JPH03278415A - 磁器コンデンサ及びその製造方法 - Google Patents
磁器コンデンサ及びその製造方法Info
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- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 23
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 title claims description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 88
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims abstract description 36
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 claims abstract description 36
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims abstract description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 claims abstract description 10
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims abstract description 8
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 229910052689 Holmium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 32
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 claims description 23
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 12
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 claims description 3
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 12
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract description 6
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 abstract description 6
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N Li2O Inorganic materials [Li+].[Li+].[O-2] FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract 1
- XUCJHNOBJLKZNU-UHFFFAOYSA-M dilithium;hydroxide Chemical compound [Li+].[Li+].[OH-] XUCJHNOBJLKZNU-UHFFFAOYSA-M 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 20
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 15
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 10
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 5
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 125000005396 acrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 150000004679 hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 1
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
で挟持してなる単層または積層構造の磁器コンデンサ及
びその製造方法に関するものである。
器原料粉末から成る未焼結磁器シート(グリーンシート
)に白金又はパラジウム等の貴金属の導電性ペーストを
所望パターンで印刷し、これを複数枚積み重ねて圧着し
、酸化性雰囲気中において1300℃〜1600℃で焼
成させた。
器シートは誘電体磁器層となり、白金又はパラジウム等
の貴金属の導電性ペーストは内部電極となる。
ム等の貴金属を主成分とするものを使用すれば、酸化性
雰囲気中において1300℃〜1600℃という高温で
焼成させても、目的とする内部電極を得ることができる
。
、必然的に積層磁器コンデンサがコスト高になっていた
。
願人に係わる特公昭61−14607号公報には、(B
a 、−M ++10 M T i 02(但し、M
はMg及び/又はZn)から成る基本成分と、L L
n O及びSiO2から成る添加成分とを含む誘電体磁
器組成物が開示されている。
昭61−14607号公報記載の誘電体磁器組成物のL
i * O及びS i Oxの代りに、L 120
+ S x Oz及びMO(但し、MOはBaO,Ca
O及びSrOから選択された1種または2種以上の金属
酸化物)から成る添加成分を含む誘電体磁器組成物が開
示されている。
−x−y MX LFIOkT x o z (但し
、MはMg及び/又はZn、LはSr及び/又はCa)
から成る基本成分と、Li1O及びS L Ozから成
る添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されている
。
昭61.−14609号公報記載の誘電体磁器組成物に
おけるLia O及びS 102の代りに、Liz O
,SiO□及びMO(但し、MOはBaO,(:aO及
びSrOから選択された1種または2種以上の金属酸化
物)から成る添加成分を含む誘電体磁器組成物が開示さ
れている。
−x M*+Ok T i O2(但し、MはMg。
2種以上の金属元素)から成る基本成分と、B2O3及
びSingから成る添加成分とを含む誘電体磁器組成物
が開示されている。
* MIIIOII T i Ox (但し、MはM
g。
の金属元素)から成る基本成分と、B2O3及びMO(
但し、MOはB ao。
択された1種または2種以上の金属酸化物)から成る添
加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されている。
62−1595号公報記載の誘電体磁器組成物のBt
Os及びMOの代りに、B20n。
または2種以上の金属酸化物)から成る添加成分とを含
む誘電体磁器組成物が開示されている。
して使用すれば、還元性雰囲気中において、1200℃
以下の温度の焼成で磁器コンデンサを得ることができ、
しかも、その誘電体磁器組成物の比誘電率を2000以
上、比誘電率の温度変化率を一25℃〜+85℃で一1
0%〜+10%の範囲にすることができるものである。
磁器コンデンサの小型化の要求は非常に強く、上記各公
報に開示されている誘電体磁器組成物よりも更に比誘電
率の大きな誘電体磁器組成物を備えた磁器コンデンサの
開発が望まれていた。
るため、上記各公報に開示されている誘電体磁器組成物
よりも更に広い温度範囲にわたって比誘電率の変化率が
小さい誘電体磁器組成物を備えた磁器コンデンサの開発
が望まれていた。
200℃以下の焼成で得られるものであるにもかかわら
ず、比誘電率が3000以上、誘電体損失tanδが2
.5%以下、抵抗率ρが1xlO’MΩ・cm以上であ
り、かつ比誘電率の温度変化率が一55℃〜125℃で
一15%〜+15%(25℃を基準) 、−25℃〜8
5℃で=10%〜+10%(20℃を基準)の範囲に収
まる誘電体磁器組成物を備えた磁器コンデンサ及びその
製造方法を提供することにある。
なる誘電体磁器層と、この誘電体磁器層を挟持している
少なくとも2以上の内部電極とを備え、前記誘電体磁器
組成物が100重量部の基本成分と、0.2〜5重量部
の添加成分とからなり、 前記基本成分が (Bak−1++*yl MxLyl Om (Tz
+ −zRxl 0x−six(但し、MはMg及び/
又はZn、LはCa及び/又はSr、RはSc、Y、G
d、Dy。
の金属元素、k、x、y、zは1.00≦k≦1.05 0<x<0. 10 o<y≦0.05 0.01≦X+y≦0.10 0.002≦z≦0.06 を満足する数値)で表わされる物質からなり、前記添加
成分がLit OとSiO2とMO(但し、MOはBa
O,SrO,CaO,MgO及びZnOから選択された
1種または2種以上の金属酸化物)とからなり、 前記L i t Oと前記SiO□と前記MOとの組成
範囲が、これらの組成なモル%で示す三角図における、 前記L i x Oが1モル%、前記SiO2が80モ
ル%、前記MOが19モル%の組成を示す第1の点Aと
、 前記Liz Oが1モル%、前記S i 02が39モ
ル%、前記MOが60モル%の組成を示す第2の点Bと
、 前記L i t Oが30モル%、前記S i O2が
30モル%、前記MOが40モル%の組成を示す第3の
点Cと、 前記L i * Oが50モル%、前記S i Ozが
50モル%、前記MOが0モル%の組成を示す第4の点
りと、 前記L f t Oが20モル%、前記S i O2が
