JPH0525640B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えば集積回路形成用の基盤とな
るシリコンウエハのような円形その他の形状の薄
板上に貼着した保護フイルムを薄板の周縁に沿つ
て自動的に切抜く方法ならびにこの方法を実施す
る装置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来ではシリコンウエハのような薄板に対する
フイルムの貼着は手作業で行ない、薄板の周囲か
らはみ出したフイルムの切り取りも手作業で行な
つていた。

また、カツプ状の容器の開口部に貼着した蓋材
フイルムを開口部外周に沿つて切断する装置が実
開昭56−42896号公報に開示されている。この装
置は容器の上方に配置された回転板の周縁にリン
クの一端を枢着すると共に、そのリンクの他端に
回転刃を枢着し、その回転刃の頭部をカムフレー
ムのカム溝で案内しながら、そのカム溝の形状に
従つて蓋材フイルムを切断するようにしたもので
ある。

〔発明が解決しようとする課題〕

前述のような手作業では手数がかかり、綺麗に
かつ能率よく切断するためには相当な熟練が必要
である。

また、前掲の公報に開示された装置は、次のよ
うな問題がある。

リンクの一端側は回転板に枢着され回転板に
従つて回転運動するのに対し、リンクの他端側
（回転刃側）はカム溝に沿つて移動するため、
カム溝の形状に急な凹凸があると、回転刃は移
動不可能となる。従つて、切断可能な形状は円
に近い単純な構造に限られる。

回転刃は何ら内向きに付勢されていないの
で、回転刃に切断抵抗が作用すると、回転刃の
位置がカム溝の幅内で変動し、容器開口部の外
周にきちんと沿つた切断ができない。

回転刃を案内するカム溝のほかに、回転刃の
刃先を受入れる溝を容器受台（リテーナー）に
設ける必要があるため構造が複雑となる。

〔課題を解決するための手段〕

上記の課題を解決するための第１の手段は、テ
ープ状の保護フイルムを上面に貼着されて送られ
てきた薄板を吸着固定する受台を用いて保護フイ
ルムを薄板外周に沿つて切抜く方法において、上
記受台状に上記薄板の外周に沿う環状のならい溝
を設け、この受台の上方に昇降自在の垂直の回転
軸を設け、該回転軸の下端にその半径方向に移動
自在でかつ回転中心方向へ付勢された切抜部材取
付台を設け、この取付台に切抜部材を取付けた装
置を用い、上記保護フイルムを薄板外周より外側
で切抜く縁残し切抜きを行う場合は、薄板外周を
ならい溝の内側に配置し、薄板外周と一致する位
置で切抜く縁無し切抜きを行う場合は、薄板外周
をならい溝の幅内に配置したのち、上記取付台を
下降させその切抜部材を上記保護フイルムに切込
ませ、次に上記回転軸を回転させ、縁残し切抜き
の場合は上記切抜部材をならい溝内周に沿わせ、
また縁無し切抜きの場合は薄板外周に沿わせて該
保護フイルムを切抜くようにしたものである。

また、第２の手段は、テープ状の保護フイルム
を上面に貼着されて送られてきた薄板を吸着固定
する受台を有する薄板用保護フイルムの切抜き装
置において、上記受台上に上記薄板の外周に沿う
環状のならい溝を設け、この受台の上方に昇降自
在の垂直の回転軸を設け、該回転軸の下端にその
半径方向に移動自在で、かつ回転中心方向へ付勢
された切抜部材取付台を設け、この取付台に切抜
部材を取付けた構成としたものである。この第２
の手段に係る装置は、保護フイルムを上面に貼着
された薄板が受台上に移送されると、その上方に
ある回転軸及びこれと一体の切抜部材取付台を下
降させ、その取付台に取付けた切抜部材を保護フ
イルムに切り込ませたのち回転軸を回転させる
と、切抜部材はならい溝の内側面又は薄板の外周
に沿つて移動し、ならい溝又は薄板外周に凹凸が
存在すると取付台が半径方向に進退しながら移動
し、その間切抜部材は回転中心方向に付勢される
ので、ならい溝の内側面又は薄板の外周に接しな
がら保護フイルムを切抜く。

