JPH0565869B2 - - Google Patents

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JPH0565869B2
JPH0565869B2 JP58186398A JP18639883A JPH0565869B2 JP H0565869 B2 JPH0565869 B2 JP H0565869B2 JP 58186398 A JP58186398 A JP 58186398A JP 18639883 A JP18639883 A JP 18639883A JP H0565869 B2 JPH0565869 B2 JP H0565869B2
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JP
Japan
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weight
sensitivity
resin composition
photoinsoluble
bis
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JP58186398A
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English (en)
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JPS6078443A (ja
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Kunihiro Ichimura
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National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Original Assignee
Agency of Industrial Science and Technology
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/028Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
    • G03F7/029Inorganic compounds; Onium compounds; Organic compounds having hetero atoms other than oxygen, nitrogen or sulfur

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Polymerisation Methods In General (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は優れた感度を示す光不溶性樹脂組成
物、さらに詳しくは、アミノフエニル不飽和ケト
ン類とジアリールヨードニウム塩との組合わせを
光重合開始剤とすることを特徴とする光不溶性樹
脂組成物に関するものである。
光重合を原理とする光不溶性樹脂の感光速度を
増大させるためには多くの研究がなされている
が、その多くは紫外線に活性な光重合開始剤に関
するものである。一方、光不溶性樹脂はフオトレ
ジスト、インキ、塗料、ワニス、印刷製版材料な
どはもとより、レーザ光を用いる画像形成材料や
銀塩に代る感光材料としても注目されている。し
かし、このレーザ用としての感光特性は従来のも
のでは甚だ不十分のものでしかない。そのため、
感光波長領域を拡大し、しかも感光速度を飛躍的
に増大させる必要がある。
可視光線に感光する光重合性樹脂としてはいく
つかの提案がなされている。特開昭48−36281号
においては、エチレン系不飽和によるトリアジン
環と共役された少なくとも1つのトリハロメチル
基と少なくとも1つの発色団部分を有するS−ト
リアジンを光重合開始剤とする方法が提案されて
いる。また、特開昭54−155292号においては、p
−ジアルキルアミノアリリデンと共役した不飽和
ケトンを光重合開始剤とする組成物が提案されて
いる。あるいはまた、特開昭52−134692号におい
ては、多環性キノンと3級アミンを光重合開始系
とする組成物が提案されている。
これらはいずれも従来の光重合性樹脂に比べて
おり長波長光に感ずる材料を与えることが出来る
が、レーザ用感光材料や銀塩代替材料などとして
利用するにはなお一層高い感光速度が望まれる。
さらに、光重合開始剤としてアミノ基置換不飽和
ケトンを単独で、あるいは2,4,6−置換−
1,3,5−トリアジン又はベンジル類と組み合
わせて含む光重合性組成物(特開昭53−65381号
公報、特開昭55−50001号公報、特開昭57−10605
号公報)、ジアリールヨードニウム塩を単独で、
あるいは特定の芳香族化合物や複素環化合物と組
み合わせて含む光重合性組成物(特開昭51−
100716号公報、特開昭53−22597号公報、特開昭
55−155018号公報)なども提案されているが、い
ずれも感度が低く、レーザ光や長波長光による画
像形成露光に対しては実用的でない。
本発明は、光分解により酸を発生するジアリー
ルヨードニウム塩の増感分解反応を検討する過程
