JPS6035328A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は薄膜堆積法によって形成される磁気記録媒体、
特に耐蝕性と磁性層の特性安定性に優れた磁気記録媒体
に関するものである。

近年、真空蒸着法、スパッタリング法、メッキ法等の薄
膜堆積法例より磁気記録媒体を製造する研死開発が活発
化している。これらの製法によって作られた磁気記録媒
体は、■残留磁束密度が龜い、■保磁力を大さくできる
、■磁性層を薄くできる等の篩田厩記録化のだめの条件
を非′帛によく満足している。、、健来、この種の記録
ｕ体の磁性椙料としては、ＣＯとＮｉを主成分とする合
金が主に用いられており、なかでも、Ｃｏ−２０ｗｔ％
Ｎｉ合金が多く検討されている。その理由は、この合金
が比較的耐蝕性が良いこと、７Ｑｗｔ９％以上のＣＯを
含む合金はり、ｃ、ｐ　＠イ造をもち磁気異方性？コノ
トロールしやすく面内異方性を卓越させることが容易で
あるためといわれる。しかしながら、この合金はＣＯを
７０％以上、通常は８０％前後も含んでいるために極め
てＩ′ＦｌｌｉｉＩ＋ＩＩであり、しかも　Ｃｏは国際
情勢の変化により価格が大きく変動するという問題を有
している。また、耐蝕性も厳しい環境条件に対しては不
十分である。

而して、本発明は上記欠点を改善すべくＣＯの含有量を
少なくシ、安価で安定供給が可能な磁気記録媒体を提供
するとともに、その磁気特性、耐蝕性おまひ磁性層の特
性安定性においても優れた性能を有する磁気記録媒体を
提供することを主／こる目的とする。

本発明は尚膜堆積法により形成される磁気記録媒体にお
いて、磁性層が１・ｅを主成分として、Ｃｏ、Ｎｉおよ
びＣｒを名み、さらにＶ’、　Ｎｂ、　Ｔａ　。

Ｍｏ、Ｗの少なくとも一種類以上を含むことを特徴とす
るものであり、抵抗加熱蒸着法、誘導加熱蒸古法、電子
ビーム蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーテづフ
グ法、メッキ法等ケ利用して形成できるものである。

磁性泗杓料として、ＣＯ元素とＦｅ元素の和が５０ｗｔ
、″；ｌθ以上で　Ｆｅを主成分となるようにＣＯ元素
をＦｅ　ノｃ素にＩ６換することにより磁気的特性は従
来のＣｏ−１Ｎ１合金と同等以上のものの得られること
が認めらｎ７た。しかし、ＣＯ元素をＦｅ　フし累で置
換することにより耐蝕性が劣化するが、Ｃｒ元素の添加
が耐蝕性の向上に有効である。さらに、Ｃｒ元素と同時
に、Ｖ　、　Ｎｂ、Ｔａ、＋ｖ＋ｏ、Ｗの少なくとも一
種類以上の元素を添加することにより耐蝕性の向上とと
もに磁気特性の安定性の改善されることが認めら汎た。

本発明に用いる磁注利オ→において、Ｆｅ、Ｎｉ。

Ｃ’ｒ　、　Ｖ　、　Ｎｂ　、　Ｔａ　、　Ｍｏ　、　
Ｗの各元素は各々次の作用をする。Ｆｅ２Ｃ素は原子１
個あたりの磁気モーメント全高め、残留磁束密度Ｂｒを
増加させると同時に、展！Ｊ、Ｂ地性を増し磁性層のワ
レ、ヒビの発生を防止する。−万、ｔ９ｆＪ記し／こ如
くＪパｅ元素が増すと耐蝕性が急激に悪くなると同時に
、１３ｒを増加させる効果はむしろ低１；する。また、
Ｎ１は耐蝕性を向上させるとともに展延性を同上させ磁
性層のワレ、ヒビの発生を防止する。また、Ｃｒは耐蝕
性の向上に寄与する。また、Ｖ　、　Ｎｂ、’ｌ”ａ。

ｈＪｏ、Ｗは単独、あるいは組み合わせて添加すること
により耐蝕性を一層向上きせる、−また、Ｃｒは蒸気圧
がＦｅ、Ｃｏ、およびＮｉと大きく異なるために磁性層
の特性に変動を生じ易いが、Ｃｒを■。

