JPH0567305A - 磁気ヘツドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明はトラック幅の管理とギャップ深さの
管理が容易にできる高性能の磁気ヘッドおよびその製造
方法に関する。 【構成】 強磁性金属薄膜がブロックの接合面を介して
山形状に交差状態で埋設され、交差部分が媒体対向面に
露出されて磁気ギャップを構成してなる。 【効果】 強磁性金属薄膜を用いて磁気ギャップを構成
するので、従来のフェライト製の磁気ヘッドよりも優れ
た軟磁気特性を得ることができる。更に、強磁性金属薄
膜どうしをブロックの接合面を介して山形に接続してな
る構成をとることで、ブロックの研磨時に強磁性金属薄
膜どうしの交差部分で研磨終了とすることでトラック幅
のずれを無くすることができると同時に、ギャップ深さ
の決定も終了とすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は磁気記録の高密度化に対
応することができる磁気ヘッドおよびその製造方法に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来、磁気記録の分野においては、磁気
記録媒体に記録される信号の記録密度が向上し、磁気記
録媒体自体の保磁力が向上していることから、記録読出
用の磁気ヘッドには、より狭トラックであって、より高
い飽和磁束密度を有するものが要求されてきている。

【０００３】このような背景において、磁気ディスクに
記録再生を行なうための浮上式の磁気ヘッドにおいて
は、ヘッドコアとスライダにＭｎ-Ｚｎフェライト等の
焼結フェライトを用いたモノリシックタイプのものが広
く一般に用いられている。

【０００４】以下、このモノリシックタイプの磁気ヘッ
ドの製造方法を簡略に説明すれば、まず、Ｍｎ-Ｚｎフ
ェライト等の焼結フェライトからなる素材ブロックを機
械加工により切断して平板状をなすスライダコアブロッ
クおよび断面略コ字状をなすヘッドコアブロックを形成
し、ヘッドコアブロックの必要部分に磁気ギャップ形成
用のＳｉＯ₂膜をスパッタにより形成する。

【０００５】続いてスライダブロックの一側面にヘッド
コアブロックを溶着ガラスにより接合する。次いでヘッ
ドコアブロックをスライダブロックとの接合面に沿って
所定の間隔で切り欠いて所定のコア幅のヘッドコアを複
数形成し、この後スライダブロックの媒体対向面に浮動
性を上げるための負圧溝を各ヘッドコアに沿って複数加
工する。そして、スライダ表面にラッピング加工を施し
てその面粗度を改善し、所定の面取り加工を施すことに
より磁気ヘッドを多数同時に形成している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】この種の磁気ヘッドに
おいても先に説明したように、高密度化と狭トラック化
が進められている。ところが、前記構造の磁気ヘッドに
おいては、焼結フェライトのブロックから切り出したも
のを単に一体化して磁気ヘッドとしているので、Ｍｎ-
Ｚｎフェライト自体が有する以上の磁気特性を得ること
はできず、また、焼結フェライトが微細粒子の圧密体で
あることから、微細粒子の脱粒を防止する必要があるた
めに、狭トラック化には限界がある問題があった。

【０００７】また、狭トラック化の進行とともに問題と
なるのは、ギャップ深さの決定である。通常、前述の製
造方法においてギャップ深さを決定するには、スライダ
ブロックとコアブロックを接合した後に両方のブロック
の媒体対向面を研磨していって規定のギャップ深さを決
定するアライメント作業を行なっている。ところが、狭
トラック化すると、ギャップ深さの精度も従来より高く
する必要が生じる。ここで従来の磁気ヘッドにおいて
は、ギャップ深さにおいて±２μｍ程度の許容範囲であ
ったものが、狭トラック化によりトラック幅において１
０μｍ以下の精度が要求されるようになると、ギャップ
深さは±１μｍ以下の精度が要求されようになるが、現
在の研磨技術ではアライメント作業によりこのような微
細な値に調整することは困難な問題がある。

