JPH0524669B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0524669B2 JPH0524669B2 JP62215599A JP21559987A JPH0524669B2 JP H0524669 B2 JPH0524669 B2 JP H0524669B2 JP 62215599 A JP62215599 A JP 62215599A JP 21559987 A JP21559987 A JP 21559987A JP H0524669 B2 JPH0524669 B2 JP H0524669B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- pellet
- binarized signal
- center
- gravity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims description 38
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 22
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 17
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はペレツトの外観検査装置に関する。
一般に、半導体装置の信頼性向上策として、一
部に割れや欠け部を有する半導体ペレツトを外観
検査により除去している。
部に割れや欠け部を有する半導体ペレツトを外観
検査により除去している。
例えば、ダイオードペレツト検査装置は、パタ
ーンマツチング方式により検査を行つていた。
ーンマツチング方式により検査を行つていた。
すなわち、ペレツトの基準パターン信号を検査
装置内部に予め記憶し、測定パターン信号と基準
パターン信号との差分を算出して基準パターン領
域と検査パターン領域との座標補正をした後、両
パターンを重ねる。
装置内部に予め記憶し、測定パターン信号と基準
パターン信号との差分を算出して基準パターン領
域と検査パターン領域との座標補正をした後、両
パターンを重ねる。
判定は、両パターンの不一致部分の面積の大き
さ等を計数して所定値と比較して良否を決める。
さ等を計数して所定値と比較して良否を決める。
第４図は従来のペレツト外観検査装置の一例の
ブロツク図、第５図は第４図の回路の動作を説明
するための電極部分欠け及び周縁部欠けの状態に
対応する被測定ダイオードペレツトの比較器入力
画像図である。
ブロツク図、第５図は第４図の回路の動作を説明
するための電極部分欠け及び周縁部欠けの状態に
対応する被測定ダイオードペレツトの比較器入力
画像図である。
ペレツト外観検査装置は、検査ステージＤの上
に載置された被測定ダイオードペレツトP3を撮
像するTVカメラ１と、撮像されたペレツトの画
像信号Siのを１又は０の２値化信号S2に変換する
２値化回路２と、２値化信号S2を測定パターンと
して格納する画像メモリ部１１と、検査基準画像
となる基準パターン信号S5を格納する基準パター
ン用メモリ部１３と、基準パターンと測定パター
ンの図形特徴点を検出し座標ずれ量を算出する
CPU６と、その座標ずれ量を入力するアドレス
コントローラ１２と両メモリ部１１，１３の両出
力信号SM，SSを入力する比較部１５とカウンタ
１６とを含んで構成されている。
に載置された被測定ダイオードペレツトP3を撮
像するTVカメラ１と、撮像されたペレツトの画
像信号Siのを１又は０の２値化信号S2に変換する
２値化回路２と、２値化信号S2を測定パターンと
して格納する画像メモリ部１１と、検査基準画像
となる基準パターン信号S5を格納する基準パター
ン用メモリ部１３と、基準パターンと測定パター
ンの図形特徴点を検出し座標ずれ量を算出する
CPU６と、その座標ずれ量を入力するアドレス
コントローラ１２と両メモリ部１１，１３の両出
力信号SM，SSを入力する比較部１５とカウンタ
１６とを含んで構成されている。
アドレスコントローラ１２は、CPU６より与
えられたデータに従い、検査パターンと基準パタ
ーンの比較座標点が一致するように画像メモリ部
１１と基準パターン用メモリ部１３を同時にアド
レシングする。
えられたデータに従い、検査パターンと基準パタ
