JPH053656B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH053656B2 JPH053656B2 JP58144115A JP14411583A JPH053656B2 JP H053656 B2 JPH053656 B2 JP H053656B2 JP 58144115 A JP58144115 A JP 58144115A JP 14411583 A JP14411583 A JP 14411583A JP H053656 B2 JPH053656 B2 JP H053656B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- corrosion resistance
- magnetic layer
- tape
- vapor deposition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
- G11B5/656—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition containing Co
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は薄膜堆積法によつて形成される磁気記
録媒体、特に耐蝕性と磁性層の特性安定性に優れ
た磁気記録媒体に関するものである。
録媒体、特に耐蝕性と磁性層の特性安定性に優れ
た磁気記録媒体に関するものである。
近年、真空蒸着法、スパツタリング法、メツキ
法等の薄膜堆積法により磁気記録媒体を製造する
研究開発が活発化している。これらの製法によつ
て作られた磁気記録媒体は、残留磁束密度が高
い、保磁力を大きくできる、磁性層を薄くで
きる等の高密度記録化のための条件を非常によく
満足している。従来、この種の記録媒体の磁性材
料としては、CoとNiを主成分とする合金が主に
用いられており、なかでも、Co−20wt％Ni合金
が多く検討されている。その理由は、この合金が
比較的耐蝕性が良いこと、70wt.％以上のCoを含
む合金はh.c.p構造をもち磁気異方性をコントロ
ールしやすく面内異方性を卓越させることが容易
であるためといわれる。しかしながら、この合金
はCoを70％以上、通常は80％前後も含んでいる
ために極めて高価であり、しかも、Coは国際情
勢の変化により価格が大きく変動するという問題
を有している。また、耐蝕性も厳しい環境条件に
対しては不十分である。
法等の薄膜堆積法により磁気記録媒体を製造する
研究開発が活発化している。これらの製法によつ
て作られた磁気記録媒体は、残留磁束密度が高
い、保磁力を大きくできる、磁性層を薄くで
きる等の高密度記録化のための条件を非常によく
満足している。従来、この種の記録媒体の磁性材
料としては、CoとNiを主成分とする合金が主に
用いられており、なかでも、Co−20wt％Ni合金
が多く検討されている。その理由は、この合金が
比較的耐蝕性が良いこと、70wt.％以上のCoを含
む合金はh.c.p構造をもち磁気異方性をコントロ
ールしやすく面内異方性を卓越させることが容易
であるためといわれる。しかしながら、この合金
はCoを70％以上、通常は80％前後も含んでいる
ために極めて高価であり、しかも、Coは国際情
勢の変化により価格が大きく変動するという問題
を有している。また、耐蝕性も厳しい環境条件に
対しては不十分である。
而して、本発明は上記欠点を改善すべくCoの
含有量を少なくし、安価で安定供給が可能な磁気
記録媒体を提供するとともに、その磁気特性、耐
蝕性および磁性層の特性安定性においても優れた
性能を有する磁気記録媒体を提供することを主た
る目的とする。
含有量を少なくし、安価で安定供給が可能な磁気
記録媒体を提供するとともに、その磁気特性、耐
蝕性および磁性層の特性安定性においても優れた
性能を有する磁気記録媒体を提供することを主た
る目的とする。
本発明は薄膜堆積法により形成される磁気記録
媒体において、磁性層の組成が （Fe1-xCox）1-(a+b+c)NiaCrbMc （ＭはＶ，Nb，Ta，Mo及びＷより選ばれる少
なくとも一種の元素）で、組成比が０＜ｘ0.5，
0.05ａ0.2，0.01ｂ0.15及び0.005ｃ