80モル%、前記MOが0モル%の組成を示す第5の点
Eと をこの順に結ぶ5本の直線で囲まれた領域内のものであ
る。
しい。kの値が1.00未満では、抵抗率ρがlX10
”MΩ・cs+より小さ(なり、静電容量の温度変化率
ΔC−Ss ΔCI□5が一15%〜+15%から外
れ、ΔC−26+八C85が一10%〜+lO%から外
れ、またkの値が1.05を越えると緻密な焼結体が得
られな(なってしまうが、kの値が1.00≦k≦1.
05の範囲では所望の電気的特性を有する緻密な焼結体
が得られるからである。
が好ましい。x+yの値が0.01未満では静電容量の
温度変化率へC−□が一15%〜+15%から外れ、x
+yの値が0.10を越えると、静電容量の温度変化率
ΔC11,が一10%〜+10%から外れてしまうが、
x+yの値が0.01≦X+3’≦0.10の範囲では
所望の電気的特性を有するものが得られるからである。
いても、yの値が0.05を越えると、静電容量の温度
変化率ΔCSSが一10%〜+lO%から外れてしまう
からである。
f同様に働き、O<x<O,loを満足する範囲でMg
とZnのうちの一方または両方を使用すること、またo
<y≦0.o5を満足する範囲でCaとSrのうちの一
方または両方を使用することができる。
範囲が好ましい、Zの値が0.002未満では静電容量
の温度変化率Δc−6,が一15%〜+15%から外れ
、ΔC−21+が一10%〜+10%から外れてしまい
、Zの値が0.06を越えると緻密な焼結体が得られな
くなってしまうが、0.002≦z≦0.06の範囲で
は、所望の電気的特性を有する緻密な焼結体が得られる
からである。
1つを使用しても、または複数を組み合わせて使用して
も同様な効果が得られるものである。
の場合においても0.002≦z≦0.06の範囲にす
ることが望ましい。
ものである。すなわち、R成分の添加によって一55℃
〜125℃の範囲での静電容量の温度変化率ΔC−5s
〜ΔC1□を一15%〜+15%の範囲に容易に収める
ことが可能になると共に一25℃〜85℃の範囲での静
電容量の温度変化率へC−2%〜ΔC□を一10%〜+
10%の範囲に容易に収めることが可能になり、かつ各
温度範囲における静電容量の温度変化率の変動幅を小さ
くすることができるものである。
高める作用を有するものである。
にはもちろんそれぞれの元素の原子数を示している。
で微量のMn0t(好ましくは0.05〜0.1重量%
)等の鉱化剤を添加し、焼結性を向上させてもよい。ま
た、その他の物質を必要に応じて添加し、でもよい。
たもの以外の例えばBaO,SrO。
としてもよい。
対し、0.2〜5重量部の範囲が好ましい、添加成分の
添加量が0.2重量部未満の場合には、焼成温度が12
50℃であっても緻密な焼結体が得られず、また、添加
成分の添加量が5重量部を越えると、比誘電率ε1が3
000未満となり、しかも静電容量の温度変化率ΔC−
5sが一15%〜+15%から外れるが、添加成分が0
.2〜5重量部の範囲にある場合は、所望の電気的特性
のものが得られるからである。
成比をモル%で示す三角図の第1〜5の点A〜Eを順に
結ぶ5本の直線で囲まれた領域内が好ましい。
得ることができないが、この領域内の組成とすれば、所
望の電気的特性の焼結体を得ることができるからである
。
化合物としてもよい。
の基本成分と添加成分とからなる未焼結の磁器粉末の混
合物を調製する工程と、前記混合物からなる未焼結磁器
シートを形成する工程と、前記未焼結磁器シートを少な
くとも2以上の導電性ペースト膜で挟持させた積層物を
形成する工程と、前記積層物を非酸化性雰囲気中におい
て焼成する工程と、前記焼成を受けた積層物を酸化性雰
囲気中において熱処理する工程とを備えたものである。
慮して種々変えることができる。
00℃の範囲でニッケル粒子の凝集がほとんど生じない
。
のみならず、N、やArなどの中性雰囲気であってもよ
い。
ル等の電極材料と磁器の酸化とを考慮して種々変更する
ことが可能である。
に限定されるものではなく、焼結温度よりも低い温度で
あればよ(、好ましくは500’C〜1000℃の範囲
がよい。
の磁器コンデンサにも勿論適用可能である。
特性について説明する。
合して原料混合物を得た。
し、大気中において約1200℃の温度で2時間仮焼し
、基本成分の粉末を得た。
物にアルコールを300cc加え、ポリエチレンポット
にてアルミナボールを用いて10時間撹拌した後、大気
中において1000℃の温度で2時間仮焼成した。
i2Oが1モル%、SiO2が80モル%、MOが19
モル%(BaO(3,8モル%)+CaO<3.8モル
%)+SrO(3−8モル%)+MgO(3,8モル%
)+ZnO(3,8モル%))の組成になるように計算
して求めた値である。
とともにアルミナポットに入れ、アルミナボールで15
時間粉砕し、しかる後に150℃で4時間乾燥させて、
添加成分の粉末を得た。
