JPH0364929B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0364929B2 JPH0364929B2 JP58144113A JP14411383A JPH0364929B2 JP H0364929 B2 JPH0364929 B2 JP H0364929B2 JP 58144113 A JP58144113 A JP 58144113A JP 14411383 A JP14411383 A JP 14411383A JP H0364929 B2 JPH0364929 B2 JP H0364929B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic layer
- tape
- corrosion resistance
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
- G11B5/656—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition containing Co
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は薄膜堆積法によつて磁性層が形成され
る磁気記録媒体、特に耐蝕性の優れた磁気記録媒
体に関するものである。
る磁気記録媒体、特に耐蝕性の優れた磁気記録媒
体に関するものである。
近年、真空蒸着法、スパツタリング法、メツキ
法等の薄膜堆積法により磁気記録媒体を製造する
研究開発が活性化している。これらの製法によつ
て作られた磁気記録媒体は残留磁束密度が高
い、保磁力を大きくできる、磁性層を薄くで
きる等の、高密度記録化のための条件を非常によ
く満足している。従来、この記録媒体の磁性材料
としては、CoとNiを主成分とする合金が主に用
いられており、なかでもCo−20wt％Ni合金が多
く検討されている。その理由はこの合金が比較的
耐蝕性が良いこと、70wt％以上のCoを含む合金
はh.c.p.構造をもち磁気異方性をコントロールし
やすく面内異方性を卓越させることが容易である
ためといわれる。
法等の薄膜堆積法により磁気記録媒体を製造する
研究開発が活性化している。これらの製法によつ
て作られた磁気記録媒体は残留磁束密度が高
い、保磁力を大きくできる、磁性層を薄くで
きる等の、高密度記録化のための条件を非常によ
く満足している。従来、この記録媒体の磁性材料
としては、CoとNiを主成分とする合金が主に用
いられており、なかでもCo−20wt％Ni合金が多
く検討されている。その理由はこの合金が比較的
耐蝕性が良いこと、70wt％以上のCoを含む合金
はh.c.p.構造をもち磁気異方性をコントロールし
やすく面内異方性を卓越させることが容易である
ためといわれる。
しかしながら、この合金はCoを70％以上、通
常は80％前後も含んでいるために極めて高価であ
り、しかもCoは国際情勢の変化により価格が大
きく変動するという問題がある。また耐蝕性も厳
しい環境条件に対しては不十分である。
常は80％前後も含んでいるために極めて高価であ
り、しかもCoは国際情勢の変化により価格が大
きく変動するという問題がある。また耐蝕性も厳
しい環境条件に対しては不十分である。
而して本発明は上記欠点を改善すべくCoの含
有量を少なくし、安価で安定供給が可能な磁気記
録媒体を提供すると朋い、その磁気特性及び耐蝕
性においても優れた性能を有する磁気記録媒体を
提供することを主たる目的とする。
有量を少なくし、安価で安定供給が可能な磁気記
録媒体を提供すると朋い、その磁気特性及び耐蝕
性においても優れた性能を有する磁気記録媒体を
提供することを主たる目的とする。
本発明は堆積法により磁性層が形成される磁気
記録媒体において、磁性層の組成が（Fe1-xCox）
1-(a+b)NiaMb（ＭはTi、ZrおよびHfより選ばれる
少なくとも一種以上の元素）で、組成比が０＜ｘ
0.5、0.005ａ0.25および0.01ｂ0.12であ
ることを特徴とするものであり、電子ビーム蒸着
法、誘導加熱蒸着法、抵抗加熱蒸着法、スパツタ
リング法、イオンプレーテイング法、メツキ法等
を利用して形成できるものである。
