JPS62134829A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS62134829A JPS62134829A JP60275364A JP27536485A JPS62134829A JP S62134829 A JPS62134829 A JP S62134829A JP 60275364 A JP60275364 A JP 60275364A JP 27536485 A JP27536485 A JP 27536485A JP S62134829 A JPS62134829 A JP S62134829A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- curls
- magnetic
- evaporation
- magnetic recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高密度記録特性の優れた金属薄膜型磁気記録媒
体の製造方法に関する。
体の製造方法に関する。
従来の技術
従来、磁気記録媒体としては、非磁性基板上に磁性粉を
バインダーとともに塗布した塗布型媒体が用いられてき
た。現在、磁気記録再生装置は小型化、高密度化の傾向
にあるが、塗布型媒体では高密度化が限界に達しつつあ
る。この限界を越えるものとして強磁性金属薄膜よりな
る薄膜型媒体が注目されている。強磁性金属薄膜材料と
しては２ ページ ＣＯを主成分としたものが、ＧＯのｈｃｐ構造に起因す
る結晶磁気異方性エネルギーが大きいために、最も優れ
ている。具体的な例としては、Ｇｏ−Ｎｉ。
バインダーとともに塗布した塗布型媒体が用いられてき
た。現在、磁気記録再生装置は小型化、高密度化の傾向
にあるが、塗布型媒体では高密度化が限界に達しつつあ
る。この限界を越えるものとして強磁性金属薄膜よりな
る薄膜型媒体が注目されている。強磁性金属薄膜材料と
しては２ ページ ＣＯを主成分としたものが、ＧＯのｈｃｐ構造に起因す
る結晶磁気異方性エネルギーが大きいために、最も優れ
ている。具体的な例としては、Ｇｏ−Ｎｉ。
Ｇｏ−０，Ｇｏ−Ｎｉ−０等の面内記録用薄膜、Ｇｏ−
Ｏｒ。
Ｏｒ。
Ｇｏ−０，Ｇｏ−Ｒｕ等の垂直磁気記録用薄膜があげら
れる。
れる。
強磁性金属薄膜よシなる薄膜型媒体を製造する方法には
、メッキ法、スパッタリング法、および真空蒸着法等が
あるが、量産性や安定性を考慮すると真空蒸着法が最も
優れている。真空蒸着法にて生産性良くかつ安定に薄膜
型媒体を形成するには、第２図に示すように、円筒状キ
ャン２の局面に沿わせて高分子基板１を走行させつつ蒸
着を行なえばよい。なお３，４は一方が基板１の供給ロ
ール、他方が巻き取りロール、６は蒸発源である。
、メッキ法、スパッタリング法、および真空蒸着法等が
あるが、量産性や安定性を考慮すると真空蒸着法が最も
優れている。真空蒸着法にて生産性良くかつ安定に薄膜
型媒体を形成するには、第２図に示すように、円筒状キ
ャン２の局面に沿わせて高分子基板１を走行させつつ蒸
着を行なえばよい。なお３，４は一方が基板１の供給ロ
ール、他方が巻き取りロール、６は蒸発源である。
発明が解決しようとする問題点
上記の方法で薄膜を形成すると、一般に第３図に示され
る、強磁性金属薄膜６が内側あるいは外側になるような
カールを生じ、磁気記録媒体として使用する際に走行性
、巻き取り性、磁気ヘッド３ベー。
る、強磁性金属薄膜６が内側あるいは外側になるような
カールを生じ、磁気記録媒体として使用する際に走行性
、巻き取り性、磁気ヘッド３ベー。
タッチ等が悪くなるという問題を生じる。以下第３図ａ
、ｂをそれぞれ正カール及び逆カールと呼ぶ。薄膜蒸着
後、第３図に示されるようなカールが生じた媒体を平坦
にするためには、第４図に示すように磁気記録媒体にお
いて強磁性金属薄膜６と反対側に非磁性層７を形成する
か、あるいは正カールの場合には薄膜形成後に熱処理を
施して基板１を収縮させればよいが、いずれにしても工
程が少なくとも一つ増加してしまう。
、ｂをそれぞれ正カール及び逆カールと呼ぶ。薄膜蒸着
後、第３図に示されるようなカールが生じた媒体を平坦
にするためには、第４図に示すように磁気記録媒体にお
いて強磁性金属薄膜６と反対側に非磁性層７を形成する
か、あるいは正カールの場合には薄膜形成後に熱処理を
施して基板１を収縮させればよいが、いずれにしても工
程が少なくとも一つ増加してしまう。
問題点を解決するだめの手段
真空蒸着法により、金属薄膜磁性層を走行しつつあるカ
ールのある高分子基板上に直接に、あるいは下地層を介
して連続的に形成する。
ールのある高分子基板上に直接に、あるいは下地層を介
して連続的に形成する。
作用
カールしている高分子基板上に金属薄膜磁性層を蒸着す
ることにより、カールの殆どない金属薄膜型磁気記録媒
