JPH0540383Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、例えば高真空あるいは超高真空部な
どに用いられる真空弁に関するものである。

［従来の技術］ 従来、この種の真空弁においては、ハンドル操
作によるステムの作動でデイスクを全閉位置、中
間位置または全開位置に設定するとともに、ハン
ドルの操作力を機械的に伝達するステムの軸部シ
ールとしてベローズを使用してなる構成を有する
ものがある。

［考案が解決しようとする課題］ しかしながら、上記した従来構造の真空弁、所
謂ベローズ弁にあつては、ベローズの寿命設計を
デイスクのストロークで行なう必要があることか
ら、要求寿命が長ければ長いほど、ベローズの長
さを長くしなければならず、必然的に弁自体が大
型化するばかりでなく、ベローズの寿命のバラツ
キも大きい。

また、デイスクの作動をステムにより機械的に
行なわれていることから、動的シール部を必要と
し、高真空あるいは超高真空部への使用に対して
信頼性に乏しく、しかも、軸部シール部にベロー
ズが使用されているために、弁内の流体の流れを
配管と直線的にすることができず、これによつ
て、使用流体の流通抵抗が大きくなるといつた問
題があつた。

［考案の目的］ 本考案は、上記の事情のもとになされたもの
で、その目的とするところは、使用流体の流通抵
抗を小さくし、軽量で小型化を図ることができる
ようにした真空弁を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ すなわち本考案に係る真空弁は、軸方向一端の
流入口及び軸方向他端中央の流出口を有する筒状
のボデイ本体と、このボデイ本体の内周に軸方向
移動自在に配置されて前記流出口の外周の弁座に
接離するデイスクと、このデイスクに開設されて
流入口側と前記弁座の外周側とを連通する連通孔
と、前記ボデイ本体の外周に軸方向移動自在に設
けられたスライダと、前記デイスクの外周面に軸
方向適当な間隔で突設され軸方向に隣り合う磁極
が互いに異なる複数の第１の磁石と、前記スライ
ダの内周面に固定され前記ボデイ本体を介して前
記各第１の磁石と異なる磁極同士で対向する第２
の磁石と、前記デイスクが閉弁位置にあるときの
前記弁座側への前記スライダの軸方向移動を規制
して前記各第１の磁石と各第２の磁石の互いの対
向状態を保持するストツパとを備えるものであ
る。

［作用］ この真空弁は、ボデイ本体の外周のスライダに
設けられた第２の磁石と、ボデイ本体内周のデイ
スクに設けられた第１の磁石は、互いに径方向に
対向する磁極間では吸引力が作用し、この径方向
に対向する磁極の隣のハス向かいの磁極との間で
は反発力が作用するので、スライダを軸方向に移
動させることによつて、デイスクが軸方向に追随
移動し、弁座に対して接離動作する。このとき、
デイスクの外周面における各第１の磁石間の隙間
と、ボデイ本体の内周面との間には流体溜りが形
成されるので、デイスクの軸方向移動が円滑に行
われる。

また、デイスクが弁座に当接して、このデイス
クの連通孔と弁座外周側の空間を介して連通して
いたボデイ本体の流入口側と流出口側の間が遮断
されると、その時点でスライダもストツパによつ
て弁座側への軸方向移動が規制されるので、第１
の磁石群と第２の磁石群との対向関係が維持され
る。

［実施例］ 以下、本考案を図示の一実施例を参照しながら
詳細に説明する。

第１図に示すように、図中１は本考案に係る真
空弁を構成するボデイ本体である。このボデイ本
体１内には、使用流体Ｗの流通路２が軸方向に沿
つて形成され、この流通路２内には、デイスク３
が軸方向に沿つて摺動自在に設けられている。こ
のデイスク３は、前記流通路２の流入口２Ａ側か
ら流入する使用流体Ｗを流出口２Ｂ側の連通口２
１に連通させて案内流出させる連通孔４を有し、
かつ、その流出口２Ｂ側の端面に設けたソフトシ
ート５を介して前記連通口２１を封止可能にして
いる。