〔実施例〕

以下にこの発明の方法とこれを実施する装置を
添付図面に示す一実施例に基づいて説明する。

図において、１はシルコンウエハのような薄板
であり、実施例では円板状でその一部を直線状に
切除したものである（第５図参照）。薄板１の形
状としては、このほかに円板の一部にＶ形の切欠
を設けたものなどがある。

このような薄板１を第１図のようなマガジン２
に一定の間隔で積上げる。このマガジン２は受台
３上に載つており、受台３はユニツト化されたス
クリユージヤツキ式、ラツクピニオン式、シリン
ダ式などの昇降機構４により一定のピツチで間欠
的に下降し、最下端のものから１枚づつ送出し手
段５により取出される。

送出し手段５は駆動プーリ６により第１図矢印
方向に連続駆動される無端ベルト７を有し、マガ
ジン２が１ピツチ下ると最下段の薄板１がベルト
７上に載つて取出されるものであるが、図示以外
の機構のものを用いてもよい。

また、図示省略してあるが、薄板１に方向決定
用のＶ形の切欠がある場合、マガジンの前方に複
数の縦の回転棒などからなる位置決め手段を設け
て切欠を前向きなどの一定方向に修正する。

１０は前期昇降機構４、送出し手段５などを取
付けた機台で、その上部側方には機箱１１を設け
る。

また、機箱１１には巻軸１５と巻取軸１６を設
け、粘着剤層を有するポリエチレンフイルムなど
からなる保護フイルム１７を巻軸１５に巻き、巻
き軸１５から引出した保護フイルム１７をローラ
１２の下側に巻いて巻取軸１６に巻取らせるが、
前記ローラ１２は機箱１１に設けた昇降軸受など
に取付けてバネにより下部のローラ１３上へ押し
付ける。

前記送出し手段５により送出された薄板１はロ
ーラ１２，１３間において、粘着剤層を下面にし
た保護フイルム１７の下面に貼着される。

第１図の２１はフイルムの展張兼剥離手段で、
この剥離手段２１は上下一対のローラ２０を移動
台１９に取付けたもので、この移動台１９は機箱
１１に設けたガイドレール２２に摺動自在に取付
けられ、動力駆動の送りネジあるいはエアシリン
ダなどにより移動する。

前記ローラ１２，１３間を通過したフイルム１
７は下部のローラ２０の下を通り、反転して上下
のローラ２０間を通り、再び反転して上部のロー
ラ２０上から、前記巻取軸１６の下方において機
箱１１に取付けたガイドローラ２３の下部に達
し、このローラ２３の外周を回り巻取軸１６に巻
取られる。上記ガイドローラ２３には機箱１１に
取付けた揺動レバー２４の下端に設けた押圧ロー
ラ２５が接触し、このレバー２４をエアシリダ２
６により操作して必要時にのみ押圧ローラ２５を
ガイドローラ２３に圧着せしめる。３０は受台３
１上に設けたテープ切抜手段で、その詳細は第２
図ないし第３図の通りである。

すなわち、第２図において、３２は機箱１１に
昇降自在に取付けられ、エアシリンダ３４で昇降
する昇降台で、この昇降台３２上にエアシリンダ
３５により横方向に摺動する摺動枠３６を取付け
る。

この摺動枠３６にはモータ３９で駆動される垂
直の回転軸３８を取付け、その下部に横枠４０を
固定する。この横枠４０には手動ツマミ４１によ
り回動する送りネジ４２により左右に摺動する調
節台４５を取付ける。この調節台４５の下部には
ガイドレール４６を設け、このガイドレール４６
に摺動体４７を取付けてエアシルンダ４８で移動
自在とし、この摺動体４７に設けたガイドレール
４９に取付けた摺動子５０のブラケツト５１に切
抜部材取付台５２をピン５３を中心に揺動可能に
取付け、ブラケツト５１に設けた弧状孔に挿入し
て取付台５２のネジ孔にねじ込んだ止ねじ５４で
任意の角度に固定し得るようにする。５７は取付
台５２に着脱自在に取付けた切抜部材で、刃物を
用いる場合と、電熱線を用いる場合とがある。刃
物を用いる場合は刃先が常に進行方向に向くよう
に留意する必要があるが電熱線の場合はフイルム
１７を溶解させて切抜くので丸線とすれば方向に
留意する必要はない。

