JPH0546929A

JPH0546929A - 薄膜磁気ヘツド

Info

Publication number: JPH0546929A
Application number: JP22842091A
Authority: JP
Inventors: Mikio Matsuzaki; 幹男松崎; Atsuo Kobayashi; 敦夫小林
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 1991-08-13
Filing date: 1991-08-13
Publication date: 1993-02-26

Abstract

(57)【要約】【目的】薄膜磁気回路に対する磁気的悪影響を小さくし
て、寄生キャパシンタンス蓄積電荷に起因する放電を防
止する。【構成】スライダ１と、薄膜磁気変換素子２とを有す
る。スライダ１はその大部分を構成する導電性基体１１
と、その表面に設けられた絶縁膜１２とを有する。薄膜
磁気変換素子２は磁性膜２１、２２とコイル膜２３とを
含み、絶縁膜１２の上に設けられ、磁性膜２１、２２の
少なくとも一部が絶縁膜１２に設けられた孔１２１を通
して導電性基体１１上に直接に形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、浮上型の薄膜磁気ヘッ
ドに関し、更に詳しくは、薄膜磁気変換素子を構成する
コイル膜と磁性膜との間に発生するキャパシタの蓄積電
荷に起因する放電を防止し得る薄膜磁気ヘッドに係る。

【０００２】

【従来の技術】この種の薄膜磁気ヘッドは、スライダ
と、薄膜磁気変換素子とを有し、薄膜磁気変換素子があ
る電位に保たれるコイル膜と、コイル膜と共に薄膜磁気
回路を構成する磁性膜とを有しており、磁性膜とコイル
膜との間にキャパシタが発生する。

【０００３】一方、最近の小型ＨＤＤでは、パソコン搭
載を考慮してパソコン電源である５ボルト、１２ボルト
をそのまま利用すべく、小型ＨＤＤ用の読み書き用ＩＣ
も５ボルトまたは１２ボルトの片電源を用いるようにな
っている。このため、薄膜磁気ヘッドは一定電圧、具体
的には、６ボルトの正電圧で常時バイアスされる。その
結果、キャパシタはバイアス電圧により常時一方向に電
荷が蓄積される。

【０００４】キャパシタに蓄積された電荷はポ−ル部と
媒体との間の接触などによる放電により放出され、磁性
膜の電位が変動する。磁性膜の電位変動によりコモンモ
ードノイズが発生し、読み取りデ−タにエラ−を生じ
る。かかる放電防止技術に関する先行技術文献として
は、例えば、特開平２−２４６０４８号公報等がある。
この先行技術においては、薄膜磁気ヘッドのバイアス電
位と媒体の電位とを等しくして放電を生じさせないよう
にして亜る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た先行技術では、薄膜磁気ヘッドのバイアス電位と媒体
の電位とを等しくするために、回転する媒体に薄膜磁気
ヘッドと同電位にする手段を設けることが必須になるの
で、磁気ディスク装置の構造が複雑となり、大型化を招
くと共に、高価になる。

【０００６】そこで本発明の課題は、上述する従来の問
題点を解決し、薄膜磁気回路に対する磁気的悪影響を小
さくして、キャパシタンス蓄積電荷に起因する放電を確
実に防止し得るようにした薄膜磁気ヘッドを提供するこ
とである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上述した課題解決のた
め、本発明は、スライダと、薄膜磁気変換素子とを有す
る薄膜磁気ヘッドであって、前記スライダは、その大部
分を構成する導電性基体と、前記導電性基体の表面に設
けられた絶縁膜とを有しており、前記薄膜磁気変換素子
は、磁性膜とコイル膜とを含み、前記絶縁膜の上に設け
られ、前記磁性膜の少なくとも一部が前記絶縁膜に設け
られた孔を通して前記導電性基体上に直接に形成されて
いることを特徴とする。

【０００８】

【作用】薄膜磁気変換素子は、磁性膜の少なくとも一部
が、スイライダの絶縁膜に設けられた孔を通して、導電
性基体上に直接に形成されているから、磁性膜がアース
電位となる導電性基体と同電位に保たれる。このため、
コイル膜と磁性層との間に発生するキャパシタに電荷が
蓄積されても、蓄積電荷に起因して磁性膜のポ−ル部と
媒体との間に放電を発生することはない。しかも、薄膜
磁気回路に対する磁気的な悪影響を生じる余地がない。

