JPH05296950A - Ｘ線分析装置 - Google Patents
Ｘ線分析装置Info
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- JPH05296950A JPH05296950A JP4105004A JP10500492A JPH05296950A JP H05296950 A JPH05296950 A JP H05296950A JP 4105004 A JP4105004 A JP 4105004A JP 10500492 A JP10500492 A JP 10500492A JP H05296950 A JPH05296950 A JP H05296950A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｘ線回折の同定分析あるいは蛍光Ｘ線分析に
おける定量分析において、分析に必要な元素情報あるい
は化合物データをオペレータの手操作による入力無しに
自動的に入力することができるＸ線分析装置を提供す
る。 【構成】 蛍光Ｘ線分析装置１のデータ処理部２とＸ線
回折装置３のデータ処理部４をオンラインで接続し、蛍
光Ｘ線分析装置１の元素分析データをＸ線回折装置３へ
送り保存し、Ｘ線回折装置３のによる分析結果から同定
分析を行う際に自動的にこの元素分析データを用いる。
また、Ｘ線回折装置３の同定分析結果を蛍光Ｘ線分析装
置１のＦＰ定量計算時に自動的に用いる。
おける定量分析において、分析に必要な元素情報あるい
は化合物データをオペレータの手操作による入力無しに
自動的に入力することができるＸ線分析装置を提供す
る。 【構成】 蛍光Ｘ線分析装置１のデータ処理部２とＸ線
回折装置３のデータ処理部４をオンラインで接続し、蛍
光Ｘ線分析装置１の元素分析データをＸ線回折装置３へ
送り保存し、Ｘ線回折装置３のによる分析結果から同定
分析を行う際に自動的にこの元素分析データを用いる。
また、Ｘ線回折装置３の同定分析結果を蛍光Ｘ線分析装
置１のＦＰ定量計算時に自動的に用いる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、蛍光Ｘ線分析装置、及
びＸ線回折装置に関するものである。
びＸ線回折装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のＸ線回折における同定分析は、Ｘ
線回折図形の各ピークについて求めた結晶の面間隔及び
その強度の未知試料の測定データと、各種化合物の既知
の測定データベースとの比較を行うことによって結晶試
料の同定を行っている。また、蛍光Ｘ線分析におけるＦ
Ｐ（ファンダメンタルパラメータ）定量法においては、
試料の化合物のデータを元に計算を行うことによって定
量分析を行っている。
線回折図形の各ピークについて求めた結晶の面間隔及び
その強度の未知試料の測定データと、各種化合物の既知
の測定データベースとの比較を行うことによって結晶試
料の同定を行っている。また、蛍光Ｘ線分析におけるＦ
Ｐ（ファンダメンタルパラメータ）定量法においては、
試料の化合物のデータを元に計算を行うことによって定
量分析を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
Ｘ線回折における同定分析あるいは蛍光Ｘ線分析におけ
る定量分析では、以下のような問題点がある。 （１）前記Ｘ線回折の同定分析においては、約６万デー
タにも及ぶデータベースの中から比較検索を行うため、
その検索効率及び同定分析精度を向上するために他の方
法によって得られた試料の元素分析結果を用いて検索範
囲を限定している。前記試料の元素分析結果は、予め蛍
光Ｘ線分析装置などによって元素分析を行い、その結果
を保存しておきそれを元としてオペレータが手操作によ
って入力する必要がある。 （２）また、蛍光Ｘ線分析におけるＦＰ定量法において
は、そのＦＰ定量計算時の入力項目として試料の化合物
の状態があり、該化合物データは予めＸ線回折装置など
により同定分析を行ってその結果を保存しおき、該化合
物データをＦＰ定量計算時にオペレータが手操作によっ
て入力する必要がある。
Ｘ線回折における同定分析あるいは蛍光Ｘ線分析におけ
る定量分析では、以下のような問題点がある。 （１）前記Ｘ線回折の同定分析においては、約６万デー
タにも及ぶデータベースの中から比較検索を行うため、
その検索効率及び同定分析精度を向上するために他の方
法によって得られた試料の元素分析結果を用いて検索範
囲を限定している。前記試料の元素分析結果は、予め蛍
光Ｘ線分析装置などによって元素分析を行い、その結果
を保存しておきそれを元としてオペレータが手操作によ
って入力する必要がある。 （２）また、蛍光Ｘ線分析におけるＦＰ定量法において
