JPH0525377B2 - - Google Patents
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Description
[産業上の利用分野]
本発明は、誘電体磁器と少なくとも2つの電極
とから成る単層又は積層構造の磁器コンデンサ及
びその製造方法に関する。 [従来の技術] 従来、積層磁器コンデンサを製造する際には、
誘電体磁器原料粉末から成るグリーンシート(未
焼結磁器シート)に白金又はパラジウム等の貴金
属の導電性ペーストを所望パターンに印刷し、こ
れを複数枚積み重ねて圧着し、1300℃〜1600℃の
酸化性雰囲気中で焼結させた。これにより、誘電
体磁器と内部電極とが同時に得られる。上述の如
く、貴金属を使用すれば、酸化性雰囲気中で高温
で焼結させても目的とする内部電極を得ることが
できる。しかし、白金、パラジウム等の貴金属は
高価であるため、必然的に積層磁器コンデンサが
コスト高になつた。 上述の問題を解決することができるものとし
て、本件出願人に係わる特公昭61−14607号公報
には、 (Bak-xMx)OkTiO2(但し、MはMg及びZnの
内の少なくとも1種)から成る基本成分と、Li2
OとSiO2とから成る添加成分とを含む誘電体磁
器組成物が開示されている。 また、特公昭61−14608号公報には、上記の特
公昭61−14607号公報のLi2OとSiO2の代りに、
Li2OとSiO2とMO(但し,MOはBaO,CaO及び
SrOの内の少なくとも1種)とから成る添加成分
とを含む誘電体磁器組成物が開示されている。 また、特公昭61−14609号公報には、(Bak-x-y
MxLy)OkTiO2(但し、MはMg及びZnの少なく
とも1種、LはSr及びCaの内の少なくとも1種)
から成る基本成分とLi2OとSiO2とから成る添加
成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されてい
る。 また、特公昭61−14610号公報には、上記の特
公昭61−14609号公報におけるLi2OとSiO2の代り
に、Li2OとSiO2とMO(但し、MOはBaO,CaO
及びSrOの内の少なくとも1種)とから成る添加
成分を含む誘電体磁器組成物が開示されている。 また、特公昭61−14611号公報には、(Bak-x
Mx)OkTiO2(但し、MはMg,Zn,Sr及びCaの
少なくとも1種)から成る基本成分と、B2O3と
SiO2とから成る添加成分とを含む誘電体磁器組
成物が開示されている。 また、特公昭61−1595号公報には、(Bak-xMx)
OkTiO2(但し、MはMg,Zn,Sr及びCaの内の少
なくとも1種)から成る基本成分と、B2O3と
MO(但しMOはBaO,MgO,ZnO,SrO及び
CaOの少なくとも1種)とから成る添加成分とを
含む誘電体磁器組成物が開示されている。 また、特公昭62−1596号公報には、上記の特公
昭62−1595号公報のB2O3とMOの代りに、B2O3
とSiO2とMO(但しMOはBaO,MgO,ZnO,
SrO及びCaOの内の少なくとも1種)とから成る
添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されて
いる。 これらに開示されている誘電体磁器組成物は、
還元性雰囲気1200℃以下の条件の焼成で得ること
ができ、比誘電率が2000以上、静電容量の温度変
化率が−25℃〜+85℃で±10%の範囲にすること
ができるものである。 [発明が解決しようとする課題] ところで、近年の電子回路の高密度化に伴い、
積層コンデンサの小型化の要求が非常に強く、こ
れに対応する為に、温度変化率を悪化させること
なく誘電体の比誘電率を、上記各公報に開示され
ている誘電体磁器組成物の比誘電率よりも更に増
大させることが望まれている。 そこで、本発明の目的は、非酸化性雰囲気、
1200℃以下の温度での焼成で得るものであるにも
拘らず、高い誘電率を有し、且つ広い温度範囲に
わたつて誘電率の温度変化率が小さい誘電体磁器
を備えている磁器コンデンサ及びその製造方法を
提供することにある。 [課題を解決するための手段] 上記目的を達成するための本発明は、誘電体磁
器と、前記磁器に接触している少なくとも2つの
電極とから成る磁器コンデンサにおいて、前記磁
器が100.0重量部の基本成分と、0.01〜3.00重量部
の第1の添加成分と、0.2〜5.0重量部の第2の添
加成分とから成り、前記基本成分が、(Bak-x-y
MxLy)OkTiO2 (但し、MはMg,Znの内の少なくとも1種の
金属、LはCa,Srの内の少なくとも1種の金属、
k,x,yは、 1.00≦k≦1.05 0<x<0.10 0<y≦0.05 0.01≦x+y≦0.10を満足する数値)であり、
前記第1の添加成分がCr2O3とAl2O3の内の少な
くとも1種の金属酸化物であり、前記第2の添加
成分がB2O3とSiO2とMO(但し、MOはBaO,
SrO,CaO,MgO及びZnOの内の少なくとも1
種の金属酸化物)から成り、且つ前記B2O3と前
記SiO2と前記MOとの組成範囲がこれ等の組成を
モル%で示す三角図における前記B2O3が1モル
%、前記SiO2が80モル%、前記MOが19モル%の
点Aと、前記B2O3が1モル%、前記SiO2が39モ
ル%、前記MOが60モル%の点Bと、前記B2O3
が29モル%、前記SiO2が1モル%、前記MOが70
モル%の点Cと、前記B2O3が90モル%、前記
SiO2が1モル%、前記MOが9モル%の点Dと、
前記B2O3が90モル%、前記SiO2が9モル%、前
記MOが1モル%の点Eと、前記B2O3が19モル
%、前記SiO2が80モル%、前記MOが1モル%の
点Fとを順に結ぶ6本の直線で囲まれた領域内の
ものであるコンデンサに係わるものである。な
お、基本成分を示す組成式において、k−x,
x,kは勿論それぞれの元素の原子数を示し、
Baはバリウム、Oは酸素、Tiはチタン、Mgは
マグネシウム、Znは亜鉛、Caはカルシウム、Sr
はストロンチウムである。第1の添加成分のCr2
O3は酸化クロム、Al2O3は酸化アルミニウムであ
る。第2の添加成分におけるB2O3は酸化ホウ素、
SiO2は酸化けい素、BaOは酸化バリウム、SrOは
酸化ストロンチウム、CaOは酸化カルシウム、
MgOは酸化マグネシウム、ZnOは酸化亜鉛であ
る。 製造方法に係わる発明は、上記の基本成分と第
1及び第2の添加成分との混合物を用意する工程