【０００８】なお、狭トラック化と高密度化を実現する
目的で、従来、特開昭６０-２２９２１０号公報に見ら
れるように、磁気コア半体に強磁性金属薄膜を形成し、
一対の磁気コア半体を接合してなる磁気ヘッドが知られ
ている。この磁気ヘッドにおいては狭トラック化と高密
度化は実現できるものの、狭トラック化した場合の微細
なギャップ深さの管理は困難であった。

【０００９】本発明は前記課題を解決するためになされ
たもので、従来より高密度記録が可能になり、狭トラッ
ク化を実現できる構造の磁気ヘッド、あるいは、ギャッ
プ深さの管理が容易にできる磁気ヘッドを提供するこ
と、および、その磁気ヘッドの好適な製造方法を提供す
ることを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は前
記課題を解決するために、強磁性金属薄膜がその面方向
を媒体対向面に交差させる方向に向けて埋設されたブロ
ックが、一対、媒体対向面に露出された強磁性金属薄膜
における接合面どうしを絶縁層を介し接合して磁気ギャ
ップを構成してなるものである。

【００１１】請求項２記載の発明は前記課題を解決する
ために、一対の溶着ガラス部で強磁性金属薄膜を挟んで
構成した磁気コア部を媒体対向面側に形成したブロック
が、一対、媒体対向面に露出された強磁性金属薄膜にお
ける接合面どうしを絶縁層を介し接合して磁気ギャップ
を構成してなるものである。

【００１２】請求項３記載の発明は前記課題を解決する
ために、請求項１または２記載の磁気ヘッドにおいて、
各ブロックがＭｎ-Ｚｎフェライトからなるものであ
る。

【００１３】請求項４に記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項１または２記載の磁気ヘッドにおい
て、一対のブロックの接合面において向かい合う一対の
強磁性金属薄膜の内端面が、山形状にされたものであ
る。

【００１４】請求項５に記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項３記載の磁気ヘッドにおいて、山形が
三角形の角部状に形成されてなるものである。

【００１５】請求項６に記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項２記載の磁気ヘッドのブロックにおい
て、強磁性金属薄膜を挟んだ一対の溶着ガラス部の一方
が高融点ガラスまたは結晶化ガラスからなり、他方が低
融点ガラスからなるものである。

【００１６】請求項７に記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項６記載の磁気ヘッドにおいて、一対の
ブロックの低融点ガラスからなる溶着ガラス部が、相互
に溶融一体化されて一対のブロックが接合されてなるも
のである。

【００１７】請求項８に記載の発明は前記課題を解決す
るために、強磁性金属薄膜を形成した一対のブロックを
強磁性金属薄膜どうしを突き合わせて一体化し、一体化
後に研磨する磁気ヘッドの製造方法であって、接合面と
媒体対向基面とが隣接されて形成された一対のブロック
に、媒体対向基面に達して露出するように、かつ、接合
面に達して斜めに露出するように強磁性金属薄膜を形成
し、次いで一対のブロックを媒体対向基面どうしを面一
に揃えて接合面どうしを付き当て、各ブロックの接合面
における強磁性金属薄膜の露出部分を交差させて接合
し、続いて媒体対向基面を研磨し、一対の強磁性金属薄
膜を研磨とともに徐々に減少させて一対の強磁性金属薄
膜の交差部分で研磨を終了し、この研磨終了によりトラ
ックの幅合わせとギャップの深さ合わせの終了とするも
のである。

