JPS61264341A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は感光性樹脂組成物に関し、更に詳しくは印刷配
線板製造、金属精密加工等に使用し得る保護膜形成用の
感光性樹脂組成物に関する。

（従来の技術） 従来、印刷配線板業界において、ソルダマスク。

化学めっき用レジスト等に使用可能な優れた特性を有す
る感光性樹脂組成物が知られている。ソルダマスクの主
な目的は、はんだ付は時のはんだ付は領域を限定し、は
んだブリッジ等を防ぐこと。

裸の銅導体の腐食を防止すること、および長期にわたっ
て導体間の電気絶縁性を保持することである。通常ソル
ダマスクとしては、エポキシ樹脂。

アミノプラスト樹脂等の熱硬化性樹脂を主成分とするも
ので（印刷マスク）が用いられる。

しかし、近年、印刷配線板の配線密度が高まり。

また導体間の電気絶縁性の要求も厳しくなシ、それに用
いるソルダマスクも厚膜で寸法精度の優れたものが要求
されるようになｐ、スクリーン印刷方式のものでは対処
できなくなっている。

そこで写真法（像状露光に続く現像により画像を形成）
で薄膜（通常導体上１５μｍが望まれている）で、かつ
寸法精度の優れた高信頼性のソルダマスクを形成する感
光性樹脂組成物の出現が望まれている。

従来、ソルダマスク形成用感光性樹脂組成物としては、
（１）アクリル系ポリマおよび光重合性モノマを主成分
とする感光性樹脂組成物（特開昭５３−５６０１８号公
報、特開昭５４−１０１８号公報等）、（２１光反応性
が付与されたエポキシ樹脂およびエポキシ樹脂硬化剤を
主成分とする感光性樹脂組成物（特開昭５２−３７９９
６号公報、特開昭５８−６２６３６号公報等）等が知ら
れている。

しかしながら前記ｔ１）の感光性樹脂組成物は２通常の
エツチングおよびめっき用フィルム状感光材料（例えば
デュポン社製、商品名リストン、日立化成工業■製、商
品名フオテツク等）に使用されている難燃性の１．１．
１−　）　’Ｊジクロルタンで現像可能であシ、高解像
度のソルダマスクを形成することはできるが、このよう
な感光性樹脂組成物はフィルム性付与のためアクリル系
ポリマを多量に使用しているため、硬化被膜の耐熱性が
充分でないという欠点がある。

一方、前記（２）の感光性樹脂組成物は、エポキシ樹脂
をベースとしておシ、硬化被膜の耐熱性には優れている
がｅ　　ｌ＋Ｌ１−トリクロルエタン等の難燃性有機解
剖に不溶性であるため、現像液として。

シクロヘキサノン等の可燃性有機溶剤を使用する必要が
あシ、安全上好ましくないという欠点がある。

（発明が解決しようとする問題点） 本発明の目的は、前記従来技術の欠点を除去し１、１．
１−　トリクロルエタン等の難燃性現像液により現像で
き、かつ解偉度および耐熱性にも優れた高信頼性ソルダ
マスクを形成することのできる感光性樹脂組成物を提供
することにある。

（問題点を解決するための手段） 本発明は ＋ａｌ　　オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂
、フェノールノボラック型エポキシ樹脂およびハロゲン
化フェノールノボラック型エポキシｍ脂からなる群から
選ばれた少なくとも１種のノボラック型エポキシ樹脂と
、不飽和カルボン酸とを。

酸当量／エポキシ当量比が０．１〜０．９８の範囲で付
加反応させて得られる不飽和化合物の２級水酸基に、イ
ンシアナートエチルメタクリレートを。

イソシアナート当量／水酸基当量比が０．１〜１．２の
範囲で反応させて得られる光重合性不飽和化合物。

［ｂ）　　活性光により遊離ラジカルを生成する増感剤
および（！またけ）増感剤系。

並びに （ｃ１微粒状充填剤。

を含有してなる感光性樹脂組成物に関する。

本発明の感光性樹脂組成物は必須成分（ａ）として。

オルソクレゾールノボランク型エポキシ樹脂、フェノー
ルノボラック型エポキシ樹脂およびハロゲン化フェノー
ルノボラック屋エポキシ樹脂からなる群から選ばれた少
なくとも１種のノボラック型エポキシ樹脂と、不飽和カ
ルボン酸とを、酸当量／エポキシ当量比が０．１〜０．
９８の範囲で付加反応させて得られる不飽和化合物の２
級水酸基に。