【０００９】スライダは導電性基体の表面に設けられた
絶縁膜を有しており、薄膜磁気変換素子は絶縁膜の上に
設けられ、磁性膜は絶縁膜に設けられた孔を通して導電
性基体上に形成されているから、薄膜磁気変換素子のコ
イル膜、そのリード電極及び取出電極と、導電性基体と
の間で絶縁膜による充分な電気絶縁を確保できる。

【００１０】

【実施例】図１は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの薄膜磁
気変換素子の部分の拡大断面図である。図は構造の概略
を示すために用いられているもので、各部寸法は誇張さ
れている。図において、１はスライダ、２は薄膜磁気変
換素子である。

【００１１】スライダ１は、その大部分を構成する例え
ばAl₂O₃-Tic 等の導電性基体１１と、導電性基体１１の
表面に設けられたアルミナ等の絶縁膜１２とを有してい
る。薄膜磁気変換素子２は、下部磁性膜２１と、上部磁
性膜２２と、コイル膜２３とを有し、下部磁性膜２１が
絶縁膜１２に設けられた孔１２１を通して導電性基体１
１上に直接に形成されている。下部磁性膜２１及び上部
磁性膜２２は、通常、パーマロイ等で構成され、先端部
が変換ギャップを構成するポ−ル部２１１、２２１とな
っていて、ポ−ル部２１１、２２１に連なるヨ−ク部２
１２、２２２の後方側２１３、２２３が磁気回路を完成
するように結合されている。ポール部２１１、２２１は
アルミナ等でなるギャップ膜２４により隔てられてい
る。下部磁性膜２１は、ヨーク部２１２の大部分が絶縁
膜１２に設けられた孔１２１を通して導電性基体１１上
に形成され、ポール部２１１が先端部に残る絶縁膜１２
２によって支持されている。ヨーク部２１２の表面は、
ポール部２１１の表面から段差をもって落ち込んでい
る。

【００１２】コイル膜２３は、ヨーク部２１２ー２２２
間に形成される間隔内を通りヨーク部２１２、２２２の
結合部の周りを渦巻状にまわるように配置され、有機絶
縁膜２５１〜２５３によって支持されている。有機絶縁
膜２５１〜２５３は、通常、ノボラック樹脂等の有機樹
脂で構成される。２６はアルミナ等でなる保護膜であ
る。

【００１３】上述のように、薄膜磁気変換素子２は、下
部磁性膜２１が絶縁膜１２に設けられた孔１２１を通し
て導電性基体１１上に直接に形成されているから、下部
磁性膜２１及び上部磁性膜２２がアース電位となる導電
性基体１１と同電位に保たれる。このため、コイル膜２
３と下部磁性層２１及び上部磁性膜２２との間に発生す
るキャパシタに電荷が蓄積されても、蓄積電荷に起因し
て磁性膜２１、２２のポ−ル部２１１、２２１と媒体
（図示しない）との間に放電を発生することはない。し
かも、薄膜磁気回路に対する磁気的な悪影響を生じる余
地がない。

【００１４】また、薄膜磁気変換素子１２は絶縁膜１２
の上に設けられているから、薄膜磁気変換素子２のコイ
ル膜２３は、有機絶縁膜２５１〜２５３による電気絶縁
の他に、絶縁膜１２による電気絶縁も受ける。

【００１５】図２は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの薄膜
磁気変換素子部分の拡大断面図である。図において、図
１と同一の参照符号は同一性ある構成部分を示してい
る。この実施例では、下部磁性膜２１は、絶縁膜１２に
設けられた孔１２１を通して導電性基体１１上に直接に
形成され、ヨーク部２１２の表面とポール部２１１の表
面が実質的に同一の平面を形成している。

【００１６】本発明に係る薄膜磁気ヘッドにおいて、ス
ライダ１は種々の構造をとることができる。その例を図
３及び図４に示す。図３では、スライダ１は、媒体対向
面側に２つのレール１０１、１０２を有しており、レー
ル１０１、１０２の表面が空気ベアリング面１０３、１
０４として利用される。２７、２８はコイル膜２３に導
通する取出電極、２７１、２８１はリード電極である。
これらは、スライダ１を構成する絶縁膜１２の上に設け
られている。従って、取出電極２７、２８及びリード電
極２７１、２８１と、導電性基体１１との間で絶縁膜１
２による充分な電気絶縁を確保できる。