記録媒体において、磁性層の組成が（Fe1-xCox）
1-(a+b)NiaMb（ＭはTi、ZrおよびHfより選ばれる
少なくとも一種以上の元素）で、組成比が０＜ｘ
0.5、0.005ａ0.25および0.01ｂ0.12であ
ることを特徴とするものであり、電子ビーム蒸着
法、誘導加熱蒸着法、抵抗加熱蒸着法、スパツタ
リング法、イオンプレーテイング法、メツキ法等
を利用して形成できるものである。
磁性層材料としてCo元素とFe元素の和が60wt
％以上でFeが主成分となるように、Co元素をFe
元素に置換することにより磁気的特性は、従来の
Co−Ni合金と同等以上のものが得られることが
認められた。しかしながらCo元素で置換するこ
とにより耐蝕性が劣化するが、Ti、Zr、Hfより
選ばれる少くとも一種類以上の元素を添加するこ
とにより、磁気特性を損うことなく耐蝕性おいて
も、従来のCo−Ni合金と同等以上の改善を図る
ことができた。
％以上でFeが主成分となるように、Co元素をFe
元素に置換することにより磁気的特性は、従来の
Co−Ni合金と同等以上のものが得られることが
認められた。しかしながらCo元素で置換するこ
とにより耐蝕性が劣化するが、Ti、Zr、Hfより
選ばれる少くとも一種類以上の元素を添加するこ
とにより、磁気特性を損うことなく耐蝕性おいて
も、従来のCo−Ni合金と同等以上の改善を図る
ことができた。
本発明の磁気記録媒体について、さらに詳細に
説明する。本発明に用いる磁性層の材料におい
て、Fe元素は原子一個あたりの磁気モーメント
を高め、残留磁束密度Brを増加させると同時に
展延性を増し、磁性層のワレ、ヒビの発生を防止
する。
説明する。本発明に用いる磁性層の材料におい
て、Fe元素は原子一個あたりの磁気モーメント
を高め、残留磁束密度Brを増加させると同時に
展延性を増し、磁性層のワレ、ヒビの発生を防止
する。
一方、前記したようにFe元素が増すと耐蝕性
が急激に悪くなると同時に、残留磁束密度Brを
増加させる効果はむしろ低下する。またNiは耐
蝕性の効果および展延性を向上させ、磁性層のワ
レ、ヒビの発生を防止する。またTi、Zr、Hfは、
単独又は二種類又は三種類全部を同時に添加する
ことにより、耐蝕性を向上させると共に磁性層の
耐摩耗性に有効であり、さらに磁性層と、磁性層
の基材であるベースフイルム等との付着強度の増
大にも寄与する。ただし添加量が多すぎると、
Brが減少する等、磁性層の磁気特性を低下させ
る。
が急激に悪くなると同時に、残留磁束密度Brを
増加させる効果はむしろ低下する。またNiは耐
蝕性の効果および展延性を向上させ、磁性層のワ
レ、ヒビの発生を防止する。またTi、Zr、Hfは、
単独又は二種類又は三種類全部を同時に添加する
ことにより、耐蝕性を向上させると共に磁性層の
耐摩耗性に有効であり、さらに磁性層と、磁性層
の基材であるベースフイルム等との付着強度の増
大にも寄与する。ただし添加量が多すぎると、
Brが減少する等、磁性層の磁気特性を低下させ
る。
以上の結果として良好な磁性層の組成は、
（Fe1-xCox）1-(a+b)NiaMb（ＭはTi、Zr、HFより選
ばれる少くとも一種類以上の元素）で組成比が０
＜ｘ0.5、0.05ａ0.25、および0.01ｂ
0.12の範囲のものであり、特にTi、Zr、Hfが単
独又は二種又は三種全部の合計で２〜8wt％、Ni
が８〜20wt％、Coが15〜40wt％、残りがFeのも
のが好適である。さらに最適な組成は、Ti、Zr、
Hfの合計で３〜6wt％、Niが10〜16wt％、Coが
20〜30wt％、残りがFeの範囲にある。
（Fe1-xCox）1-(a+b)NiaMb（ＭはTi、Zr、HFより選
ばれる少くとも一種類以上の元素）で組成比が０
＜ｘ0.5、0.05ａ0.25、および0.01ｂ
0.12の範囲のものであり、特にTi、Zr、Hfが単
独又は二種又は三種全部の合計で２〜8wt％、Ni
が８〜20wt％、Coが15〜40wt％、残りがFeのも
のが好適である。さらに最適な組成は、Ti、Zr、
Hfの合計で３〜6wt％、Niが10〜16wt％、Coが
20〜30wt％、残りがFeの範囲にある。
以下実施例により本発明を説明する。第１図は
磁気記録媒体の一つである蒸着テープと製造装置
を示す。真空槽１内にフイルム巻出し軸２、巻取