体が得られる。
ることにより、カールの殆どない金属薄膜型磁気記録媒
体が得られる。
実施例
具体的な例により本発明について説明する。高分子基板
として膜厚１２μｍのポリイミドフィルムを用い、この
上に膜厚２４００へのＧｏ−Ｃｒ垂直磁気異方性膜を蒸
着する場合について説明する。
として膜厚１２μｍのポリイミドフィルムを用い、この
上に膜厚２４００へのＧｏ−Ｃｒ垂直磁気異方性膜を蒸
着する場合について説明する。
Ｇｏ−Ｃｒ垂直磁気異方性膜の組成はＣｒが１０〜３０
重量％、膜厚は１４００〜３０００人、膜面に垂直方向
の保磁力ＨＣＬは３００〜１００００ｅが好ましい。蒸
着装置としては、第２図に示される基本構成のものを用
いた。真空蒸着法でＨ６，が３００〜１００００ｅのＧ
ｏ−Ｃｒ垂直磁気異方性膜を形成するためには、第２図
における円筒状キャン２の局面の温度を２００〜３００
’Ｃにする必要がある。
重量％、膜厚は１４００〜３０００人、膜面に垂直方向
の保磁力ＨＣＬは３００〜１００００ｅが好ましい。蒸
着装置としては、第２図に示される基本構成のものを用
いた。真空蒸着法でＨ６，が３００〜１００００ｅのＧ
ｏ−Ｃｒ垂直磁気異方性膜を形成するためには、第２図
における円筒状キャン２の局面の温度を２００〜３００
’Ｃにする必要がある。
円筒状キャンの局面の温度を２４０°ＣとしてＨが４０
００ｅのＧｏ−Ｃｒｒ垂直磁気異方性膜をＬ 蒸着した場合の、カールの状態を以下に述べる。
００ｅのＧｏ−Ｃｒｒ垂直磁気異方性膜をＬ 蒸着した場合の、カールの状態を以下に述べる。
第５図は従来の例であり、乙に示されるカールのないポ
リイミドフィルム８に、上記条件でＧｏ−Ｃｒ垂直磁気
異方性膜９を蒸着すると、ｂに示されるよう々正カール
になってし寸う。これに対し本発明では、第１Ｎａに示
されるようなカールのあるポリイミドフィルム１ｏを用
いる。上記の蒸着条件の場合には、磁性面が形成される
べき面が外側５ ベー／′ にカールしているポリイミドフィルムを用いる必要があ
る。第１Ｎａに示されるポリイミドフィルム上に、ｃｏ
−Ｃｒ垂直磁気異方性膜９を蒸着すると第１図すに示さ
れるような、カールの殆どない媒体が得られる。
リイミドフィルム８に、上記条件でＧｏ−Ｃｒ垂直磁気
異方性膜９を蒸着すると、ｂに示されるよう々正カール
になってし寸う。これに対し本発明では、第１Ｎａに示
されるようなカールのあるポリイミドフィルム１ｏを用
いる。上記の蒸着条件の場合には、磁性面が形成される
べき面が外側５ ベー／′ にカールしているポリイミドフィルムを用いる必要があ
る。第１Ｎａに示されるポリイミドフィルム上に、ｃｏ
−Ｃｒ垂直磁気異方性膜９を蒸着すると第１図すに示さ
れるような、カールの殆どない媒体が得られる。
以上ではポリイミドフィルム上に、直接Ｃ〇−Ｇｒ垂直
磁気異方性膜を形成する場合について述べたが、ポリイ
ミド等の高分子フィルム上に、膜厚１ｏ○〜５００人程
度のＴｉ、Ｇｅ等の下地層を蒸着してからＧｏ−Ｃｒ膜
を蒸着すると、磁気特性が改善されることが知られてい
る。下地層の膜厚が１００〜５０Ｑ人程度であれば、カ
ールには殆ど影響を及ぼさないので、下地層のある媒体
についても上記と全く同様の結果が得られる。
磁気異方性膜を形成する場合について述べたが、ポリイ
ミド等の高分子フィルム上に、膜厚１ｏ○〜５００人程
度のＴｉ、Ｇｅ等の下地層を蒸着してからＧｏ−Ｃｒ膜
を蒸着すると、磁気特性が改善されることが知られてい
る。下地層の膜厚が１００〜５０Ｑ人程度であれば、カ
ールには殆ど影響を及ぼさないので、下地層のある媒体
についても上記と全く同様の結果が得られる。
また、カールのない高分子フィルム上に磁性層を蒸着す
ると、第３図すのように逆カールになる場合には、第１
図ａとは逆のカールをしている高分子フィルムを用いれ
ばよい。
ると、第３図すのように逆カールになる場合には、第１
図ａとは逆のカールをしている高分子フィルムを用いれ
ばよい。
以上では高分子基板として、ポリイミドフィルム、金属
薄膜磁性層としてｃｏ−Ｏｒ垂直磁気異方６ページ 性膜の例について説明したが、高分子基板として、ポリ
アミドフィルムあるいはポリエチレンニレツクレートフ
ィルム、金属薄膜磁性層としてＣ０−Ｃｒ垂直磁気異方
性膜以外の薄膜を用いる場合にも、上記の例と同様のこ
とが言える。
薄膜磁性層としてｃｏ−Ｏｒ垂直磁気異方６ページ 性膜の例について説明したが、高分子基板として、ポリ
アミドフィルムあるいはポリエチレンニレツクレートフ
ィルム、金属薄膜磁性層としてＣ０−Ｃｒ垂直磁気異方
性膜以外の薄膜を用いる場合にも、上記の例と同様のこ
とが言える。
発明の効果
本発明によれば、カールの殆どない金属薄膜型磁気記録
媒体が得られる。
媒体が得られる。
第１図はカールのあるポリイミドフィルム１゜と、この
フィルム上にＧｏ−Ｃｒ垂直磁気異方性膜を蒸着した場