【００１８】請求項９に記載の発明は前記課題を解決す
るために、強磁性金属薄膜を形成した一対のブロックを
強磁性金属薄膜どうしを突き合わせて一体化し、一体化
後に研磨する磁気ヘッドの製造方法であって、一対のブ
ロックの各々の上部に各ブロックの接合面に達するよう
に高融点ガラス部または結晶化ガラス部を被覆し、各ブ
ロックの上部に高融点ガラス部または結晶化ガラス部を
分断させてブロックの接合面に達する溝を形成し、各溝
の内側面を傾斜させるとともに、傾斜させた溝の内側面
に接合面に達する強磁性金属薄膜を形成し、各溝を埋め
るように低融点ガラス部を形成した後に、一方のブロッ
クの接合面に沿う強磁性金属薄膜の内端面と他方のブロ
ックの接合面に沿う強磁性金属薄膜の内端面とを交差さ
せ、一方のブロックの低融点ガラス部と他方のブロック
の低融点ガラス部とを突き合わせて一対のブロックを接
合し、接合後に両ブロックを研磨して一対の強磁性金属
薄膜を研磨とともに徐々に減少させて一対の強磁性金属
薄膜の交差部分で研磨を終了し、この研磨終了によりト
ラックの幅合わせとギャップ深さ合わせを完了とするも
のである。

【００１９】

【作用】ブロックに形成した強磁性金属薄膜が磁気ギャ
ップを構成するので、用いる強磁性金属薄膜の磁気特性
に応じた優れた軟磁気特性の磁気ヘッドが得られる。ま
た、強磁性金属薄膜は成膜技術によってミクロンオーダ
ーの薄いものを容易に形成することができる。よって従
来の磁気ヘッドよりも狭トラックの磁気ヘッドが得られ
る。更に、スライダブロックとコアブロックに形成した
溝に強磁性金属薄膜を形成し、これらを接合することで
磁気ギャップを形成するので、優れた軟磁気特性の磁気
ヘッドが容易に得られる。更にまた、スライドブロック
に形成した溝とコアブロックに形成した溝に設けた低融
点ガラス部を相互に溶着するので、スライダブロックと
コアブロックとの接合が容易であり、接合強度も十分に
高くなる。

【００２０】一方、一対のブロックに形成した強磁性金
属薄膜をブロックどうし接合する場合に互いに交差する
ように接合し、接合後にブロックの研磨を行なって強磁
性金属薄膜を減少させ、強磁性金属薄膜の交差部分にお
いて研磨終了とするならば、トラック幅の決定と同時に
ギャップ深さの決定も行なわれるので、微細なギャップ
深さの決定が容易になされる。

【００２１】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。図１〜図８は本発明を２レールのモノリシ
ックタイプの磁気ヘッドに適用した一実施例を示もので
ある。なお、本発明の構造を３レールタイプのモノリシ
ック構造の磁気ヘッドに適用することも可能であり、コ
ンポジットタイプの磁気ヘッドに適用することもできる
のは勿論である。

【００２２】本実施例の磁気ヘッド１は、図２に示すよ
うに、板状のスライダ本体２とこのスライダ本体２の後
部側に延設されたヘッド部３を主体として構成されてい
る。前記スライダ本体２は、磁気記録媒体に対向する側
の面に一対の平行な浮上用のレール部４を備えている。
このレール部４の一端側（図２の左側）がスライダ本体
２の前部側（リーディング側）となり、レール部４の他
端側（図２の右側）がスライダ本体２の後部側（トレー
ディング側）となる。この実施例においてスライダ本体
２は、Ｍｎ-Ｚｎフェライトからなるものであるが、そ
の他の材料から構成しても良いのは勿論である。

【００２３】ヘッド部３は図１に拡大して示すように、
Ｃ字状のコアブロック６と、このコアブロック６に接合
されたスライダ本体後部のスライダブロック７とからな
っている。

【００２４】前記コアブロック６は、その一端部６ａと
他端部６ｂをスライダブロック７に当接させてスライダ
ブロック７に接合されている。コアブロック６は、その
媒体対向面Ｓ（図１の上面）側に溶着ガラス部８、９に
よって挟まれた強磁性金属薄膜１０を備えている。この
強磁性金属薄膜１０は、媒体対向面Ｓに対して後述する
ように傾斜して設けられており、その厚さ方向の両側を
溶着ガラス部８、９が挟んでいる。