で、アミノフエニル体が効率良くヨードニウム塩
の光分解を増感することを見い出し、その知見に
基づいて完成されたものである。
すなわち、本発明は、重合能を有するエチレン
性不飽和結合を少なくとも1つ有する化合物およ
び光重合開始剤からなる光不溶性樹脂組成物にお
いて、一般式() (式中のR1、R2、R5、R6はアルキル基を示し、
R3、R4は水素原子またはその両者で環状構造を
形成するC1〜C3のアルキレン残基を示し、nは
0または1を示す。)で表わされる不飽和ケトン
とジアリールヨードニウム塩との組合わせを光重
合開始剤とすることを特徴とする光不溶性樹脂組
成物に関するものである。
光重合開始剤を構成する一般式()で表わさ
れる不飽和ケトンとしては、ジアルキルアミノフ
エニル基と共役した以下の化合物を例示すること
ができる。
光重合開始系を構成する今一つの成分としての
ジアリールヨードニウム塩は、一般式() (式中、R7、R8は水素原子、低級アルキル基、
メトキシ基またはニトロ基を示し、X-はハロゲ
ンイオン、BF4 -、PF6 -、またはAsF6 -を示す) で表わされる化合物である。本発明で用いられる
一般式()で表わされる化合物としては、
Macromolecules、10、1307(1977)に記載の化
合物、たとえば、ジフエニルヨードニウム、ジト
リルヨードニウム、フエニル(p−アニシル)ヨ
ードニウム、ビス(m−ニトロフエニル)ヨード
ニウム、ビス(p−tert−ブチルフエニル)ヨー
ドニウムなどのヨウドニウムのクロリド、ブロミ
ドあるいはホウフツ化塩、ヘキサフルオロホスフ
エート塩、ヘキサフルオロアルセネート塩をあげ
ることができる。
本発明の光不溶性樹脂組成物を構成するエチレ
ン性不飽和結合を少なくとも1つ持つ化合物とし
ては、ビニル系モノマーの他にオリゴマーを含
み、さらには、高分子量化合物でもよい。具体的
には、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、
マレイン酸、アクリルアミド、メタアクリルアミ
ド、ジアセトンアクリルアミド、2−ヒドロキシ
エチルアクリレート、N−ビニルカルバゾール、
N−ビニルピロリドンなどの高沸点モノマー及
び、エチレングリコール、ジエチレングリコー
ル、1,3−プロパンジオール、1,4−ブタン
ジオール、1,5−ペンタンジオール、1,6−
ヘキサンジオール、1,10−デカンジオール、ト
リメチロールエタン、ペンタエリスリトール、ソ
ルビトール、マンニトールなどのジあるいはポリ
(メタ)アクリルエステル、さらには、(メタ)ア
クリル化されたエポキシ樹脂、ポリエステルアク
リレートオリゴマー、(メタ)アクリル化ウレタ
ンオリゴマー、アクロレイン化ポリビニルアルコ
ールなどをあげることが出来るが、この限りでは
ない。
本発明の光不溶性樹脂組成中に含有される光重
合開始剤の量は、一般式()で表わされるアミ
ノフエニル体とエチレン性不飽和結合を持つ化合
物の重量比で約1:5から約1:500までの広い
範囲をとることが可能であり、好ましくは1:10
から1:100の範囲である。また、アミノフエニ
ル体とジアリールヨードニウム塩との重量比は約
10:1から約1:10までの範囲であり、好ましく
は約2:1から約1:5までの範囲である。
本発明の光不溶性樹脂組成物には所望に応じて
公知のバインダー、熱重合禁止剤、可塑剤などの
添加剤を加えても良い。
本発明の組成物に適した光源としては、高圧水
銀灯、超高圧水銀灯、高圧キセノン灯、ハロゲン
ランプ、蛍光灯のほかに、He−Cd、Ar、He−
Neなどのレーザが利用できる。
本発明の光不溶性樹脂組成物は従来の光重合性
組成物よりも優れた感度を有しているので、平版
や凸版用製版材料、レリーフの作製、非銀塩画像
の作製、プリント配線板の作製など幅広い分野に
応用できる。
以下実施例をもつて本発明を説明するが、本発
明はこれに限定されるものではない。
実施例 1〜3 クロロメチルスチレンとメタクリル酸メチルと
の1:1共重合体にメタクリロイル基を導入して
得たポリマーの10重量%ジオキサン溶液1部に、
ジフエニルヨードニウム・ヘキサフルオロホスフ
エート0.01部とビス(p−ジメチルアミノベンジ
リデン)アセトン0.01部を添加し、陽極酸化アル
ミ板にスピン塗布して感度を測定した。Xe灯を
光源とした時には、東京応化工業製TPRの約32
倍の感度が得られた。一方、アルゴンレーザの
488nmの光を照射した結果、0.9mJ/cm2の露光
量でビーム径(0.7mm)と同じ大きさのスポツト
像を得た。
ビス(p−ジメチルアミノベンジリデン)アセ
トンの代りに、2,5−ビス(p−ジメチルアミ
ノベンジリデン)シクロペンタノン、2、6−ビ
ス(p−ジメチルアミノベンジリデン)シクロヘ
キサノンを用いたときも、ほぼ同程度の感度が得
られた。
実施例 4 ポリメタクリル酸メチル1部、ペンタエリスリ
トールトリアクリレート1部、ジフエニルヨード
ニウム・ヘキサフルオロホスフエート0.1部およ
びビス(p−ジメチルアミノベンジリデン)アセ
トン0.1部からなる組成物のジオキサン溶液を陽
極酸化アルミ板上にスピン塗布し、キセノン灯を
用いて感度を測定した。これを脱気下で露光した
ところ、TPRの約10倍の感度を示した。
実施例 5 52%のジメチルアミノ基で置換されたポリ−ε
−カプラミド(東レ製:AQナイロン)の20%エ