そして、前記デイスク３の外周面には、磁極
（Ｎ）（Ｓ）を交互に配列した複数個の第１の磁石
６……が軸方向に沿つて設けられている一方、こ
のデイスク３に対応する前記ボデイ本体１の外周
には、スライダ７が軸方向に沿つて摺動自在に設
けられているとともに、このスライダ７の内周面
には、前記デイスク３の外周面に設けた第１の磁
石６……と互いに吸引反発し合うように磁極
（Ｎ）（Ｓ）を交互に配列した複数個の第２の磁石
８……が軸方向に沿つて対応させて設けられてい
る。また、図中９は前記ボデイ本体１の流入口２
Ａ側にガスケツト１０を介して接合された図示し
ない使用流体の配管系に接続可能なフランジ部材
である。

ボデイ本体１の外周部には、流出口２Ｂの開口
部外周の弁座２Ｃと対応して突設されたストツパ
１Ａが形成されており、このストツパ１Ａは、デ
イスク３が弁座２Ｃに当接したときにスライダ７
の弁座２Ｃ側への軸方向移動すなわち図中右方向
への移動を規制するものである。

第一の磁石６と第２の磁石８は、その径方向に
互いに対向する異なる磁極同士で吸引し合い、そ
の隣のハス向かいの同磁極との間で反発し合つて
いるので、スライダ７を移動させると、上述のよ
うな磁気吸引力及び反発力によつて、デイスク３
が各第一の磁石６と各第２の磁石８の対応関係を
維持するようにスライダ７に追従移動する。この
とき、デイスク３の外周面における各第１の磁石
６間の隙間と、ボデイ本体１の内周面との間には
流体溜りδが形成されるので、流体軸受作用によ
つて、デイスク３の移動が円滑に行われる。そし
て、図中右方向へのスライダ７のデイスク３が弁
座２Ｃに当接した図示の状態においては、同時に
スライダ７もストツパ１Ａによつて図中右方向へ
の移動を規制されるので、前記第一の磁石６と第
２の磁石８の対応関係が保持される。

なお、上記の実施例において、デイスク３を磁
力により追従摺動させるスライダ７の摺動操作手
段としては、手動操作、あるいはギア機構を用い
たハンドル操作、モータによる駆動操作、シリン
ダを用いた種々の操作機構が考えられ、その選択
は任意であるとともに、これらの機構は、ボデイ
本体１の外部に設置して操作を行なうようになつ
ているものである。

その他、本考案は、本考案の要旨を変えない範
囲で種々変更実施されることは勿論である。

［考案の効果］ 本考案によると、ボデイ本体を貫通するステム
及びその軸周を密封するためのベローズが存在せ
ず、したがつて、ベローズの存在による大型化及
び流動抵抗の増大を防止できる。また、デイスク
が、ボデイ本体の外側で移動するスライダに磁力
によつて追従動作し、しかもデイスク外周に設け
た磁石がボデイ本体内周面に対する流体軸受部を
形成するので、ボデイの動作が円滑にかつ応答性
良く行われる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る真空弁の一実施例を示す
要部縦断側面図である。 １……ボデイー本体、１Ａ……ストツパ、２…
…流通路、２Ａ……流入口、２Ｂ……流出口、２
１……連通口、３……デイスク、４……連通孔、
５……ソフトシート、６……第１の磁石、７……
スライダ、８……第２の磁石、Ｗ……使用流体。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 軸方向一端の流入口及び軸方向他端中央の流出
   口を有する筒状のボデイ本体と、このボデイ本体
   の内周に軸方向移動自在に配置されて前記流出口
   の外周の弁座に接離するデイスクと、このデイス
   クに開設されて流入口側と前記弁座の外周側とを
   連通する連通孔と、前記ボデイ本体の外周に軸方
   向移動自在に設けられたスライダと、前記デイス
   クの外周面に軸方向適当な間隔で突設され軸方向
   に隣り合う磁極が互いに異なる複数の第１の磁石
   と、前記スライダの内周面に固定され前記ボデイ
   本体を介して前記各第１の磁石と異なる磁極同士
   で対向する第２の磁石と、前記デイスクが閉弁位
   置にあるときの前記弁座側への前記スライダの軸
   方向移動を規制して前記各第１の磁石と各第２の
   磁石の互いの対向状態を保持するストツパとを備
   えてなることを特徴とする真空弁。