また、前記摺動体４７に取付けた調節ネジ５５
と摺動子５０間には引バネ５６を取付ける。

前記受台３１の上面には第１図のように大小の
ウエハの外周形状に適合する複数の環状ならい溝
６０を設けてあり、この受台３１を支持台６１上
に着脱自在に固定して取替えられるようにしてあ
る。また、受台３１には多数の真空吸引孔を設
け、この吸引孔を図示省略してある真空吸引装置
に連通させて受台３１上に移動してきた薄板１を
吸引固定し得るようにする。

薄板１がローラ１２，１３間に送り込まれると
きは移動台１９は第１図の鎖線のようにローラ１
２，１３に接近している。巻取軸１６の回転と、
ローラ１２，１３の回転により保護フイルム１７
が第１図の矢印方向に送られて、薄板１がローラ
１２，１３間に入りフイルム１７の下面に貼着さ
れるとともに移動台１９も同方向に移動して第１
図の実線の位置まで移動台１９が移動して停止す
ると、薄板１が丁度受台３１上となりフイルム１
７はローラ１２，２０の下部間に張り渡された状
態となり、巻取軸１６は停止し、移動台１９、ロ
ーラ１２，１３およびフイルム１７が止り、同時
に真空吸引装置が働き、薄板１が受台３１上に吸
着される。

この状態となるまでは上昇位置にあつた昇降台
３２がシリンダ３４によつて下降し、その下端の
取付台５２に取付けた切抜部材５７がフイルム１
７を貫通してその下端が受台３１上のならい溝６
０に嵌入する。

ついで、モータ３９が起動して回転軸３８が回
転を始めるので、これとともに取付台５２も回転
を始め切抜部材５７がならい溝６０に沿つて旋回
し、フイルム１７を薄板１の外周に沿つて切断す
る。薄板１が回転軸３８と同心の円板状の場合は
取付台５２および摺動子５０は摺動体４７などに
対して動くことなく旋回するが、薄板１の一部に
直線部やＶ形の切欠部など薄板１が円形以外の形
状のときは取付台５２は摺動子５０とともに旋回
しつつ、摺動体４７などに対して半径方向に移動
して薄板１の形状に沿つてフイルム１７を切抜
く。

こうしてフイルムが切抜かれると、昇降台３２
が上昇し、移動台１９がローラ１２，１３の方へ
移動する。このとき、巻軸１５、巻取軸１６を回
らぬように制動しておくことにより、切抜き後の
フイルム１７は薄板１上に貼着された部分を残し
てローラ２０の上部へ移行し、移動台１９がロー
ラ１２，１３に接近して停止すると、再び巻軸１
５、巻取軸１６の制動が弛み、巻取軸１６がフイ
ルム１７を巻取り、移動台１９が移動を始めて次
の工程となる。

上記の切抜きにおいてフイルム１７を薄板１の
全周より大きく切り抜く場合、即ち縁残し切抜き
の場合は、第４図のようにならない溝６０の内側
を薄板１の外周より大きくし、切抜部材５７を引
バネ５６によりならい溝６０の内周に沿わせて移
動させる。

フイルム１７を薄板１の外周と一致するように
切抜く場合、即ち縁無し切抜きの場合は、第４図
のようにならない溝６０の内側より薄板１の外
周を大きくして切抜部材５７を薄板１の外周に沿
わせて移動させる。

