JPH05277452A - 角型基板洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 装置全体を小型かつ安価に構成するととも
に、角型基板に無理な力を掛けずに端面を良好に洗浄す
る。 【構成】 角型基板Ｗを水平姿勢に載置保持する基板保
持手段１と、角型基板Ｗの端面を摺接洗浄する鉛直方向
の軸芯周りで駆動自転可能な洗浄具１２とを備え、その
洗浄具１２の駆動自転軸芯とは偏位した鉛直方向の軸芯
周りで揺動可能に第１および第２の支持部材１１ｂを設
けて洗浄具１２を支持させ、第１および第２の支持部材
１１ｂを、角型基板Ｗの外周端面に沿う方向に直線的に
移動させ、かつ、引っ張りスプリング３２により、洗浄
具１２を角型基板Ｗの端面に押圧するように付勢すると
ともに洗浄具１２をその移動方向において第１および第
２の支持部材１１ｂの揺動軸芯よりも後方側で角型基板
Ｗに摺接させるように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、フォトマスク用のガラ
ス基板、液晶表示装置用のガラス基板等の角型基板に対
して、その端面に付着したフォトレジストとかポリイミ
ド樹脂とかカラーフィルタ材などの塗布液を洗浄除去す
るために、角型基板を載置保持する基板保持手段と、そ
の角型基板の端面を摺接洗浄する鉛直方向の軸芯周りで
駆動自転可能な洗浄具とを備えた角型基板洗浄装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】上述のような角型基板洗浄装置として
は、従来、例えば、特公平３−２９４７４号公報に開示
されたものがあった。この従来例の角型基板洗浄装置に
よれば、角型基板をいわゆる立てた状態、つまり、角型
基板を面方向が鉛直方向になる状態で鉛直方向に搬送す
る第１の搬送路と、その第１の搬送路の搬送方向に直交
するとともに角型基板の面方向と平行な方向に搬送する
第２の搬送路それぞれに、それぞれの搬送路の両側に沿
うような配置で、対向する端面を洗浄する円筒型ブラシ
を設け、角型基板の搬送に伴ってその４辺の端面を洗浄
するように構成している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来例
の角型基板洗浄装置では、角型基板の端面を洗浄するの
に、角型基板を搬送しているため、搬送のための装置構
成が大掛かりになって高価になるとともに、装置が大型
化する欠点があった。

【０００４】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、装置全体を小型かつ安価に構成すると
ともに、角型基板に無理な力を掛けずに端面を良好に洗
浄できるようにすることを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、上述のような
目的を達成するために、角型基板を水平姿勢に載置保持
する基板保持手段と、角型基板の端面を摺接洗浄する鉛
直方向の軸芯周りで駆動自転可能な洗浄具とを備えた角
型基板洗浄装置において、洗浄具を支持してその洗浄具
の駆動自転軸芯とは偏位した鉛直方向の軸芯周りで揺動
可能な支持部材と、角型基板の外周端面に沿う方向に支
持部材を直線的に移動する移動手段と、洗浄具を角型基
板の端面に押圧するように付勢する付勢手段を備えると
ともに洗浄具を支持部材の移動方向において支持部材の
揺動軸芯よりも後方側で角型基板に摺接させるならい機
構とを備えて構成する。

【０００６】

【作用】本発明の角型基板洗浄装置の構成によれば、移
動手段によって、角型基板の端面に沿うように洗浄具を
直線的に移動させ、これに伴い、洗浄具を支持部材の揺
動軸芯よりも移動方向後方側で角型基板の端面に摺接さ
せながら、かつ、付勢手段によって押圧しながら自転さ
せ、洗浄具から角型基板に無理な力がかかりそうになっ
ても、支持部材が付勢手段の付勢力に抗して揺動し、角
型基板に対して無理な力がかからない状態で角型基板の
端面を洗浄することができる。

【０００７】

【実施例】次に、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。

【０００８】図１は、本発明の角型基板洗浄装置の実施
例を示す一部切欠側面図、図２は要部の斜視図であり、
これらの図において、１は昇降可能な基板保持手段を示
し、角型基板Ｗを水平姿勢に載置するとともに真空吸着
により保持する基板載置プレート１ａと、その基板載置
プレート１ａを鉛直方向の第１の軸芯Ｐ１周りで駆動回
転する第１の電動モータ１ｂとから構成されている。

【０００９】角型基板Ｗの横側の下方に設けた支持台２
に、一対のガイド３，３とエアーシリンダ４とを介し
て、第１の軸芯Ｐ１に遠近する方向に移動可能に可動台
５が設けられ、その可動台５に、１本のガイド６と、正
逆転可能な第２の電動モータ７によって駆動されるベル
ト８とを介して、角型基板Ｗの外周端面に沿う方向に直
線的に移動可能に支持台９が設けられている。