は、そのＦＰ定量計算時の入力項目として試料の化合物
の状態があり、該化合物データは予めＸ線回折装置など
により同定分析を行ってその結果を保存しおき、該化合
物データをＦＰ定量計算時にオペレータが手操作によっ
て入力する必要がある。
【０００４】本発明は以上の問題点を除去し、Ｘ線回折
の同定分析あるいは蛍光Ｘ線分析の定量分析において、
分析に必要な元素情報あるいは化合物データをオペレー
タの手操作による入力なしに、自動的に入力することが
できるＸ線分析装置を提供することを目的とする。
の同定分析あるいは蛍光Ｘ線分析の定量分析において、
分析に必要な元素情報あるいは化合物データをオペレー
タの手操作による入力なしに、自動的に入力することが
できるＸ線分析装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の問題点
を克服するために、蛍光Ｘ線分析装置のデータ処理部と
Ｘ線回折装置のデータ処理部をオンラインで接続し、蛍
光Ｘ線分析装置の元素分析データをＸ線回折装置へ送り
保存し、Ｘ線回折装置のによる分析結果から同定分析を
行う際に自動的にこの元素データを用いるものである。
逆にＸ線回折装置の同定分析結果を蛍光Ｘ線分析装置の
ＦＰ定量計算時に自動的に用いる。
を克服するために、蛍光Ｘ線分析装置のデータ処理部と
Ｘ線回折装置のデータ処理部をオンラインで接続し、蛍
光Ｘ線分析装置の元素分析データをＸ線回折装置へ送り
保存し、Ｘ線回折装置のによる分析結果から同定分析を
行う際に自動的にこの元素データを用いるものである。
逆にＸ線回折装置の同定分析結果を蛍光Ｘ線分析装置の
ＦＰ定量計算時に自動的に用いる。
【０００６】
【作用】本発明によれば、Ｘ線回折の同定分析あるいは
蛍光Ｘ線分析における定量分析において、分析に必要な
元素データあるいは化合物データをオペレータの手操作
による入力なしに自動的に入力することができ、Ｘ線分
析を容易に行うことができる。また、元素データあるい
は化合物データは記憶手段に記憶され、データベースの
検索が容易となり、またオペレータなどの人手を用いる
ことなく行うことができ、処理時間を短縮することがで
きる。
蛍光Ｘ線分析における定量分析において、分析に必要な
元素データあるいは化合物データをオペレータの手操作
による入力なしに自動的に入力することができ、Ｘ線分
析を容易に行うことができる。また、元素データあるい
は化合物データは記憶手段に記憶され、データベースの
検索が容易となり、またオペレータなどの人手を用いる
ことなく行うことができ、処理時間を短縮することがで
きる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例について図を参照しな
がら詳細に説明する。図１は本発明のＸ線分析装置の第
一の実施例のブロック図である。図において、Ｘ線分析
装置はデータ処理部２を有する蛍光Ｘ線分析装置１と、
データ処理部４を有するＸ線回折装置３と、前記蛍光Ｘ
線分析装置１のデータ処理部２と前記Ｘ線回折装置３の
データ処理部４との間でデータ伝送を行う通信回路５な
どのデータ交換手段とから構成される。
がら詳細に説明する。図１は本発明のＸ線分析装置の第
一の実施例のブロック図である。図において、Ｘ線分析
装置はデータ処理部２を有する蛍光Ｘ線分析装置１と、
データ処理部４を有するＸ線回折装置３と、前記蛍光Ｘ
線分析装置１のデータ処理部２と前記Ｘ線回折装置３の
データ処理部４との間でデータ伝送を行う通信回路５な
どのデータ交換手段とから構成される。
【０００８】前記構成において始めに、Ｘ線回折による
同定分析について説明する。Ｘ線回折装置３において、
同定分析を行うに先立って予め蛍光Ｘ線分析装置１によ
って試料の蛍光Ｘ線分析を行い、その定性分析の元素分
析データを分析試料の元素データとしてデータ処理部２
に記憶しておく。Ｘ線回折装置３はデータ処理部２に記
憶されている分析試料の元素情報を通信回路５などのオ
ンラインを介してデータ処理部４に取込み、該元素情報
とＸ線回折装置３の分析結果とから試料の同定分析を行
い化合物データを得る。
同定分析について説明する。Ｘ線回折装置３において、
同定分析を行うに先立って予め蛍光Ｘ線分析装置１によ
って試料の蛍光Ｘ線分析を行い、その定性分析の元素分
析データを分析試料の元素データとしてデータ処理部２
に記憶しておく。Ｘ線回折装置３はデータ処理部２に記
憶されている分析試料の元素情報を通信回路５などのオ
ンラインを介してデータ処理部４に取込み、該元素情報
とＸ線回折装置３の分析結果とから試料の同定分析を行
い化合物データを得る。
【０００９】次に、蛍光Ｘ線分析による定量分析につい
て説明する。蛍光Ｘ線分析装置１において、定量分析を
行うに先立って予め前記の様にしてＸ線回折装置３によ
って試料のＸ線回折を行い、その同定分析の化合物デー