また、第４図のように薄板１の直線部１′を
ならい溝６０の直線部６０′内に突出させ、薄板
１の他の円周部はならい溝６０内に突出させて、
切抜部材５７を円周部においては薄板１の外周に
沿わせ、直接部１′においてはならい溝６０の直
線部６０′に沿わせるようにすれば、第５図のよ
うに薄板１の直線部１′からフイルム１７が突出
して縁残し切抜きとなり、他の部分ではフイルム
１７と薄板１の周辺とが一致して縁無し切抜きと
なる。

上記の方法は、切抜き開始とともに昇降台３２
を下降させ、第６図のように上方から切抜部材５
７をフイルム１７に刺し込んだのち矢印のように
部材５７を旋回させて一周させ、そののち、昇降
台３２を上昇させて部材５７をフイルム１７から
抜き取る方法である。この場合、第６図のａ点の
ように薄板１からずれた位置に部材５７を挿入し
たのち、部材５７を矢印のように直線部の中央ｂ
まで直線移動させ、その位置から部材５７を回転
させて切抜くこともできる。

その他に、第７図のように薄板１の周囲を一周
してフイルム１７を切断した切抜部材５７を引き
抜かず、そのままの状態でフイルム１７を巻取つ
ていく方法の場合はフイルム１７の片側が切り裂
かれるが切抜部材５７を１回の切抜き毎に昇降さ
せる工程が省略される。

ただし、このように切抜部材５７をフイルム１
７から引抜かない場合は移動台１９の移動が不可
能となるので、切抜き後のフイルム１７の剥離は
別の手段が必要となる。

薄板１の大きさが変更になると、第２図のツマ
ミ４１を回して調節台４５を移動させて切抜部材
５７と回転軸３８の軸芯間の距離を調節する。ま
た、シリンダ３５で摺動枠３６を移動させると回
転軸３８の中心を移動させることができる。

上記のように切抜部材５７を薄板などの物品か
らずれた位置から挿入し得るようにするため、受
台３１のならい溝６０に通じる直線状のガイド溝
を受台３１上に適宜設ける場合もある。

この場合の効果として刃物などの切抜部材５７
の胴部での薄板などの物品のガイドがしやすくな
り円周部から直線部への移動がスムーズとなり切
断面も美しくなる。

上記のように切抜かれたフイルム１７を上面に
貼着した状態で受台３１上に残つた薄板１は移送
手段６５によりつぎの搬出ベルト７２上へ送り出
される。

この移送手段６５は機箱１１の側面に設けた上
下のガイドレール６６に沿つて移動する。すなわ
ち、第８図のようにガイドレール６６に摺動自在
に係合した取付台６７に昇降枠６８を取付け、こ
の枠６８の上端の腕６９の先端に吸着器７０を取
付けたものである。

この吸着器７０は真空吸引式である。すなわ
ち、吸着器７０を中空円板状とし、その下面に多
数の小径吸引孔を設け、吸着器７０内と図示省略
してある真空吸引装置とをフレキシブルパイプで
連通して電磁弁などによつて必要に応じて真空吸
引が行なえるようにしてある。

その他の方法として吸着保持テーブルにエヤー
の吹出し部を設けてエヤーフロートを行うことに
より送り出すこともできる。

また、図示省略してあるが、取付台６７は機箱
１１に設けたシリンダ機構、ラツクピニオン機
構、送りネジ機構などの任意の機構により、ガイ
ドレール６６に沿つて移動し、昇降枠６８は取付
台６７に設けた駆動系などで昇降する。

上記のように受台３１上において、貼着された
フイルム１７を切抜かれた薄板１上に、前記の移
送手段６５が移動して昇降枠６８が下降し吸着器
７０の下面がフイルム１７を貼着した薄板１上に
接すると同時に吸着器７０による真空吸引が開始
され、同時に受台３１による真空吸引が解除され
る。

ついで、昇降枠６８が上昇して薄板１が受台３
１から離れ、移動手段６５によりつぎの搬出手段
７１へくると昇降枠６８が下り、薄板１を搬出手
段７１の無端搬出ベルト７２上へ降し、吸着器７
０は真空吸引を中止して上昇する。このため、薄
板１は搬出ベルト７２により搬出される。