軸３、中間フリーローラ４、冷却キヤン５、蒸着
材料収納容器７、電子ビーム発生源８が配置され
ている。幅100mm、厚さ15μｍのポリエチレンテ
レフタレートのフイルム９は、フイルム巻出軸２
から中間フリーローラ４および冷却キヤン５を経
て、フイルム巻取り軸３に送られる。蒸着材料６
は蒸着材料収納容器７内に入れられ、冷却キヤン
５と対向して配置され、電子ビーム発生源８から
の電子ビームによつ加熱される。加熱された蒸着
材料は、蒸気流６′となり冷却キヤン５上のフイ
ルム９に付着して磁性層を形成するが、防着板１
１によりフイルム９上に蒸着される蒸気流の入射
角が60°〜90°に制限される。真空槽１内は排気装
置１０により、成膜中の真空度を１×10-4〜５×
10-6Torrに保持した。フイルム送り速度は毎分
10ｍで、形成された磁性層の厚さはほぼ1000Åで
ある。
磁気記録媒体の一つである蒸着テープと製造装置
を示す。真空槽１内にフイルム巻出し軸２、巻取
軸３、中間フリーローラ４、冷却キヤン５、蒸着
材料収納容器７、電子ビーム発生源８が配置され
ている。幅100mm、厚さ15μｍのポリエチレンテ
レフタレートのフイルム９は、フイルム巻出軸２
から中間フリーローラ４および冷却キヤン５を経
て、フイルム巻取り軸３に送られる。蒸着材料６
は蒸着材料収納容器７内に入れられ、冷却キヤン
５と対向して配置され、電子ビーム発生源８から
の電子ビームによつ加熱される。加熱された蒸着
材料は、蒸気流６′となり冷却キヤン５上のフイ
ルム９に付着して磁性層を形成するが、防着板１
１によりフイルム９上に蒸着される蒸気流の入射
角が60°〜90°に制限される。真空槽１内は排気装
置１０により、成膜中の真空度を１×10-4〜５×
10-6Torrに保持した。フイルム送り速度は毎分
10ｍで、形成された磁性層の厚さはほぼ1000Åで
ある。
第２図に上記の方法で作製した蒸着テープの磁
性層の組成と耐蝕性試験の結果を示す。耐蝕性試
験は、上記実施例に従つて作製されたテープを、
60℃湿度90％の恒温恒湿槽の中に1000時間放置し
た後、テープの残留磁束密度Brの変化を測定し
た。第２図において、◎はBrの低下が３％未満、
○は３〜５％、△は５〜10％、×は10％以上を示
す。
性層の組成と耐蝕性試験の結果を示す。耐蝕性試
験は、上記実施例に従つて作製されたテープを、
60℃湿度90％の恒温恒湿槽の中に1000時間放置し
た後、テープの残留磁束密度Brの変化を測定し
た。第２図において、◎はBrの低下が３％未満、
○は３〜５％、△は５〜10％、×は10％以上を示
す。
第３図に、家庭用VTRデツキを用い記録再生
した時の再生出力を示す。本発明のテープNo.４の
再生出力は曲線２０で、比較のため同一条件で作
製したCo−Niテープの再生出力が曲線２１で示
されている。本発明のテープの再生出力は従来の
Co−Niテープに比べ同等ないし2dB高い。他の
テープについてもCo−Niテープ以上の再生出力
が得られた。
した時の再生出力を示す。本発明のテープNo.４の
再生出力は曲線２０で、比較のため同一条件で作
製したCo−Niテープの再生出力が曲線２１で示
されている。本発明のテープの再生出力は従来の
Co−Niテープに比べ同等ないし2dB高い。他の
テープについてもCo−Niテープ以上の再生出力
が得られた。
以上述べたように、本発明の磁気記録媒体は
Feを主成分とするために、従来のCoが主成分と
Co−Ni合金系記録媒体な比べ、非常に安価にな
るばかりでなく、Ti、Zr、Hf元素を添加すうる
ことにより、Feが主成分の媒体の欠点である耐
蝕性の悪さを大幅に改善し、Co−Ni系合金と同
等あるいはそれ以上の再生出力、耐蝕性を有する
ものである。
Feを主成分とするために、従来のCoが主成分と
Co−Ni合金系記録媒体な比べ、非常に安価にな
るばかりでなく、Ti、Zr、Hf元素を添加すうる
ことにより、Feが主成分の媒体の欠点である耐
蝕性の悪さを大幅に改善し、Co−Ni系合金と同
等あるいはそれ以上の再生出力、耐蝕性を有する
ものである。
第１図は本実施例で用いた蒸着テープの製造装
置の説明図である。第２図は、磁性層の組成と耐
蝕性試験の結果を示す表である。第３図は、第２
図のNo.４のテープと、Co−Niテープの名周波数