タを分析試料の化合物データとしてデータ処理部４に記
憶しておく。蛍光Ｘ線分析装置１はデータ処理部４に記
憶されている分析試料の化合物データを通信回路５など
のオンラインを介してデータ処理部２に取込み、該化合
物データと蛍光Ｘ線分析装置１の分析結果とから試料の
定量計算を行う。
て説明する。蛍光Ｘ線分析装置１において、定量分析を
行うに先立って予め前記の様にしてＸ線回折装置３によ
って試料のＸ線回折を行い、その同定分析の化合物デー
タを分析試料の化合物データとしてデータ処理部４に記
憶しておく。蛍光Ｘ線分析装置１はデータ処理部４に記
憶されている分析試料の化合物データを通信回路５など
のオンラインを介してデータ処理部２に取込み、該化合
物データと蛍光Ｘ線分析装置１の分析結果とから試料の
定量計算を行う。
【００１０】次に本発明のデータ処理における情報の流
れを説明する。図３は本発明のＸ線分析の情報の流れ図
である。図において、始めにＸ線回折による試料の同定
分析について説明する。先ず、蛍光Ｘ線分析装置１によ
って定性分析１０を行う。該定性分析１０の結果である
試料の元素分析データはその試料を特定する識別情報と
共に元素情報ファイル１１に記憶される。通常蛍光Ｘ線
分析装置１では複数の試料を自動的に連続して分析を行
うので、試料の元素分析データを識別するために試料名
などの識別情報と共に元素情報ファイル１１に記憶する
必要がある。元素情報ファイル１１に一時記憶された元
素分析データは、同時あるいは１サイクルの分析終了時
等の適当な時期にＸ線回折装置３の元素情報ファイル１
２に転送される。
れを説明する。図３は本発明のＸ線分析の情報の流れ図
である。図において、始めにＸ線回折による試料の同定
分析について説明する。先ず、蛍光Ｘ線分析装置１によ
って定性分析１０を行う。該定性分析１０の結果である
試料の元素分析データはその試料を特定する識別情報と
共に元素情報ファイル１１に記憶される。通常蛍光Ｘ線
分析装置１では複数の試料を自動的に連続して分析を行
うので、試料の元素分析データを識別するために試料名
などの識別情報と共に元素情報ファイル１１に記憶する
必要がある。元素情報ファイル１１に一時記憶された元
素分析データは、同時あるいは１サイクルの分析終了時
等の適当な時期にＸ線回折装置３の元素情報ファイル１
２に転送される。
【００１１】Ｘ線回折装置３では、蛍光Ｘ線分析装置１
で分析した同じ試料の同定分析を行う。Ｘ線回折による
分析結果による測定データをその分析試料の識別情報と
共にデータ処理部４内の記憶部に保存しておく。データ
処理部４内では、前記元素情報ファイル１２に記憶され
ている分析試料の元素分析データと、Ｘ線回折による測
定データとを元にして、データベースとの比較を行い、
試料の同定分析を行う。この際、元素情報ファイル１２
に記憶されている分析試料の元素分析データは、Ｘ線回
折による測定データと同じ識別情報を元にして自動的に
読みだされ同一の試料のデータが取り出される。
で分析した同じ試料の同定分析を行う。Ｘ線回折による
分析結果による測定データをその分析試料の識別情報と
共にデータ処理部４内の記憶部に保存しておく。データ
処理部４内では、前記元素情報ファイル１２に記憶され
ている分析試料の元素分析データと、Ｘ線回折による測
定データとを元にして、データベースとの比較を行い、
試料の同定分析を行う。この際、元素情報ファイル１２
に記憶されている分析試料の元素分析データは、Ｘ線回
折による測定データと同じ識別情報を元にして自動的に
読みだされ同一の試料のデータが取り出される。
【００１２】前記の様にして得られた試料の化合物デー
タは、Ｘ線回折装置３の化合物情報ファイル１４に一時
記憶される。この化合物データは、適当な時期に蛍光Ｘ
線分析装置１のデータ処理部２に通信回線５を介してデ
ータ転送され、化合物情報ファイル１５に保存される。
このとき、識別のための識別情報も同時に保存される。
タは、Ｘ線回折装置３の化合物情報ファイル１４に一時
記憶される。この化合物データは、適当な時期に蛍光Ｘ
線分析装置１のデータ処理部２に通信回線５を介してデ
ータ転送され、化合物情報ファイル１５に保存される。
このとき、識別のための識別情報も同時に保存される。
【００１３】次に、蛍光Ｘ線分析による試料の定量分析
について説明する。定量分析のデータ処理の１つとし
て、ＦＰ定量計算がある。該ＦＰ定量計算においては、
入力項目として試料の化合物の状態である化合物データ
がある。該化合物データは、前記のＸ線回折による試料
の同定分析によって得られ、化合物情報ファイル１５に
保存されている化合物データを利用する。蛍光Ｘ線分析
装置１のデータ処理部２において、ＦＰ定量計算の際に
試料の識別情報によって化合物情報ファイル１５に保存
されている化合物データを自動的に読み出す。