に、いずれも20モル%となる。
し、2重量部(20g)の前記添加成分を添加し、更に
、アクリル酸エステルポリマーグリセリン、縮合リン酸
塩の水溶液からなる有機バインダーを、基本成分と添加
成分との合計重量に対して15重I%添加し、更に、5
0重置%の水を加え、これらをボールミルに入れて、粉
砕及び混合して磁器原料のスラリーを調製した。
スラリーをリバースロールコータに入れ、ここから得ら
れる薄膜成形物を長尺なポリエステルフィルム上に連続
して受は取ると共に、同フィルム上でこれを100℃に
加熱して乾燥させ、厚さ約25&imの未焼結磁器シー
トを得た。
正方形に裁断して使用する。
μmのニッケル粉末10gと、エチルセルロース0.9
gをブチルカルピトール9.1gに渚解させたものとを
撹拌機に入れ、10時間撹拌することにより得た。そし
て。
ンを50個有するスクリーンを介して上記未焼結磁器シ
ートの片側に印刷した後、これを乾燥させた。
層した。この際、隣接する上下のシートにおいて、その
印刷面がパターンの長平方向に約半分程ずれるように配
置した。更に、この積層物の上下両面にそれぞれ4枚ず
つ厚さ60μmの未焼結磁器シートを積層した。
0トンの荷重を加えて圧着させた。
体チップを得た。
、大気雰囲気中において100℃/hの速度で600℃
まで昇温して、有機バインダを燃焼させた。
、(98体積%)の還元性雰囲気に変えた。そして、炉
をこの還元性雰囲気とした状態を保って、積層体チップ
の加熱温度を600℃から焼結温度の1150℃まで、
100℃/hの速度で昇温しで1150℃(最高温度)
を3時間保持した後、100℃/hの速度で600℃ま
で降温し、雰囲気を大気雰囲気(酸化性雰囲気)におき
かえて、600℃を30分間保持して酸化処理を行い
その後、室温まで冷却して積層焼結体チップを得た。
ガラスフリット(glass frit)とビヒクル(
vehicle )とからなる導電性ペーストを塗布し
て乾燥し、これを大気中で550℃の温度で15分間焼
付け、亜鉛電極層を形成し、更にこの上に無電解メツキ
法で銅層を形成し、更にこの上に電気メツキ法でPb−
3n半田層を設けて、一対の外部電極を形成した。
12と2層の内部電極14とから成る積層焼結体チップ
15に一対の外部電極16を形成した積層磁器コンデン
サ10が得られた。
電極層18の上に形成された銅層20と、この銅層20
の上に形成されたPb−5n半田層22とからなる。
の厚さは0.02mm、一対の内部電極14の対向面積
は5mmX5mm=25mm2である。また、焼結後の
誘電体磁器層12の組成は、焼結前の基本成分及び添加
成分の混合組成と実質的に同じである。
その平均値を求めたところ、第2表に示すように、比誘
電率ε8が3530、tanδが1.2%、抵抗率ρが
4.7X10’MΩ・C11,25℃の静電容量を基準
にした一55℃及び+125℃の静電容量の変化率Δc
−68ΔC125が−11,6%、+6.6%、20
℃の静電容量を基準にした一25℃、+85℃の静電容
量の変化率ΔC−xi+ ΔCasが−6,8%。
、電圧(実効値)1.OVの条件で静電容量を測定し、
この測定値と、一対の内部電極14の対向面積25mm
2と、一対の内部電極14間の誘電体磁器層12の厚さ
0.02mmから計算で求めた。
と同一条件で測定した。
DClooVを1分間印加した後に一対の外部電極16
間の抵抗値を測定し、この測定値と寸法とに基づいて計
算で求めた。
、−55℃、−25℃、0℃、+20℃。
kHz、電圧(実効値)i、ovの条件で静電容量を測
定し、20℃及び25℃の時の静電容量に対する各温度
における変化率を求めることによって得た。
述べたが、試料NO12〜86についても、基本成分及
び添加成分の組成、これ等の割合、及び還元性雰囲気中
における焼成温度を第1表及び第2表に示すように変化
させた他は、No、1の試料と全(同一の方法で積層磁
器コンデンサを作成し、同一の方法で電気的特性を測定
した。
し、第2表は各々の試料の焼成温度及び電気的特性を示
す。
基本成分の組成式(1)の各元素の原子数、すなわち(
Ti+R)の原子数を1とした場合の各元素の原子数の
割合を示す。
式(1)のMの内容を示し、yの欄のCa、Srは、基
本成分の組成式(1)のしの内容を示し%Zの欄のSc
、Y、Gd、Dy。
)のRの内容を示している。
にはMg、Zn、Ca、Srの合計値(x+y)が示さ
れている。
部で示されている。添加成分のMOの内容の欄にはB
a O、M g O、Z n O、S r O及びCa
Oの割合がモル%で示されている。
容量を基準にした一55℃及び+125℃の静電容量変
化率をΔC−5−(%)及び八C,2,(%)で、20
℃の静電容量を基準にした一25℃及び+85℃の静電
容量変化率をΔC−,,(%)及びΔC,,(%)で示
されている。
料では、非酸化性雰囲気中において、1200℃以下の
焼成で、比誘電率ε8が3000以上、tanδが2.