【００１７】図４では、スライダ１は媒体対向面がレー
ル部を持たない平面状の空気ベアリング面１０５となっ
ている。取出電極２７、２８及びリード電極２７１、２
８１は絶縁膜１２の上に設けられており、導電性基体１
１との間で絶縁膜１２による充分な電気絶縁を確保でき
る。

【００１８】実施例では、面内記録再生用の薄膜磁気ヘ
ッドを示したが、垂直記録再生用の薄膜磁気ヘッドにも
同様に適用が可能である。

【００１９】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果が得られる。（ａ）薄膜磁気変換素子は、磁性膜の少なくとも一部
が、スイライダの絶縁膜に設けられた孔を通して、導電
性基体上に直接に形成されているから、キャパシタへの
電荷蓄積に起因する磁性膜のポ−ル部と媒体との間の放
電、及び、放電による読み取りデ−タ・エラ−を発生す
ることのない薄膜磁気ヘッドを提供できる。（ｂ）放電防止構造が薄膜磁気回路に対して磁気的な悪
影響を与える余地のない薄膜磁気ヘッドを提供できる。（ｃ）スライダは導電性基体の表面に設けられた絶縁膜
を有しており、薄膜磁気変換素子は絶縁膜の上に設けら
れ、磁性膜は絶縁膜に設けられた孔を通して導電性基体
上に形成されているから、薄膜磁気変換素子のコイル
膜、そのリード電極及び取出電極と、導電性基体との間
で絶縁膜による充分な電気絶縁を確保し得る薄膜磁気ヘ
ッドを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの薄膜磁気変換素
子部分の拡大断面図である。

【図２】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの別の実施例にお
ける薄膜磁気変換素子部分の拡大断面図である。

【図３】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの外観斜視図であ
る。

【図４】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの別の実施例にお
ける外観斜視図である。

【符号の説明】

１基体１１導電性基体１２絶縁膜１２１孔２薄膜磁気変換素子２１下部磁性膜２２上部磁性膜２３コイル膜

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【手続補正書】

【提出日】平成４年７月２５日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００３

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００３】一方、最近の小型ＨＤＤでは、パソコン搭
載を考慮してパソコン電源である５ボルト、１２ボルト
をそのまま利用すべく、小型ＨＤＤ用の読み書き用ＩＣ
も５ボルトの片電源を用いるようになっている。このた
め、薄膜磁気ヘッドは一定電圧、具体的には、２．５ボ
ルトの正電圧で常時バイアスされる。その結果、キャパ
シタはバイアス電圧により常時一方向に電荷が蓄積され
る。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】スライダと、薄膜磁気変換素子とを有す
る薄膜磁気ヘッドであって、前記スライダは、その大部分を構成する導電性基体と、
前記導電性基体の表面に設けられた絶縁膜とを有してお
り、前記薄膜磁気変換素子は、磁性膜とコイル膜とを含み、
前記絶縁膜の上に設けられ、前記磁性膜の少なくとも一
部が前記絶縁膜に設けられた孔を通して前記導電性基体
上に直接に形成されていることを特徴とする薄膜磁気ヘ
ッド。
【請求項２】前記磁性膜は、下部磁性膜と上部磁性膜
とを含み、前記下部磁性膜及び上部磁性膜は、先端部に変換ギャッ
プを構成するポール部を有すると共に、前記ポール部に
連なるヨーク部を有し、前記ヨーク部が互いに間隔を隔
てて対向し後方で互いに結合されており、前記下部磁性膜は、前記ヨーク部の大部分が前記孔を通
して前記導電性基体上に形成され、前記ポール部が前記
絶縁膜によって支持されてており、前記コイル膜は、前記ヨーク部間に形成される前記間隔
内を通り前記ヨーク部の結合部の周りを渦巻状にまわる
ように配置され、有機絶縁膜によって支持されているこ
とを特徴とする請求項１に記載の薄膜磁気ヘッド。
【請求項３】前記下部磁性膜は、前記ヨーク部の表面
が前記ポール部の表面から段差をもって落ち込んでいる
ことを特徴とする請求項２に記載の薄膜磁気ヘッド。
【請求項４】前記下部磁性膜は、前記ヨーク部の表面
と前記ポール部の表面が実質的に同一の平面を形成して
いることを特徴とする請求項２に記載の薄膜磁気ヘッ
ド。