【００２５】前記強磁性金属薄膜１０は、Ｆｅ系の合金
薄膜、センダスト膜などのように、Ｍｎ-Ｚｎフェライ
トよりも軟磁気特性に優れたものから形成される。ま
た、図１の手前側の溶着ガラス部９は低融点ガラスから
構成され、図１の奥側の溶着ガラス部８は高融点ガラス
から形成されている。前記低融点ガラスとして好ましい
ものは、融点５００〜６５０℃程度のものであり、高融
点ガラスとして好ましいものは、融点７５０〜８００℃
程度のものである。また、高融点ガラスの代わりに結晶
化ガラスを６００〜８００℃に加熱圧着してフェライト
に接合しても良い。

【００２６】一方、スライダブロック７は、コアブロッ
ク６の一端部６ａに接合された凸部７ａとコアブロック
６の他端部６ｂに接合された凸部７ｂとを備えている。
また、凸部７ａの媒体対向面（図１の上面）側には、溶
着ガラス部１１、１２によって挟まれた強磁性金属薄膜
１３が設けられている。この強磁性金属薄膜１３は媒体
対向面に対して後述するように傾斜して設けられてお
り、その厚さ方向の両側を溶着ガラス部１１、１２が挟
んでいる。この強磁性金属薄膜１３は、前記の強磁性金
属薄膜１０と同一材料からなるものである。また、溶着
ガラス部１１は前記溶着ガラス部８と同一の高融点ガラ
スから、溶着ガラス部１２は前記溶着ガラス部９と同一
の低融点ガラスから形成されている。

【００２７】そして、スライダブロック７の凸部７ａと
コアブロック６の一端部６ａとの間に図示略のＳｉＯ₂
などからなる絶縁層が介在されて磁気ギャップが形成さ
れ、スライダブロック７とコアブロック６とが充填溶着
ガラス１４によって一体化され、強磁性金属薄膜１０、
１３が磁気ギャップを介して媒体対向面上で同一直線を
構成するように突き合わせて接合され、溶着ガラス部８
と溶着ガラス部１１とが、溶着ガラス部９と溶着ガラス
部１２とがそれぞれ突き合わされている。なお、前記溶
着ガラス部９と溶着ガラス部１２と充填溶着ガラス１４
とが溶融一体化されている。

【００２８】一方、コアブロック６の凸部６ａの先端面
が接合面６ｃとなり、コアブロック７の凸部７ａの先端
面が接合面７ｃとなっている。これらの接合面６ｃと接
合面７ｃは、前述したように図示略の絶縁層を介して接
合されているが、接合面６ｃに沿う強磁性金属薄膜１３
の内端面１３ｂと接合面７ｃに沿う強磁性金属薄膜１０
の内端面１０ｂは、図９に示すように山形（三角形の角
部状）に交差されて媒体対向面において内端面１０ｂと
内端面１３ｂとが一致されている。

【００２９】なお、前記実施例では強磁性金属薄膜１０
の内端面１０ｂと強磁性金属薄膜１３の内端面１３ｂと
が図９にも示すように三角形の角部状に交差されていた
が、内端面１０ｂと内端面１３ｂは図１０に示すように
円弧状に湾曲していても良いし、図１１に示すように折
れ曲がっていても良く、要は、内端面１０ｂと内端面１
３ｂの端部どうしが媒体対向面Ｓで一致し、その他の部
分では離間していれば良い。ただし両者の交差状態は、
後述するように研磨時の目印となるので、図９〜図１１
に示すような山形状が好ましい。