0.15であることを特徴とするものであり、抵抗加
熱蒸着法、誘導加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、
スパツタリング法、イオンプレーテイング法、メ
ツキ法等を利用して形成できるものである。
媒体において、磁性層の組成が （Fe1-xCox）1-(a+b+c)NiaCrbMc （ＭはＶ，Nb，Ta，Mo及びＷより選ばれる少
なくとも一種の元素）で、組成比が０＜ｘ0.5，
0.05ａ0.2，0.01ｂ0.15及び0.005ｃ
0.15であることを特徴とするものであり、抵抗加
熱蒸着法、誘導加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、
スパツタリング法、イオンプレーテイング法、メ
ツキ法等を利用して形成できるものである。
磁性層材料として、Co元素とFe元素の和が
50wt.％以上で、Feを主成分となるようにCo元素
をFe元素に置換することにより磁気的特性は従
来のCo−Ni合金と同等以上のものの得られるこ
とが認められた。しかし、Co元素をFe元素で置
換することにより耐蝕性が劣化するが、Cr元素
の添加が耐蝕性の向上に有効である。さらに、
Cr元素と同時に、Ｖ，Nb，Ta，Mo，Ｗの少な
くとも一種類以上の元素を添加することにより耐
蝕性の向上とともに磁気特性の安定性の改善され
ることが認められた。
50wt.％以上で、Feを主成分となるようにCo元素
をFe元素に置換することにより磁気的特性は従
来のCo−Ni合金と同等以上のものの得られるこ
とが認められた。しかし、Co元素をFe元素で置
換することにより耐蝕性が劣化するが、Cr元素
の添加が耐蝕性の向上に有効である。さらに、
Cr元素と同時に、Ｖ，Nb，Ta，Mo，Ｗの少な
くとも一種類以上の元素を添加することにより耐
蝕性の向上とともに磁気特性の安定性の改善され
ることが認められた。
本発明に用いる磁性材料において、Fe，Ni，
Cr，Ｖ，Nb，Ta，Mo，Ｗの各元素は各々次の
作用をする。Fe元素は原子１個あたりの磁気モ
ーメントを高め、残留磁束密度Brを増加させる
と同時に、展延性を増し磁性層のワレ、ヒビの発
生を防止する。一方、前記した如くFe元素が増
すと耐蝕性が急激に悪くなると同時に、Brを増
加させる効果はむしろ低下する。また、Niは耐
蝕性を向上させるとともに展延性を向上させ磁性
層のワレ、ヒビの発生を防止する。また、Crは
耐蝕性の向上に寄与する。また、Ｖ，Nb，Ta，
Mo，Ｗは単独、あるいは組み合わせて添加する
ことにより耐蝕性を一層向上させる。また、Cr
は蒸気圧がFe，Co、およびNiと大きく異なるた
めに磁性層の特性に変動を生じ易いが、CrをＶ，
Nb，Ta，Mo，Ｗで一部置換することにより磁
気特性の安定化を図ることができる。ただし、非
磁性元素の添加量が多すぎるとBrが減少する等、
磁性層の磁気特性を低下させる。
Cr，Ｖ，Nb，Ta，Mo，Ｗの各元素は各々次の
作用をする。Fe元素は原子１個あたりの磁気モ
ーメントを高め、残留磁束密度Brを増加させる
と同時に、展延性を増し磁性層のワレ、ヒビの発
生を防止する。一方、前記した如くFe元素が増
すと耐蝕性が急激に悪くなると同時に、Brを増
加させる効果はむしろ低下する。また、Niは耐
蝕性を向上させるとともに展延性を向上させ磁性
層のワレ、ヒビの発生を防止する。また、Crは
耐蝕性の向上に寄与する。また、Ｖ，Nb，Ta，
Mo，Ｗは単独、あるいは組み合わせて添加する
ことにより耐蝕性を一層向上させる。また、Cr
は蒸気圧がFe，Co、およびNiと大きく異なるた
めに磁性層の特性に変動を生じ易いが、CrをＶ，
Nb，Ta，Mo，Ｗで一部置換することにより磁
気特性の安定化を図ることができる。ただし、非
磁性元素の添加量が多すぎるとBrが減少する等、
磁性層の磁気特性を低下させる。
以上の結果、良好な磁性層の組成は、組成式
（Fe1-xCox）1-(a+b+c)NiaCrbMc
（ＭはＶ，Nb，Ta，Mo及びＷより選ばれる少
なくとも一種の元素）で、組成比が０＜ｘ0.5，
0.05ａ0.2，0.01ｂ0.15、および0.005ｃ
0.15の範囲である。特に、Crが１〜6wt.％、Ｘ
が２〜12wt.％でかつCrとＸの和が15wt.％以下、