合のカールの状態側面図、第２図は真空蒸着装置内部の
概略側面図、第３図は真空蒸着法により得られた磁気記
録媒体のカールの状態を示す側面図、第４図は裏面に薄
膜を形成することによ逆カールの発生を防止した磁気記
録媒体の斜視図、第５図はカールのないポリイミドフィ
ルム８と、このフィルム上にｃｏ−Ｃｒ垂直磁気異方性
膜を蒸着した場合のカールの側面図である。 １・・・・・高分子基板、２・・・・・・円筒状キャン
、３゜７ ベージ ４・・・・・・供給ロール、巻き取りロール、５・・・
・・・蒸発源、６・・・・・・強磁性金属薄膜、７・・
・・・・非磁性層、８・・・・・・カールのないポリイ
ミドフィルム、９・・・・・・Ｇｏ−Ｃｒｒ垂直磁気異
方性膜、１０・・・・・カールのあるポリイミドフィル
ム。
フィルム上にＧｏ−Ｃｒ垂直磁気異方性膜を蒸着した場
合のカールの状態側面図、第２図は真空蒸着装置内部の
概略側面図、第３図は真空蒸着法により得られた磁気記
録媒体のカールの状態を示す側面図、第４図は裏面に薄
膜を形成することによ逆カールの発生を防止した磁気記
録媒体の斜視図、第５図はカールのないポリイミドフィ
ルム８と、このフィルム上にｃｏ−Ｃｒ垂直磁気異方性
膜を蒸着した場合のカールの側面図である。 １・・・・・高分子基板、２・・・・・・円筒状キャン
、３゜７ ベージ ４・・・・・・供給ロール、巻き取りロール、５・・・
・・・蒸発源、６・・・・・・強磁性金属薄膜、７・・
・・・・非磁性層、８・・・・・・カールのないポリイ
ミドフィルム、９・・・・・・Ｇｏ−Ｃｒｒ垂直磁気異
方性膜、１０・・・・・カールのあるポリイミドフィル
ム。
Claims (1)
- 真空蒸着法により、金属薄膜磁性層を走行しつつあるカ
ールのある高分子基板上に直接に、あるいは下地層を介
して連続的に形成することを特徴とする磁気記録媒体の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60275364A JPS62134829A (ja) | 1985-12-06 | 1985-12-06 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60275364A JPS62134829A (ja) | 1985-12-06 | 1985-12-06 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62134829A true JPS62134829A (ja) | 1987-06-17 |
Family
ID=17554447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60275364A Pending JPS62134829A (ja) | 1985-12-06 | 1985-12-06 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62134829A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5423506A (en) * | 1977-07-22 | 1979-02-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Production of magnetic recording media |
| JPS59112436A (ja) * | 1982-12-16 | 1984-06-28 | Sony Corp | 磁気テ−プの製造方法 |
| JPS6093640A (ja) * | 1983-10-25 | 1985-05-25 | Hitachi Maxell Ltd | 磁気記録媒体の製造用装置 |
-
1985
- 1985-12-06 JP JP60275364A patent/JPS62134829A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5423506A (en) * | 1977-07-22 | 1979-02-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Production of magnetic recording media |
| JPS59112436A (ja) * | 1982-12-16 | 1984-06-28 | Sony Corp | 磁気テ−プの製造方法 |
| JPS6093640A (ja) * | 1983-10-25 | 1985-05-25 | Hitachi Maxell Ltd | 磁気記録媒体の製造用装置 |
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