JPH053655B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH053655B2 JPH053655B2 JP58144114A JP14411483A JPH053655B2 JP H053655 B2 JPH053655 B2 JP H053655B2 JP 58144114 A JP58144114 A JP 58144114A JP 14411483 A JP14411483 A JP 14411483A JP H053655 B2 JPH053655 B2 JP H053655B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic layer
- tape
- corrosion resistance
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
- G11B5/656—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition containing Co
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は薄膜堆積法によつて磁性層が形成され
る磁気記録媒体、特に耐蝕性、磁性層の特性安定
性に優れた磁気記録媒体に関する。
る磁気記録媒体、特に耐蝕性、磁性層の特性安定
性に優れた磁気記録媒体に関する。
近年、真空蒸着法、スパツタリング法、メツキ
法等の薄膜堆積法により、磁気記録媒体を製造す
る研究開発が活発化している。これらの製法によ
つて作られた磁気記録媒体は残留磁束密度が高
い、保磁力を大きくできる、磁性層を薄くで
きる等の、高密度記録化のための条件を非常によ
く満足している。
法等の薄膜堆積法により、磁気記録媒体を製造す
る研究開発が活発化している。これらの製法によ
つて作られた磁気記録媒体は残留磁束密度が高
い、保磁力を大きくできる、磁性層を薄くで
きる等の、高密度記録化のための条件を非常によ
く満足している。
従来、この記録媒体の磁性材料としては、Co
とNiを主成分とする合金が主に用いられており、
なかでもCo−20％Ni合金が多く検討されている。
その理由は、この合金が比較的耐蝕性にすぐれ、
70％以上のCoを含む合金はh.c.p.構造をもち磁気
異方性をコントロールしやすく、面内異方性を卓
越させることが容易であるためといわれる。
とNiを主成分とする合金が主に用いられており、
なかでもCo−20％Ni合金が多く検討されている。
その理由は、この合金が比較的耐蝕性にすぐれ、
70％以上のCoを含む合金はh.c.p.構造をもち磁気
異方性をコントロールしやすく、面内異方性を卓
越させることが容易であるためといわれる。
しかしながら、この合金はCoを70％以上、通
常は80％前後も含んでいるために極めて高価であ
り、しかもCoは国際情勢の変化により価格が大
きく変動するという問題を持つている。また耐蝕
性も厳しい環境条件に対しては不十分である。
常は80％前後も含んでいるために極めて高価であ
り、しかもCoは国際情勢の変化により価格が大
きく変動するという問題を持つている。また耐蝕
性も厳しい環境条件に対しては不十分である。
而して、本発明は上記欠点を改善すべく、Co
の含有量を少なくし、安価で安定供給が可能な磁
気記録媒体を提供すると共に、その磁気特性、耐
蝕性および磁性層の特性安定性においても優れた
性能を有する磁気記録媒体を提供することを主た
る目的とする。
の含有量を少なくし、安価で安定供給が可能な磁
気記録媒体を提供すると共に、その磁気特性、耐
蝕性および磁性層の特性安定性においても優れた
性能を有する磁気記録媒体を提供することを主た
る目的とする。
本発明は薄膜堆積法によつて磁性層が形成され
る磁気記録媒体において磁性層の組成が （Fe1-xCox）1-(a+b+c)NiaCrbMc （ＭはTi，Zr及びHfより選ばれる少なくとも一
種の元素）で、組成比が０＜Ｘ0.5，0.05ａ
0.20，0.01ｂ0.15及び0.005ｃ0.15であ
ることを特徴とするものであり、誘導加熱蒸着
法、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、スパツ
タリング法、イオンプレーテイング法、メツキ法
等の薄膜堆積法を利用して形成できるものであ
る。
る磁気記録媒体において磁性層の組成が （Fe1-xCox）1-(a+b+c)NiaCrbMc （ＭはTi，Zr及びHfより選ばれる少なくとも一
種の元素）で、組成比が０＜Ｘ0.5，0.05ａ