Coが20〜30wt.％、Niが７〜15wt.％、残りがFe
の組成が好適である。
なくとも一種の元素）で、組成比が０＜ｘ0.5，
0.05ａ0.2，0.01ｂ0.15、および0.005ｃ
0.15の範囲である。特に、Crが１〜6wt.％、Ｘ
が２〜12wt.％でかつCrとＸの和が15wt.％以下、
Coが20〜30wt.％、Niが７〜15wt.％、残りがFe
の組成が好適である。
以下、実施例により本発明を説明する。
第１図は磁気記録媒体の１つである蒸着テープ
の製造装置を示す。真空槽１内に、フイルム巻出
し軸２、巻取り軸３、中間フリーローラ４、冷却
キヤン５、蒸着材料収納容器７、電子ビーム発生
源８が配置されている。幅100mm、厚さ15μｍの
ポリエチレンテレフタレートフイルム９は、フイ
ルム巻出し軸２から中間フリーローラ４、および
冷却キヤン５を経てフイルム巻取り軸３に送られ
る。蒸着材料６は蒸着材料収納容器７内に入れら
れ、冷却キヤン５と対向して配置され、電子ビー
ム発生源８からの電子ビームにより加熱される。
加熱された蒸着材料は蒸気流６′となり、冷却キ
ヤン５上のフイルム９に付着して磁性層を形成す
るが、防着板１１によりフイルム９上に到達する
蒸気流６′の入射角が60゜〜90゜に制限される。
の製造装置を示す。真空槽１内に、フイルム巻出
し軸２、巻取り軸３、中間フリーローラ４、冷却
キヤン５、蒸着材料収納容器７、電子ビーム発生
源８が配置されている。幅100mm、厚さ15μｍの
ポリエチレンテレフタレートフイルム９は、フイ
ルム巻出し軸２から中間フリーローラ４、および
冷却キヤン５を経てフイルム巻取り軸３に送られ
る。蒸着材料６は蒸着材料収納容器７内に入れら
れ、冷却キヤン５と対向して配置され、電子ビー
ム発生源８からの電子ビームにより加熱される。
加熱された蒸着材料は蒸気流６′となり、冷却キ
ヤン５上のフイルム９に付着して磁性層を形成す
るが、防着板１１によりフイルム９上に到達する
蒸気流６′の入射角が60゜〜90゜に制限される。
〔第１実施例〕
蒸着材料６に、Fe，Co，Ni，Cr，およびＶの
合金を用い、第１図に示した装置により蒸着テー
プを製造した。真空槽１内は排気装置１０により
蒸着中の真空度を１×10-4〜５×10-6Torrに保
持した。フイルム送り速度は毎分10ｍで、形成さ
れた磁性層の厚さはおよそ1000Åである。第２図
は、上記の製造法により作製した蒸着テープの磁
性層の組成と耐蝕性および特性安定性（出力変
動）試験の結果である。耐蝕性試験は作製したテ
ープを60℃，90％の恒温恒湿槽内に1000時間放置
後の残留磁束密度Brの変化を測定した。第２図
中、◎はBrの低下が５％未満、〇は５〜10％、
Ｘは10％以上を表す。また、磁性層の特性安定性
試験は家庭用VTRデツキを用いて記録再生し、
テープ長さ100ｍ内で５％以上の出力変動を生ず
る区間の長さを測定した。第２図中、◎は５％以
上の出力変動を生じた区間が全体の２％未満、〇
は２〜５％、Δは６％以上であることを表す。
合金を用い、第１図に示した装置により蒸着テー
プを製造した。真空槽１内は排気装置１０により
蒸着中の真空度を１×10-4〜５×10-6Torrに保
持した。フイルム送り速度は毎分10ｍで、形成さ
れた磁性層の厚さはおよそ1000Åである。第２図
は、上記の製造法により作製した蒸着テープの磁
性層の組成と耐蝕性および特性安定性（出力変
動）試験の結果である。耐蝕性試験は作製したテ
ープを60℃，90％の恒温恒湿槽内に1000時間放置
後の残留磁束密度Brの変化を測定した。第２図
中、◎はBrの低下が５％未満、〇は５〜10％、
Ｘは10％以上を表す。また、磁性層の特性安定性
試験は家庭用VTRデツキを用いて記録再生し、
テープ長さ100ｍ内で５％以上の出力変動を生ず
る区間の長さを測定した。第２図中、◎は５％以
上の出力変動を生じた区間が全体の２％未満、〇
は２〜５％、Δは６％以上であることを表す。
また、第３図は家庭用VTRデツキを用いて記
録再生した時の再生出力であり、本発明のテープ
No.４の再生出力が曲線２０で、比較のため同一条
件で作製したCo−NiテープNo.５の再生出力が曲
線２１で示されている。本発明テープNo.４は従来
テープNo.５に比べ、１〜3dB高い再生出力が得ら
れた。
録再生した時の再生出力であり、本発明のテープ