第１図の７５は前記のように薄板１上に切抜か
れたフイルム１１を張つたものを収納するマガジ
ンである。このマガジン７５は前記マガジン２と
ほぼ類似するもので、適宜のユニツト化された昇
降機構７６により昇降される受台７７上に載り、
搬出ベルト７２上を移動してきた薄板１がマガジ
ン７５内に１枚入る毎に受台７７が１ピツチ上昇
する。

〔発明の効果〕

この出願の薄板用保護フイルムの切抜き方法の
発明（前述の第１の手段に係る発明）並びに切抜
装置（前述の第２の手段に係る発明）は、いずれ
も次の効果を発揮する。

ａ 切抜部材取付台が半径方向に移動自在である
ので、切抜部材が任意形状のならい溝又は薄板
の形状に沿つて円滑に移動する。

ｂ 切抜部材取付台が回転中心方向に付勢されて
いるので、切抜部材は常にならい溝内周面又は
薄板の外周に密着して切抜くことができる。

ｃ 薄板に対するならい溝の形状と大きさを適宜
に選定することにより縁残し切抜き、或いは縁
残しと縁無しが混つた切抜きができる。

特に、縁無し切抜きの場合は、薄板の外周を
ならい溝の幅内に位置させその外周にならつて
切抜くことができるので、綺麗な仕上がりとな
る。

ｄ ならい溝は切抜部材を案内すると共に、その
刃先を受入れる溝の役目を果たすので、構造が
簡単になる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明方法を実施する装置の正面
図、第２図は同上要部の拡大側面図、第３図は同
上旋回部の拡大正面図、第４図，，は切抜
き状態の各例を示す拡大断面図、第５図はフイル
ムの一部をはみ出して切抜いた薄板の斜視図、第
６図、第７図はフイルムに対する切断部材の動き
の各例を示す平面図、第８図は移送手段の拡大断
面図である。 １……薄板、１７……保護フイルム、３１……
受台、３８……回転軸、５２……切抜部材取付
台、５６……引バネ、５７……切抜部材、６０…
…ならい溝。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ テープ状の保護フイルムを上面に貼着されて
   送られてきた薄板を吸着固定する受台を用いて保
   護フイルムを薄板外周に沿つて切抜く方法におい
   て、上記受台上に上記薄板の外周に沿う環状のな
   らい溝を設け、この受台の上方に昇降自在の垂直
   の回転軸を設け、該回転軸の下端にその半径方向
   に移動自在でかつ回転中心方向へ付勢された切抜
   部材取付台を設け、この取付台に切抜部材を取付
   けた装置を用い、上記保護フイルム薄板外周より
   外側で切抜く縁残し切抜きを行う場合は、薄板外
   周をならい溝の内側に配置し、薄板外周と一致す
   る位置で切抜く縁無し切抜きを行う場合は、薄板
   外周をならい溝の幅内に配置したのち、上記取付
   台を下降させその切抜部材を上記保護フイルムに
   切込ませ、次に上記回転軸を回転させ、縁残し切
   抜きの場合は上記切抜部材をならい溝内周に沿わ
   せ、また縁無し切抜きの場合は薄板外周に沿わせ
   て該保護フイルムを切抜くことを特徴とする薄板
   用保護フイルムの切抜き方法。 ２ テープ状の保護フイルムを上面に貼着されて
   送られてきた薄板を吸着固定する受台を有する薄
   板用保護フイルムの切抜き装置において、上記受
   台上に上記薄板の外周に沿う環状のならい溝を設
   け、この受台の上方に昇降自在の垂直の回転軸を
   設け、該回転軸の下端にその半径方向に移動自在
   で、かつ回転中心方向へ付勢された切抜部材取付
   台を設け、この取付台に切抜部材を取付けたこと
   を特徴とする薄板用保護フイルムの切抜き装置。