JPH05249670A - 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 難燃性現像液で現像でき、かつ解像度、耐無
電解銅めっき液性、はんだ耐熱性及び表面光沢性に優れ
た、部分アディティブ法に好適な感光性樹脂組成物及び
これを用いた感光性エレメントを提供する。 【構成】 （ａ）ノボラック型エポキシ樹脂と不飽和カ
ルボン酸とを反応させて得られる不飽和化合物の二級水
酸基に、イソシアナートエチルメタクリレートを反応さ
せて得られる光重合性不飽和化合物、（ｂ）２−ベンジ
ル−２−ジメチルアミノ−（４−モルホリノフェニル）
−１−ブタン−１−オン、（ｃ）微粒状充填剤、（ｄ）
アミンアクリレート及び（ｅ）加熱硬化剤を含有してな
る感光性樹脂組成物並びに該組成物の層と該層を支持す
る支持体フィルムを有する感光性エレメントである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、感光性樹脂組成物及び
これを用いた感光性エレメントに関する。

【０００２】

【従来の技術】印刷配線板の製造、金属の精密加工など
の分野において、レジスト材料として感光性樹脂組成物
を使用することが知られている。

【０００３】印刷配線板の製造は、例えば、銅張り積層
板にドリル等で穴を空けた後、無電解銅めっきで基板穴
壁に導電性を付与し、次いで電気銅めっきを行い、エッ
チング法で回路を形成する。回路形成法には、テンティ
ング法とはんだスルーホール法とがあり、この製造法は
サブトラクティブ法と言われている。

【０００４】さらに、接着剤付き積層板を表裏平面回路
とスルーホールを同時に無電解銅めっきだけで導体化す
るフルアディティブ法と、銅張り積層板の表裏平面回路
部をサブトラクティブ法と同様にエッチングで形成し、
スルーホール部分のみを無電解銅めっきで導体化する部
分アディティブ法も知られている。

【０００５】このアディティブ法は、サブトラクティブ
法に比較して工程が少なく、省資源で低コスト化が可
能である、パンチ穴スルーホールのめっきが良好であ
る、小径やブラインドスルーホールのめっきまわりが
良好である、導体幅精度が良く、高密度微細配線に適
する、配線板表面の平滑性が良く、凹み配線が可能で
ある等の利点を有する。このような利点を有するアディ
ティブ法のうち、部分アディティブ法に用いられるレジ
ストには、従来、エポキシ樹脂、アミノプラスト樹脂等
の熱硬化性樹脂を主成分とするものが用いられている
が、これらは寸法精度に劣るため、写真法で像を形成し
うる感光性樹脂組成物が提案されている。

【０００６】例えば、特開昭５３−５６０１８号公報、
特開昭５４−１０１８号公報等には、アクリル系ポリマ
ー及び光重合性モノマーを主成分とする感光性樹脂組成
物が開示されている。この感光性樹脂組成物は、難燃性
の１，１，１−トリクロルエタンで現像可能であるが、
耐無電解銅めっき液性及びはんだ耐熱性が不充分であ
る。

【０００７】また、特開昭５２−３７９９６号公報、特
開昭５８−６２６３６号公報などには、光反応性が付与
されたエポキシ樹脂及びエポキシ樹脂硬化剤を主成分と
する感光性樹脂組成物が開示されている。この組成物
は、硬化皮膜のはんだ耐熱性には優れているが、１，
１，１−トリクロルエタン等の難燃性有機溶剤に不溶の
ため、現像液にシクロヘキサノン等の可燃性有機溶剤を
使用する必要があり、安全上好ましくない。