と、少なくとも2つの電極部分を有する前記混合
物の成形物を作る工程と、前記電極部分を有する
前記成形物を非酸化性雰囲気で焼成する工程と、
前記焼成で得られた成形物を酸化性雰囲気で熱処
理する工程とを含む磁器コンデンサの製造方法に
係わるものである。 [作用効果] 上記発明の磁器コンデンサにおける誘電体磁器
を非酸化性雰囲気、1200℃以下の焼成で得ること
ができる。従つて、ニツケル等の卑金属の導電性
ペーストをグリーンシートに塗布し、グリーンシ
ートと導電性ペーストとを同時に焼成する方法に
よつて磁器コンデンサを製造することが可能にな
る。誘電体磁器の組成を本発明で特定された範囲
にすることによつて、比誘電率が3000以上、誘電
体損失tanδが2.5%以下、抵抗率ρが1×106
MΩ・cm以上であり、且つ比誘電率の温度変化率
が−55℃〜125℃で−15%〜+15%(25℃を基
準)、−25℃〜85℃で−10%〜+10%(20℃を基
準)の範囲に収まる誘電体磁器を備えたコンデン
サを提供することができる。 [実施例] 次に、本発明に従う実施例及び比較例について
説明する。 まず、本発明に従う基本成分の組成式 (Bak-x-yMxLy)OkTiO2を第1表の試料No.1
のMx,Lx,kの欄に示す割合で得るため、換言
すれば、(Ba0.96M0.04L0.02)O1.02TiO2、更に詳細
には、M0.04=Mg0.03Zn0.01及びL0.02=Ca0.01Sr0.01
であるので、 (Ba0.96Mg0.03Zn0.01Ca0.01Sr0.01)O1.02TiO2を
得るために、純度99.0%以上のBaCO3(炭酸バリ
ウム)、MgO(酸化マグネシウム)、ZnO(酸化亜
鉛)、及びTiO2(酸化チタン)を用意し、不純物
を目方に入れないで BaCO3:1037.72g(0.96モル部相当) MgO:6.62g(0.03モル部相当) ZnO:4.46g(0.01モル部相当) CaCO3:5.48g(0.01モル部相当) SrCO3:8.09g(0.01モル部相当) TiO2:437.63g(1.00モル部相当)を秤量した。 次に、秤量されたこれ等の原料をポツトミル
(pot mill)に入れ、更にアルミナボールと水2.5
とを入れ、15時間湿式攪拌した後、攪拌物をス
テンレスポツトに入れて熱風式乾燥器で150℃、
4時間乾燥した。次にこの乾燥物を粗粉砕し、こ
の粗粉砕物をトンネル炉にて大気中で1200℃、2
時間仮焼し、上記組成式の基本成分を得た。 一方、第2表の試料No.1の第2の添加成分を得
るために、B2O3を0.99g(1モル部)と、SiO2を
68.38g(80モル部)と、BaCO3を10.67g(3.8モル
部)と、SrCO3を7.98g(3.8モル部)と、CaCO3
を5.41g(3.8モル部)と、MgOを2.18g(3.8モル部)
と、ZnOを4.40g(3.8モル部)をそれぞれ秤量し、
この混合物にアルコールを300c.c.加え、ポリエチ
レンポツトにてアルミナボールを用いて10時間攪
拌した後、大気中1000℃で2時間仮焼成し、これ
を300c.c.の水と共にアルミナポツトに入れ、アル
ミナボールで15時間粉砕し、しかる後、150℃で
4時間乾燥させてB2O3が1モル%、SiO2が80モ
ル%、MOが19モル%(BaO 3.8モル%+SrO
3.8モル%+CaO 3.8モル%+MgO 3.8モル%+
ZnO 3.8モル%)の組成の第2の添加成分の粉末
を得た。なお、MOの内容であるBaOとSrOと
CaOとMgOとZnOとの割合は第2表に示すよう
にいずれも20モル%となる。 次に、100重量部(1000g)の基本成分に2重
量部(20g)の第2の添加成分を添加し、更に、
第1の添加成分として平均粒径が0.5μmでよく粒
の揃つた純度99.0%以上のCr2O3を0.1重量部
(1g)添加し、更に、アクリル酸エステルポリマ
ー、グリセリン、縮合リン酸塩の水溶液から成る
有機バインダを基本成分と第1及び第2の添加成
分との合計重量に対して15重量%添加し、更に、
50重量%の水を加え、これ等をボールミルに入れ
て粉砕及び混合して磁器原料のスラリーを作製し
た。 次に、上記スラリーを真空脱泡機に入れて脱泡
し、このスラリーをリバースロールコータに入れ
ここから得られる薄膜成形物を長尺なポリエステ
ルフイルム上に連続して受け取ると共に、同フイ
ルム上でこれを100℃に加熱して乾燥させ、厚さ
約25μmの未焼結磁器シートを得た。このシート
は長尺なものであるが、これを10cm角の正方形に
裁断して使用する。 一方、内部電極用の導電ペーストは、粒径平均
1.5μmのニツケル粉末10gと、エチルセルロース
0.9gをブチルカルビトール9.1gに溶解させたもの
とを攪拌機に入れ、10時間攪拌することにより得
た。この導電ペーストを長さ14mm、幅7mmのパタ
ーンを50個有するスクリーンを介して上記未焼結
磁器シートの片側に印刷した後、これを乾燥させ
た。 次に、上記印刷面を上にして未焼結磁器シート
を2枚積層した。この際、隣接する上下のシート
において、その印刷面がパターンの長手方向に約
半分程ずれるように配置した。更に、この積層物
の上下両面にそれぞれ4枚ずつ厚さ60μmの未焼
結磁器シートを積層した。次いで、この積層物を
約50℃の温度で厚さ方向に約40トンの荷重を加え
て圧着させた。しかる後、この積層物を格子状に
裁断し、50個の積層チツプを得た。 次に、この積層体を雰囲気焼成が可能な炉に入
れ、大気雰囲気中で100℃/hの速度で600℃まで
昇温して、有機バインダを燃焼させた。しかる
後、炉の雰囲気を大気からH2(2体積%)+N2
(98体積%)の雰囲気に変えた。そして、炉を上
述の如き還元性雰囲気とした状態を保つて、積層
体加熱温度を600℃から焼結温度の1150℃まで、
100℃/hの速度で昇温して1150℃(最高温度)
を3時間保持した後、100℃/hの速度で600℃ま
で降温し、雰囲気を大気雰囲気(酸化性雰囲気)
におきかえて、600℃を30分間保持して酸化処理
を行い、その後、室温まで冷却して積層焼結体チ
ツプを作製した。 次に、第1図に示す積層磁器コンデンサ10を
得るために、3つの誘電体磁器層12と2つの内
部電極14とから成る積層焼結体チツプ15に一
対の外部電極16を形成した。なお、外部電極1
6は、電極が露出する焼結体チツプ15の側面に
亜鉛とガラスフリツト(glass frit)とビヒクル
(vehicle)とから成る導電性ペーストを塗布して