イノシアナートエチルメタクリレートを、イソシアナー
ト当量／水酸基当量比が０．１〜１．２の範囲で反応さ
せて得られる光重合不飽和化合物を含有する。

本発明に用いられるノボラック型エポキシ樹脂ハ９例え
ばオルンクレゾール、フェノール、ノ１０ゲン化フェノ
ール等とアルデヒドを酸触媒の存在下に反応させて得ら
れるノボラック製樹脂のフェノール性水酸基にアルカリ
の存在下にエピクロルヒドリンを反応させて得られるも
ので、商業的にも入手可能である。

オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては９
例えばチバ・ガイギー社製、アラルダイトＥＣＮ１２９
９（軟化点９９°Ｃ，エポキシ当量２３０）、ＥＣＮ１
２８０（軟化点８０℃、エポキシ当量２３０　）、ＥＣ
Ｎ１２７３　（軟化点７３℃、エポキシ当量２３０）、
　　日本化薬■製、　ＥＯＣＮ１０４（軟化点９０〜１
００°Ｃ，エポキシ当量２２５〜２４５　）、ＥＯＣＮ
ＩＯ３（軟化点８０〜９０℃、エポキシ当量２１５〜２
３５　）、　ＥＯＣＮＩＯ２（軟化点７０〜８０℃、エ
ポキシ当量２１５〜２３５　）、ＥＯＣＮＩＯ１（軟化
点６５〜６９℃、エポキシ当量２０５〜２２５）等が挙
げられる。

フェノールノボラック型エポキシ樹脂としては。

例えばシェル社製、エピコート１５４（エポキシ当量１
７６〜１８１）、ダウケミカル社製、ＤＥＮ４３１（エ
ポキシ当量１７２〜１７９）、ＤＥＮ４３８（エポキシ
当量１７５〜１８２）、東部化成■製、ＹＤＰＮ−６３
８（エポキシ当量１７０〜１９０　）、ＹＤＰＮ−６０
１（エポキシ当量１８０〜２２０　）、ＹＤＰＮ−６０
２（エポキシ当量１８０〜２２０）等が挙げられる。

ハロゲン化フェノールノボラック屋エポキシ樹脂として
は９例えば日本化薬■製、ＢＲＥＮ（エポキシ当量２７
０〜３００．臭素含有量３５〜３７チ、軟化点８０〜９
０℃）等の臭素化フェノールノボラック型エポキシ樹脂
等が挙げられる。不飽和カルボン酸としては、アクリル
酸、メタクリル酸、β−フリルアクリル酸、β−スチリ
ルアクリル酸、α−シアノケイ皮酸、ケイ皮酸等が用い
られる。

本発明において、これらのノボラック型エポキシ樹脂と
不飽和カルボン酸との付加反応は式（１）に示すようで
あシ、酸当量／エポキシ当量比が０．１〜０．９８の範
囲で常法により行なわれる。酸当量／エポキシ当量比が
０．１未満ではイメージ露光後の現像処理により光硬化
被膜が膨潤しやすい。酸当量／エポキシ当量比が０．９
８を超える場合には。

密着性、耐熱性等が低下する。

Ｈ ・・・（１） 例えば前記ノボラック型エポキシ樹脂をメチルエチルケ
トン、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブ
アセテート、シクロヘキサノン等の不活性有機溶剤に溶
解し、触媒としてトリエチルアミン、トリーｎ−ブチル
アミン、ジエチルシクロヘキシルアミン等の３級アミン
、塩化ベンジルトリメチルアンモニウム、塩化ベンジル
トリエチルアンモニウム等の４級アンモニウム塩などを
。

また重合禁止剤としてハイドロキノン、ｐ−メトキシフ
ェノール等を用い、７０〜１１０℃で前記不飽和カルボ
ン酸と上記の当量比の範囲で攪拌反応させることにより
、不飽和化合物が得られる。