【０００８】また、特公平１−５４３９０号公報などに
は、光反応性が付与されたエポキシ樹脂を酸無水物で変
性したエポキシ化合物を主成分とするレジストインキ組
成物が開示されている。この場合には、難燃性１，１，
１−トリクロルエタンより環境破壊の少ない希アルカリ
水溶液を現像液に用い、硬化皮膜のはんだ耐熱性に優れ
ているものの、無電解銅めっき液に全く耐性がないとい
う問題点があった。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記従来技
術の問題点を解消し、１，１，１−トリクロルエタン等
の難燃性現像液で現像でき、かつ解像度、耐無電解銅め
っき液性、はんだ耐熱性及び表面光沢性に優れた、部分
アディティブ法に好適な感光性樹脂組成物（ソルダーレ
ジスト）及びこれを用いた感光性エレメントを提供する
ことを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、（ａ）ノボラ
ック型エポキシ樹脂と不飽和カルボン酸とをカルボキシ
ル基当量／エポキシ基当量比を０．１〜０．９８の範囲
として付加反応させて得られる不飽和化合物の二級水酸
基に、イソシアナートエチルメタクリレートをイソシア
ナート当量／水酸基当量比を０．１〜１．２の範囲とし
て反応させて得られる光重合性不飽和化合物、（ｂ）２
−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリ
ノフェニル）−１−ブタン−１−オン、（ｃ）微粒状充
填剤、（ｄ）アミンアクリレート及び（ｅ）加熱硬化剤
を含有してなる感光性樹脂組成物並びに該組成物の層と
該層を支持する支持体フィルムを有する感光性エレメン
トに関する。

【００１１】本発明の感光性樹脂組成物は、必須成分
（ａ）として、ノボラック型エポキシ樹脂と不飽和カル
ボン酸とを、カルボキシル基当量／エポキシ基当量比を
０．１〜０．９８の範囲として付加反応させて得られる
不飽和化合物の二級水酸基に、イソシアナートエチルメ
タクリレートをイソシアナート当量／水酸基当量比を
０．１〜１．２の範囲として反応させて得られる光重合
性不飽和化合物を含有する。

【００１２】ノボラック型エポキシ樹脂には、一般的に
オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂とフェノー
ルノボラック型エポキシ樹脂とがあり、オルソクレゾー
ルノボラック型エポキシ樹脂としては、例えば、チバ・
ガイギー社製のアラルダイトＥＣＮ１２９９、ＥＣＮ１
２８０、ＥＣＮ１２７３、日本化薬（株）製のＥＯＣＮ
１０１、ＥＯＣＮ１０２、ＥＯＣＮ１０３、ＥＯＣＮ１
０４等が挙げられる。

【００１３】フェノールノボラック型エポキシ樹脂とし
ては、例えば、シェル社製のエピコート１５２、エピコ
ート１５４、ダウケミカル社製のＤＥＮ４３１、ＤＥＮ
４３８などが挙げられる。また、必要に応じて、ハロゲ
ン化フェノールノボラック型エポキシ樹脂を用いてもよ
く、例えば、日本化薬（株）製のＢＲＥＮ等の臭素化フ
ェノールノボラック型エポキシ樹脂等が挙げられる。

【００１４】また、前記ノボラック型エポキシ樹脂と反
応させる不飽和カルボン酸としては、例えば、アクリル
酸、メタクリル酸、β−フリルアクリル酸、β−スチリ
ルアクリル酸、α−シアノ桂皮酸、桂皮酸等が用いられ
る。

【００１５】本発明において、これらのノボラック型エ
ポキシ樹脂と不飽和カルボン酸との付加反応は、カルボ
キシル基当量／エポキシ基当量比を０．１〜０．９８の
範囲として常法で行われる。カルボキシル基当量／エポ
キシ基当量比が０．１未満であると、イメージ露光後の
現像処理により、光硬化皮膜が膨潤する。また、カルボ
キシル基当量／エポキシ基当量比が０．９８を超える
と、密着性が低下する。

【００１６】ノボラック型エポキシ樹脂と不飽和カルボ
ン酸との付加反応物は、例えば、前記ノボラック型エポ
キシ樹脂をメチルエチルケトン、メチルセロソルブアセ
テート、エチルセロソルブアセテート、シクロヘキサノ
ン等の不活性有機溶剤に溶解し、触媒として、例えば、
トリエチルアミン、トリ−ｎ−ブチルアミン、ジエチル
シクロヘキシルアミン等の三級アミン、塩化ベンジルト
リメチルアンモニウム、塩化ベンジルトリエチルアンモ
ニウム、塩化ベンジルジメチルドデシルアンモニウム等
の四級アンモニウム塩などを、また、重合禁止剤とし
て、例えば、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール
などを用い、７０〜１１０℃で前記不飽和カルボン酸と
上記の当量比の範囲で攪拌し、反応させることにより得
ることができる。