乾燥し、これを大気中で550℃の温度で15分間焼
付け、亜鉛電極層18を形成し、更にこの上に無
電解メツキで法で銅層20を形成し、更にこの上
に電気メツキ法でPb−Sn半田層22を設けたも
のから成る。 このコンデンサ10の誘電体磁器層12の厚さ
は0.02mm、一対の内部電極14の対向面積は5mm
×5mm=25mm2である。なお、焼結後の磁器層12
の組成は、焼結前の基本成分と添加成分との混合
組成と実質的に同じである。 次に、コンデンサ10の電気特性を測定し、そ
の平均値を求めたところ、第3表に示す如く、比
誘電率εsが3810、tanδが1/1%、抵抗率ρが
3.8×106MΩ・cm、25℃の静電容量を基準にした
−55℃及び+125℃の静電容量の変化率ΔC-55、
ΔC125が−10.6%、+3.6%、20℃の静電容量を基
準にした−25℃、+85℃の静電容量の変化率
ΔC-25、ΔC85は−5.1%、−6.1%であつた。 なお、電気的特性は次の要領で測定した。 (A) 比誘電率εsは、温度20℃、周波数1kHz、電圧
(実効値)1.0Vの条件で静電容量を測定し、こ
の測定値一対の内部電極14の対向面積25mm2と
一対の内部電極14間の磁器層12の厚さ0.02
mmから計算で求めた。 (B) 誘電体損失tanδ(%)は比誘電率と同一条件
で測定した。 (C) 抵抗率ρ(MΩ・cm)は、温度20℃において
DC100Vを1分間印加した後に一対の外部電極
16間の抵抗値を測定し、この測定値と寸法と
に基づいて計算で求めた。 (D) 静電容量の温度特性は、恒温槽の中に試料を
入れ、−55℃、−25℃、0℃、+20℃、25℃、+40
℃、+60℃、+85℃、+105℃、+125℃の各温度に
おいて、周波数1kHz、電圧(実効値)1.0Vの
条件で静電容量を測定し、20℃及び25℃の時の
静電容量に対する各温度における変化率を求め
ることによつて得た。 以上、試料No.1の作製方法及びその特性につい
て述べたが、試料No.2〜99についても、基本成
分、第1及び第2の添加成分の組成、これ等の割
合、及び還元性雰囲気での焼成温度を第1表〜第
3表に示すように変えた他は、試料No.1と全く同
一の方法で積層磁器コンデンサを作製し、同一方
法で電気的特性を測定した。 第1表は、それぞれの試料の基本成分と第1の
添加成分の組成及び添加量と第2の添加成分の添
加量を示し、第2表はそれぞれの試料の第2の添
加成分の組成を示し、第3表はそれぞれの試料の
焼成温度、及び電気的特性を示す。なお、第1表
の基本成分の欄のx,y,kは組成式の各元素の
原子数、即ちTiの原子数を1とした場合の各元
素の原子数の割合を示す。xの欄のMg,Znは、
一般式のMの内容を示し、Mg,Znの欄にはこれ
等の原子数が示され、yの欄のCa,Srは一般式
Lの内容を示し、Ca,Sr欄にはこれ等の原子数
が示され、合計の欄にはこれ等の合計値(y)が
示されている。x+yの欄には、Mg,Zn,Ca,
Srの原子数の和が示されている。第1及び第2
の添加成分の添加量は基本成分100重量部に対す
る重量部で示されている。第2表の第2の添加成
分のMOの内容の欄には、BaO,MgO,ZnO,
SrO,CaOの割合がモル%で示されている。第3
表において、静電容量の温度特性は、25℃の静電
容量を基準にした−55℃及び+125℃の静電容量
変化率をΔC-55(%)ΔC125(%)、20℃の静電容量
を基準にした−25℃及び+85℃の静電容量変化率
をΔC-25(%)、ΔC85(%)で示されている。
とから成る単層又は積層構造の磁器コンデンサ及
びその製造方法に関する。 [従来の技術] 従来、積層磁器コンデンサを製造する際には、
誘電体磁器原料粉末から成るグリーンシート(未
焼結磁器シート)に白金又はパラジウム等の貴金
属の導電性ペーストを所望パターンに印刷し、こ
れを複数枚積み重ねて圧着し、1300℃〜1600℃の
酸化性雰囲気中で焼結させた。これにより、誘電
体磁器と内部電極とが同時に得られる。上述の如
く、貴金属を使用すれば、酸化性雰囲気中で高温
で焼結させても目的とする内部電極を得ることが
できる。しかし、白金、パラジウム等の貴金属は
高価であるため、必然的に積層磁器コンデンサが
コスト高になつた。 上述の問題を解決することができるものとし
て、本件出願人に係わる特公昭61−14607号公報
には、 (Bak-xMx)OkTiO2(但し、MはMg及びZnの
内の少なくとも1種)から成る基本成分と、Li2
OとSiO2とから成る添加成分とを含む誘電体磁
器組成物が開示されている。 また、特公昭61−14608号公報には、上記の特
公昭61−14607号公報のLi2OとSiO2の代りに、
Li2OとSiO2とMO(但し,MOはBaO,CaO及び
SrOの内の少なくとも1種)とから成る添加成分
とを含む誘電体磁器組成物が開示されている。 また、特公昭61−14609号公報には、(Bak-x-y
MxLy)OkTiO2(但し、MはMg及びZnの少なく
とも1種、LはSr及びCaの内の少なくとも1種)
から成る基本成分とLi2OとSiO2とから成る添加
成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されてい
る。 また、特公昭61−14610号公報には、上記の特
公昭61−14609号公報におけるLi2OとSiO2の代り
に、Li2OとSiO2とMO(但し、MOはBaO,CaO
及びSrOの内の少なくとも1種)とから成る添加
成分を含む誘電体磁器組成物が開示されている。 また、特公昭61−14611号公報には、(Bak-x
Mx)OkTiO2(但し、MはMg,Zn,Sr及びCaの
少なくとも1種)から成る基本成分と、B2O3と
SiO2とから成る添加成分とを含む誘電体磁器組
成物が開示されている。 また、特公昭61−1595号公報には、(Bak-xMx)
OkTiO2(但し、MはMg,Zn,Sr及びCaの内の少
なくとも1種)から成る基本成分と、B2O3と
MO(但しMOはBaO,MgO,ZnO,SrO及び
CaOの少なくとも1種)とから成る添加成分とを
含む誘電体磁器組成物が開示されている。 また、特公昭62−1596号公報には、上記の特公
昭62−1595号公報のB2O3とMOの代りに、B2O3
とSiO2とMO(但しMOはBaO,MgO,ZnO,
SrO及びCaOの内の少なくとも1種)とから成る
添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されて