ーンの比較座標点が一致するように画像メモリ部
１１と基準パターン用メモリ部１３を同時にアド
レシングする。
このようにして両メモリ部１１及び１３より出
力されるパターン信号SM及びSSは比較器１５に
入力され、排他的論理和を算出されカウンタ１６
に入力される。
力されるパターン信号SM及びSSは比較器１５に
入力され、排他的論理和を算出されカウンタ１６
に入力される。
従つてカウンタ１６では基準パターン信号SSと
測定パターン信号SMの違いの生じている個数が
計数されるのである。
測定パターン信号SMの違いの生じている個数が
計数されるのである。
CPU６では、一つの画面走査終了後、カウン
タ１６の計数値を読み込み、所定の許容値と比較
して良否判定出力信号SOCLを出力端子８に供給す
る。
タ１６の計数値を読み込み、所定の許容値と比較
して良否判定出力信号SOCLを出力端子８に供給す
る。
第５図に示すように、不良のダイオードペレツ
トP3の場合は、基準パターン信号SSと検査パター
ン信号SMの座標中心Ｃを合わせて重ね、１に対
応する白い電極部Ｅ及びステージ部ＤとＯに対応
する周縁部R3が比較器１５で比較されて、ペレ
ツトの周縁部分欠けPDと電極部欠けEDが欠け部
として面積が計数される。
トP3の場合は、基準パターン信号SSと検査パター
ン信号SMの座標中心Ｃを合わせて重ね、１に対
応する白い電極部Ｅ及びステージ部ＤとＯに対応
する周縁部R3が比較器１５で比較されて、ペレ
ツトの周縁部分欠けPDと電極部欠けEDが欠け部
として面積が計数される。
上述した従来のペレツト外観検査装置は、パタ
ーンマツチング方式で検査を行つているため基準
ペレツトの座標軸と測定ペレツトの座標軸との間
に角度の誤差がある場合は、良品のペレツトであ
つても不良と判定するものが多く角度許容が小さ
いという問題があつた。
ーンマツチング方式で検査を行つているため基準
ペレツトの座標軸と測定ペレツトの座標軸との間
に角度の誤差がある場合は、良品のペレツトであ
つても不良と判定するものが多く角度許容が小さ
いという問題があつた。
また、重なり位置のずれ量算出時の誤差が判定
に直接影響を与えるので良否判定の信頼性が低い
という問題もあつた。
に直接影響を与えるので良否判定の信頼性が低い
という問題もあつた。
さらに、装置内に基準パターン信号を持たなく
てはいけないため多くの画像メモリ必要であり、
品種変更の都度、基準パターン信号を変更しなく
てはいけないという問題があつた。
てはいけないため多くの画像メモリ必要であり、
品種変更の都度、基準パターン信号を変更しなく
てはいけないという問題があつた。
本発明の目的は、被検査ペレツトの載置座標の
角度や位置ずれによる誤差が無く、かつ品種変更
により基準パターン信号の変更を要しないペレツ
ト外観検査装置を提供することにある。
角度や位置ずれによる誤差が無く、かつ品種変更
により基準パターン信号の変更を要しないペレツ
ト外観検査装置を提供することにある。
本発明のペレツト外観検査装置は、
(A) 被測定半導体ペレツトの複数の領域の画像信
号を出力する撮像器、 (B) 入力端が前記画像信号を入力し、出力端が該
画像信号の２値化信号を出力する２値化回路、 (C) 入力端が前記２値化信号を入力し、出力端が
該２値化信号に対応する反転２値化信号を出力
する反転器、 (D) 入力端が前記２値化信号を入力して該２値化
信号の一方の領域の重心座標を測定し、さらに
前記反転２値化信号を入力して前記２値化信号
の他方の領域の重心座標を測定しそれぞれの出
力を出力端に供給する重心測定器、 (E) 前記一方および他方の領域の重心座標信号を
入力し、前記二つの重心座標間の距離を計算し
てその値が所定の値以上の場合に不良の判定出
力信号を出力端に供給する演算回路、 を含んで構成されている。
号を出力する撮像器、 (B) 入力端が前記画像信号を入力し、出力端が該
画像信号の２値化信号を出力する２値化回路、 (C) 入力端が前記２値化信号を入力し、出力端が
該２値化信号に対応する反転２値化信号を出力
する反転器、 (D) 入力端が前記２値化信号を入力して該２値化
信号の一方の領域の重心座標を測定し、さらに
前記反転２値化信号を入力して前記２値化信号
の他方の領域の重心座標を測定しそれぞれの出
力を出力端に供給する重心測定器、 (E) 前記一方および他方の領域の重心座標信号を
入力し、前記二つの重心座標間の距離を計算し