No.４の再生出力が曲線２０で、比較のため同一条
件で作製したCo−NiテープNo.５の再生出力が曲
線２１で示されている。本発明テープNo.４は従来
テープNo.５に比べ、１〜3dB高い再生出力が得ら
れた。
〔第２実施例〕
蒸着材料に、Fe，Co，Ni，Cr，およびNbか
らなる合金を用い、第１実施例と同一方法により
蒸着テープを作製した。第４図は、磁性層の組成
と耐蝕性および特性安定性試験結果の関係を示し
たものである。試験方法および評価は第１実施例
と同じである。
らなる合金を用い、第１実施例と同一方法により
蒸着テープを作製した。第４図は、磁性層の組成
と耐蝕性および特性安定性試験結果の関係を示し
たものである。試験方法および評価は第１実施例
と同じである。
〔第３実施例〕
蒸着材料に、Fe，Co，Ni，Cr，およびTaか
らなる合金を用い、第１実施例と同一方法により
蒸着テープを作製した。第５図は、本実施例の磁
性層各元素の組成と耐蝕性および特性安定性試験
結果である。
らなる合金を用い、第１実施例と同一方法により
蒸着テープを作製した。第５図は、本実施例の磁
性層各元素の組成と耐蝕性および特性安定性試験
結果である。
〔第４実施例〕
蒸着材料に、Fe，Co，Ni，Cr，およびMoか
らなる合金を用い、第１実施例と同一方法により
蒸着テープを作製した。第６図は、本実施例の磁
性層各元素の組成と耐蝕性および特性安定性試験
結果の関係である。
らなる合金を用い、第１実施例と同一方法により
蒸着テープを作製した。第６図は、本実施例の磁
性層各元素の組成と耐蝕性および特性安定性試験
結果の関係である。
〔第５実施例〕
蒸着材料に、Fe，Co，Ni，Cr，およびＷから
なる合金を用い、第１実施例と同一方法により蒸
着テープを作製した。第７図は、本実施例の磁性
層各元素の組成と、耐蝕性および特性安定性試験
結果の関係である。
なる合金を用い、第１実施例と同一方法により蒸
着テープを作製した。第７図は、本実施例の磁性
層各元素の組成と、耐蝕性および特性安定性試験
結果の関係である。
〔第６実施例〕
蒸着材料に、Fe，Co，Ni，CrにＶとNb、あ
るいは、Ｖ，Nb，Moを添加した合金を用い、第
１実施例と同一方法により蒸着テープを作製し
た。第８図は、本実施例の磁性層の各元素の組成
と、耐蝕性および特性安定性の関係である。
るいは、Ｖ，Nb，Moを添加した合金を用い、第
１実施例と同一方法により蒸着テープを作製し
た。第８図は、本実施例の磁性層の各元素の組成
と、耐蝕性および特性安定性の関係である。
第２実施例から第６実施例に示したNo.６〜No.19
のテープも従来のCo−NiテープNo.５と同等もし
くは同等以上の再生出力が得られることが認めら
れた。また、第６実施例以外の２種類、３種類、
あるいは４種類以上の添加元素の組み合わせも、
耐蝕性、特性安定性の向上に有効であることが認
められた。
のテープも従来のCo−NiテープNo.５と同等もし
くは同等以上の再生出力が得られることが認めら
れた。また、第６実施例以外の２種類、３種類、
あるいは４種類以上の添加元素の組み合わせも、
耐蝕性、特性安定性の向上に有効であることが認
められた。
以上のように、本発明は、従来のCo−Niテー
プと比較して、高価なCoの含有量を減らしなが
ら、耐蝕性、磁性層特性の安定性、再生出力のい
ずれにおいても同等以上の性能を持つ磁気記録媒
体を提供し得るものである。
プと比較して、高価なCoの含有量を減らしなが
ら、耐蝕性、磁性層特性の安定性、再生出力のい
ずれにおいても同等以上の性能を持つ磁気記録媒
体を提供し得るものである。
第１図は、本実施例に用いた蒸着テープ作製装
置の説明図である。第２図および第４図〜第８図
は、磁性層の組成と耐蝕性試験、特性安定性試験
結果の対比を示す表である。第３図は、第２図の
No.４のテープとCo−Niテープの再生出力の比較
を表わしたグラフである。 １…真空槽、２…フイルム巻出し軸、３…フイ
ルム巻取り軸、４…中間フリーローラ、５…冷却
キヤン、６…蒸着材料、７…蒸着材料収納容器、
８…電子ビーム発生源、９…ポリエチレンテレフ
タレートフイルム、１０…排気装置、１１…防着
板、２０…本発明の実施例No.４テープの再生出力
曲線、２１…Co−Niの再生出力曲線。
置の説明図である。第２図および第４図〜第８図