0.20，0.01ｂ0.15及び0.005ｃ0.15であ
ることを特徴とするものであり、誘導加熱蒸着
法、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、スパツ
タリング法、イオンプレーテイング法、メツキ法
等の薄膜堆積法を利用して形成できるものであ
る。
磁性層材料として、Co元素とFe元素の和が
50wt％以上で、Feが主成分となるようにCo元素
をFe元素に置換することにより、磁気特性は従
来のCo−Ni合金と同等以上のものが得られるこ
とが認められた。しかし、Co元素をFe元素で置
換することにより耐蝕性が劣化するが、Cr元素
の添加が耐蝕性向上に有効である。さらに、Cr
元素と同時に、Ti，Zr、またはHfの少くとも一
種類の元素を添加することにより、耐蝕性の向上
と共に磁気特性の安定性が改善されることが認め
られた。
50wt％以上で、Feが主成分となるようにCo元素
をFe元素に置換することにより、磁気特性は従
来のCo−Ni合金と同等以上のものが得られるこ
とが認められた。しかし、Co元素をFe元素で置
換することにより耐蝕性が劣化するが、Cr元素
の添加が耐蝕性向上に有効である。さらに、Cr
元素と同時に、Ti，Zr、またはHfの少くとも一
種類の元素を添加することにより、耐蝕性の向上
と共に磁気特性の安定性が改善されることが認め
られた。
本発明に用いられる磁性材料において、Fe，
Ni，Cr，Ti，Zr，Hfの各元素は各々次の作用を
する。Fe元素は原子１個あたりの磁気モーメン
トを高め、残留磁束密度Brを増加させると同時
に、展延性を増し、磁性層のワレ、ヒビの発生を
防止する。一方、前記した如くFe元素が増すと
耐蝕性が急激に悪くなると同時に、残留磁束密度
Brを増加させる効果は、Fe元素がある程度以上
多くなると、むしろ低下する。また、Niは耐蝕
性の効果および展延性を向上させ、磁性層のワレ
やヒビの発生を防止する。また、Crは耐蝕性の
改善に寄与する。また、特にCrは蒸気圧がFe，
CoおよびNiと大きく異るため、磁性層の特性に
変動を生じ易いが、CrをTi，ZrまたはHfで一部
置き換えることにより、磁気特性の安定化を図る
ことができる。ただし、Cr，Ti，Zr，Hfともに
添加量が多すぎるとBrの減少等、磁性層の磁気
特性を低下させる。
Ni，Cr，Ti，Zr，Hfの各元素は各々次の作用を
する。Fe元素は原子１個あたりの磁気モーメン
トを高め、残留磁束密度Brを増加させると同時
に、展延性を増し、磁性層のワレ、ヒビの発生を
防止する。一方、前記した如くFe元素が増すと
耐蝕性が急激に悪くなると同時に、残留磁束密度
Brを増加させる効果は、Fe元素がある程度以上
多くなると、むしろ低下する。また、Niは耐蝕
性の効果および展延性を向上させ、磁性層のワレ
やヒビの発生を防止する。また、Crは耐蝕性の
改善に寄与する。また、特にCrは蒸気圧がFe，
CoおよびNiと大きく異るため、磁性層の特性に
変動を生じ易いが、CrをTi，ZrまたはHfで一部
置き換えることにより、磁気特性の安定化を図る
ことができる。ただし、Cr，Ti，Zr，Hfともに
添加量が多すぎるとBrの減少等、磁性層の磁気
特性を低下させる。
以上の結果として、良好な磁性層の組成は、
（Fe1-xCox）1-(a+b+c)NiaCrbMc
（ＭはTi，Zr及びHfより選ばれる少なくとも一
種の元素）で、組成比が０＜ｘ0.5，0.05ａ
0.20，0.01ｂ0.15および0.005ｃ0.15の
範囲のものであり、特にTi，Zr，Hfが単独又は
２種又は３種全部の合計で３〜12wt％、Crが１
〜6wt％、Niが７〜14wt％、Coが17〜25wt％、
残りがFeのものが好適である。
種の元素）で、組成比が０＜ｘ0.5，0.05ａ
0.20，0.01ｂ0.15および0.005ｃ0.15の
範囲のものであり、特にTi，Zr，Hfが単独又は
２種又は３種全部の合計で３〜12wt％、Crが１
〜6wt％、Niが７〜14wt％、Coが17〜25wt％、
残りがFeのものが好適である。
以下実施例により本発明を説明する。第１図
は、磁気記録媒体の１つである蒸着テープの製造
装置を示す。真空槽１内にフイルム巻出し軸２、
巻取り軸３、中間フリーローラ４、冷却キヤン
５、蒸着材料収納容器７、電子ビーム発生源８が
配置されている。幅100mm、厚さ15μｍのポリエ
チレンテレフタレートフイルム９は、フイルム巻
出し軸２から中間フリーローラ４および冷却キヤ
ン５を経てフイルム巻取り軸３に送られる。蒸着
材料６は、蒸着材料収納容器７内に入れられ冷却