上記のようにノボラック型エポキシ樹脂を不飽和カルボ
ン酸とを付加反応させて得られる不飽和化合物の２級水
酸基に対するインシアナートエチルメタクリレートの反
応は式（ＩＩ）に示すようでおジイソシアナート当量／
水酸基当量比が０．１〜１．２の範囲で常法により行な
われる、イソシアナート当量／水酸基当量比が０．１未
満の場合には、１，１゜１−トリクロルエタン等の難燃
性有機溶剤による現像が困難となり、また光硬化性も低
下する。イソシアナート当量／水酸基当量比が１．２　
ｔｌ−超える場合には１反応時にゲル化しゃすくなシ、
また耐熱性等の特性も低下する。反応後、メタノール。

エタノール、２−ヒドロキシエチルメタクリレート等の
１級アルコールを用いて残存するイソシアナートエチル
メタクリレートをウレタン化し、失活させることが安全
上および保存安定性向上の上で望ましい、イソシアナー
トエチルメタクリレートとしては９例えばダウケミカル
社製のものが用いられる。

Ｈ 例えば前記のノボランク型エポキシ樹脂と不飽和カルボ
ン酸との付加反応を行ない９次いでこの生成物にジブチ
ルチンジラウレート、ジブチルランク２エチルヘキソエ
ート等のウレタン化触媒ｔ−添加し、上記の当量比の範
囲でインシアナートエチルメタクリレートを５０〜１１
０℃で攪拌反応させることにより、光重合性不飽和化合
物が得られる。このような反応条件下ではウレタン結合
とエポキシ基との反応、不飽和結合の熱重合等の副反応
を防止することができ、その結果ゲル状物を生成させる
ことなく、光重合性不飽和化合物を得ることができる。

本発明において、特に好ましい光重合性不飽和化合物と
しては、オルソクレゾールノボラック屋エポキシ樹脂／
アクリル酸／イソシアナートエチルメタクリレート（酸
当量／エポキシ当量比０．１〜０．９８　、インシアナ
ート当量／水酸基当量比０、１〜１．２　）　未反応物
、オルソクレゾールノボランク型エポキシ樹脂／メタク
リル酸／イソシアナートエチルメタクリレート（酸当量
／エポキシ当量比０．１〜０．９８．　　イソシアナー
ト当量／水酸基当量比０．１〜１．２）系反応物等が挙
げられる。

本発明の感光性樹脂組成物は活性光により遊離ラジカル
を生成する増感剤および（または）増感剤系を必須成分
（ｂ）として含有する。

増感剤としては、置換または非置換の多核キノン類１例
えば、２−エチルアントラキノン、２−ｔ−ブチルアン
トラキノン、オクタメチルアントラキノン、１．２−ベ
ンズアントラキノン、ス３−ジフェニルアントラキノン
等、ジアセチルベンジル等のブトアルドニル化合物、ベ
ンゾイン、ビパロン等のα−ケタルドニルアルコール類
およびエーテル類、α−炭化水素置換芳香族アシロイン
類。

例えばα−フェニル−ベンゾイン、α、α−ジェトキシ
アセトフェノン等、ベンゾフェノン、４．４’−ビスジ
アルキルアミノベンゾフェノン等の芳香族ケトン類、２
メチルチオキサントン、２．４−ジエチルチオキサント
ン、２−クロルチオキサントン、２−イノプロピルチオ
キサントン、２−エチルチオキサントン等のチオキサン
トン類が用いられ、これらは単独でも組み合わせて使用
してもよい。

増感剤系としては９例えば２，４．５−）！Ｊアリルイ
ミダゾールニ量体と２−メルカプトベンゾキナゾール、
ロイコクリスタルバイオレット、トリス（４−ジエチル
アミノ−２−メチルフェニル）メタン等との組み合わせ
が用いられる。またそれ自体で光開始性はないが、前記
物質と組み合わせて用いることにより全体として光開始
性能のよシ良好な増感剤系となるような添加剤１例えば
、ベンゾフェノンに対するトリエタノールアミン等の３
級アミン、チオキサントン類に対するジメチルアミノ安
息香酸イソアミル、Ｎ−メチルジエタールアミ／、ビス
エチルアミノベンゾフェノン等ヲ用いることもできる。