【００１７】得られた不飽和化合物の二級水酸基に対す
るイソシアナートエチルメタクリレートの反応は、常法
によりイソシアナート当量／水酸基当量比を０．１〜
１．２の範囲として行う。イソシアナート当量／水酸基
当量比が０．１未満の場合には、１，１，１−トリクロ
ルエタン等による現像が困難となり、また、光硬化性が
低下する。イソシアナート当量／水酸基当量比が１．２
を超える場合には、反応時にゲル化しやすくなる。反応
後、メタノール、エタノール、２−ヒドロキシエチルメ
タクリレート等の一級アルコールを用いて、残存するイ
ソシアナートエチルメタクリレートをウレタン化し、失
活させることが安全上好ましい。イソシアナートエチル
メタクリレートとしては、例えば、昭和電工社製のもの
を用いることができる。

【００１８】本発明において、特に好ましい光重合性不
飽和化合物としては、オルソクレゾールノボラック型エ
ポキシ樹脂／アクリル酸／イソシアナートエチルメタク
リレート系反応物（カルボキシル基当量／エポキシ基当
量比０．１〜０．９８、イソシアナート当量／水酸基当
量比０．１〜１．２）、オルソクレゾールノボラック型
エポキシ樹脂／メタクリル酸／イソシアナートエチルメ
タクリレート系反応物（カルボキシル基当量／エポキシ
基当量比０．１〜０．９８、イソシアナート当量／水酸
基当量比０．１〜１．２）等が挙げられる。

【００１９】次に、本発明の感光性樹脂組成物は、必須
成分（ｂ）として、式（Ｉ）

【化１】 で表される２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−
（４−モルホリノフェニル）−１−ブタン−１−オンを
光重合開始剤として含有する。２−ベンジル−２−ジメ
チルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−１−ブ
タン−１−オンは、例えば、チバ・ガイギー社から IRG
ACURE ３６９の商品名で市販されている。

【００２０】本発明の感光性樹脂組成物においては、光
重合開始剤として上記（ｂ）成分を単独で用いてもよい
が、他の増感剤を併用することができる。他の増感剤と
しては、例えば、２−エチルアントラキノン、２−ｔ−
ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、
１，２−ベンズアントラキノン、２，３−ジフェニルア
ントラキノン等の置換又は非置換の多核キノン類、ジア
セチルベンジル等のケトアルドニル化合物、ベンゾイ
ン、ピロン等のα−ケトアルドニルアルコール類及びエ
ーテル類、α−フェニル−ベンゾイン、α，α−ジエト
キシアセトフェノン等のα−炭化水素置換芳香族アシロ
イン類、ベンゾフェノン、４，４’−ビスジアルキルア
ミノベンゾフェノン等の芳香族ケトン類、２−メチルチ
オキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２−
クロルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサント
ン、２−エチルチオキサントン等のチオキサントン類な
どが挙げられ、これらのうち１種又は２種以上を用いる
ことができる。

【００２１】また、それ自体では光開始性はないが、前
記物質と組み合わせて用いることにより、全体として光
開始性能のより良好な増感剤系となるような添加剤、例
えば、ベンゾフェノンに対するトリエタノールアミン等
の三級アミン、チオキサントン類に対するジメチルアミ
ノ安息香酸イソアミル、Ｎ−メチルジエタノールアミ
ン、ビスエチルアミノベンゾフェノンなどを用いること
もできる。

【００２２】本発明の感光性樹脂組成物は、必須成分
（ｃ）として微粒状充填剤を含有する。微粒状充填剤と
しては、例えば、タルク、シリカ、酸化チタン、クレ
イ、炭酸カルシウム、含水珪酸、水酸化アルミニウム、
アルミナ、硫酸バリウム、三酸化アンチモン、炭酸マグ
ネシウム、マイカ粉、珪酸アルミニウム、珪酸マグネシ
ウム等が用いられる。

