JPS6130703A - 磁気スケ−ルおよびその製造方法 - Google Patents
磁気スケ−ルおよびその製造方法Info
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- JPS6130703A JPS6130703A JP15363984A JP15363984A JPS6130703A JP S6130703 A JPS6130703 A JP S6130703A JP 15363984 A JP15363984 A JP 15363984A JP 15363984 A JP15363984 A JP 15363984A JP S6130703 A JPS6130703 A JP S6130703A
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Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、耐食性に優れた磁気スケールおよびその製造
方法に係る。
方法に係る。
（従来技術とその問題点）
悪環境下での記録媒体の酸化による磁気特性の劣化が生
じない磁気スケールの要求が強い、このような耐食性に
優れた磁気スケールおよびその製５８−０５５４４４〜
５８−０５５４４６ ） 、シかしながら。
じない磁気スケールの要求が強い、このような耐食性に
優れた磁気スケールおよびその製５８−０５５４４４〜
５８−０５５４４６ ） 、シかしながら。
上記方法は、耐食性には優れているものの１機械的強度
の点では、十分でない、即ち、メツ゛キ層が周囲からの
衝撃によって剥れたり、また検出素子あるいはその他構
造部との摺動によって、摩耗したりするなどの欠点があ
った。
の点では、十分でない、即ち、メツ゛キ層が周囲からの
衝撃によって剥れたり、また検出素子あるいはその他構
造部との摺動によって、摩耗したりするなどの欠点があ
った。
（発明の目的） 一本発明は、こ
のような従来の欠点を除去せしめて、耐食性に優れた磁
気スケールおよびその製造方法を提供することにある。
のような従来の欠点を除去せしめて、耐食性に優れた磁
気スケールおよびその製造方法を提供することにある。
（発明の構成）
すなわち、本発明は、高保磁力ＦｅＣｏＭｎＣ系合金線
材を記録媒体とした磁気スケールにおいて。
材を記録媒体とした磁気スケールにおいて。
前記ＦｅＣｏＭｎＣ系合金線材の全周面あるいはその一
部にＴａイオンが３０ｎｍ〜１５０ｎｍの深さ、イオン
打ち込みされていることを特徴とする磁気スケールおよ
びＰｅＣｏＭｎＣ系合金線材を高保磁力とするための熱
処理工程とＦｅＣｏＭｎＣ系合金線材にＴａイオンを打
ち込む工程とを有することを特徴とする磁気スケールの
製造方法である。
部にＴａイオンが３０ｎｍ〜１５０ｎｍの深さ、イオン
打ち込みされていることを特徴とする磁気スケールおよ
びＰｅＣｏＭｎＣ系合金線材を高保磁力とするための熱
処理工程とＦｅＣｏＭｎＣ系合金線材にＴａイオンを打
ち込む工程とを有することを特徴とする磁気スケールの
製造方法である。
（構成の詳細な説明）
本発明は、上述の構成をとることにより、従来の耐食の
ためのメッキ層の剥落や摩耗が生じるという問題点を解
決した。
ためのメッキ層の剥落や摩耗が生じるという問題点を解
決した。
本発明でいうＦｅＣｏＭｎＣ系合金線材はＦｅ、Ｃｏ。
ＭｎおよびＣ元素の組成、あるいはＦｅ、Ｃｏ、Ｍｎ。
Ｃ元素からなる組成にＳｉ、Ｖ、Ｍｏ、Ｗ、Ｂ、Ｃｒ、
Ｂｅ元素を１種以上の元素を添加したものである（特願
昭５６−１５４３６９ 、５６−１５４３７０ 、５６
−１５４３７３）。
Ｂｅ元素を１種以上の元素を添加したものである（特願
昭５６−１５４３６９ 、５６−１５４３７０ 、５６
−１５４３７３）。
ＦｅＣｏＭｎＣ系合金線材の全周面あるいは一部にＴａ
イオンを打ち込む深さは、３０ｎｍ〜１５０ ｎｍと限
定する。その限定理由は、打ち込み深さが、３０ｎｍを
下まわると耐食性が劣化する。また１５０ｎｍを上まわ
ってイオン打ち込みを行なりても耐食性が劣化する。
イオンを打ち込む深さは、３０ｎｍ〜１５０ ｎｍと限
定する。その限定理由は、打ち込み深さが、３０ｎｍを
下まわると耐食性が劣化する。また１５０ｎｍを上まわ
ってイオン打ち込みを行なりても耐食性が劣化する。
（実施例）
以下、実施例に従って詳細に説明する。
ＦｅＣｏＭｎＣ合金あるいはＦｅＣｏＭｎＣ系合金のう
ち１重量比で４Ｏ％Ｃ０−２０％Ｍｎ −１，４％５ｉ
−Ｑ、４％Ｃ−残部Ｆｅからなる合金を使用する。前記
合金は８５０℃で１時間溶体化処理・急冷した後、減面
、率９３％の冷間伸線加工を施し、伸線材を矯正機で直
伸化したものを使用する。
ち１重量比で４Ｏ％Ｃ０−２０％Ｍｎ −１，４％５ｉ
−Ｑ、４％Ｃ−残部Ｆｅからなる合金を使用する。前記
合金は８５０℃で１時間溶体化処理・急冷した後、減面
、率９３％の冷間伸線加工を施し、伸線材を矯正機で直
伸化したものを使用する。
製造工程は、下記のＡ、Ｂ、ＣおよびＤの４種類を選ん
だ。Ｔａイオン打ち込み時間は菊分、イオン加速電圧は
５０ＫｅＶ 、’ １００ＫｅＶ 、 ２００ＫｅＶお
よび４００ＫｅＶ、イオン注入値は２Ｘ１０’（イオン
／ｃｍｚ）、真空度はＩ Ｘ １Ｏ−５Ｔｏ「ｒとした
。
だ。Ｔａイオン打ち込み時間は菊分、イオン加速電圧は
５０ＫｅＶ 、’ １００ＫｅＶ 、 ２００ＫｅＶお
よび４００ＫｅＶ、イオン注入値は２Ｘ１０’（イオン
／ｃｍｚ）、真空度はＩ Ｘ １Ｏ−５Ｔｏ「ｒとした
。
・−＝）・、
（以下・傘パＴｈ ）
Ａ Ｂ ＣＤ線材の固
定は、製造工程Ａ、Ｈの場合は第１図（ａ）のような記