Ｎｂ　、　’ｌ’ａ　、　Ｍｏ　、Ｗで一部置換するこ
とによシ磁気特性の安定化を図ることができる。ただし
、非磁性元素の添加量が多すぎるとＢｒが減少する等、
磁性層の磁気特性を低下させる。

以上の結果、良好な磁性層の組成は、ホ［１成式％式％ Ｎｂ　、　’Ｊ、’ａ　、　Ｍｏ　、　Ｗから選ばれる
少なくとも一種類以上の元素）において、重倉組成比で
０〈ｘく０５．０．０５　＜、　ａ　＜：０．２．０．
０１　りｂ　＜：　０．１５、および０．００５　＜、
　ｃ　＜、　０．１５の軛囲である。！持に、Ｃｒがｌ
　〜５　ｖｖｔ、％、Ｘが２〜１２Ｗｔ、％でかつＣｒ
とＸの第１】が１５ｗｔ、％以下、Ｃｏが２０〜３０ｗ
ｔ、％、Ｎｉが７〜１５ｗｔ０％、残りがＬ＋”ｅの組
成が好適である。

以下、実施例により本発明全説明する。

第１図は磁気ｈピ録奴体の１つである蒸着テープの製造
装置を示す。真空槽ｌ内に、フィルム巻出し軸２、巻取
り軸３、中間フリーローラ４、冷却キｈ′ン５、蒸着材
料収納容器７、間予ビーム発生＃￥８が配置されている
。輻］、　００　ｍｍ、、厚さ１５μｍのポリエチレン
テレフタレートフィルム９は、フィルム巻出し側１２か
ら９１間フリーローラ４、および冷却キャン５を経てフ
ィルム巻取す軸３に送られる。蒸着材料６は蒸着材料収
納容器７内に入れられ、冷却キャ１５と対向して配置さ
れ、電子ビーム発生ＹＪ！ｆｉ、８刀為らの電子ビーム
により加熱される。加熱された蒸着材料は蒸気流６′と
なり、冷却キャー′５」二のフィルム９に付着して磁性
層ヶ形成するが、防着板１１によりフィルム９上に到達
する蒸気流６′の入射角が６０°〜９０°に制限される
。

〔第１実施例〕 蒸着材料６に、１．＋’ｅ、Ｃｏ、Ｎｉ　、Ｃｒ、およ
び■の合金金用い、第１図に示した装置により蒸着テー
プを製造した。真空槽ｌ内は排気装置１０により蒸着中
の真空度全ｌＸｌ０〜５　Ｘ　Ｉ　Ｑ’　Ｔｏｕｒに保
持した。フィルム送り速度は和分１０．ｍで、形成され
た磁性層の厚さはおよそ１．００　ＯＡである。第２図
は、上記の製造法により作製した蒸着テープの磁性層の
組成と耐蝕性および特性安定性（出力変動）試験の結果
である。耐蝕性試験は作製したテープを６０℃、９０％
の恒温恒湿槽内に１０００時間放置後の残留磁束密度Ｂ
ｒの変化を測定した。第２図中、◎はｆ３ｒの低下が５
％未満、○け５〜１０％、Ｘは１０％以上を表す。

−まだ、磁性層の特性安定性試験は家庭用Ｖ　’ｌ’　
Ｒテンキを用いて記録再生し、テープ長さ１００　ｒｎ
内で５％以上の出力変動を生ずる区間の畏さ全測定した
。第２図中、◎は５％以上の出力変動を生じた区間が全
体の２％未満、○は２〜５％、△は６％以上であること
を衣す。

また、第３図は家庭用Ｖ　Ｔ　Ｒデツキを用いて記録再
生した時の再生出力であり、本発明のテープＡ６４の再
生出力が曲線２０で、比較のため同一条件で作製したＣ
ｏ　−Ｎｉテープ腐５の再生出力が曲線２１で示されて
いる９本発明テープ／１６４は従来テープガロ５に比べ
、１〜３　ａｎ　４い再生出力が得られた。

〔第２実施例〕 蒸着材料に、Ｆｅ　、　Ｃｏ　、　Ｎｉ　、　Ｃｒ、お
よびＮｂからなる合金を用い、第１実施例と同一方法に
よシ蒸着テープ？作製した。第４図は、磁性層の組成と
耐蝕性および特性安定性試験結果の関係を示したもので
ある。試験方法および評価は第１実施例と同じである。