【００２３】使用する微粒状充填剤の粒径は、解像度、
硬化皮膜の密着性等の低下防止の点から、０．０１〜１
０μｍであることが好ましく、０．０１〜1.５μｍであ
ることがより好ましい。微粒状充填剤は、感光性樹脂組
成物中に均一に分散されていることが好ましい。

【００２４】また、充填剤と前記光重合性不飽和化合物
との間の接着力を増すために、充填剤の表面を水酸基、
アミノ基、エポキシ基、ビニル基等の官能基を有するシ
ランカップリング剤で処理することもできる。シラカン
カップリング剤としては、例えば、γ−アミノプロピル
トリエトキシシラン、β−アミノエチル−γ−アミノプ
ロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドオキシプロピ
ルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルト
リメトキシシラン等が挙げられる。

【００２５】本発明の感光性樹脂組成物は、さらに、必
須成分（ｄ）としてアミンアクリレートを含有する。こ
こで、アミンアクリレートとしては、例えば、式（II）

【化２】 〔式中、ＥＳはエステル結合を示し、〜は炭化水素連鎖
を示す〕で表される三級アミンを含有するアクリレート
オリゴマーが挙げられ、このものは、東都化成社からト
ーラッド７１００（分子量約８００）の商品名で入手す
ることができる。

【００２６】本発明の感光性樹脂組成物には、他の光重
合性化合物を併用することもできる。他の光重合性化合
物としては、例えば、トリメチロールプロパントリアク
リレート、ペンタエリトリットトリアクリレート、トリ
メチルヘキサメチレンジイソシアナート／２−ヒドロキ
シエチルアクリレート（１／２モル比）反応物等が挙げ
られる。

【００２７】また、本発明の感光性樹脂組成物は、必須
成分（ｅ）として加熱硬化剤を含有する。加熱硬化剤と
しては、例えば、ジシアンジアミド、三フッ化ホウ素モ
ノエチルアミンコンプレックス、２−メチルイミダゾー
ル、２−ヘプタデシルイミダゾール、１−ベンジル−２
−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−フェニ
ルイミダゾール、１−シアノエチル−２−メチルイミダ
ゾール、１−シアノエチル−２−ウンデシルイミダゾー
ルトリメリテート、２，４−ジアミノ−６−〔２’−メ
チル−イミダゾリル−（１)'〕−エチル−１，３，５−
トリアジン、２，４−ジアミノ−６−〔２’−エチル−
４’−メチルイミダゾリル−（１)'〕−エチル−１，
３，５−トリアジン、２，４−ジアミノ−６−〔２’−
ウンデシル−イミダゾリル−（１)'〕−エチル−１，
３，５−トリアジン等の潜在的硬化剤が好ましい。

【００２８】本発明の感光性樹脂組成物は、（ａ）成分
である光重合性不飽和化合物１００重量部に対して、
（ｂ）成分を２〜１５重量部、（ｃ）成分を２０〜１０
０重量部、（ｄ）成分を１〜１０重量部及び（ｅ）成分
を１〜１０重量部の範囲で含有することが好ましい。

【００２９】本発明においては、（ａ）、（ｃ）、
（ｄ）及び（ｅ）成分は、２種以上併用してもよい。
（ｂ）成分が２重量部未満であると、光硬化性が劣る傾
向があり、１５重量部を超えると、表面の硬化が速すぎ
て内部が硬化しにくくなる。また、（ｃ）成分が２０重
量部未満であると、硬化収縮の際の残留歪みが大きくて
クラック、はがれなどを生じやすく、１００重量部を超
えると、現像後、その粒子が表面に露出しやすくなり、
光沢が劣る傾向がある。また、（ｄ）成分が１重量部未
満であると、めっき性が劣る傾向があり、１０重量部を
超えると、露光時にネガが付着しやすくなり、ネガの汚
染や寿命を短縮しやすくなる。（ｅ）成分は、エポキシ
基の反応性及び現像性の点から１〜１０重量部の範囲と
されることが好ましい。