本発明の感光性樹脂組成物は微粒状充填剤を必須成分（
ｃ１として含有する。

微粒状充填剤としては９例えばタルク、シリカ。

酸化チタン、クレイ、炭酸カルシウム、含水珪酸。

水酸化アルミニウム、アルミナ、硫酸バリウム。

三酸化アンチモン、炭酸マグネシウム、マイカ粉。

珪酸アルミニウム、珪酸マグネシウム等が用いられる。

微粒状充填剤の粒径は、解像度、硬化被膜の密着性等の
低下防止の点から、好ましくは０．０１〜１０μｍ、よ
υ好ましくは０．０１〜１，５μｍである。微粒状充填
剤は感光性樹脂組成物中に均一に分散されていることが
好ましい。充填剤と前記光重合性不飽和化合物との間の
接着力を増すために、充填剤の表面を、水酸基、アミノ
基、エポキシ基、ビニル基等の官能基を有するシランカ
ンプリング剤で処理することもできる。シランカンプリ
ング剤としては９例えばγ−７ミノプロビルトリエトキ
シシラン、β−アミノエチル−ｒ−アミノプロピルトリ
メトキシシラン、γ−グリシドオキシグロビルトリメト
キシシラン、ｒ−メタアクリロキシグロビルトリメトキ
シシラン等が挙げられる。

本発明の感光性樹脂組成物は、光重合性不飽和化合物（
８１１００重量部に対して、増感剤および（または）増
感剤系（ｂｌを０．１〜３０重量部並びに微粒状充填剤
（ｃ１を３〜１００重量部の範囲で用いることが、解像
度および半田耐熱性に優れたゾルダマスフを形成する上
で好ましい。更に本発明の組成物は他の光重合性化合物
を含有してもよい。

他の光重合性化合物としては１例えばトリメチロ−ルプ
ロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリア
クリレート、トリメチルへキサメチレンジイノシアナー
ト／２−ヒドロキシエチルアクリレート（１／２モル比
）反応物インシアナートエチルメタクリレート／水（２
／１モル比）反応物等が挙げられる。また特開昭５３−
５６０１８号公報に示される光重合性化合物を用いるこ
ともできる。しかしこれら他の光重合性化合物の含有量
は、耐熱性の保持上から、（ａ）光重合性不飽和化合物
に対して１０重量％以下であることが好ましい。

更に本発明の感光性樹脂組成物は他の副次的成分を含有
していてもよい。副次的成分としては。

高分子結合剤、熱重合防止剤、染料、顔料、塗工性向上
剤、消泡剤、難燃剤、密着性向上剤、エポキシ樹脂の潜
在性硬化剤等が挙げられる。

本発明の感光性樹脂組成物はディップコート法。

フローコート法、スクリーン印刷法等の常法により、加
工保護すべき基板上に直接塗工し、厚さ１０〜１５０μ
ｍの感光層を容易に形成することができる。塗工にあた
り、必要ならば組成物を溶剤に痔解させて行なうことも
できる。溶剤としては９例えばメチルエチルケトン、メ
チルセロソルフアセテート、エチルセロソルブアセテー
ト、シクロヘキサノン、メチルセロソルブ、塩化メチン
ｙ、　　１，１．１−１リクロルエタン等を挙げること
ができる。

またこの溶液を９例えばポリエチレンテレフタレートフ
ィルム、ポリイミドフィルム等のフィルム上に、ナイフ
コート法、ロールコート法等により塗布し、乾燥して得
られる感光性エレメントを熱ロールを用いて基板上に加
熱加圧積層して感光層を形成することもできる。この際
基板が導体配線ラインの形成された印刷配線板等の１０
μｍ以上の凹凸を有する場合には、空気の巻き込みを防
ぐため、　　２００　ｍｍＨｇ以下の真空下で積層する
ことが好ましい。このための装置としては例えば特公昭
５５−１３３４１号公報に記載される積層装置が用いら
れる。なお活性光に不透明な支持体フィルムを用いる場
合には、露光時に支持体フィルムを剥離する必要がある
。

こうして形成された感光層の露光および現像は常法によ
り行なわれる。すなわち、光源として超高圧水銀灯、高
圧水銀灯等を用い、感光性樹脂組成物の層上に直接また
はポリエチレンテンフタレートフィルム等の透明フィル
ムを介し、ネガマスク全通して像的に露光する。露光後
透明フィルムが残っている場合には、これを剥離した後
現像する。

現像処理に用いられる現像液は露光部にダメージを与え
ず、未露光部を選択的に溶出するものであればその種類
については特に制限はない。現像液としては２例えば１
．１．１−　トリクロルエタン等のハロゲン化炭化水素
が用いられる。また１、　１．１−トリクロルエタンを
主成分とする洗浄剤９例えばスリーワンＥＸ（東亜合成
化学■製）ヲ使用することもできる。