いる。 これらに開示されている誘電体磁器組成物は、
還元性雰囲気1200℃以下の条件の焼成で得ること
ができ、比誘電率が2000以上、静電容量の温度変
化率が−25℃〜+85℃で±10%の範囲にすること
ができるものである。 [発明が解決しようとする課題] ところで、近年の電子回路の高密度化に伴い、
積層コンデンサの小型化の要求が非常に強く、こ
れに対応する為に、温度変化率を悪化させること
なく誘電体の比誘電率を、上記各公報に開示され
ている誘電体磁器組成物の比誘電率よりも更に増
大させることが望まれている。 そこで、本発明の目的は、非酸化性雰囲気、
1200℃以下の温度での焼成で得るものであるにも
拘らず、高い誘電率を有し、且つ広い温度範囲に
わたつて誘電率の温度変化率が小さい誘電体磁器
を備えている磁器コンデンサ及びその製造方法を
提供することにある。 [課題を解決するための手段] 上記目的を達成するための本発明は、誘電体磁
器と、前記磁器に接触している少なくとも2つの
電極とから成る磁器コンデンサにおいて、前記磁
器が100.0重量部の基本成分と、0.01〜3.00重量部
の第1の添加成分と、0.2〜5.0重量部の第2の添
加成分とから成り、前記基本成分が、(Bak-x-y
MxLy)OkTiO2 (但し、MはMg,Znの内の少なくとも1種の
金属、LはCa,Srの内の少なくとも1種の金属、
k,x,yは、 1.00≦k≦1.05 0<x<0.10 0<y≦0.05 0.01≦x+y≦0.10を満足する数値)であり、
前記第1の添加成分がCr2O3とAl2O3の内の少な
くとも1種の金属酸化物であり、前記第2の添加
成分がB2O3とSiO2とMO(但し、MOはBaO,
SrO,CaO,MgO及びZnOの内の少なくとも1
種の金属酸化物)から成り、且つ前記B2O3と前
記SiO2と前記MOとの組成範囲がこれ等の組成を
モル%で示す三角図における前記B2O3が1モル
%、前記SiO2が80モル%、前記MOが19モル%の
点Aと、前記B2O3が1モル%、前記SiO2が39モ
ル%、前記MOが60モル%の点Bと、前記B2O3
が29モル%、前記SiO2が1モル%、前記MOが70
モル%の点Cと、前記B2O3が90モル%、前記
SiO2が1モル%、前記MOが9モル%の点Dと、
前記B2O3が90モル%、前記SiO2が9モル%、前
記MOが1モル%の点Eと、前記B2O3が19モル
%、前記SiO2が80モル%、前記MOが1モル%の
点Fとを順に結ぶ6本の直線で囲まれた領域内の
ものであるコンデンサに係わるものである。な
お、基本成分を示す組成式において、k−x,
x,kは勿論それぞれの元素の原子数を示し、
Baはバリウム、Oは酸素、Tiはチタン、Mgは
マグネシウム、Znは亜鉛、Caはカルシウム、Sr
はストロンチウムである。第1の添加成分のCr2
O3は酸化クロム、Al2O3は酸化アルミニウムであ
る。第2の添加成分におけるB2O3は酸化ホウ素、
SiO2は酸化けい素、BaOは酸化バリウム、SrOは
酸化ストロンチウム、CaOは酸化カルシウム、
MgOは酸化マグネシウム、ZnOは酸化亜鉛であ
る。 製造方法に係わる発明は、上記の基本成分と第
1及び第2の添加成分との混合物を用意する工程
と、少なくとも2つの電極部分を有する前記混合
物の成形物を作る工程と、前記電極部分を有する
前記成形物を非酸化性雰囲気で焼成する工程と、
前記焼成で得られた成形物を酸化性雰囲気で熱処
理する工程とを含む磁器コンデンサの製造方法に
係わるものである。 [作用効果] 上記発明の磁器コンデンサにおける誘電体磁器
を非酸化性雰囲気、1200℃以下の焼成で得ること
ができる。従つて、ニツケル等の卑金属の導電性
ペーストをグリーンシートに塗布し、グリーンシ
ートと導電性ペーストとを同時に焼成する方法に
よつて磁器コンデンサを製造することが可能にな
る。誘電体磁器の組成を本発明で特定された範囲
にすることによつて、比誘電率が3000以上、誘電
体損失tanδが2.5%以下、抵抗率ρが1×106
MΩ・cm以上であり、且つ比誘電率の温度変化率
が−55℃〜125℃で−15%〜+15%(25℃を基
準)、−25℃〜85℃で−10%〜+10%(20℃を基
準)の範囲に収まる誘電体磁器を備えたコンデン
サを提供することができる。 [実施例] 次に、本発明に従う実施例及び比較例について
説明する。 まず、本発明に従う基本成分の組成式 (Bak-x-yMxLy)OkTiO2を第1表の試料No.1
のMx,Lx,kの欄に示す割合で得るため、換言
すれば、(Ba0.96M0.04L0.02)O1.02TiO2、更に詳細
には、M0.04=Mg0.03Zn0.01及びL0.02=Ca0.01Sr0.01
であるので、 (Ba0.96Mg0.03Zn0.01Ca0.01Sr0.01)O1.02TiO2を
得るために、純度99.0%以上のBaCO3(炭酸バリ
ウム)、MgO(酸化マグネシウム)、ZnO(酸化亜
鉛)、及びTiO2(酸化チタン)を用意し、不純物
を目方に入れないで BaCO3:1037.72g(0.96モル部相当) MgO:6.62g(0.03モル部相当) ZnO:4.46g(0.01モル部相当) CaCO3:5.48g(0.01モル部相当) SrCO3:8.09g(0.01モル部相当) TiO2:437.63g(1.00モル部相当)を秤量した。 次に、秤量されたこれ等の原料をポツトミル
(pot mill)に入れ、更にアルミナボールと水2.5
とを入れ、15時間湿式攪拌した後、攪拌物をス
テンレスポツトに入れて熱風式乾燥器で150℃、
4時間乾燥した。次にこの乾燥物を粗粉砕し、こ
の粗粉砕物をトンネル炉にて大気中で1200℃、2
時間仮焼し、上記組成式の基本成分を得た。 一方、第2表の試料No.1の第2の添加成分を得
るために、B2O3を0.99g(1モル部)と、SiO2を
68.38g(80モル部)と、BaCO3を10.67g(3.8モル
部)と、SrCO3を7.98g(3.8モル部)と、CaCO3
を5.41g(3.8モル部)と、MgOを2.18g(3.8モル部)
と、ZnOを4.40g(3.8モル部)をそれぞれ秤量し、
この混合物にアルコールを300c.c.加え、ポリエチ
レンポツトにてアルミナボールを用いて10時間攪
拌した後、大気中1000℃で2時間仮焼成し、これ
を300c.c.の水と共にアルミナポツトに入れ、アル
ミナボールで15時間粉砕し、しかる後、150℃で
4時間乾燥させてB2O3が1モル%、SiO2が80モ