【００３０】上記のような（ａ）〜（ｅ）成分の混合順
序、混合法等については特に制限はない。なお、本発明
の感光性樹脂組成物には、他の副次的成分、例えば、高
分子結合剤、熱重合防止剤、染料、顔料、塗工性向上
剤、消泡剤、難燃剤、密着性付与剤等を必要に応じて添
加することができる。

【００３１】本発明の感光性樹脂組成物は、ディップコ
ート法、フローコート法、スクリーン印刷法、スプレー
コート法等の常法により加工保護すべき基板上に直接塗
工し、厚さ１０〜１５０μｍの感光層を容易に形成する
ことができる。その際、必要に応じて組成物を溶剤に溶
解させて塗工を行うこともできる。溶剤としては、例え
ば、メチルエチルケトン、メチルセロソルブアセテー
ト、エチルセロソルブアセテート、シクロヘキサノン、
メチルセロソルブ、塩化メチレン、１，１，１−トリク
ロルエタン等が挙げられる。

【００３２】次に、本発明の感光性エレメントについて
詳細に説明する。本発明の感光性エレメントは、支持体
フィルム上に前記感光性樹脂組成物の層を積層すること
により得られる。支持体フィルム上への感光性樹脂組成
物層の形成は、常法により行なうことができる。例え
ば、感光性樹脂組成物をメチルエチルケトン、トルエ
ン、塩化メチレン等の有機溶剤に均一に溶解させ、この
溶液を該支持体フィルム上にナイフコート法、ロールコ
ート法、スプレーコート法、スピンコート法等で塗布
し、乾燥することにより行なわれる。感光層中の残存溶
剤量は、特性保持のために２重量％以下に抑えることが
好ましい。

【００３３】本発明に用いられる支持体フィルムは、感
光性エレメントの製造時に必要な耐熱性、耐溶剤性を有
していることが好ましい。また、支持体フィルムは、活
性光に対して透明であっても不透明であってもよい。使
用しうる支持体フィルムの例として、ポリエステルフィ
ルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィル
ム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム
等、公知のフィルムを挙げることができる。

【００３４】長尺の感光性エレメントを製造する場合に
は、製造の最終段階で該エレメントをロール状に巻き取
る。この場合、感圧性粘着テープ等で公知の方法を用
い、背面処理した支持体フィルムを用いることにより、
ロール状に巻き取ったときの感光性樹脂組成物の層の支
持体フィルム背面への転着を防ぐことができる。同じ目
的、さらに塵の付着を防ぐ目的で、該エレメントの感光
性樹脂組成物の層の上に剥離可能なカバーフィルムを積
層することが好ましい。

【００３５】剥離可能なカバーフィルムの具体例として
は、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、
テフロンフィルム、表面処理した紙などがあり、カバー
フィルムを剥離するときに感光性樹脂組成物の層と支持
体フィルムとの接着力よりも感光性樹脂組成物の層とカ
バーフィルムとの接着力がより小さいものであればよ
い。

【００３６】本発明の感光性エレメントを用いて基板上
へ感光層を容易に積層することができる。すなわち、カ
バーフィルムのない場合はそのまま、カバーフィルムの
ある場合はカバーフィルムを剥離して又は剥離しなが
ら、加熱、加圧積層する。加熱、加圧積層は、周知の常
圧ラミネータを用いて行なうことができる。基板が、導
体配線ラインの形成された印刷配線板等のように１０μ
ｍ以上の凹凸のあるものの場合には、空気の巻き込みを
防ぐため、２００mmHg以下の真空下で積層することが好
ましい。このための装置としては、特公昭５５−１３３
４１号公報に記載されている積層装置などがある。

【００３７】積層後の露光及び現像処理は、常法により
行うことができる。すなわち、支持体フィルムが活性光
に不透明である場合は、支持体フィルムを剥離した後、
高圧水銀灯、超高圧水銀灯等の光源を用い、感光性樹脂
組成物の層上に直接又はポリエチレンテレフタレートフ
ィルム等の透明フィルムを介し、ネガマスクを通して像
的に露光する。露光後、透明フィルムが残っている場合
には、これを剥離した後、現像する。