は、磁性層の組成と耐蝕性試験、特性安定性試験
結果の対比を示す表である。第３図は、第２図の
No.４のテープとCo−Niテープの再生出力の比較
を表わしたグラフである。 １…真空槽、２…フイルム巻出し軸、３…フイ
ルム巻取り軸、４…中間フリーローラ、５…冷却
キヤン、６…蒸着材料、７…蒸着材料収納容器、
８…電子ビーム発生源、９…ポリエチレンテレフ
タレートフイルム、１０…排気装置、１１…防着
板、２０…本発明の実施例No.４テープの再生出力
曲線、２１…Co−Niの再生出力曲線。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 非磁性体基体上に薄膜堆積法により形成され
た磁性層を有する磁気記録媒体において、前記磁
性層の組成が （Fe1-xCox）1-(a+b+c)NiaCrbMc （ＭはＶ，Nb，Ta，Mo及びＷより選ばれる少
なくとも一種の元素）で、組成比が０＜ｘ0.5，
0.05ａ0.2，0.01ｂ0.15及び0.005ｃ
0.15であることを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58144115A JPS6035328A (ja) | 1983-08-06 | 1983-08-06 | 磁気記録媒体 |
| US06/637,279 US4835069A (en) | 1983-08-06 | 1984-08-03 | Magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58144115A JPS6035328A (ja) | 1983-08-06 | 1983-08-06 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6035328A JPS6035328A (ja) | 1985-02-23 |
| JPH053656B2 true JPH053656B2 (ja) | 1993-01-18 |
Family
ID=15354533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58144115A Granted JPS6035328A (ja) | 1983-08-06 | 1983-08-06 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6035328A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA1315612C (en) * | 1986-03-18 | 1993-04-06 | Shogo Nasu | Perpendicular magnetic storage medium |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS524805A (en) * | 1975-07-01 | 1977-01-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | Production method of magnetic recording media |
| JPS5629A (en) * | 1979-06-15 | 1981-01-06 | Ulvac Corp | Vacuum-evaporated film type magnetic recording substance and its manufacture |
| JPS567231A (en) * | 1979-06-27 | 1981-01-24 | Ulvac Corp | Vapor deposition film type magnetic recording material and its production |
-
1983
- 1983-08-06 JP JP58144115A patent/JPS6035328A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6035328A (ja) | 1985-02-23 |
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