5%以下、抵抗率pがlX10’MΩ・cm以上、静電
容量の温度変化第八〇−5,及びΔC325が=15%
〜+15%、ΔC−25及び八C85が一10%〜+1
0%の範囲となり、所望特性の磁器コンデンサを得るこ
とが出来るものである。
〜44,50,54,55,60゜61.67.68.
74.85.86では本発明の目的を達成することがで
きない。従って、これ等は本発明の範囲外のものである
。
るが、本発明の範囲に属する試料の一25℃〜+85℃
の範囲の種々の静電容量の温度変化率ΔCは、−10%
〜+10%の範囲に収まり、また、−55℃〜+125
℃の範囲の種々の静電容量の変化率ΔCは、−15%〜
+15%の範囲に収まっている。
について述べる。
の場合には、静電容量の温度変化率ΔC−55が一15
%〜+15%の範囲外となるが、試料No、33〜35
に示すように、x+yの値が0.Olの場合には、所望
の電気的特性が得られる。従って、x+yの下限は0.
01である。
値が0.12の場合には、静電容量の温度変化率ΔCa
sが一10%〜+10%の範囲外となるが、試料No、
39.49に示すように、x+yの値が0.10の場合
には、所望の電気的特性を得ることができる。但し、x
+yの値が試料No、40.44に示すように0.10
であっても、yの値が0.05を越えてしまう場合には
、△Ca6が一10〜+10%の範囲外となる、従って
、>(+yの上限値は0.10であるが、同時にyの上
限値を0.05にしなければならない。
f同様に働き、O<x<0.10を満足する範囲でMg
とZnのうちの一方または両方を使用すること、またo
<y≦0.05を満足する範囲でCaとSrのうちの一
方または両方を使用することができる。そして、M成分
及びL成分の1種または複数種のいずれの場合において
もx+yの値を0.01〜0.10の範囲にすることが
望ましい。
合には、ρが1xlO’MΩ・0111未満と大幅に低
くなり、静電容量の温度変化率ΔC−3,ΔC−2%、
ΔCasもそれぞれ一15%t−10%より大幅に悪化
してしまうが、試料No、51に示すように、にの値が
1.00の場合には、所望の電気的特性が得られる。従
って、kの値の下限は1.00である。
7の場合には緻密な焼結体が得られないが、試料No、
53に示すように、kの値が1.05の場合には、所望
の電気的特性が得られる。従ってkの値の上限は1.0
5である。
零の場合には静電容量の温度変化率ΔC−11’l+八
C−46がそれぞれ一15%。
合には、所望の電気的特性が得られる。従ってZの下限
は0.002である。
6に示すように、0.07の場合には1250℃で焼成
しても緻密な焼結体が得られないが、試料No、59.
66.73.83.84に示すように0.06の場合に
は所望の電気的特性を得ることができる。従って、Zの
値の上限は0.06である。
1つを使用しても、または複数を組み合わせて使用して
も同様な結果が得られる。
いてもZの値を0.002〜0.06の範囲にすること
が望ましい。
の改善に寄与するものである。すなわち、R成分の添加
によって一55℃〜125℃の範囲での静電容量の温度
変化率ΔC−55〜ΔC+asを一15%〜+15%の
範囲に容易に収めることが可能になると共に一25℃〜
85℃の範囲での静電容量の温度変化第八C−25〜Δ
Cs5を一10%〜+10%の範囲に容易に収めること
が可能になり、かつ各温度範囲における静電容量の温度
変化率の変動幅を小さくすることができる。
高める作用を有するものである。
6から明らかなように、焼成温度が1250℃であって
も緻密な焼結体が得られないが、試料No、27に示す
ように、添加量が100重量部の基本成分に対して0.