について説明する。定量分析のデータ処理の１つとし
て、ＦＰ定量計算がある。該ＦＰ定量計算においては、
入力項目として試料の化合物の状態である化合物データ
がある。該化合物データは、前記のＸ線回折による試料
の同定分析によって得られ、化合物情報ファイル１５に
保存されている化合物データを利用する。蛍光Ｘ線分析
装置１のデータ処理部２において、ＦＰ定量計算の際に
試料の識別情報によって化合物情報ファイル１５に保存
されている化合物データを自動的に読み出す。
【００１４】前記本発明の第１の実施例においては、蛍
光Ｘ線分析装置１のデータ処理部２とＸ線回折装置３の
データ処理部４との間の分析試料の元素分析データある
いは化合物データを通信回線５などの転送手段によって
結んでいるが、データ処理部２とデータ処理部４を一つ
のデータ処理部とする場合には、該転送手段は不要であ
る。図２は本発明の第二の実施例のブロック図である。
図において、蛍光Ｘ線分析装置１のデータ処理部とＸ線
回折装置３のデータ処理部とを共通のデータ処理部６と
したものであり、蛍光Ｘ線分析装置１の分析データとＸ
線回折装置３の分析データを同一のデータ処理部の記憶
部に記憶し、該分析データを処理するものである。この
第二の実施例では、前記第１の実施例の通信回線５など
の転送手段は不要であり、またデータ処理部を一つとす
ることができる。
光Ｘ線分析装置１のデータ処理部２とＸ線回折装置３の
データ処理部４との間の分析試料の元素分析データある
いは化合物データを通信回線５などの転送手段によって
結んでいるが、データ処理部２とデータ処理部４を一つ
のデータ処理部とする場合には、該転送手段は不要であ
る。図２は本発明の第二の実施例のブロック図である。
図において、蛍光Ｘ線分析装置１のデータ処理部とＸ線
回折装置３のデータ処理部とを共通のデータ処理部６と
したものであり、蛍光Ｘ線分析装置１の分析データとＸ
線回折装置３の分析データを同一のデータ処理部の記憶
部に記憶し、該分析データを処理するものである。この
第二の実施例では、前記第１の実施例の通信回線５など
の転送手段は不要であり、またデータ処理部を一つとす
ることができる。
【００１５】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能で
あり、それらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
のではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能で
あり、それらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、 （１）Ｘ線回折の同定分析あるいは蛍光Ｘ線分析におけ
る定量分析において、分析に必要な元素データあるいは
化合物データをオペレータの手操作による入力無しに自
動的に入力することができ、Ｘ線分析を容易に行うこと
ができる。 （２）また、元素データあるいは化合物データは記憶手
段に記憶され、データベースの検索が容易となり、また
オペレータなどの人手を用いることなく行うことがで
き、処理時間を短縮することができる。
る定量分析において、分析に必要な元素データあるいは
化合物データをオペレータの手操作による入力無しに自
動的に入力することができ、Ｘ線分析を容易に行うこと
ができる。 （２）また、元素データあるいは化合物データは記憶手
段に記憶され、データベースの検索が容易となり、また
オペレータなどの人手を用いることなく行うことがで
き、処理時間を短縮することができる。
【図１】本発明のＸ線分析装置の第一の実施例のブロッ
ク図である。
ク図である。
【図２】本発明のＸ線分析装置の第二の実施例のブロッ
ク図である。
ク図である。
【図３】本発明のＸ線分析の情報の流れ図である。
１…蛍光Ｘ線分析装置、２，４…データ試料部、３…Ｘ
線回折装置、５…通信回線、１０…定性分析、１１、１
２…元素情報ファイル、１３…同定分析、１４，１５…
化合物情報ファイル、１６…ＦＰ定量計算、１７…定量
計算結果
線回折装置、５…通信回線、１０…定性分析、１１、１
２…元素情報ファイル、１３…同定分析、１４，１５…
化合物情報ファイル、１６…ＦＰ定量計算、１７…定量
計算結果
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｘ線分析装置において、（ａ）試料の元
素分析データを得る蛍光Ｘ線分析装置と、（ｂ）Ｘ線回
折装置と、（ｃ）前記蛍光Ｘ線分析装置及び前記Ｘ線回
折装置の出力を記憶する記憶手段とからなり、（ｄ）前
記Ｘ線回折装置の分析データと記憶されている前記元素
分析データを用いて、試料の同定分析を行うことを特徴
とするＸ線分析装置。 - 【請求項２】 Ｘ線分析装置において、（ａ）試料の化