【００１０】支持台９には、図３の要部の断面図に示す
ように、中空筒状の支柱１０が立設され、その支柱１０
に第１の支持部材１１ａが鉛直方向の第２の軸芯（揺動
軸芯）Ｐ２周りで回転可能に内嵌されるとともに、第１
の支持部材１１ａの上端に水平方向に張り出すように第
２の支持部材１１ｂが一体連接され、その第２の支持部
材１１ｂの先端側に、前記第２の軸芯Ｐ２とは偏位した
鉛直方向の第３の軸芯（自転軸芯）Ｐ３周りで回転可能
に、洗浄具１２の駆動軸１３が設けられている。上記第
１の支持部材１１ａと第２の支持部材１１ｂとから成る
構成が、特許請求の範囲の「支持部材」に相当し、そし
て、この支持部材を支持台９とともに角型基板Ｗの外周
端面に沿う方向に直線的に移動するための、ガイド６と
第１の電動モータ７によって駆動されるベルト８とから
成る構成が、特許請求の範囲の「移動手段」に相当す
る。

【００１１】第１の支持部材１１ａ内に回転可能に回転
軸１４が設けられ、この回転軸１４の上下それぞれに伝
動プーリー１５ａ，１５ｂが一体的に取り付けられ、下
側の伝動プーリー１５ｂと、可動台５に設けた第３の電
動モータ１６によって駆動回転される主動プーリー１７
と、従動プーリー１８とにわたって、張力を付与するた
めの第１のテンションプーリー１９，１９を介して第１
の伝動ベルト２０が巻回され、一方、上側の伝動プーリ
ー１５ａと、駆動軸１３に一体回転可能に取り付けた伝
動プーリー２１とにわたって、張力を付与するための第
２のテンションプーリー２２を介して第２の伝動ベルト
２３が巻回され、第２の電動モータ１６の動力伝達によ
り洗浄具１２を駆動回転（自転）するように構成されて
いる。

【００１２】洗浄具１２は、図３に示すように、駆動軸
１３に一体回転可能に取り付けられた回転体２４に、大
径のツバ部２５を一体回転可能に設け、そのツバ部２５
の上面に基板裏面用摺接部２６を設けるとともに、ツバ
部２５の基板裏面用摺接部２６に近い位置で、回転体２
４の外表面に基板端面用摺接部２７を設けて構成されて
いる。基板裏面用摺接部２６および基板端面用摺接部２
７それぞれの表面にはフェルトが貼り付けられていて、
そこに溶剤を滲み込ませて角型基板Ｗの端面および裏面
に摺接することにより、付着物を除去するようになって
いる。

【００１３】第１の支持部材１１ａの下端側に、図３、
および、図４の要部の拡大断面図に示すように、アーム
部材２８が一体的に取り付けられるとともにそのアーム
部材２８に第１の支持ピン２９が取り付けられ、一方、
支持台９に一体的に取り付けられた支持ブラケット３０
の２箇所に第２の支持ピン３１が取り付けられ、第１の
支持ピン２９と第２の支持ピン３１，３１それぞれとに
わたって付勢手段としての引っ張りスプリング３２が取
り付けられ、洗浄具１２を第３の回転軸芯Ｐ３周りで駆
動自転しながら、角型基板Ｗの端面に沿わせて直線的に
移動していくときに、基板端面用摺接部２７が角型基板
Ｗの端面に摺接しない状態では、図５の概略平面図に示
すように、両引っ張りスプリング３２，３２の付勢力に
より、第２の支持部材１１ｂを移動方向に直交する姿勢
になりながら、基板端面用摺接部２７が角型基板Ｗの端
面に摺接するに伴い、図５の概略平面図に二点鎖線で示
すように、第１の支持部材１１ａの回転により第２の支
持部材１１ｂが洗浄具１２の移動方向後方側に揺動し、
基板端面用摺接部２７を一方の引っ張りスプリング３２
の付勢力により角型基板Ｗの端面に押圧しながら、基板
端面用摺接部２７を第２の支持部材１１ｂの移動方向に
おいて揺動軸芯（第２の軸芯）Ｐ２よりも後方側で角型
基板Ｗの端面に摺接するようにならい機構が構成されて
いる。逆方向に移動するときには、第２の支持部材１１
ｂが図示の場合と逆方向に揺動しながら摺接する。

【００１４】図中３３は、洗浄具１２の移動域の下方に
設けた付着物回収容器を示し、また、３４は、洗浄具１
２を洗浄して新たに溶剤を滲み込ませる洗浄容器を示し
ている。

【００１５】以上の構成により、角型基板Ｗを搬入して
基板保持手段１に所定の姿勢で保持させた後、洗浄具１
２を角型基板Ｗのひとつの端面に沿わせて洗浄具１２を
直線的に往復移動し、角型基板Ｗのひとつの端面とそれ
に近い裏面の付着物を洗浄除去する。