【００３０】次に前記構成の磁気ヘッドの製造方法につ
いて説明する。磁気ヘッドの製造にあたり、平板状をな
す素材ブロックを用意する。この素材ブロックは焼結フ
ェライトからなるもので、その製造手順を簡略に説明す
ると、まず、原料である酸化物や炭酸塩などの粉末（例
えば、α-Ｆｅ₂Ｏ₃、Ｍｎ₃Ｏ₄、ＭｎＣＯ₃、ＺｎＯ）を
フェライトの分子成分比に秤量し、これを機械的に混合
して９００〜１２００℃で加熱することにより以下の反
応を生じさせてフェライトを生成する。 ＭｎＯ＋Ｆｅ₂Ｏ₃→ＭｎＦｅ₂Ｏ₄ ＺｎＯ＋Ｆｅ₂Ｏ₃→ＺｎＦｅ₂Ｏ₄

【００３１】次いで生成されたフェライト粉末を適当な
可撓性容器に入れて静圧を加えることにより所用の形状
に形成し、続いて成形された圧粉体を焼結することによ
り固相反応を生じさせて所用形状の焼結フェライトを製
造する。なお、成形時に熱間静水圧プレスを行なうとよ
り高密度のフェライトが得られる。また、フェライト粉
末の製造方法としては液相反応によるものでも良くホッ
トプレス法により成形と同時に焼結を行なっても良い。

【００３２】このようにして製造された素材ブロックか
ら磁気ヘッドを製造するには、まず、素材ブロックを図
１２に示すようなスライダブロック２０とコアブロック
２１とに切断する。スライダブロック２０において側面
２２が接合面、上面が媒体対向基面２０ａとなり、コア
ブロック２１において側面２３が接合面、上面が媒体対
向基面２１ａとなる。ここでスライダブロック２０の一
陵部に、接合面２２に対して４５度程度傾斜するような
傾斜した切断部を形成しておき、この切断部に三角柱状
の高融点ガラス部２４を形成し、スライダブロック２１
の一陵部にも同様の手順で高融点ガラス部２５を形成す
る。

【００３３】なお、スライダブロック２０の一陵部を切
断する際の角度は４５度に限らず適宜な角度に決定して
良い。また、高融点ガラス部２４、２５を形成するに
は、例えば、ブロック２０、２１を鋳型などに入れた状
態で鋳型に高融点ガラスを流し込んで形成し、不要部分
を研磨して除去するなどのモールド手段を行なうか、三
角柱状の結晶化ガラスを接合すれば良い。

【００３４】次に図１３に示すようにスライダブロック
２０に高融点ガラス部２４を分断してスライダブロック
２０の接合面２２と媒体対向基面２０ａに達する傾斜し
た溝２７を形成するとともに、コアブロック２１にも高
融点ガラス部２５を分断してコアブロック２１の接合面
２２と媒体対向基面２０ａに達する溝２８を形成する。
ここで形成する溝２７と溝２８のそれぞれの幅は同一値
とする。また、溝２７の一方の内側面と高融点ガラス部
２４の稜線とのなす角度θ₁は、４５〜６０度程度が好
ましく、溝２８の一方の内側面と高融点ガラス部２５の
稜線とのなす角度θ₂は、４５〜６０度程度が好まし
い。なお、溝２７はスライダブロック２０の長手方向に
所定間隔で複数形成され、溝２８はコアブロック２１の
長手方向に所定間隔で複数形成されている。

【００３５】次いで図１４に示すように、前記スライダ
ブロック２０の溝２７の内側面にスパッタリングにより
強磁性金属薄膜３０を形成し、コアブロック２１の溝２
８の内側面にスパッタリングにより強磁性金属薄膜３１
を形成する。ここで形成する強磁性金属薄膜３０、３１
の厚さは数μｍ〜１０数μｍ程度、例えば６〜１０μ
ｍ、あるいはそれ以下の厚さに容易に形成することがで
きる。