における再生出力の比較を示すグラフである。 １：真空槽、２：フイルム巻出し軸、３：フイ
ルム巻取り軸、４：中間フリーローラ、５：冷却
キヤン、６：蒸着材料、７：蒸着材料収納容器、
８：電子ビーム発生源、９：ポリエチレンテレフ
タレートフイルム、１０：排気装置、１１：防着
板、２０：本発明実施例の再生出力曲線、２１：
Co−Niテープの再生出力曲線。
置の説明図である。第２図は、磁性層の組成と耐
蝕性試験の結果を示す表である。第３図は、第２
図のNo.４のテープと、Co−Niテープの名周波数
における再生出力の比較を示すグラフである。 １：真空槽、２：フイルム巻出し軸、３：フイ
ルム巻取り軸、４：中間フリーローラ、５：冷却
キヤン、６：蒸着材料、７：蒸着材料収納容器、
８：電子ビーム発生源、９：ポリエチレンテレフ
タレートフイルム、１０：排気装置、１１：防着
板、２０：本発明実施例の再生出力曲線、２１：
Co−Niテープの再生出力曲線。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 非磁性体基体上に薄膜堆積法により形成され
た磁性層を有する磁気記録媒体において、前記磁
性層の組成が （Fe1-xCox）1-(a+b)NiaMb （ＭはTi、ZrおよびHfより選ばれる少なくとも
一種以上の元素）で、組成比が０＜ｘ0.5、
0.05ａ0.25および0.01ｂ0.12であること
を特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58144113A JPS6035326A (ja) | 1983-08-06 | 1983-08-06 | 磁気記録媒体 |
| US06/635,234 US4567116A (en) | 1983-08-06 | 1984-07-27 | Magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58144113A JPS6035326A (ja) | 1983-08-06 | 1983-08-06 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6035326A JPS6035326A (ja) | 1985-02-23 |
| JPH0364929B2 true JPH0364929B2 (ja) | 1991-10-09 |
Family
ID=15354484
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58144113A Granted JPS6035326A (ja) | 1983-08-06 | 1983-08-06 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6035326A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0816975B2 (ja) * | 1987-03-23 | 1996-02-21 | 株式会社日立製作所 | 磁気記録媒体 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5629A (en) * | 1979-06-15 | 1981-01-06 | Ulvac Corp | Vacuum-evaporated film type magnetic recording substance and its manufacture |
| JPS567231A (en) * | 1979-06-27 | 1981-01-24 | Ulvac Corp | Vapor deposition film type magnetic recording material and its production |
-
1983
- 1983-08-06 JP JP58144113A patent/JPS6035326A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6035326A (ja) | 1985-02-23 |
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