【００３８】現像液としては、例えば、１，１，１−ト
リクロルエタン等のハロゲン化炭化水素が用いられる。
また、１，１，１−トリクロルエタンを主成分とする洗
浄剤、例えば、スリーワンＥＸ（東亜合成化学社製）を
使用することもできる。

【００３９】上記の方法で得られた像的な保護皮膜は、
通常のエッチング、めっき等のための耐蝕膜としての特
性を有するが、現像後に活性光の露光及び８０〜２００
℃の加熱処理を行うことにより、無電解銅めっき性に優
れた耐性を示す保護膜が得られる。

【００４０】

【実施例】次に、実施例により本発明をさらに具体的に
説明するが、本発明はこれによって制限されるものでは
ない。なお、実施例及び比較例中の「部」は、特に断ら
ない限り、「重量部」を意味する。

【００４１】実施例１ （ａ）光重合性不飽和化合物の合成 Ａ．オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂 （商品名ＥＯＣＮ−１０２、エポキシ当量２３０） １０９５部 エチルセロソルブアセテート ８００部 Ｂ．アクリル酸 ６９部 塩化ベンジルトリメチルアンモニウム塩 ７部 ｐ−メトキシフェノール ３部 エチルセロソルブアセテート １００部 Ｃ．イソシアナートエチルメタクリレート １６３部 ジブチルチンジラウレート ０．５部 エチルセロソルブアセテート １００部 Ｄ．メタノール １０部

【００４２】温度計、攪拌装置、冷却管及び滴下器の付
いた加熱及び冷却可能な５リットルの反応器に、前記Ａ
を加え、攪拌しながら６０℃に昇温し、均一に溶解させ
た。反応温度を６０℃に保ちながら、これに約１時間か
けてＢを滴下した。Ｂの滴下後、２時間かけて８０℃に
昇温し、８０℃で約１５時間攪拌を続け、反応系の酸価
を１以下にした。

【００４３】次いで、温度を６０℃に下げ、反応温度を
６０℃に保ちながら、約３時間かけて均一にＣを滴下し
た。Ｃの滴下後、約５時間かけて徐々に反応温度を８０
℃まで昇温した後、温度を６０℃に下げ、Ｄを加え、約
１時間攪拌を続けた。こうして不揮発分５７重量％のオ
ルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂／アクリル酸
／イソシアナートエチルメタクリレート（カルボキシル
基当量／エポキシ当量比＝0.２、イソシアナート当量／
水酸基当量比＝1.１）系光重合性不飽和化合物の溶液を
得た。

【００４４】（ｂ）感光性樹脂組成物の調製 （ａ）で得られた光重合性不飽和化合物の溶液１７５部
（不揮発分１００部）に２−ベンジル−２−ジメチルア
ミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−１−ブタン−
１−オン（チバガイギー社製 IRGACURE ３６９）１０
部、ミクロエースＰ−４（日本タルク社製、超微粒子タ
ルク、平均粒径 １．５μｍ）７部、クリスタライト５
Ｖ（龍森社製、超微粒子シリカ、平均粒径５μｍ）３６
部、トーラッド７１００（東都化成社製アミンアクリレ
ート、分子量８００）５部、フタロシアニングリーン0.
１部、２−メチルイミダゾール３部及びモダフロー（三
菱モンサント社製ポリメタクリレート系レベリング剤）
０．１部を配合し、３本ロールで混合分散させて、感光
性樹脂組成物の溶液を調製した。

【００４５】（ｃ）硬化被膜の形成 （ｂ）で得られた感光性樹脂組成物の溶液をＩＰＣ基板
（銅厚３５μｍ）上にスクリーン印刷機を用いて塗布
し、室温で２０分、８０℃で２０分間乾燥させ、厚さ６
０μｍの感光層を形成した。次いで、ネガマスクを通し
てオーク製作所製メタルハライド系露光機ＨＭＷ−６８
０ＧＷ（７kW）を用い、９００mJ／cm² で露光した。露
光後、８０℃で５分間加熱し、常温で３０分間放置した
後、１，１，１−トリクロルエタンを用いて２０℃で６
０秒間スプレー現像した。次いで、１５０℃で６０分間
加熱してネガマスクに対応する寸法精度の優れた硬化被
膜が得られた。