ル%、MOが19モル%(BaO 3.8モル%+SrO
3.8モル%+CaO 3.8モル%+MgO 3.8モル%+
ZnO 3.8モル%)の組成の第2の添加成分の粉末
を得た。なお、MOの内容であるBaOとSrOと
CaOとMgOとZnOとの割合は第2表に示すよう
にいずれも20モル%となる。 次に、100重量部(1000g)の基本成分に2重
量部(20g)の第2の添加成分を添加し、更に、
第1の添加成分として平均粒径が0.5μmでよく粒
の揃つた純度99.0%以上のCr2O3を0.1重量部
(1g)添加し、更に、アクリル酸エステルポリマ
ー、グリセリン、縮合リン酸塩の水溶液から成る
有機バインダを基本成分と第1及び第2の添加成
分との合計重量に対して15重量%添加し、更に、
50重量%の水を加え、これ等をボールミルに入れ
て粉砕及び混合して磁器原料のスラリーを作製し
た。 次に、上記スラリーを真空脱泡機に入れて脱泡
し、このスラリーをリバースロールコータに入れ
ここから得られる薄膜成形物を長尺なポリエステ
ルフイルム上に連続して受け取ると共に、同フイ
ルム上でこれを100℃に加熱して乾燥させ、厚さ
約25μmの未焼結磁器シートを得た。このシート
は長尺なものであるが、これを10cm角の正方形に
裁断して使用する。 一方、内部電極用の導電ペーストは、粒径平均
1.5μmのニツケル粉末10gと、エチルセルロース
0.9gをブチルカルビトール9.1gに溶解させたもの
とを攪拌機に入れ、10時間攪拌することにより得
た。この導電ペーストを長さ14mm、幅7mmのパタ
ーンを50個有するスクリーンを介して上記未焼結
磁器シートの片側に印刷した後、これを乾燥させ
た。 次に、上記印刷面を上にして未焼結磁器シート
を2枚積層した。この際、隣接する上下のシート
において、その印刷面がパターンの長手方向に約
半分程ずれるように配置した。更に、この積層物
の上下両面にそれぞれ4枚ずつ厚さ60μmの未焼
結磁器シートを積層した。次いで、この積層物を
約50℃の温度で厚さ方向に約40トンの荷重を加え
て圧着させた。しかる後、この積層物を格子状に
裁断し、50個の積層チツプを得た。 次に、この積層体を雰囲気焼成が可能な炉に入
れ、大気雰囲気中で100℃/hの速度で600℃まで
昇温して、有機バインダを燃焼させた。しかる
後、炉の雰囲気を大気からH2(2体積%)+N2
(98体積%)の雰囲気に変えた。そして、炉を上
述の如き還元性雰囲気とした状態を保つて、積層
体加熱温度を600℃から焼結温度の1150℃まで、
100℃/hの速度で昇温して1150℃(最高温度)
を3時間保持した後、100℃/hの速度で600℃ま
で降温し、雰囲気を大気雰囲気(酸化性雰囲気)
におきかえて、600℃を30分間保持して酸化処理
を行い、その後、室温まで冷却して積層焼結体チ
ツプを作製した。 次に、第1図に示す積層磁器コンデンサ10を
得るために、3つの誘電体磁器層12と2つの内
部電極14とから成る積層焼結体チツプ15に一
対の外部電極16を形成した。なお、外部電極1
6は、電極が露出する焼結体チツプ15の側面に
亜鉛とガラスフリツト(glass frit)とビヒクル
(vehicle)とから成る導電性ペーストを塗布して
乾燥し、これを大気中で550℃の温度で15分間焼
付け、亜鉛電極層18を形成し、更にこの上に無
電解メツキで法で銅層20を形成し、更にこの上
に電気メツキ法でPb−Sn半田層22を設けたも
のから成る。 このコンデンサ10の誘電体磁器層12の厚さ
は0.02mm、一対の内部電極14の対向面積は5mm
×5mm=25mm2である。なお、焼結後の磁器層12
の組成は、焼結前の基本成分と添加成分との混合
組成と実質的に同じである。 次に、コンデンサ10の電気特性を測定し、そ
の平均値を求めたところ、第3表に示す如く、比
誘電率εsが3810、tanδが1/1%、抵抗率ρが
3.8×106MΩ・cm、25℃の静電容量を基準にした
−55℃及び+125℃の静電容量の変化率ΔC-55、
ΔC125が−10.6%、+3.6%、20℃の静電容量を基
準にした−25℃、+85℃の静電容量の変化率
ΔC-25、ΔC85は−5.1%、−6.1%であつた。 なお、電気的特性は次の要領で測定した。 (A) 比誘電率εsは、温度20℃、周波数1kHz、電圧
(実効値)1.0Vの条件で静電容量を測定し、こ
の測定値一対の内部電極14の対向面積25mm2と
一対の内部電極14間の磁器層12の厚さ0.02
mmから計算で求めた。 (B) 誘電体損失tanδ(%)は比誘電率と同一条件
で測定した。 (C) 抵抗率ρ(MΩ・cm)は、温度20℃において
DC100Vを1分間印加した後に一対の外部電極
16間の抵抗値を測定し、この測定値と寸法と
に基づいて計算で求めた。 (D) 静電容量の温度特性は、恒温槽の中に試料を
入れ、−55℃、−25℃、0℃、+20℃、25℃、+40
℃、+60℃、+85℃、+105℃、+125℃の各温度に
おいて、周波数1kHz、電圧(実効値)1.0Vの
条件で静電容量を測定し、20℃及び25℃の時の
静電容量に対する各温度における変化率を求め
ることによつて得た。 以上、試料No.1の作製方法及びその特性につい
て述べたが、試料No.2〜99についても、基本成
分、第1及び第2の添加成分の組成、これ等の割
合、及び還元性雰囲気での焼成温度を第1表〜第
3表に示すように変えた他は、試料No.1と全く同
一の方法で積層磁器コンデンサを作製し、同一方
法で電気的特性を測定した。 第1表は、それぞれの試料の基本成分と第1の
添加成分の組成及び添加量と第2の添加成分の添
加量を示し、第2表はそれぞれの試料の第2の添
加成分の組成を示し、第3表はそれぞれの試料の
焼成温度、及び電気的特性を示す。なお、第1表
の基本成分の欄のx,y,kは組成式の各元素の
原子数、即ちTiの原子数を1とした場合の各元
素の原子数の割合を示す。xの欄のMg,Znは、
一般式のMの内容を示し、Mg,Znの欄にはこれ
等の原子数が示され、yの欄のCa,Srは一般式
Lの内容を示し、Ca,Sr欄にはこれ等の原子数
が示され、合計の欄にはこれ等の合計値(y)が
示されている。x+yの欄には、Mg,Zn,Ca,
Srの原子数の和が示されている。第1及び第2
の添加成分の添加量は基本成分100重量部に対す
る重量部で示されている。第2表の第2の添加成
分のMOの内容の欄には、BaO,MgO,ZnO,
SrO,CaOの割合がモル%で示されている。第3