2重量部の場合には、1190℃の焼成で所望の電気的
特性が得られる。従って、添加成分の下限は0.2重数
部である。
が7.0重量部の場合には、比誘電率ε1が3000未
満となり、更に、静電容量の温度変化率ΔC−55が一
15%〜+15%の範囲外となるが、試料No、30に
示すように、添加量が5.0重量部の場合には、所望の
電気的特性を得ることができる。従って、添加量の上限
は5.0重量部である。
iO□−MOの組成比を示す三角図に基づいて決定する
ことができる。
が1モル%、SiO2が80モル%、MOが19モル%
の組成を示し、第2の点Bは、試料N002のL L
20が1モル%、SiO□が39モル%、MOが60モ
ル%の組成を示し、第3の点Cは、試料No、3のLi
z Oが30モル%、S i Ozが30モル%、MO
が40モル%の組成を示し、第4の点りは試料No、4
のL i 20が50モル%、SiO2が50モル%、
MOが0モル%の組成を示し、第5の点Eは、試料No
、5のL 120が20モル%、5iftが80モル%
、MOが0モル%の組成を示す。
第1〜5の点A−Eを順に結ぶ5本の直線で囲まれた領
域内の組成になっている。この領域内の組成とすれば、
所望の電気的特性を得ることができる。
が本発明で特定した範囲外となれば、緻密な焼結体を得
ることができない。
うに、BaO,MgO,ZnO。
は他の試料に示すように適当な比率としてもよ國 [発明の効果] 本発明によれば、誘電体磁器組成物の組成を前述したよ
うにしたので、比誘電率が3000以上、誘電体損失t
anδが2.5%以下、抵抗率pがlX10’MΩ・c
m以上であり、且つ比誘電率の温度変化率が、−55℃
〜125℃で一15%〜+15%(25℃を基準)、−
25℃〜85℃で一10%〜+10%(20℃を基準)
の範囲に収まる誘電体磁器組成物を備えた磁器コンデン
サを提供することができる。
00℃以下の温度で焼成して得ることができるので、ニ
ッケル等の卑金属の導電性ペーストをグリーンシートに
塗布し、グリーンシートと導電性ペーストとを同時に焼
成する方法によって磁器コンデンサを製造することがで
きる。
を示す断面図、第2図は添加成分の組成範囲を示す三角
図である。 12−・・磁器層、14・−・内部電極、16・・−外
部電極。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1.誘電体磁器組成物からなる誘電体磁器層と、この誘
電体磁器層を挟持している少なくとも2以上の内部電極
とを備えた磁器コンデンサにおいて、 前記誘電体磁器組成物が、100重量部の基本成分と、
0.2〜5重量部の添加成分との混合物を焼成したもの
からなり、 前記基本成分が (Ba_k_−_(_x_+_y_)M_xL_y)O
_k(Ti_1_−_zR_z)O_2_−_z_/_
2(但し、MはMg及び/又はZn、LはCa及び/又
はSr、RはSc,Y,Gd,Dy,Ho,Er及びY
bから選択された1種または2種以上の金属元素、k,
x,y,zは 1.00≦k≦1.05 0<x<0.10 0<y≦0.05 0.01≦x+y≦0.10 0.002≦z≦0.06 を満足する数値)で表わされる物質からなり、前記添加
成分がLi_2OとSiO_2とMO(但し、MOはB
aO,SrO,CaO,MgO及びZnOから選択され
た1種または2種以上の金属酸化物)とからなり、 前記Li_2Oと前記SiO_2と前記MOとの組成範
囲が、これらの組成をモル%で示す三角図における、 前記Li_2Oが1モル%、前記SiO_2が80モル
%、前記MOが19モル%の組成を示す第1の点Aと、 前記Li_2Oが1モル%、前記SiO_2が39モル
%、前記MOが60モル%の組成を示す第2の点Bと、 前記Li_2Oが30モル%、前記SiO_2が30モ
ル%、前記MOが40モル%の組成を示す第3の点Cと
、 前記Li_2Oが50モル%、前記SiO_2が50モ
ル%、前記MOが0モル%の組成を示す第4の点Dと、 前記Li_2Oが20モル%、前記SiO_2が80モ
ル%、前記MOが0モル%の組成を示す第5の点Eと をこの順に結ぶ5本の直線で囲まれた領域内にあること
を特徴とする磁器コンデンサ。 2.未焼結の磁器粉末からなる混合物を調製する工程と
、前記混合物からなる未焼結磁器シートを形成する工程
と、前記未焼結磁器シートを少なくとも2以上の導電性
ペースト膜で挟持させた積層物を形成する工程と、前記
積層物を非酸化性雰囲気中において焼成する工程と、前
記焼成を受けた積層物を酸化性雰囲気中において熱処理
する工程とを備え、 前記未焼結の磁器粉末からなる混合物が、 100重量部の基本成分と、0.2〜5重量部の添加成
分とからなり、 前記基本成分が (Ba_k_−_(_x_+_y_)M_xL_y)O
_k(Ti_1_−_zR_z)O_2_−_z_/_
2(但し、MはMg及び/又はZn、LはCa及び/又
はSr、RはSc,Y,Gd,Dy,Ho,Er及びY
bから選択された1種または2種以上の金属元素、k,
