JPH0555795U - リニアアクチュエータ - Google Patents
リニアアクチュエータInfo
- Publication number
- JPH0555795U JPH0555795U JP11112691U JP11112691U JPH0555795U JP H0555795 U JPH0555795 U JP H0555795U JP 11112691 U JP11112691 U JP 11112691U JP 11112691 U JP11112691 U JP 11112691U JP H0555795 U JPH0555795 U JP H0555795U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- pair
- leaf springs
- leaf spring
- linear actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 圧電素子と板ばねを組み合わせて高分解能の
直線運動を実現可能なリニアアクチュエータを提案する
こと。 【構成】 一対の板ばね４、５の中央部分４ｃ、５ｃの
間に圧電素子３が挟まれた状態にある。圧電素子３の伸
縮方向は板ばねの方向（移動方向Ｘ）とは直交する方向
である。板ばねの移動可能な端４ｂ、５ｂがテーブル２
に結合されている。圧電素子３の伸縮運動は、一対の板
ばね４、５によって移動方向Ｘの往復運動に変換され、
この往復運動によってテーブル２が直線移動させられ
る。
直線運動を実現可能なリニアアクチュエータを提案する
こと。 【構成】 一対の板ばね４、５の中央部分４ｃ、５ｃの
間に圧電素子３が挟まれた状態にある。圧電素子３の伸
縮方向は板ばねの方向（移動方向Ｘ）とは直交する方向
である。板ばねの移動可能な端４ｂ、５ｂがテーブル２
に結合されている。圧電素子３の伸縮運動は、一対の板
ばね４、５によって移動方向Ｘの往復運動に変換され、
この往復運動によってテーブル２が直線移動させられ
る。
Description
【０００１】
本考案は高分解能の直線運動を行うことの可能なリニアアクチュエータに関す るものである。
【０００２】
リニアアクチュエータとしては各種の構造のものが提案されている。本考案の 課題は、圧電素子を利用して、高分解能の直線運動を実現可能な新たな構成のリ ニアアクチュエータを提案することにある。
【０００３】
本考案においては、圧電素子と一対の板ばねを組み合わせて用いることにより 、高分解能の直線運動を実現している。すなわち、直線運動の運動方向に対して 圧電素子をその伸縮軸がほぼ直交するように配置し、この圧電素子の伸縮を一対 の板ばねを用いて運動方向の運動に変換するようにしている。
【０００４】
以下に、図１および図２を参照して本考案の一実施例を説明する。
【０００５】 本例のリニアアクチュエータ１は、例えば１軸テーブル２の駆動機構として組 み込まれたものであり、圧電素子３と、一対の板ばね４、５を基本構成要素とし ている。
【０００６】 一対の板ばね４、５はテーブルの移動方向Ｘに向けて相互に平行に配列されて いる。これらの板ばねの一方の端４ａ、５ａは、マグネット等からなる固定側ク ランパ６を介して固定部７の側に固定されている。他方の端４ｂ、５ｂは、テー ブル２の裏面に結合したマグネット等からなるテーブル側クランパ８に固定され ている。一対の板ばね４、５の軸方向の中央部分４ｃ、５ｃは移動方向Ｘに直交 する方向に移動可能となっている。
【０００７】 これらの中央部分４ｃ、５ｃの間に、圧電素子３が挟まれた状態に配置されて いる。すなわち、圧電素子３はその伸縮軸が移動方法Ｘに直角となる方向に設定 されており、伸縮方向の一方の端３ａが板ばね４の中央部分４ｃの内側面に接合 され、他端３ｂが他方の板ばね５の中央部分５ｃの内側面に接合されている。
【０００８】 なお、圧電素子３に対する電圧供給は公知の回路構成により行うことができ、 図示を省略してある。
【０００９】 このように構成したリニアアクチュエータ１において、圧電素子３に対して所 定の電圧を供給すると、それに応じて圧電素子３が図において想像線で示すよう に伸長する。これにより、一対の板ばね４、５の中央部分４ｃ、５ｃの間隔が強 制的に押し広げられる。板ばねが軸線方向へは伸縮しないので、軸線方向Ｘに向 けて全体として縮む。板ばねの一方の端４ａ、５ａは移動しないので、他方の端 ４ｂ、５ｂが移動方向Ｘに移動する。よって、これに連結されているテーブル２ が移動方向Ｘに移動されることになる。このようにして、圧電素子３を伸縮させ ることにより、テーブルを移動方向Ｘに沿って往復移動させることができる。
【００１０】
以上説明したように、本考案においては、圧電素子の伸縮運動を一対の板ばね を用いて伸縮方向とは直交する方向の往復運動に変換し、この往復運動を利用し て被駆動部材を直線移動させるようになっている。したがって、本考案によれば 、圧電素子の伸縮量よりも大きなストロークの直線運動を得ることができる。換 言すると、一定のストロークを得るために必要な圧電素子の伸縮量を少なくでき るので、その分高分解能の直線運動を得ることができる。
【図１】本考案の一実施例のリニアアクチュエータを示
す概略側面図である。
す概略側面図である。
【図２】図１のリニアアクチュエータの概略平面図であ
る。
る。
１・・・リニアアクチュエータ ２・・・テーブル ３・・・圧電素子 ３ａ、３ｂ・・・圧電素子の端 ４、５・・・板ばね ４ａ、５ａ・・・板ばねの固定側の端 ４ｂ、５ｂ・・・板ばねの移動側の端 ４ｃ、５ｃ・・・板ばねの中央部分 Ｘ・・・移動方向
Claims (1)
- 【請求項１】 圧電素子と一対の板ばねを有し、 前記一対の板ばねは、ほぼ平行に配置され、それらの一
方の端は固定端であり、他端は軸線方向への移動のみが
自由な移動端であり、 前記一対の板ばねの中程の位置には、これらの板ばねの
中間部分を軸線方向に直交する方向に向けて変位させる
ことが可能な状態に前記圧電素子が配置されており、 前記一対の板ばねの移動端によって被駆動部材が直線移
動させられることを特徴とするリニアアクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11112691U JPH0555795U (ja) | 1991-12-18 | 1991-12-18 | リニアアクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11112691U JPH0555795U (ja) | 1991-12-18 | 1991-12-18 | リニアアクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0555795U true JPH0555795U (ja) | 1993-07-23 |
Family
ID=14553104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11112691U Pending JPH0555795U (ja) | 1991-12-18 | 1991-12-18 | リニアアクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0555795U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100924096B1 (ko) * | 2007-11-20 | 2009-11-02 | 전자부품연구원 | 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6137120B2 (ja) * | 1981-03-23 | 1986-08-22 | Furankotaipu Hosutaria Gmbh |
-
1991
- 1991-12-18 JP JP11112691U patent/JPH0555795U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6137120B2 (ja) * | 1981-03-23 | 1986-08-22 | Furankotaipu Hosutaria Gmbh |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100924096B1 (ko) * | 2007-11-20 | 2009-11-02 | 전자부품연구원 | 압전 리니어 액츄에이터용 압전 소자 |
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