表において、静電容量の温度特性は、25℃の静電
容量を基準にした−55℃及び+125℃の静電容量
変化率をΔC-55(%)ΔC125(%)、20℃の静電容量
を基準にした−25℃及び+85℃の静電容量変化率
をΔC-25(%)、ΔC85(%)で示されている。
【表】
【表】
【表】
【表】
【表】
【表】
【表】
【表】
【表】
【表】
【表】
【表】
第1表〜第3表から明らかな如く、本発明に従
う試料では、非酸化性雰囲気、1200℃以下の焼成
で、比誘電率εsが3000以上、誘電体損失tanδが
2.5%以下、抵抗率ρが1×106MΩ・cm以上、静
電容量の温度変化率ΔC-55及びΔC125が−15%〜
+15%、ΔC-25及びΔC85は−10%〜+10%の範囲
となり、所望特性のコンデンサを得ることが出来
る。一方、試料No.7〜10、26、31、32、37、38、
50〜56、64〜70、75、76、80、81、90、91、92、
98、99では本発明の目的を達成することができな
い。従つて、これ等は本発明の範囲外のものであ
る。 第3表にはΔC-55、ΔC125、ΔC-25、ΔC85のみ
が示されているが、本発明の範囲に属する試料の
−25℃〜+85℃の範囲の種々の静電容量の変化率
ΔCは、−10%〜+10%の範囲に収まり、また、−
55℃〜+125℃の範囲の種々の静電容量の変化率
ΔCは、−15%〜+15%の範囲に収まつている。 次に、組成の限定理由について述べる。 x+yの値が、試料No.38、56に示す如く、零の
場合には、ΔC-55が−15%〜+15%の範囲外及び
ΔC-25が−10%〜+15%の範囲外となるが、試料
No.39、40、41、42、57、58に示す如く、x+yの
値が0.01の場合には、所望の電気的特性を得るこ
とができる。従つて、x+yの値の下限は0.01で
ある。一方、試料No.52〜55、65〜69に示す如く、
x+yの値が0.12の場合には、ΔC85が−10%〜+
10%の範囲外となるが、試料No.46〜49,62,63に
示す如く、x+yの値が0.10の場合には、所望の
電気的特性を得ることができる。但し、x+yの
値が試料No.50、51、64に示す如く、0.10であつて
もyの値が0.05を越えてしまう場合にはΔC85が範
囲外になる。従つて、x+yの上限値は0.10であ
るが、同時にyの上限値を0.05にしなければなら
ない。なお、M成分のMgとZn及びL成分のCaと
Srはほぼ同様に働き、0<x<0.10を満足する範
囲でMgとZnの内の一方又は両方を使用するこ
と、また0<y≦0.05を満足する範囲でCa,Sr
の内の一方又は両方を使用することができる。そ
して、M成分及びL成分の1種又は複数種の何れ
の場合においてもx+yの値を0.01〜0.10の範囲
にすることが望ましい。 kの値が、試料No.70、76に示す如く、1.0より
も小さい場合には、ρが1×106MΩ・cm未満と
なり、大幅に低くなるが、試料No.71、77に示す如
く、kの値が1.00の場合には、所望の電気的特性
が得られる。従つて、kの値の下限は1.00であ
る。一方、kの値が、試料No.75、80に示す如く、
1.05より大きい場合には緻密な焼結体が得られな
いが、試料No.74、79に示す如く、kの値が1.05の
場合には所望の電気的特性が得られる。従つて、
kの値の上限は1.05である。 第1の添加成分であるCr2O3及び/又はAl2O3
の添加量が試料No.81、92に示す如く零の場合は、
ΔC-55が−15%未満となるが、試料No.82、83、
93、94に示す如く添加量が100重量部の基本成分
に対して0.01重量部の場合には所望の特性を得る
ことができる。従つて第1の添加成分の下限は
0.01である。一方、試料No.90、91、98、99に示す
如く添加量が3.0重量部よりも多い場合には1250
℃で焼成しても緻密な焼結体が得られないが、試
料No.87、88、89、97に示す如く添加量が3.0重量
部の場合には所望の特性を得ることができる。従
つて第1の添加成分の上限は3.0重量部である。
なお、第1の添加成分のCr2O3とAl2O3とはほぼ
同様に働き、これ等から選択された1つを使用し
ても、又は複数を使用しても同様な結果が得られ
る。そして、第1の添加成分が1種又は複数種の
何れの場合に於いても、添加量は0.01〜3.0の範
囲にすることが望ましい。なお、この第1の添加
成分は、静電容量の温度特性の改善に寄与する。
即ち、第1の添加成分の添加によつて−55℃〜
125℃の範囲での静電容量の温度変化率ΔC-55〜
ΔC125を−15%〜+15%の範囲に容易に収めるこ
とが可能になると共に、−25℃〜85℃の範囲での
静電容量の温度変化率ΔC-25〜ΔC85を−10%〜+
10%の範囲に容易に収めることが可能になり、且
つ各温度範囲における静電容量の温度変化率の変
動幅を小さくすることができる。また、第1の添
加成分は抵抗率ρを大きくする作用を若干有す
る。 第2の添加成分の添加量が零の場合には、試料
No.26、32から明らかな如く、焼成温度が1250℃で
あつても緻密な焼結体が得られないが、試料No.
27、33に示す如く、添加量が100重量部の基本成
分に対して0.2重量部の場合には、1190℃の焼成
で所望の電気的特性を有する焼結体が得られる。
従つて、第2の添加成分の下限は0.2重量部であ
る。一方、試料No.31、37に示す如く、第2の添加
成分の添加量が6.0重量部の場合には、εsが3000
未満となり、更にΔC-55が−15%〜+15%の範囲
外となるが、試料No.30、36に示す如く、添加量が
5.0重量部の場合には所望特性を得ることができ
る。従つて、添加量の上限は5.0重量部である。 第2の添加成分の好ましい組成は、第2図の
B2O3−SiO2−MOの組成比を示す三角図に基づ
いて決定することができる。三角図の第1の点A
は、試料No.1のB2O3が1モル%、SiO2が80モル
%、MOが19モル%の組成を示し、第2の点B
は、試料No.2のB2O3が1モル%、SiO2が39モル
%、MOが60モル%の組成を示し、第3の点C
は、試料No.3のB2O3が29モル%、SiO2が1モル
%、MOが70モル%の組成を示し、第4の点D
は、試料No.4のB2O3が90モル%、SiO2が1モル
%、MOが9モル%の組成を示し、第5の点E
は、試料No.5のB2O3が90モル%、SiO2が9モル
%、MOが1モル%の組成を示し、第6の点Fは