キヤン５と対向して配置され、電子ビーム発生源
８からの電子ビームによつて加熱される。加熱さ
れた材料は蒸気流６′となり冷却キヤン５上のフ
イルム９に付着して磁性層を形成するが、防着板
１１により、フイルム９に蒸着される蒸気流の入
射角が60゜〜90゜に制限される。真空槽１内は排気
装置１０により成膜中の真空度が１×10-4〜５×
10-6Torrに保持された。フイルム送り速度は毎
分10ｍで、形成された磁性層の厚さは、ほぼ1000
Åである。第２図に上記の方法で作製した蒸着テ
ープの磁性層の組成と耐蝕性および特性安定性試
験の結果を示す。耐蝕性試験は上記実施例に従つ
て作製したテープを60℃、90％の恒温恒湿槽内に
1000時間放置後の残留磁束密度の変化を測定し
た。第２図中◎はBrの低下が３％未満、〇は３
〜５％、Δは５〜10％、×は10％以上を示す。ま
た磁性層の特性安定性の試験は家庭用VTRデツ
キを用いて記録再生し、テープ長さ100ｍ内で５
％以上の出力変動を生ずる区間の長さを測定し
た。第２図中◎は５％以上の出力変動を生じた区
間が全体の２％未満、Δは６〜10％であることを
示す。
は、磁気記録媒体の１つである蒸着テープの製造
装置を示す。真空槽１内にフイルム巻出し軸２、
巻取り軸３、中間フリーローラ４、冷却キヤン
５、蒸着材料収納容器７、電子ビーム発生源８が
配置されている。幅100mm、厚さ15μｍのポリエ
チレンテレフタレートフイルム９は、フイルム巻
出し軸２から中間フリーローラ４および冷却キヤ
ン５を経てフイルム巻取り軸３に送られる。蒸着
材料６は、蒸着材料収納容器７内に入れられ冷却
キヤン５と対向して配置され、電子ビーム発生源
８からの電子ビームによつて加熱される。加熱さ
れた材料は蒸気流６′となり冷却キヤン５上のフ
イルム９に付着して磁性層を形成するが、防着板
１１により、フイルム９に蒸着される蒸気流の入
射角が60゜〜90゜に制限される。真空槽１内は排気
装置１０により成膜中の真空度が１×10-4〜５×
10-6Torrに保持された。フイルム送り速度は毎
分10ｍで、形成された磁性層の厚さは、ほぼ1000
Åである。第２図に上記の方法で作製した蒸着テ
ープの磁性層の組成と耐蝕性および特性安定性試
験の結果を示す。耐蝕性試験は上記実施例に従つ
て作製したテープを60℃、90％の恒温恒湿槽内に
1000時間放置後の残留磁束密度の変化を測定し
た。第２図中◎はBrの低下が３％未満、〇は３
〜５％、Δは５〜10％、×は10％以上を示す。ま
た磁性層の特性安定性の試験は家庭用VTRデツ
キを用いて記録再生し、テープ長さ100ｍ内で５
％以上の出力変動を生ずる区間の長さを測定し
た。第２図中◎は５％以上の出力変動を生じた区
間が全体の２％未満、Δは６〜10％であることを
示す。
第３図に、家庭用VTRデツキを用い、記録再
生した時の再生出力を示す。本発明のテープNo.５
の再生出力を曲線２０で、比較のために同じ条件
で作製したCo−NiテープNo.12の再生出力を曲線
２１で示す。本発明のテープNo.５は、従来テープ
No.12に比べて同等ないし2dB高い再生出力が得ら
れた。第２図中No.１〜４，６〜10のテープCo−
Niテープと同等以上の再生出力を示した。
生した時の再生出力を示す。本発明のテープNo.５
の再生出力を曲線２０で、比較のために同じ条件
で作製したCo−NiテープNo.12の再生出力を曲線
２１で示す。本発明のテープNo.５は、従来テープ
No.12に比べて同等ないし2dB高い再生出力が得ら
れた。第２図中No.１〜４，６〜10のテープCo−
Niテープと同等以上の再生出力を示した。
以上のように、本発明は、従来のCo−Niテー
プと比較して高価なCoの含有量を減らしながら、
耐蝕性、磁性層の特性の安定性、再生出力のいず
れにおいても同等以上の性能を持つ磁気記録媒体
を提供し得るものである。
プと比較して高価なCoの含有量を減らしながら、
耐蝕性、磁性層の特性の安定性、再生出力のいず
れにおいても同等以上の性能を持つ磁気記録媒体
を提供し得るものである。
第１図は本実施例で用いた蒸着テープの製造装
置の説明図である。第２図は磁性層の組成と耐蝕
性及び磁性層の特性安定性試験の結果を示す表で
ある。第３図は、第２図のNo.５のテープとCo−
NiテープNo.12の各周波数における再生出力の比
較を示すグラフである。 １……真空槽、２……フイルム巻出し軸、３…
…フイルム巻取り軸、４……中間フリーローラ、
５……冷却キヤン、６……蒸着材料、７……蒸着
材料収納容器、８……電子ビーム発生源、９……
ポリエチレンテレフタレートフイルム、１０……
排気装置、１１……防着板、２０……本発明の実