【００１６】その後に、基板保持手段１を90°回転する
とともに、エアーシリンダ４を作動して洗浄具１２と角
型基板Ｗの端面との相対距離を調整し、前述同様にして
角型基板Ｗの別のひとつの端面とそれに近い裏面の付着
物を洗浄除去する。これらの動作を繰り返すことによ
り、角型基板Ｗの４辺すべての端面とそれに近い裏面の
付着物を洗浄除去する。

【００１７】上記実施例では、角型基板Ｗを回転する第
１の軸芯Ｐ１に遠近する方向に洗浄具１２を移動可能に
構成し、サイズの異なる角型基板Ｗや矩形状の角型基板
Ｗとか、更に、基板保持手段１による保持位置にズレが
あったような場合にも良好に対応できるように構成して
いるが、例えば、常に一定サイズの正方形の角型基板Ｗ
を対象にする場合であれば、角型基板Ｗを回転する第１
の軸芯Ｐ１に遠近する方向に洗浄具１２を移動させない
ものでも良い。

【００１８】上記実施例では、洗浄具１２として、角型
基板Ｗの端面とそれに近い裏面にも摺接するものを示し
たが、本発明としては、角型基板Ｗの端面に摺接するも
のであれば良い。

【００１９】また、洗浄具１２としては、上述のように
フェルトを貼り付けて構成するものに限らず、ナイロ
ン、モヘア等を材質とする毛を植設して構成するもので
も良い。

【００２０】また、上述実施例では、角型基板洗浄装置
を、フォトレジスト等の塗布液の回転塗布装置とは別に
専用に構成し、先に回転塗布処理を終えた角型基板に対
する洗浄処理をしている最中に、次の角型基板を回転塗
布処理できてスループットが向上できるように構成して
いるが、本発明としては、回転塗布装置内に組み込み、
回転塗布装置の基板保持手段を角型基板洗浄装置の基板
保持手段１に兼用するものでも良い。

【００２１】本発明としては、長方形状の角型基板Ｗに
限らず、正方形状の角型基板を洗浄する角型基板洗浄装
置にも適用できる。

【００２２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の角型基板
洗浄装置によれば、角型基板の端面に対して洗浄具を直
線的に移動させることにより角型基板の端面を洗浄する
から、角型基板側を移動させて端面を洗浄する場合に比
べ、装置全体を小型かつ安価に構成できるようになっ
た。

【００２３】また、例えば、角型基板の裏面を真空吸着
で保持している場合に、角型基板の端面に無理な力がか
かるとそれに起因して位置ズレを生じ、角型基板の裏面
を傷付ける虞があるが、本発明によれば、付勢手段とな
らい機構とによって、角型基板に対して無理な力がかか
ることを回避できるから、角型基板の裏面を傷付けるこ
と無く角型基板の端面を良好に洗浄できるようになっ
た。

【００２４】本発明の角型基板洗浄装置は、角型基板の
端面に付着した塗布液を洗浄除去するものであるから、
回転塗布装置に組み込まれるようにして、または回転塗
布装置に隣接して、あるいは回転塗布装置に隣接しなく
とも一連の処理ラインを構成するようにして使用される
が、回転塗布装置と同様に角型基板を寝かせた状態、つ
まり角型基板の面方向が水平方向になる状態で洗浄処理
できるから、回転塗布装置と組み合わせやすい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の角型基板洗浄装置の実施例を示す一部
切欠側面図である。

【図２】要部の斜視図である。

【図３】要部の断面図である。

【図４】要部の拡大断面図である。

【図５】要部の概略平面図である。

【符号の説明】

１…基板保持手段 １１ａ…第１の支持部材 １１ｂ…第２の支持部材 １２…洗浄具 ３２…付勢手段としての引っ張りスプリング Ｐ２…第２の軸芯 Ｐ３…第３の軸芯 Ｗ…角型基板

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 角型基板を水平姿勢に載置保持する基板
   保持手段と、前記角型基板の端面を摺接洗浄する鉛直方
   向の軸芯周りで駆動自転可能な洗浄具とを備えた角型基
   板洗浄装置において、 前記洗浄具を支持して前記洗浄具の駆動自転軸芯とは偏
   位した鉛直方向の軸芯周りで揺動可能な支持部材と、 前記角型基板の外周端面に沿う方向に前記支持部材を直
   線的に移動する移動手段と、 前記洗浄具を前記角型基板の端面に押圧するように付勢
   する付勢手段を備えるとともに前記洗浄具を前記支持部
   材の移動方向において前記支持部材の揺動軸芯よりも後
   方側で前記角型基板に摺接させるならい機構と、 を備えたことを特徴とする角型基板洗浄装置。