試料No.6のB2O3が19モル%、SiO2が80モル%、
MOが1モル%の組成を示す。 本発明の範囲に属する試料の第2の添加成分の
組成は三角図の第1〜6の点A〜Fを順に結ぶ6
本の直線で囲まれた領域内の組成になつている。
この領域内の組成とすれば、所望の電気的特性を
得ることができる。一方、試料No.7〜10のよう
に、第2の添加成分の組成が本発明で特定した範
囲外となれば、緻密な焼結体を得ることができな
い。なお、MO成分は例えば試料No.17〜21に示す
如くBaO,MgO,ZnO,SrO,CaOのいずれか
1つであつてもよいし、又は他の試料で示すよう
に適当な比率としてもよい。 [変形例] 以上、本発明の実施例について述べたが、本発
明はこれに限定されるものではなく、例えば次の
変形例が可能なものである。 (a) 基本成分の中に、本発明の目的を阻害しない
範囲で微量のMnO2(好ましくは0.05〜0.1重量
%)等の鉱化剤を添加し、焼結性を向上させて
もよい。また、その他の物質を必要に応じて添
加してもよい。 (b) 出発原料を、実施例で示したもの以外の酸化
物は水酸化物又はその他の化合物としてもよ
い。 (c) 焼成時の非酸化性雰囲気での処理の後の酸化
性雰囲気での処理の温度を600℃以外の焼結温
度よりも低い温度(好ましくは500℃〜1000℃
の範囲)としてもよい。即ち、ニツケル等の電
極材料と磁器の酸化とを考慮して種々変更する
ことが可能である。 (d) 非酸化性雰囲気中の焼成温度を、電極材料を
考慮して種々変えることができる。ニツケルを
内部電極とする場合には、1050℃〜1200℃の範
囲でニツケル粒子の凝集がほとんど生じない。 (e) 焼結を中性雰囲気で行つてもよい。 (f) 積層磁器コンデンサ以外の一般的な単層の磁
器コンデンサにも勿論適用可能である。
う試料では、非酸化性雰囲気、1200℃以下の焼成
で、比誘電率εsが3000以上、誘電体損失tanδが
2.5%以下、抵抗率ρが1×106MΩ・cm以上、静
電容量の温度変化率ΔC-55及びΔC125が−15%〜
+15%、ΔC-25及びΔC85は−10%〜+10%の範囲
となり、所望特性のコンデンサを得ることが出来
る。一方、試料No.7〜10、26、31、32、37、38、
50〜56、64〜70、75、76、80、81、90、91、92、
98、99では本発明の目的を達成することができな
い。従つて、これ等は本発明の範囲外のものであ
る。 第3表にはΔC-55、ΔC125、ΔC-25、ΔC85のみ
が示されているが、本発明の範囲に属する試料の
−25℃〜+85℃の範囲の種々の静電容量の変化率
ΔCは、−10%〜+10%の範囲に収まり、また、−
55℃〜+125℃の範囲の種々の静電容量の変化率
ΔCは、−15%〜+15%の範囲に収まつている。 次に、組成の限定理由について述べる。 x+yの値が、試料No.38、56に示す如く、零の
場合には、ΔC-55が−15%〜+15%の範囲外及び
ΔC-25が−10%〜+15%の範囲外となるが、試料
No.39、40、41、42、57、58に示す如く、x+yの
値が0.01の場合には、所望の電気的特性を得るこ
とができる。従つて、x+yの値の下限は0.01で
ある。一方、試料No.52〜55、65〜69に示す如く、
x+yの値が0.12の場合には、ΔC85が−10%〜+
10%の範囲外となるが、試料No.46〜49,62,63に
示す如く、x+yの値が0.10の場合には、所望の
電気的特性を得ることができる。但し、x+yの
値が試料No.50、51、64に示す如く、0.10であつて
もyの値が0.05を越えてしまう場合にはΔC85が範
囲外になる。従つて、x+yの上限値は0.10であ
るが、同時にyの上限値を0.05にしなければなら
ない。なお、M成分のMgとZn及びL成分のCaと
Srはほぼ同様に働き、0<x<0.10を満足する範
囲でMgとZnの内の一方又は両方を使用するこ
と、また0<y≦0.05を満足する範囲でCa,Sr
の内の一方又は両方を使用することができる。そ
して、M成分及びL成分の1種又は複数種の何れ
の場合においてもx+yの値を0.01〜0.10の範囲
にすることが望ましい。 kの値が、試料No.70、76に示す如く、1.0より
も小さい場合には、ρが1×106MΩ・cm未満と
なり、大幅に低くなるが、試料No.71、77に示す如
く、kの値が1.00の場合には、所望の電気的特性
が得られる。従つて、kの値の下限は1.00であ
る。一方、kの値が、試料No.75、80に示す如く、
1.05より大きい場合には緻密な焼結体が得られな
いが、試料No.74、79に示す如く、kの値が1.05の
場合には所望の電気的特性が得られる。従つて、
kの値の上限は1.05である。 第1の添加成分であるCr2O3及び/又はAl2O3
の添加量が試料No.81、92に示す如く零の場合は、
ΔC-55が−15%未満となるが、試料No.82、83、
93、94に示す如く添加量が100重量部の基本成分
に対して0.01重量部の場合には所望の特性を得る
ことができる。従つて第1の添加成分の下限は
0.01である。一方、試料No.90、91、98、99に示す
如く添加量が3.0重量部よりも多い場合には1250
℃で焼成しても緻密な焼結体が得られないが、試
料No.87、88、89、97に示す如く添加量が3.0重量
部の場合には所望の特性を得ることができる。従
つて第1の添加成分の上限は3.0重量部である。
なお、第1の添加成分のCr2O3とAl2O3とはほぼ
同様に働き、これ等から選択された1つを使用し
ても、又は複数を使用しても同様な結果が得られ
る。そして、第1の添加成分が1種又は複数種の
何れの場合に於いても、添加量は0.01〜3.0の範
囲にすることが望ましい。なお、この第1の添加
成分は、静電容量の温度特性の改善に寄与する。
即ち、第1の添加成分の添加によつて−55℃〜
125℃の範囲での静電容量の温度変化率ΔC-55〜
ΔC125を−15%〜+15%の範囲に容易に収めるこ
とが可能になると共に、−25℃〜85℃の範囲での
静電容量の温度変化率ΔC-25〜ΔC85を−10%〜+
10%の範囲に容易に収めることが可能になり、且
つ各温度範囲における静電容量の温度変化率の変
動幅を小さくすることができる。また、第1の添
加成分は抵抗率ρを大きくする作用を若干有す
る。 第2の添加成分の添加量が零の場合には、試料
No.26、32から明らかな如く、焼成温度が1250℃で
あつても緻密な焼結体が得られないが、試料No.