上記の方法で得られた像的な保護被膜は９通常のエツチ
ング、めっき等のための耐食膜としての特性を持ってい
るが、現像後に活性光の露光および８０〜２００℃での
加熱処理を行なうことにより、密着性、耐熱性、耐溶剤
等の特性を向上でき。

ソルダマスクとしての特性を満足する永久的な保護膜が
得られる。これらの活性光の露光および加熱処理の順序
はどちらが先でもよい。

（発明の効果） 本発明の感光性樹脂組成物を用いて得られる保護被膜は
、トリクレン、メチルエチルケトン、イア７’ロピルア
ルコール、トルエン等の有機溶剤に充分耐え、酸性水溶
液またはアルカリ水溶液にも耐える。更に耐熱性９機械
的特性にも優れているので、エツチング、めっき等のた
めの耐食膜、ソルダマスク等の永久的な保護膜として使
用することができる。更に本発明の感光性樹脂組成物を
用いて形成される被膜は優れた化学的、物理的特性を有
し、このため多層印刷配線板の層間絶縁層。

感光性接着剤、塗料、プラスチックレリーフ、印刷版材
料、金属精密加工材料等にも用いることができる。

また９本発明の感光性樹脂組成物を用いることにより、
１，１．１−）リクロルエタン等の難燃性現偉液により
現像でき、解像度および耐熱性に優れたソルダマスクを
形成することができる。しかも写真法により厚膜のソル
ダマスクを形成することも可能である。

（実施例） 実施例中の部は重量部を意味する。

実施例１ （ａ）　　光１合性不飽和化合物の合成ル　オルソクレ
ゾールノボラック型エポキシ樹脂、ＥＯＣＮ１０２（エ
ポキシ当量２３０）１０９５部 メチルエチルケトン　　　　　　８００部Ｂ部子。リル
酸　　　　　　　　　　　　６９部塩化ベンジルトリメ
チルアンモニウム ７部 ｐ−メトキシフェノール　　　　　　３部メチルエチル
ケトン　　　　　　１００部Ｃ，インシアナートエチル
メタクリレート１６３部 ジブチルチンジラウレート　　　　０．５部メチルエチ
ルケトン　　　　　　１００部り、メタノール　　　　
　　　　　　　１０部温度計、攪拌装置、冷却管および
滴下器の付いた加熱および冷却可能な５ｔ！の反応器に
、前記Ａを加え、攪拌しながら６０℃に昇温し、均一に
溶解させた。反応温度を６０℃に保ちながら、これに約
１時間かけてＢを滴下した。Ｂの滴下後、２時間かけて
８０℃に昇温し、８０℃で約１５時間攪拌を続は反応系
の戯画を１以下にした。

次いで温度を６０℃に低下させ２反応器度を６０℃に保
ちながら約３時間かけて均一にＣを滴下した。Ｃ滴下後
、約５時間かけて徐々に反応温度を８０”Ｃまで昇温し
た後、温度を６０℃に低下させ、Ｄを加え、約１時間攪
拌を続けた。こうして不揮発分５７］Ｕｔ％のオルソク
レゾールノボラック型エポキシ樹脂／アクリル酸／イソ
シアナートエチルメタクリレート（酸当量／エポキシ当
量比＝０．２．インシアナート当量／水酸基当量比＝１
．１）系光重合性不飽和化合物の溶液（１）を得た。

（ｂ）　　感光性樹脂組成物の調製 （ａ）で得られた光重合性不飽和化合物の溶液（１１８
８部（不揮発分５０部）にλ４ジエチルチオキサントン
１．５部、安息香酸イソブチル２部、ミクロエースＰ−
４（日本タルク製、超微粒子タルク平均粒径１．５μｍ
）３０部、フタロシアニングリーン０．１部およびモダ
フロー０．１部を配合し、ロールミルで混合分散させて
９本発明の感光性樹脂組成物の溶液を調製した。

（ｃ）硬化被膜の形成 （ｂ）で得られた感光性樹脂組成物の溶液を、銅張シ積
層板上に塗布し、室温で２０分、８０℃で２０分間乾燥
し、厚さ４０μｍの感光層を形成した。次いでネガマス
クを通してオーク製作所■裂。