タノール溶液に、ポリマーに対して5重量%のジ
フエニルヨードニウム塩とビス(p−ジメチルア
ミノベンジリデン)アセトンおよびポリマーに対
して50重量%のペンタエリスリトールトリアクリ
レートを添加し、これを陽極酸化アルミ板に塗布
して感度を測定した。露光後水道水で現像した結
果、TPRに対して約8倍の感度を示した。
比較例 1 クロロメチルスチレンとメタクリル酸メチルと
の1:1共重合体1.26gを20mlのジメチルアセト
アミドに溶解してから、メタクリル酸カリウム
0.83gを加えて80℃で5時間反応させた。生成物
をメタノールに沈澱させて分離し、メタノールで
十分に洗浄してから乾燥することにより側鎖にメ
タクリロイル基を有する重合体を得た。これをジ
メチルホルムアミドに溶解して10重量%溶液とし
た。この重合体1重量部に対して、ビス(p−ジ
メチルアミノベンジリデン)アセトン0.01重量部
と2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン0.05重量部をこの溶液に加
え、これを陽極酸化アルミ板上にスピン塗布して
キセノン灯を光源として感度の評価を行つた。東
京応化工業(株)のTPRに対する相対感度は2であ
つた。それに対して、トリアジンの代わりにジフ
エニルヨードニウムヘキサフルオロホスフエート
を用いた場合には、相対感度は32に達した。
比較例 2 クロロメチルスチレンとメタクリル酸メチルと
の1:1共重合体1.26gを20mlのジメチルアセト
アミドに溶解してから、メタクリル酸カリウム
0.83gを加えて80℃で5時間反応させた。生成物
をメタノールに沈澱させて分離し、メタノールで
十分に洗浄してから乾燥することにより側鎖にメ
タクリロイル基を有する重合体を得た。これをジ
メチルホルムアミドに溶解して10重量%溶液とし
た。この重合体1重量部に対して、ビス(p−ジ
メチルアミノベンジリデン)アセトン0.01重量部
とベンジル0.05重量部をこの溶液に加え、これを
陽極酸化アルミ板上にスピン塗布してキセノン灯
を光源として感度の評価を行つた。東京応化工業
(株)のTPRに対する相対感度は1以下であつた。
それに対して、トリアジンの代わりにジフエニル
ヨードニウムヘキサフルオロホスフエートを用い
た場合には、相対感度は32に達した。
比較例 3 クロロメチルスチレンとメタクリル酸メチルと
の1:1共重合体1.26gを20mlのジメチルアセト
アミドに溶解してから、メタクリル酸カリウム
0.83gを加えて80℃で5時間反応させた。生成物
をメタノールに沈澱させて分離し、メタノールで
十分に洗浄してから乾燥することにより側鎖にメ
タクリロイル基を有する重合体を得た。これをジ
メチルホルムアミドに溶解して10重量%溶液とし
た。この重合体1重量部に対して、ジフエニルヨ
ードニウムヘキサフルオロホスフエート0.05重量
部をこの溶液に加え、これを陽極酸化アルミ板上
にスピン塗布し、これに発振波長488nmのアル
ゴンレーザを照射したが、不溶化は全く起こらな
かつた。これに対して、この溶液にビス(p−ジ
メチルアミノベンジリデン)アセトン0.05重量部
を添加したところ、アルゴンレーザに感光し、す
みやかな不溶化が認められた。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 重合能を有するエチレン性不飽和結合を少な
    くとも1つ有する化合物および光重合開始剤から
    なる光不溶性樹脂組成物において、一般式 (式中のR1、R2、R5、R6はアルキル基、R3、R4
    は水素原子またはその両者で環状構造を形成する
    炭素数1〜3のアルキレン基を示し、nは0また
    は1である) で表わされる不飽和ケトンとジアリールヨードニ
    ウム塩との組み合わせを光重合開始剤とすること
    を特徴とする高感度光不溶性樹脂組成物。
JP18639883A 1983-10-05 1983-10-05 光不溶性樹脂組成物 Granted JPS6078443A (ja)

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JP18639883A JPS6078443A (ja) 1983-10-05 1983-10-05 光不溶性樹脂組成物

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JP18639883A JPS6078443A (ja) 1983-10-05 1983-10-05 光不溶性樹脂組成物

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JPS6078443A JPS6078443A (ja) 1985-05-04
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JP18639883A Granted JPS6078443A (ja) 1983-10-05 1983-10-05 光不溶性樹脂組成物

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JPS6078443A (ja) 1985-05-04

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