27、33に示す如く、添加量が100重量部の基本成
分に対して0.2重量部の場合には、1190℃の焼成
で所望の電気的特性を有する焼結体が得られる。
従つて、第2の添加成分の下限は0.2重量部であ
る。一方、試料No.31、37に示す如く、第2の添加
成分の添加量が6.0重量部の場合には、εsが3000
未満となり、更にΔC-55が−15%〜+15%の範囲
外となるが、試料No.30、36に示す如く、添加量が
5.0重量部の場合には所望特性を得ることができ
る。従つて、添加量の上限は5.0重量部である。 第2の添加成分の好ましい組成は、第2図の
B2O3−SiO2−MOの組成比を示す三角図に基づ
いて決定することができる。三角図の第1の点A
は、試料No.1のB2O3が1モル%、SiO2が80モル
%、MOが19モル%の組成を示し、第2の点B
は、試料No.2のB2O3が1モル%、SiO2が39モル
%、MOが60モル%の組成を示し、第3の点C
は、試料No.3のB2O3が29モル%、SiO2が1モル
%、MOが70モル%の組成を示し、第4の点D
は、試料No.4のB2O3が90モル%、SiO2が1モル
%、MOが9モル%の組成を示し、第5の点E
は、試料No.5のB2O3が90モル%、SiO2が9モル
%、MOが1モル%の組成を示し、第6の点Fは
試料No.6のB2O3が19モル%、SiO2が80モル%、
MOが1モル%の組成を示す。 本発明の範囲に属する試料の第2の添加成分の
組成は三角図の第1〜6の点A〜Fを順に結ぶ6
本の直線で囲まれた領域内の組成になつている。
この領域内の組成とすれば、所望の電気的特性を
得ることができる。一方、試料No.7〜10のよう
に、第2の添加成分の組成が本発明で特定した範
囲外となれば、緻密な焼結体を得ることができな
い。なお、MO成分は例えば試料No.17〜21に示す
如くBaO,MgO,ZnO,SrO,CaOのいずれか
1つであつてもよいし、又は他の試料で示すよう
に適当な比率としてもよい。 [変形例] 以上、本発明の実施例について述べたが、本発
明はこれに限定されるものではなく、例えば次の
変形例が可能なものである。 (a) 基本成分の中に、本発明の目的を阻害しない
範囲で微量のMnO2(好ましくは0.05〜0.1重量
%)等の鉱化剤を添加し、焼結性を向上させて
もよい。また、その他の物質を必要に応じて添
加してもよい。 (b) 出発原料を、実施例で示したもの以外の酸化
物は水酸化物又はその他の化合物としてもよ
い。 (c) 焼成時の非酸化性雰囲気での処理の後の酸化
性雰囲気での処理の温度を600℃以外の焼結温
度よりも低い温度(好ましくは500℃〜1000℃
の範囲)としてもよい。即ち、ニツケル等の電
極材料と磁器の酸化とを考慮して種々変更する
ことが可能である。 (d) 非酸化性雰囲気中の焼成温度を、電極材料を
考慮して種々変えることができる。ニツケルを
内部電極とする場合には、1050℃〜1200℃の範
囲でニツケル粒子の凝集がほとんど生じない。 (e) 焼結を中性雰囲気で行つてもよい。 (f) 積層磁器コンデンサ以外の一般的な単層の磁
器コンデンサにも勿論適用可能である。
第1図は本発明の実施例に係わる積層型磁器コ
ンデンサを示す断面図、第2図は添加成分の組成
範囲を示す三角図である。 12……磁器層、14……内部電極、16……
外部電極。
ンデンサを示す断面図、第2図は添加成分の組成
範囲を示す三角図である。 12……磁器層、14……内部電極、16……
外部電極。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 誘電体磁器と、前記磁器に接触している少な
くとも2つの電極とから成る磁器コンデンサにお
いて、 前記磁器が100.0重量部の基本成分と、 0.01〜3.00重量部の第1の添加成分と、 0.2〜5.0重量部の第2の添加成分とから成り、 前記基本成分が、 (Bak-x-yMxLy)OkTiO2 (但し、MはMg,Znの内の少なくとも1種の
金属、LはCa,Srの内の少なくとも1種の金属、
k,x,yは 1.00≦k≦1.05 0<x<0.10 0<y≦0.05 0.01≦x+y≦0.10を満足する数値)であり、 前記第1の添加成分がCr2O3とAl2O3の内の少
なくとも1種の金属酸化物であり、 前記第2の添加成分がB2O3とSiO2とMO(但
し、MOはBaO,SrO,CaO,MgO及びZnOの内
の少なくとも1種の金属酸化物)から成り、且つ
前記B2O3と前記SiO2と前記MOとの組成範囲が
これ等の組成をモル%で示す三角図における 前記B2O3が1モル%、前記SiO2が80モル%、
前記MOが19モル%の点Aと、 前記B2O3が1モル%、前記SiO2が39モル%、
前記MOが60モル%の点Bと、 前記B2O3が29モル%、前記SiO2が1モル%、
前記MOが70モル%の点Cと、 前記B2O3が90モル%、前記SiO2が1モル%、
前記MOが9モル%の点Dと、 前記B2O3が90モル%、前記SiO2が9モル%、
前記MOが1モル%の点Eと、 前記B2O3が19モル%、前記SiO2が80モル%、
前記MOが1モル%の点F を順に結ぶ6本の直線で囲まれた領域内のもので
あることを特徴とするコンデンサ。 2 100.0重量部の基本成分と、0.01〜3.00重量部
の第1の添加成分と、0.2〜5.0重量部の第2の添
加成分とから成り、前記基本成分が、 (Bak-x-yMxLy)OkTiO2 (但し、MはMg,Znの内の少なくとも1種の
金属、LはCa,Srの内の少なくとも1種の金属、
k,x,yは 1.00≦k≦1.05 0<x<0.10 0<y≦0.05 0.01≦x+y≦0.10を満足する数値)であり、
前記第1の添加成分がCr2O3とAl2O3の内の少な
くとも1種の金属酸化物であり、前記第2の添加
成分がB2O3とSiO2とMO(但し、MOはBaO,
SrO,CaO,MgO及びZnOの内の少なくとも1
種の金属酸化物)から成り、且つ前記B2O3と前
記SiO2と前記MOとの組成範囲がこれ等の組成を
モル%で示す三角図における前記B2O3が1モル
%、前記SiO2が80モル%、前記MOが19モル%の
点Aと、前記B2O3が1モル%、前記SiO2が39モ
ル%、前記MOが60モル%の点Bと、前記B2O3
が29モル%、前記SiO2が1モル%、前記MOが70
モル%の点Cと、前記B2O3が90モル%、前記
SiO2が1モル%、前記MOが9モル%の点Dと、
前記B2O3が90モル%、前記SiO2が9モル%、前
記MOが1モル%の点Eと、前記B2O3が19モル
%、前記SiO2が80モル%、前記MOが1モル%の
点Fとを順に結ぶ6本の直線で囲まれた領域内の
ものであることを特徴とする混合物を用意する工
程と、 少なくとも2つの電極部分を有する前記混合物
の成形物を作る工程と、 前記電極部分を有する前記成形物を非酸化性雰
囲気で焼成する工程と、 前記焼成で得られた成形物を酸化性雰囲気で熱
処理する工程と、 を含む磁器コンデンサの製造方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1298138A JPH03159110A (ja) | 1989-11-16 | 1989-11-16 | 磁器コンデンサ及びその製造方法 |
| US07/601,315 US5111357A (en) | 1989-11-16 | 1990-10-22 | Solid dielectric capacitor and method of manufacture |
| DE69016619T DE69016619T2 (de) | 1989-11-16 | 1990-10-22 | Festdielektrikumkondensator und Verfahren zur Herstellung. |
| EP90120258A EP0432418B1 (en) | 1989-11-16 | 1990-10-22 | Solid dielectric capacitor and method of manufacture |
| KR1019900018687A KR930011190B1 (ko) | 1989-11-16 | 1990-11-16 | 자기 콘덴서 및 그 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1298138A JPH03159110A (ja) | 1989-11-16 | 1989-11-16 | 磁器コンデンサ及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03159110A JPH03159110A (ja) | 1991-07-09 |
| JPH0525377B2 true JPH0525377B2 (ja) | 1993-04-12 |
Family
ID=17855680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1298138A Granted JPH03159110A (ja) | 1989-11-16 | 1989-11-16 | 磁器コンデンサ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03159110A (ja) |
-
1989
- 1989-11-16 JP JP1298138A patent/JPH03159110A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03159110A (ja) | 1991-07-09 |
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