【００４６】得られた硬化被膜を下記の組成を有し、７
２℃に加熱した無電解めっき浴に浸漬し、１０時間後め
っき浴から取り出し、水洗、乾燥後、評価した。 成分 配合量 硫酸銅（II）・５水和物 １０ｇ エチレンジアミン四酢酸二ナトリウム ３０ｇ ポリエチレングリコール（分子量６００） ２０ml ２，２−ジピリジル ３０mg ホルマリン ３ml 水酸化ナトリウム（pH調整用） １０ｇ（pH＝１２．２）

【００４７】ＩＰＣ銅上に１０μｍの銅が析出し、硬化
被膜をセロファンテープで剥離試験したところ、被膜に
はがれが全く認められなかった。また、めっき後、ロジ
ン系フラックスＡ−２２６（タムラ化研社製）を用いて
２６０℃で１０秒間を３サイクル実施した結果、クラッ
クの発生、被膜のはがれが認められなかった。

【００４８】実施例２ 実施例１（ａ）で得られた光重合性不飽和化合物の溶液
１７５部（不揮発分、１００部）に２−ベンジル−２−
ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−１
−ブタン−１−オン５部、２−メチルチオキサントン１
部、クリスタライト５Ｖ２０部、硫酸バリウム１０部、
トーラッド７１００（東都化成社製アミンアクリレー
ト、分子量８００）３部、ホスマーＭ（油脂製品社製リ
ン酸エステル）とベンゾトリアゾールとの等モル塩０．
１部、ビクトリアピュアブルー０．０２部及び２−メチ
ルイミダゾール２部を３本ロールで混合分散させて、感
光性樹脂組成物の溶液を得た。

【００４９】以下、実施例１（ｃ）と同様にして、表面
光沢を有し、耐めっき性に優れた硬化被膜を得た。

【００５０】実施例３ （ａ）光重合性不飽和化合物の合成 Ａ．オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂 （東都化成社製ＹＤＰＮ−６３８、エポキシ当量１８０） ８５７部 エチルセロソルブアセテート ６００部 Ｂ．桂皮酸 １７６部 アクリル酸 ８６部 塩化ベンジルトリメチルアンモニウム塩 ７部 ｐ−メトキシフェノール ３部 エチルセロソルブアセテート １００部 Ｃ．イソシアナートエチルメタクリレート ３６９部 ジブチルチンジラウレート ０．１部 エチルセロソルブアセテート １００部 Ｄ．メタノール １０部

【００５１】上記Ａ〜Ｄを用い、その他は実施例１
（ａ）と同様にして、不揮発分６５重量％のオルソクレ
ゾールノボラック型エポキシ樹脂／桂皮酸／アクリル酸
／イソシアナートエチルメタクリレート（カルボキシル
基当量／エポキシ当量比＝０．５、イソシアナート当量
／水酸基当量比＝１）系光重合性不飽和化合物の溶液を
得た。

【００５２】（ｂ）感光性樹脂組成物の調製 （ａ）で得られた光重合性不飽和化合物の溶液１５４部
（不揮発分１００部）に２−ベンジル−２−ジメチルア
ミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−１−ブタン−
１−オン１０部、ジメチルアミノ安息香酸エチル１部、
クリスタライト２１０１─４１（龍森社製γ−グリシド
キシプロピルトリメトキシシラン処理超微粒子シリカ、
平均粒径１μｍ）５０部、トーラッド７１００の５部、
フタロシアニングリーン０．１部、ジシアンジアミド２
部、２−メチルイミダゾール１部及びメチルセロソルブ
５部を３本ロールで混合分散させて、感光性樹脂組成物
の溶液を調製した。