【００３６】ここで用いる強磁性金属薄膜３０、３１は
ＦｅにＣｒ、Ｍｎ、Ｈｆなどの元素を添加した合金系薄
膜あるいはセンダストなどの薄膜を用いることができ
る。また、各溝２７、２８の内側面に選択的に強磁性金
属薄膜３０、３１を形成するには、ブロック２０、２１
をスパッタ装置内で傾斜させてスパッタしても良いし、
スパッタ粒子を斜めに飛ばしてスパッタしても良い。

【００３７】強磁性金属薄膜３０、３１を形成したなら
ば、図１５に示すように、スライダブロック２０の接合
面２２にブロック２０の長手方向に沿う凹溝３５を形成
し、コアブロック２１の接合面２３にブロック２１の長
手方向に沿う凹溝３６を形成する。なお、前記凹溝３６
を形成する場合は、凹溝３６の内側面のうち、強磁性金
属薄膜３１形成側の内側面３６ａを図１５に示すように
凹溝３６の底面に対して傾斜させて形成する。

【００３８】次に図１６に示すようにブロック２０の溝
２７と凹溝３５を埋めるように低融点ガラスＧをモール
ドし、ブロック２１の溝２８と凹溝３６を埋めるように
低融点ガラスＧをモールドする。次いで図１７に示すよ
うにブロック２０の溝３５とブロック２１の溝３６に沿
って低融点ガラスＧを除去してブロック２０の溝２７に
低融点ガラス部３７を形成し、ブロック２１の溝２８に
低融点ガラス部３８を形成する。なお、この低融点ガラ
スＧの除去を行なう場合、前記凹溝３６の内側面３６ａ
上に形成された低融点ガラスＧの一部を図１７に示す如
く三角柱状に残すように低融点ガラスＧの除去を行な
う。この処理によって内側面３６ａ上に残留した低融点
ガラスから充填溶着ガラス１４’が形成される。なおま
た、低融点の充填ガラス部３８の形成後においてコアブ
ロック２１の接合面２３側に露出している強磁性金属薄
膜３１の側面にＳｉＯ₂などの絶縁層を形成しておく。

【００３９】次いで図１８に示すように、スライダブロ
ック２０の低融点ガラス部３７とコアブロック２１の低
融点ガラス部３７とをずらして突き合わせ、スライダブ
ロック２０の高融点ガラス部２４とコアブロック２１の
高融点ガラス部２５とをずらして付き合わせるととも
に、この状態のまま両者を上下逆にして倒立させ、両者
を低融点溶着ガラスの溶融温度に加熱して低融点の充填
溶着ガラス１４を溶融させて両者を接合一体化する。

【００４０】また、この接合時の加熱処理において、ス
ライダブロック２０の低融点ガラス部３７と、コアブロ
ック２１の低融点ガラス部３８と、充填溶着ガラス１４
とが付き合わされたまま加熱されるので、これらが相互
に溶着して一体化する。これによってスライダブロック
２０とコアブロック２１との接合強度を高めることがで
きる。なおこの接合の際に、強磁性金属薄膜３０と強磁
性金属薄膜３１とが絶縁層を介して突き合わされて磁気
ギャップを形成する。

【００４１】続いて接合一体化したスライダブロック２
０とコアブロック２１とを所定間隔で切り出し、その後
に研磨して図１〜図８に示す構造の磁気ヘッド１を複数
得ることができる。この磁気ヘッド１においては、スラ
イダブロック２０からスライダブロック７が切り出さ
れ、コアブロック２１からコアブロック６が切り出され
され、強磁性金属薄膜３０から強磁性金属薄膜１３が形
成され、強磁性金属薄膜３１から強磁性金属薄膜１０が
形成されるとともに、低融点ガラス部３７から溶着ガラ
ス部１１が切り出され、低融点ガラス部３８から溶着ガ
ラス部９が切り出され、高融点ガラス部２４から溶着ガ
ラス部１２が切り出され、高融点ガラス部２５から溶着
ガラス部８が切り出される。