x,y,zは 1.00≦k≦1.05 0<x<0.10 0<y≦0.05 0.01≦x+y≦0.10 0.002≦z≦0.06 を満足する数値)で表わされる物質からなり、前記添加
成分がLi_2OとSiO_2とMO(但し、MOはB
aO,SrO,CaO,MgO及びZnOから選択され
た1種または2種以上の金属酸化物)とからなり、 前記Li_2Oと前記SiO_2と前記MOとの組成範
囲が、これらの組成をモル%で示す三角図における、 前記Li_2Oが1モル%、前記SiO_2が80モル
%、前記MOが19モル%の組成を示す第1の点Aと、 前記Li_2Oが1モル%、前記SiO_2が39モル
%、前記MOが60モル%の組成を示す第2の点Bと、 前記Li_2Oが30モル%、前記SiO_2が30モ
ル%、前記MOが40モル%の組成を示す第3の点Cと
、 前記Li_2Oが50モル%、前記SiO_2が50モ
ル%、前記MOが0モル%の組成を示す第4の点Dと、 前記Li_2Oが20モル%、前記SiO_2が80モ
ル%、前記MOが0モル%の組成を示す第5の点Eと をこの順に結ぶ5本の直線で囲まれた領域内にあること
を特徴とする磁器コンデンサの製造方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2076765A JPH03278415A (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | 磁器コンデンサ及びその製造方法 |
| EP91906424A EP0476143B1 (en) | 1990-03-28 | 1991-03-27 | Ceramic capacitor and production thereof |
| DE69106463T DE69106463T2 (de) | 1990-03-28 | 1991-03-27 | Keramischer Kondensator und seine Herstellung. |
| PCT/JP1991/000396 WO1991015023A1 (fr) | 1990-03-28 | 1991-03-27 | Condensateur en ceramique et production de ce condensateur |
| US07/773,645 US5181157A (en) | 1990-03-28 | 1991-03-28 | Ceramic capacitor and method for fabricating the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2076765A JPH03278415A (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | 磁器コンデンサ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03278415A true JPH03278415A (ja) | 1991-12-10 |
Family
ID=13614692
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2076765A Expired - Lifetime JPH03278415A (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | 磁器コンデンサ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03278415A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05270904A (ja) * | 1992-03-25 | 1993-10-19 | Taiyo Yuden Co Ltd | 磁器コンデンサ及びその製造方法 |
| US8385049B2 (en) | 2008-10-21 | 2013-02-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Dielectric ceramic and laminated ceramic capacitor |
-
1990
- 1990-03-28 JP JP2076765A patent/JPH03278415A/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05270904A (ja) * | 1992-03-25 | 1993-10-19 | Taiyo Yuden Co Ltd | 磁器コンデンサ及びその製造方法 |
| US8385049B2 (en) | 2008-10-21 | 2013-02-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Dielectric ceramic and laminated ceramic capacitor |
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