てその値が所定の値以上の場合に不良の判定出
力信号を出力端に供給する演算回路、 を含んで構成されている。
次に、本発明の実施例について図面を参照して
説明する。
説明する。
第１図は本発明の第１の実施例のブロツク図で
ある。
ある。
TVカメラ１の出の画像信号Siは、２値化回路
２に入力される。
２に入力される。
２値化回路２の２値化信号S2は重心測定回路４
と反転器３とに入力される。
と反転器３とに入力される。
反転器３の反転２値化信号2は重心測定回路
５に入力される。
５に入力される。
重心測定回路４及び重心測定回路５の重心座標
信号SG1及びSG2はデータバス７を径由してCPU６
に読込まれる。
信号SG1及びSG2はデータバス７を径由してCPU６
に読込まれる。
CPU６では読込みデータにを演算して判定出
力端子８に判定出力信号S0を出力する。
力端子８に判定出力信号S0を出力する。
TVカメラ１からのダイオードペレツトPiの画
像信号Siは２値化回路２により、ペレツトの周縁
部Ｒが例えば黒でまた電極部Ｅ及びステージ部Ｄ
とが白に対応してそれぞれ０と１に２値化され
る。
像信号Siは２値化回路２により、ペレツトの周縁
部Ｒが例えば黒でまた電極部Ｅ及びステージ部Ｄ
とが白に対応してそれぞれ０と１に２値化され
る。
このようにして２値化された２値化信号S2は重
心測定回路４により黒の部分の重心座標GR、つ
まりペレツト周縁部Ｒの重心座標GRが測定され
る。
心測定回路４により黒の部分の重心座標GR、つ
まりペレツト周縁部Ｒの重心座標GRが測定され
る。
また、２値化信号S2は反転器３により白黒が反
転され、電極部Ｅとステージ部Ｄが黒である反転
２値化信号2に変換され重心測定回路５により、
その黒の部分、つまり電極部Ｅとステージ部Ｄの
重心座標GRが測定される。
転され、電極部Ｅとステージ部Ｄが黒である反転
２値化信号2に変換され重心測定回路５により、
その黒の部分、つまり電極部Ｅとステージ部Ｄの
重心座標GRが測定される。
このようにして測定されたペレツト周縁部重心
座標GRとステージ部Ｄ及び電極重心座標GRは、
CPU６により読込まれ、各重心座標間の距離ｌ
が算出され、所定範囲以上の場合に、不良の判定
出力信号S0が判定出力端子８に出力される。
座標GRとステージ部Ｄ及び電極重心座標GRは、
CPU６により読込まれ、各重心座標間の距離ｌ
が算出され、所定範囲以上の場合に、不良の判定
出力信号S0が判定出力端子８に出力される。
第２図ａ〜ｃは第１図の回路の動作を説明する
ためのそれぞれ正常、電極部欠け及び周縁部欠け
の状態に対応する被測定ダイオードペレツトの２
値化信号の画像図である。
ためのそれぞれ正常、電極部欠け及び周縁部欠け
の状態に対応する被測定ダイオードペレツトの２
値化信号の画像図である。
第２図ａに示すように、良品のダイオードのペ
レツトＰの場合はペレツトＰの周縁部Ｒの重心座
標GRとステージ部Ｄ及び電極部Ｅの重心座標GR
は一致しており、重心座標間距離ｌは零である。
レツトＰの場合はペレツトＰの周縁部Ｒの重心座
標GRとステージ部Ｄ及び電極部Ｅの重心座標GR
は一致しており、重心座標間距離ｌは零である。
第２図ｂに示すように、電極部E1に欠けが生
じている場合は、周縁部重心座標GR1が周縁部欠
けの方向に、ステージ部及び電極重心座標GR1は
電極部欠けと逆方向にそれぞれ移動する。
じている場合は、周縁部重心座標GR1が周縁部欠
けの方向に、ステージ部及び電極重心座標GR1は
電極部欠けと逆方向にそれぞれ移動する。
この場合の両重心座標GR1，GR1間距離はl1とな
る。
る。
第２図ｃに示すように、ペレツト周縁部R2に
欠けが生じている場合は、周縁部重心座標GR2の
み欠け座標と反対方向に移動する。
欠けが生じている場合は、周縁部重心座標GR2の
み欠け座標と反対方向に移動する。
従つて周縁部重心座標GR2とステージ部Ｄ及び
電極部重心座標GR2との距離l2をCPU６で算出し
所定値Ｌと比較することにより各ペレツトPiの欠
け状態の検出が可能となる。
電極部重心座標GR2との距離l2をCPU６で算出し
所定値Ｌと比較することにより各ペレツトPiの欠
け状態の検出が可能となる。
第３図は本発明の第２の実施例２のブロツク図
である。
である。
切換スイツチ９は、CPU６からのスイツチ制
御信号S0により切換制御され、２値化回路２、２