録媒体１を固定台２と止め具３を用い、ネジ４で固定す
る構造の場合に行なわれ＋ＣＩＤの場１合は、第１図（
１）ｌのように固定台２中の記録媒体１の局面の一部が
あられれている構造に対して行なわれる。したがって、
イオン打ち込み時に製造工程Ａ、Ｂでは、線材を回転さ
せながら、全周面にイオン打ち込みを行ない、Ｃ，Ｄで
は５回転させずに固定台でおおわれていない線材の一部
にイオン打ち込みを行なった。
定は、製造工程Ａ、Ｈの場合は第１図（ａ）のような記
録媒体１を固定台２と止め具３を用い、ネジ４で固定す
る構造の場合に行なわれ＋ＣＩＤの場１合は、第１図（
１）ｌのように固定台２中の記録媒体１の局面の一部が
あられれている構造に対して行なわれる。したがって、
イオン打ち込み時に製造工程Ａ、Ｂでは、線材を回転さ
せながら、全周面にイオン打ち込みを行ない、Ｃ，Ｄで
は５回転させずに固定台でおおわれていない線材の一部
にイオン打ち込みを行なった。
以上のようにして製造された磁気スケール用着磁体は、
８５℃で１００多湿度の環境で耐食試験を行なった。そ
の結果を第１表に示す。
８５℃で１００多湿度の環境で耐食試験を行なった。そ
の結果を第１表に示す。
第 １ 表
また、センダスト磁気ヘッドを記録媒体に接触させて、
１万往復摺動させた場合についても、上記と同様の耐食
試験を行なった。その結果、第１表と同様の結果が得ら
れた。 − 製造工程Ａ（こおいて、イオン打ち込みのイオン加速電
圧を３０ＫｅＶ 、 ２００ＫｅＶとした場合について
上記と同様の耐食試験を行なったところ、３０ ＫｅＶ
の場合は、３００時間、７００ ＫｅＶの場合は１００
時間で、記録媒体表面が酸化し始めた。
１万往復摺動させた場合についても、上記と同様の耐食
試験を行なった。その結果、第１表と同様の結果が得ら
れた。 − 製造工程Ａ（こおいて、イオン打ち込みのイオン加速電
圧を３０ＫｅＶ 、 ２００ＫｅＶとした場合について
上記と同様の耐食試験を行なったところ、３０ ＫｅＶ
の場合は、３００時間、７００ ＫｅＶの場合は１００
時間で、記録媒体表面が酸化し始めた。
（発明の効果）
以上のように１本発明の磁気スケールおよびその製造方
法は、磁気スケールの応用範囲が広がり、しかも悪環境
での用途も広がる最近の状況で、その工業的価値が大き
い。
法は、磁気スケールの応用範囲が広がり、しかも悪環境
での用途も広がる最近の状況で、その工業的価値が大き
い。
第１図（ａ） 、 （ｂｌは磁気スケールの一部を示す
斜視図。図で１は記録媒体、２は固定台、３は止め具。 ４はネジである。 ７１ 図 と （ｂ）
斜視図。図で１は記録媒体、２は固定台、３は止め具。 ４はネジである。 ７１ 図 と （ｂ）
Claims (2)
- （１）ＦｅＣｏＭｎＣ系合金線材を記録媒体とした磁気
スケールにおいて、前記ＦｅＣｏＭｎＣ系合金線材の全
周面あるいはその一部にＴａイオンが３０ｎｍ〜１５０
ｎｍの深さに分布していることを特徴とする磁気スケー
ル。 - （２）ＦｅＣｏＭｎＣ系合金線材に高保磁力を与えるた
めの熱処理工程と、ＦｅＣｏＭｎＣ系合金線材にＴａイ
オンを打ち込む工程とを有することを特徴とする磁気ス
ケールの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15363984A JPS6130703A (ja) | 1984-07-24 | 1984-07-24 | 磁気スケ−ルおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15363984A JPS6130703A (ja) | 1984-07-24 | 1984-07-24 | 磁気スケ−ルおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6130703A true JPS6130703A (ja) | 1986-02-13 |
| JPH0521402B2 JPH0521402B2 (ja) | 1993-03-24 |
Family
ID=15566912
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15363984A Granted JPS6130703A (ja) | 1984-07-24 | 1984-07-24 | 磁気スケ−ルおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6130703A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5069037A (en) * | 1989-12-05 | 1991-12-03 | Kanzaki Kokyukoki Mfg. Co., Ltd. | Fluid supply system for vehicles |
-
1984
- 1984-07-24 JP JP15363984A patent/JPS6130703A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5069037A (en) * | 1989-12-05 | 1991-12-03 | Kanzaki Kokyukoki Mfg. Co., Ltd. | Fluid supply system for vehicles |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0521402B2 (ja) | 1993-03-24 |
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