合物データを得るＸ線回折装置と、（ｂ）蛍光Ｘ線分析
装置と、（ｃ）前記Ｘ線回折装置及び前記蛍光Ｘ線分析
装置の出力を記憶する記憶手段とからなり、（ｄ）前記
蛍光Ｘ線分析装置の分析データと記憶されている前記化
合物データを用いて、試料の定量分析を行うことを特徴
とするＸ線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4105004A JP2745953B2 (ja) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | Ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4105004A JP2745953B2 (ja) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | Ｘ線分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05296950A true JPH05296950A (ja) | 1993-11-12 |
| JP2745953B2 JP2745953B2 (ja) | 1998-04-28 |
Family
ID=14395938
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4105004A Expired - Fee Related JP2745953B2 (ja) | 1992-04-24 | 1992-04-24 | Ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2745953B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012255769A (ja) * | 2011-05-13 | 2012-12-27 | Rigaku Corp | 複合ｘ線分析装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5997044A (ja) * | 1982-11-04 | 1984-06-04 | ノ−ス・アメリカン・フイリツプス・コ−ポレ−シヨン | 回折デ−タ及び分光写真デ−タの同時捕集装置 |
| JPS6188129A (ja) * | 1984-10-05 | 1986-05-06 | Kawasaki Steel Corp | 合金被膜の膜厚及び組成測定方法 |
| JPH01214757A (ja) * | 1988-02-23 | 1989-08-29 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 金属薄板の深絞り性評価装置 |
| JPH03206951A (ja) * | 1990-01-10 | 1991-09-10 | Fuji Electric Co Ltd | 結晶性物質同定装置 |
-
1992
- 1992-04-24 JP JP4105004A patent/JP2745953B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5997044A (ja) * | 1982-11-04 | 1984-06-04 | ノ−ス・アメリカン・フイリツプス・コ−ポレ−シヨン | 回折デ−タ及び分光写真デ−タの同時捕集装置 |
| JPS6188129A (ja) * | 1984-10-05 | 1986-05-06 | Kawasaki Steel Corp | 合金被膜の膜厚及び組成測定方法 |
| JPH01214757A (ja) * | 1988-02-23 | 1989-08-29 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 金属薄板の深絞り性評価装置 |
| JPH03206951A (ja) * | 1990-01-10 | 1991-09-10 | Fuji Electric Co Ltd | 結晶性物質同定装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012255769A (ja) * | 2011-05-13 | 2012-12-27 | Rigaku Corp | 複合ｘ線分析装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2745953B2 (ja) | 1998-04-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980113 |
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