【００４２】また、切り出し後、スライダブロック２０
の媒体対向基面２０ａとコアブロック２１の媒体対向基
面２１ａとの研磨を行つてギャップ深さを規定するアラ
イメント作業を行なう。このアライメント作業を行なっ
て研磨する場合、強磁性金属薄膜３０と強磁性金属薄膜
３１はブロック２０、２１の互いの接合面を介して図１
９に示すようにＸ字状に交差した状態となっている。こ
の状態から媒体対向基面２０ａ、２１ａを研磨してゆく
と、図１９〜図２１に示すように上側から順次強磁性金
属薄膜３０、３１が研磨されて減少する。研磨が進行し
て強磁性金属薄膜３０、３１の上面が図２１に示す如く
完全に一致した場合に研磨終了とする。

【００４３】図２１に示す状態で研磨終了とすることで
図１に示すように強磁性金属薄膜１３と強磁性金属薄膜
１０とを一直線状に並んだ状態とすることができ、トラ
ック幅のずれを無くすることができ、この時点の研磨終
了面が媒体対向面Ｓとなり、図１に示す磁気ヘッド１を
得ることができる。また、前記のように研磨終了した時
点においては、強磁性金属薄膜３０の傾斜角度と強磁性
金属薄膜３１の傾斜角度が決まっているので、ギャップ
深さは一定の値となる。よってこの場合、トラック幅を
揃えることでギャップ深さの決定が自動的に達成された
ことになる。

【００４４】以上説明したように製造された磁気ヘッド
１は、スライダブロック２０とコアブロック２１とがフ
ェライト製であるが、磁気ギャップを構成する部分は強
磁性金属薄膜１０、１３から構成されるために、フェラ
イト以上の優れた軟磁気特性を発揮する。よって従来の
フェライト製の磁気ヘッドが対応していたものよりも高
保磁力の磁気記録媒体に対応することができる。また、
強磁性金属薄膜１０、１３はスパッタリングにより形成
されるので、６〜１０μｍ程度あるいはそれ以下に薄く
することが容易であり、磁気ヘッドの狭トラック化に容
易に対応することができる。

【００４５】ところで、スライダブロックとコアブロッ
クを強磁性金属ブロックから形成する構造も考えられ
る。ところが、スライダブロックを金属製とすると磁気
媒体との摩擦の関係で、磁気媒体の回転開始時などに癒
着現象を引き起こすなどの不都合があり、コアブロック
を金属製とすると高周波領域で渦電流損失を生じる問題
がある。これに対して前記磁気ヘッド１は、スライダ自
体はフェライト製であるので、スライダが磁気記録媒体
との摩擦の関係上有利で癒着のおそれが少なく、また、
コアブロック６もフェライト製であるので、高周波領域
における渦電流損失も生じない。

【００４６】更に、前記構造の磁気ヘッド１において
は、スライダブロック２０とコアブロック２１とが充填
溶着ガラス１４’に加えて溶着ガラス部９、１２との相
互溶着により接合されているので、両者の接合強度が高
くなっている。

【００４７】一方、図２２〜図２５は、本発明を２レー
ルのモノリシックタイプの磁気ヘッドに適用した他の実
施例を示すものである。

【００４８】本実施例の磁気ヘッド１００は、図２３に
示すように、板状のスライダ本体２とこのスライダ本体
２の後部側に延設されたヘッド部３’を主体として構成
されている。前記スライダ本体２は、先の実施例の磁気
ヘッド１と同様にレール部４、４を備え、Ｍｎ-Ｚｎフ
ェライトからなるものである。