フェニックス３０００型露光機を用い、２００ｍＪ／ｃ
ｍ”で露光した。露光後８０℃で５分間加熱し。

常温で３０分放置した後、Ｌｉｆｔ　　ｈリクロルエタ
ンを用いて２０℃で９０秒間スプレー現像した。

次いで東芝電材■製、東芝紫外線照射装置（定格電圧２
００Ｖ、定格消費電カフ、２ＫＷ、適合ランプＨ５６０
０Ｌ／２．　　ランプ本数１本）を使用し。

１Ｊ／ｃＩｎ２で照射した後、１５０℃で３０分間加熱
処理してネガマスクに相応する寸法精度の優れたソルダ
マスクを得た。このソルダマスクは耐冷熱衝撃性に優れ
、ロジン系フラックスＡ−２２６（タムラ化研■裂）を
用いて、２６０℃で１０秒間、はんだ付は処理し、更に
トリクレンで２５℃。

１０分間清浄化処理した後、ＭＩＬ−８ＴＤ−２０２Ｅ
１０７Ｄ条件Ｂ　（−６５９Ｃ３０分間、常温５分以内
、１２５°Ｃ３０分間）、５０サイクルの冷熱衝撃試験
でクラックの発生および被膜の剥がれは認められず、長
期間の信頼性が非常に優れていることがわかった。

実施例２ （ａ）　　光重合性不飽和化合物の合成Ａ、オルソクレ
ゾールノボラック型エポキシ樹脂、ＥＯＣＮ１０４（エ
ポキシ当量２３０）９２０部 ハロゲン化フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ＢＲ
ＥＮ（エポキシ当量２８５）２８５部 メチルセロソルブアセテート　　６００部Ｂ、アクリル
酸　　　　　　　　　　２８８部塩化ベンジルトリメチ
ルアンモニウム ７部 ｐ−メトキシフェノール　　　　　　３部メチルセロソ
ルブアセテート　　１００部Ｃ，インシアナートエチル
メタクリレート６２０部 ジブチルチンジラウレート　　　　０．５部メチルセロ
ソルブアセテート　　１００部り、メタノール　　　　
　　　　　　　１０部Ａ−Ｄを用い、その他は実施例１
　（ａ）と同様にして、不揮発分５４重量％のノボラッ
ク型エポキシ樹脂／アクリル酸／インシアナートエチル
メタクリレート（酸当量／エポキシ当量比＝０．８イン
シアナート当量／水酸基当量比＝１）系光重合性不飽和
化合物の溶液＋ＩＩ）を得た。

（ｂｌ　　感光性樹脂組成物の調製 （ａ）で得られた光重合性不飽和化合物の溶液（１１１
１４８部（不揮発分８０部）、三酸化アンチモン（平均
粒径０．１５μｍ）３部、ベンゾフェノン２、．７部、
ミヒラーケトン０．３部、ホスマーＭ（油脂製品■製、
リン酸エステル）とベンゾトリアゾールとの等モル塩０
．１部およびビクトリアピュアブルー０６０２部を配合
し、三本ロールで混合して本発明の感光性樹脂組成物の
浴液を調製した。

以下、実施例１（ｃ）と同様にして耐熱性に優れた硬化
被膜を得た。

また前記感光性樹脂組成物を厚さ０．８ｍｍ、ＵＬ９４
Ｖ−０のガラスエポキシ難燃基材（日立化成工業■製、
ＭＣＬ−Ｅ−６７）の両面に適用し。

厚さ７５μｍの硬化被膜を形成させた場合には。

ＵＬ９４Ｖ−１の難燃性管保持することがわかった。

実施例３ （ａｌ　　光重合性不飽和化合物の合成Ａ、オルソクレ
ゾールノボラック聾エポキシ樹脂、ＢＯＣＮ１０４（エ
ポキシ当量２３０）１０９５部 メチルセロソルブアセテート　　６００部Ｂ、　メタク
リル酸　　　　　　　　　３６８部塩化ベンジルトリメ
チルアンモニウム ７部 ｐ−メトキシフェノール　　　　　　　３部メチルセロ
ソルブアセテート　　１００部Ｃ，インシアナートエチ
ルメタクリレート２８７部 ジブチルチンジラウレー）　　　　　０．５部メチルセ
ロソルブアセテート　　１００部り、メタノール　　　
　　　　　　　　　１０部Ａ−Ｄを用い、その他は実施
例１（ａ）と同様にして、不揮発分６９重量％のノボラ
ックをエポキシ樹脂／メタクリル酸／イソシアナートエ
チルメタクリレート（酸当量／エポキシ当量比＝　Ｏ，
Ｓ　、　　インシアナート当量／水酸基当量比＝０．８
８）系光重合性不飽和化合物の溶液（ｍ）を得た。