値化信号S2を入力して重心座標信号をメモリ部１
０に記憶したのち、反転器３の反転２値化信号2
を切換えて重心測定回路４に入力している。
御信号S0により切換制御され、２値化回路２、２
値化信号S2を入力して重心座標信号をメモリ部１
０に記憶したのち、反転器３の反転２値化信号2
を切換えて重心測定回路４に入力している。
この実施例では、重心測定回路が１個ですむた
めに実施例１に比較して経済的である。
めに実施例１に比較して経済的である。
上述の実施例で、重心測定回路は０に対応する
黒部分を測定対象領域としたが、１に対応する白
部分を対象領域としてもよい。
黒部分を測定対象領域としたが、１に対応する白
部分を対象領域としてもよい。
以上説明したように本発明は、半導体ペレツト
の検査画面の白部分の領域および黒部分の領域か
らペレツトの周縁部の重心座標および電極部の重
心座標を測定し、各重心座標の距離を測定するこ
とによりペレツト外観の良否判定を行つているた
め、ペレツトの位置ずれ及び角度ずれに無関係に
正確に判定でき、基準パターンが不要であるとい
う効果がある。
の検査画面の白部分の領域および黒部分の領域か
らペレツトの周縁部の重心座標および電極部の重
心座標を測定し、各重心座標の距離を測定するこ
とによりペレツト外観の良否判定を行つているた
め、ペレツトの位置ずれ及び角度ずれに無関係に
正確に判定でき、基準パターンが不要であるとい
う効果がある。
第１図は本発明の第１の実施例のブロツク図、
第２図ａ〜ｃは第１図の回路の動作を説明するた
めのそれぞれ正常、電極部欠け及び周縁部欠けの
状態に対応する被測定ダイオードペレツトの２値
化信号の画像図、第３図は本発明の第２の実施例
のブロツク図、第４図は従来のペレツト外観検査
装置の一例のブロツク図、第５図は第４図の回路
の動作を説明するための電極部欠け及び周縁部欠
けの状態に対応する被測定ダイオードペレツトの
比較器入力画像図である。 １……TVカメラ、２……２値化回路、３……
反転器、４……重心測定回路、５……第２の重心
測定回路、６……CPU、S2……２値化信号、2
……反転２値化信号、Si……画像信号、S0……判
定出力信号、l1，l2……重心座標間距離。
第２図ａ〜ｃは第１図の回路の動作を説明するた
めのそれぞれ正常、電極部欠け及び周縁部欠けの
状態に対応する被測定ダイオードペレツトの２値
化信号の画像図、第３図は本発明の第２の実施例
のブロツク図、第４図は従来のペレツト外観検査
装置の一例のブロツク図、第５図は第４図の回路
の動作を説明するための電極部欠け及び周縁部欠
けの状態に対応する被測定ダイオードペレツトの
比較器入力画像図である。 １……TVカメラ、２……２値化回路、３……
反転器、４……重心測定回路、５……第２の重心
測定回路、６……CPU、S2……２値化信号、2
……反転２値化信号、Si……画像信号、S0……判
定出力信号、l1，l2……重心座標間距離。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ (A) 被測定半導体ペレツトの複数の領域の画
像信号を出力する撮像器、 (B) 入力端が前記画像信号を入力し、出力端が該
画像信号の２値化信号を出力する２値化回路、 (C) 入力端が前記２値化信号を入力し、出力端が
該２値化信号に対応する反転２値化信号を出力
する反転器、 (D) 入力端が前記２値化信号を入力して該２値化
信号の一方の領域の重心座標を測定し、さらに
前記反転２値化信号を入力して前記２値化信号
の他方の領域の重心座標を測定しそれぞれの出
力を出力端に供給する重心測定器、 (E) 前記一方および他方の領域の重心座標信号を
入力し、前記二つの重心座標間の距離を計算し
てその値が所定の値以上の場合に不良の判定出
力力信号を出力端に供給する演算回路、 を含むことを特徴とするペレツト外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62215599A JPS6457728A (en) | 1987-08-28 | 1987-08-28 | Visual inspection device for pellet |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62215599A JPS6457728A (en) | 1987-08-28 | 1987-08-28 | Visual inspection device for pellet |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6457728A JPS6457728A (en) | 1989-03-06 |