【００５３】以下、実施例１（ｃ）と同様にして、表面
光沢を有し、耐めっき性に優れた硬化被膜を得た。

【００５４】比較例１ 実施例１（ａ）で得た光重合性不飽和化合物の溶液１７
５部にベンゾフェノンを１０部、ミクロエースＰ−４を
７部、クリスタライト５Ｖを３６部、トーラッド７１０
０を５部、フタロシアニングリーンを０．１部、２−メ
チルイミダゾールを３部、モダフローを０．１部配合
し、３本ロールで混合分散させ、以後は実施例１（ｃ）
と同様にして得られた硬化被膜は、表面光沢もなく、耐
めっき性に劣っていた。

【００５５】比較例２ 実施例１（ｂ）の感光性樹脂組成物の溶液からトーラッ
ド７１００を除いて、３本ロールで混合分散させ、以後
は実施例１（ｃ）と同様にして得られた硬化被膜は、外
観上は耐めっき性を有していたが、セロファンテープで
の剥離試験で硬化被膜が剥離した。

【００５６】比較例３ 実施例３（ａ）で得られた光重合性不飽和化合物の溶液
１５４部に２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−
（４−モルホリノフェニル）−１−ブタン−１−オンを
１０部、ジメチルアミノ安息香酸エチルを１部、トーラ
ッド７１００を５部、２−メチルイミダゾールを１部、
メチルセロソルブを５部混合溶解させて、感光性樹脂組
成物の溶液を調製した。

【００５７】以後は実施例１（ｃ）と同様にして得られ
た硬化被膜は、表面光沢を有していたが、耐めっき性に
劣っていた。

【００５８】

【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物あるいは感光
性エレメントを用いれば、無電解銅めっき性に優れ、さ
らにはんだ耐熱性にも優れた硬化被膜が得られ、エッチ
ング、メッキ等の耐蝕膜として使用することができる。
また、本発明の感光性樹脂組成物あるいは感光性エレメ
ントを用いれば、１，１，１−トリクロルエタン等の難
燃性現像液により現像でき、解像度、耐熱性及び表面光
沢性に優れたソルダマスクを形成することができ、しか
も写真法により厚膜のソルダマスク等を形成することも
できる。

【００５９】さらに、本発明の感光性樹脂組成物あるい
は感光性エレメントを用いて形成される被膜は、優れた
化学的、物理的特性を有するので、多層印刷配線板の層
間絶縁層、感光性接着剤、塗料、プラスチックレリー
フ、印刷版材料、金属精密加工材料などにも使用するこ
とができる。また、この被膜は、トリクレン、メチルエ
チルケトン、イソプロピルアルコール、トルエン等の有
機溶剤に充分に耐え、酸性水溶液又はアルカリ水溶液に
も耐える等の効果を有する。

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０３Ｆ 7/038 ５０１ Ｈ０１Ｌ 21/027 Ｈ０５Ｋ 3/28 Ｄ 7511−4Ｅ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （ａ）ノボラック型エポキシ樹脂と不飽
   和カルボン酸とをカルボキシル基当量／エポキシ基当量
   比を０．１〜０．９８の範囲として付加反応させて得ら
   れる不飽和化合物の二級水酸基に、イソシアナートエチ
   ルメタクリレートをイソシアナート当量／水酸基当量比
   を０．１〜１．２の範囲として反応させて得られる光重
   合性不飽和化合物、（ｂ）２−ベンジル−２−ジメチル
   アミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−１−ブタン
   −１−オン、（ｃ）微粒状充填剤、（ｄ）アミンアクリ
   レート及び（ｅ）加熱硬化剤を含有してなる感光性樹脂
   組成物。
2. 【請求項２】 （ａ）成分１００重量部に対して、
   （ｂ）成分２〜１５重量部、（ｃ）成分２０〜１００重
   量部、（ｄ）成分１〜１０重量部及び（ｅ）成分１〜１
   ０重量部を含有してなる請求項１記載の感光性樹脂組成
   物。
3. 【請求項３】 請求項１又は２記載の感光性樹脂組成物
   の層と該層を支持する支持体フィルムを有する感光性エ
   レメント。
4. 【請求項４】 剥離可能なカバーフィルムを感光性樹脂
   組成物の層上にさらに積層してなる請求項３記載の感光
   性エレメント。