（ｂｌ　　感光性樹脂組成物の調製 実施例２（ａ）の光重合性不飽和化合物の溶液（［１の
代わシに、（ａ）で得られた光重合性不飽和化合物の溶
液（ＩＩＩ）１１６部（不揮発分８０部）を用い、その
他は実施例１（ｂ）および（ｃ）と同様にして、耐熱性
に優れた硬化被膜を得た。

実施例４ （ａ）　　光重合性不飽和化合物の合成Ａ、ラフエノー
ルノボラックエポキシ樹脂。

ＹＤＰＮ−６３８（ｘボキシ当量１８ｏ）８５７部 エチルセロソルブアセテート　　６００部Ｂ・　ケイ皮
酸　　　　　　　　　　　１７６部アクリル酸　　　　
　　　　　　　８６部塩化ベンジルトリメチルアンモニ
ウム塩７部 ｐ−メトキシフェノール　　　　　　３部エチルセロソ
ルブアセテート　　１００部Ｃ０インシアナートエチル
メタクリレート３６９部 ジブチルチンジラウレート　　　　０．１部エチルセロ
ソルブアセテート　　１００部り、メタノール　　　　
　　　　　　　１０部Ａ−Ｄを用い、その他は実施例１
（ａ）と同様にして、不揮発分６５重量％のフェノール
ノボラック型エポキシ樹脂／ケイ皮酸／アクリル酸／イ
ソシアナ・−トエチルメタクリレート（酸当量／エポキ
シ当量比＝　０．５　、　インシアナート当量／水酸基
当量比＝１）来光束合性不飽和化合物の溶液（ＩＶＩを
得た。

（ｂ）　　感光性樹脂組成分の調製 ｔａ）で得られた光重合性不飽和化合物の溶液ＧＶ１９
２部（不揮発分６０部）、微細アルミナＡ　−５ＯＮ（
昭和軽金属■製、平均粒径１μｍ　）１５Ｎ、２．４−
ジエチルチオキサントン２部、ジメチルアミノ安息香酸
エチル３部、ビクトリアビュアフｋ　−０，０２部、キ
ュアゾールＣｔｔＺ　　ＡＺＩＮＥ１部およびメチルセ
ロソルブ５部を配合し、三本ロールで混合分散させて本
発明の感光性樹脂組成物の分散液を調製した。

（ｃ）　　硬化被膜の形成 現像液として、１，１．１−トリクロルエタンの代わり
にスリーワンＥＸ（１，１，１−１リクロルエタンを主
成分とする洗浄液、東亜合成■製）を用い。

その他は実施例１（ｃ）と同様にして耐熱性に優れた硬
化被膜を得た。

実施例よシ明らかなように１本発明の感光性樹脂組成物
を用いることにより、写真法による厚膜の画像形成が可
能であり、ｔた１、１．１−トリクロルエタン等の難燃
性現像液を用いて、解像度および耐熱性に優れた高信頼
性のソルダマスクを形成することができる。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、（ａ）オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂
   、フェノールノボラック型エポキシ樹脂およびハロゲン
   化フェノールノボラック型エポキシ樹脂からなる群から
   選ばれた少なくとも１種のノボラック型エポキシ樹脂と
   、不飽和カルボン酸とを、酸当量／エポキシ当量比が０
   ．１〜０．９８の範囲で付加反応させて得られる不飽和
   化合物の２級水酸基に、イソシアナートエチルメタクリ
   レートを、イソシアナート当量／水酸基当量比が０．１
   〜１．２の範囲で反応させて得られる光重合性不飽和化
   合物、 （ｂ）活性光により遊離ラジカルを生成する増感剤およ
   び（または）増感剤系、 並びに （ｃ）微粒状充填剤、 を含有してなる感光性樹脂組成物。