| JPH0524669B2 true JPH0524669B2 (ja) | 1993-04-08 |
Family
ID=16675098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62215599A Granted JPS6457728A (en) | 1987-08-28 | 1987-08-28 | Visual inspection device for pellet |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6457728A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4029429A1 (de) * | 1990-09-17 | 1992-03-19 | Schloemann Siemag Ag | Vorrichtung zum wechseln der presswerkzeuge einer stauchpresse |
| US5659828A (en) * | 1993-12-30 | 1997-08-19 | Olympus Optical Co., Ltd. | Camera |
| US5570604A (en) * | 1995-01-03 | 1996-11-05 | Rapindex Incorporated | Die transfer system with indexing conveyor supported on a wheeled cart |
-
1987
- 1987-08-28 JP JP62215599A patent/JPS6457728A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6457728A (en) | 1989-03-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0524669B2 (ja) | ||
| JP4084969B2 (ja) | パターン検査装置及びパターン検査方法 | |
| JPS62233746A (ja) | チツプ搭載基板チエツカ | |
| JPH02230381A (ja) | ワーク検査装置 | |
| JPH033941B2 (ja) | ||
| JPH02253110A (ja) | 線状物体の形状検査装置 | |
| JPH05281151A (ja) | ウエハパターン検査装置 | |
| JP2601232B2 (ja) | Ｉｃリードずれ検査装置 | |
| JPS63132106A (ja) | 部品の検出装置 | |
| JPS63135849A (ja) | 基板検査システム | |
| JPH0949862A (ja) | プロービング位置検出方法及びプロービング位置補正方法及び電子回路検査方法 | |
| JPH0268678A (ja) | 外観検査装置 | |
| JP2545570B2 (ja) | 画像処理による接続線の傾斜検査方法 | |
| JPH0133870B2 (ja) | ||
| JPH0350311B2 (ja) | ||
| JP3029634B2 (ja) | プリント配線基板の検査装置 | |
| JPS61194305A (ja) | 形状検査装置 | |
| JPH0642935A (ja) | 電子部品の外観検査装置 | |
| JPH01263774A (ja) | 画像処理による欠け検査方法 | |
| JP3866966B2 (ja) | 繰り返し構造を有する物体の位置測定方法 | |
| JPS605409Y2 (ja) | 傷認識装置 | |
| JPH0727534A (ja) | プリント配線基板の検査装置 | |
| JPH0683943A (ja) | 印字検査装置 | |
| JPH07128026A (ja) | パターン検査装置 | |
| JPS5942904B2 (ja) | パタ−ン欠陥検出方式 |