施例の再生出力曲線、２１……Co−Niテープの
再生出力曲線。
置の説明図である。第２図は磁性層の組成と耐蝕
性及び磁性層の特性安定性試験の結果を示す表で
ある。第３図は、第２図のNo.５のテープとCo−
NiテープNo.12の各周波数における再生出力の比
較を示すグラフである。 １……真空槽、２……フイルム巻出し軸、３…
…フイルム巻取り軸、４……中間フリーローラ、
５……冷却キヤン、６……蒸着材料、７……蒸着
材料収納容器、８……電子ビーム発生源、９……
ポリエチレンテレフタレートフイルム、１０……
排気装置、１１……防着板、２０……本発明の実
施例の再生出力曲線、２１……Co−Niテープの
再生出力曲線。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 非磁性体基体上に薄膜堆積法により形成され
た磁性層を有する磁気記録媒体において、前記磁
性層の組成が （Fe1-xCox）1-(a+b+c)NiaCrbMc （ＭはTi，Zr及びHfより選ばれる少なくとも一
種の元素）で、組成比が０＜Ｘ0.5，0.05ａ
0.20，0.01ｂ0.15及び0.005ｃ0.15であ
ることを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58144114A JPS6035327A (ja) | 1983-08-06 | 1983-08-06 | 磁気記録媒体 |
| US06/637,279 US4835069A (en) | 1983-08-06 | 1984-08-03 | Magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58144114A JPS6035327A (ja) | 1983-08-06 | 1983-08-06 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6035327A JPS6035327A (ja) | 1985-02-23 |
| JPH053655B2 true JPH053655B2 (ja) | 1993-01-18 |
Family
ID=15354507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58144114A Granted JPS6035327A (ja) | 1983-08-06 | 1983-08-06 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6035327A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4786553A (en) * | 1986-03-28 | 1988-11-22 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium |
| JPH0816975B2 (ja) * | 1987-03-23 | 1996-02-21 | 株式会社日立製作所 | 磁気記録媒体 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS524805A (en) * | 1975-07-01 | 1977-01-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | Production method of magnetic recording media |
| JPS5629A (en) * | 1979-06-15 | 1981-01-06 | Ulvac Corp | Vacuum-evaporated film type magnetic recording substance and its manufacture |
| JPS567231A (en) * | 1979-06-27 | 1981-01-24 | Ulvac Corp | Vapor deposition film type magnetic recording material and its production |
-
1983
- 1983-08-06 JP JP58144114A patent/JPS6035327A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6035327A (ja) | 1985-02-23 |
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