〔第３実施例〕 蒸着材料に、ｌｉ’ｅ　、　Ｃｏ　、　Ｎｉ　、Ｃｒ　
、およびＴａ　からなる合金を用い、第１実施例と同一
方法により蒸着テープを作製した。第５図は、本実施例
の磁性層谷元素の組成と耐蝕性および特性安定性試験結
果である、 〔第４実施例〕 蒸着材料に、Ｆｅ、　Ｃｏ、　Ｎｉ、　Ｃｒ、およびＭ
Ｏからなる合金を用い、第１実施例と同一方法によシ蒸
着テープを作製した。第６図は、本実施例の磁性層各元
素の組成と耐蝕性および特性安定性試験結果の関係であ
る。

〔第５実施例〕 蒸着材料に、Ｆｅ　、　Ｃｏ、　Ｎｉ　、　Ｃｒ　、お
よびＷ７Ｌらなる合金を用い、第１実施例と同一方法に
より蒸着テープ全作製した。第７図は、本実施例の磁性
層各元素の組成と、−耐蝕性および特性安定性試験結果
の関係である。

〔第６実施例〕 蒸着材料に、Ｆ’ｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒ１ＣＶとＮｂ、
あるいは、Ｖ、Ｎｂ、Ｍｏを添加した合金を用い、第１
実施例と同一方法により蒸着テープを作製した。第８図
は、本実施例の磁性層の各元素の組成と、耐蝕性および
特性安定性の関係である。

第２実施例から第６実施例に示した／Ｉ６６〜況１９の
テープも従来のＣｏ−Ｎｉテープ應５と同等もしくは同
等以上の再生出力が得られることが認められた。また、
第６笑施例以外の２種類、３ａ類、あるいは４種類以上
の添加元素の組み合わせも、耐蝕性、特性安定性の向上
にイｊ“効であることが認められた。

以上のように、本発明は、従来のＣｏ　−Ｎｉテープと
比較して、高価なＣｏの含有量を減らしながら、耐蝕性
、磁性層特性の安定性、再生出力のいずれにおいても同
等以上の性能を持つ磁気記録媒体を提供し得るものであ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本シロ施例に用いた蒸着テープ作製装置の説
明図である。第２図および第４図〜第８図は、磁性層の
組成と耐蝕性試験、特性安定比較を表わしたグシフであ
る。 １・真空槽、２　フィルム巻出し軸、３・フィルム巻取
り軸、４・・９間フリーローラ、５　・冷却キャ／、６
・・・蒸着材料、７・・蒸着材４」収納容器、８　肛子
ビーム発生源、９・・ポリエテレ／テレフタレートフィ
ルム、１０・・・排気装置、１１・・・防着板、２０・
・本発明の実施例Ａ６４テープの再生出力曲線、２１　
Ｃｏ　−Ｎｉの再生出力曲線。 勇　２図 第５図 ■ ２ 夙引味　（外−） ＄４１１ 茅　７１］ ￥　３　ＬＴＩ 手続補正書（方式） １　事件の表示 昭和５８年　特許願　第　１４４１１５　号２　発明の
名称 磁気記録媒体 ３　補正をする者 事件との関係　特許出願入 居　所　謂１４６東京都人ＬＯ区下丸子３−３０−２δ
、補正命令の日付 昭和５８年１１月２９日（発送日付） ６、補正の対象 明＃ｌＩ書 ７、補正の内容 明ａｌ書の浄書（内容に変更なし）。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）　非磁性基体上に薄膜堆積法により形成された磁
   性層を有する磁気記録媒体において、磁性層がＦｅを主
   成分とし、Ｃｏ、ＮｉおよびＣｒを含み、さらにＶ　、
   　Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ　、およびＷより選はオしる少なく
   とも一種類以上の元素を含むことを特徴とする磁気記録
   媒体。
2. （２）磁性層の組成が、 （”’　１−ｘＣＯｘ）　１−　（ａ＋ｂ−＋Ｃ）Ｎｉ
   ａＣｒｂＸｃ　（Ｘ　は　Ｖ。 Ｎｂ　、　’ｌ’ａ　、　Ｍ、ｏ　、およびＷよシ選ば
   れる少なくとも一種類以上の元素）で重量組成比が、０
   ＜Ｘ＜０．５、（１，０５＜：　ａ　り０．２．０．０
   １＜；：ｂ＜：０．１５、および０．００５＜：ｃ＜：
   Ｑ、ｌ　５であるｌ持許請求の範囲第１項記載の磁気記
   録媒体。