面が酸化し始めた。
を５Ｑ ＫｅＶ 、 ５００ Ｋ ｅ Ｖとした場合に
ついて上記と同様の耐食試験を行なりたとＣろ、 ５０
ＫｅＶの場合は、５００時間、 ５００ ＫｅＶの場合
は２００時間で、記録媒体表面が酸化し始めた。
（発明の効果）
以上のように、本発明の磁気スケールおよびその製造方
法は、磁気スケールの応用範囲が広がり、しかも悪環境
での用途も広がる最近の状況で、その工業的価値が大き
い。
法は、磁気スケールの応用範囲が広がり、しかも悪環境
での用途も広がる最近の状況で、その工業的価値が大き
い。
第１図は磁気スケールの一部を示す斜視図。図で１は記
録媒体、２は固定台、３は止め具、４はネジである。
録媒体、２は固定台、３は止め具、４はネジである。
Claims (2)
- （１）高保磁力ＦｅＣｏＭｎＣ系合金線材を記録媒体と
した磁気スケールにおいて、前記ＦｅＣｏＭｎＣ系合金
線材の全周面あるいはその一部に、Ｔｉイオンが５０ｎ
ｍ〜５００ｎｍの深さに分布していることを特徴とする
磁気スケール。 - （２）ＦｅＣｏＭｎＣ系合金線材に高保磁力を与えるた
めの熱処理工程と、ＦｅＣｏＭｎＣ系合金線材にＴｉイ
オンを打ち込む工程とを有することを特徴とする磁気ス
ケールの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15225484A JPS6129702A (ja) | 1984-07-23 | 1984-07-23 | 磁気スケ−ルおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15225484A JPS6129702A (ja) | 1984-07-23 | 1984-07-23 | 磁気スケ−ルおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6129702A true JPS6129702A (ja) | 1986-02-10 |
| JPH0521162B2 JPH0521162B2 (ja) | 1993-03-23 |
Family
ID=15536457
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15225484A Granted JPS6129702A (ja) | 1984-07-23 | 1984-07-23 | 磁気スケ−ルおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6129702A (ja) |
-
1984
- 1984-07-23 JP JP15225484A patent/JPS6129702A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0521162B2 (ja) | 1993-03-23 |
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