【００４９】ヘッド部３’は図２２に拡大して示すよう
に、コアブロック６０とスライダブロック７０とからな
っている。前記コアブロック６０は、先の実施例と同様
に一端部６０ａと他端部６０ｂを備え、溶着ガラス部８
０、９０によって挟まれた強磁性金属薄膜１０１を備え
ている。この強磁性金属薄膜１０１は、媒体対向面Ｓに
対して傾斜して設けられており、その厚さ方向の両側を
溶着ガラス部８０、９０が挟んでいる。一方、スライダ
ブロック７０は、凸部７０ａと凸部７０ｂとを備え、先
の実施例と同様に溶着ガラス部１１０、１２０によって
挟まれた強磁性金属薄膜１３０を設えている。この強磁
性金属薄膜１３０は媒体対向面Ｓに対して傾斜して設け
られている。

【００５０】また、スライダブロック７０とコアブロッ
ク６０とが充填溶着ガラス１４’によって一体化され、
強磁性金属薄膜１０１、１３０が磁気ギャップを介して
媒体対向面上で突き合わせて接合され、溶着ガラス部８
０と溶着ガラス部１１０とが、溶着ガラス部９０と溶着
ガラス部１２０とがそれぞれ突き合わされている。な
お、前記溶着ガラス部９０と溶着ガラス部１２０と充填
溶着ガラス１４’とが溶融一体化されている。

【００５１】一方、コアブロック６０の先端面が接合面
６０ｃとなり、コアブロック７０の凸部７０ａの先端面
が接合面７０ｃとなっている。また、接合面６０ｃに沿
う強磁性金属薄膜１３０の内端面と接合面７０ｃに沿う
強磁性金属薄膜１０の内端面は、先の実施例と同様に山
形（三角形の角部状）に交差されて媒体対向面Ｓにおい
てこれらが一致されて接続されている。

【００５２】次に前記構成の磁気ヘッド１００の製造方
法について説明する。

【００５３】本実施例の磁気ヘッド１００を製造する場
合は先の実施例の方法と同様な手順を行なう。まず、素
材ブロックから図２６に示すスライダブロック２００と
コアブロック２１０とを切り出して使用する。また、こ
のスライダブロック２００の一陵部に先行溝２０１を形
成して高融点ガラス部２４０で被覆し、コアブロック２
１０の上面に先行溝２１１を形成して高融点ガラス部２
５０で被覆して図２６に示す状態とする。図２６に示す
スライダブロック２００において側面２２０が接合面、
上面が媒体対向基面２００ａとなり、コアブロック２１
０において側面２３０が接合面、上面が媒体対向基面２
１０ａとなる。

【００５４】続いて図２７に示すようにスライダブロッ
ク２００に高融点ガラス部２４０を分断してスライダブ
ロック２００の接合面２２０と媒体対向基面２００ａに
達する傾斜した溝２７０を形成するとともに、コアブロ
ック２１０にも高融点ガラス部２５０を分断してコアブ
ロック２１０の接合面２２０と媒体対向基面２００ａに
達する溝２８０を形成する。ここで形成する溝２７０と
溝２８０のそれぞれの幅は同一値とする。また、溝２７
０の一方の内側面と高融点ガラス部２４０の稜線とのな
す角度θ₁と、溝２８０の一方の内側面と高融点ガラス
部２５０の稜線とのなす角度θ₂は前記実施例と同様に
設定する。

【００５５】次いで図２８に示すように、前記スライダ
ブロック２００の溝２７０の内側面にスパッタリングに
より強磁性金属薄膜３００を形成し、コアブロック２１
０の溝２８０の内側面にスパッタリングにより強磁性金
属薄膜３１０を形成する。強磁性金属薄膜３００、３１
０を形成したならば、図３０に示すように、凹溝３５０
と凹溝３６０を形成する。

【００５６】次いで図３１に示すように、スライダブロ
ック２００の低融点ガラス部３７０とコアブロック２１
０の低融点ガラス部３７０とをずらして突き合わせ、ス
ライダブロック２００の高融点ガラス部２４０とコアブ
ロック２１０の高融点ガラス部２５０とをずらして付き
合わせるとともに、この状態のまま両者を上下逆にして
倒立させ、接合部に低融点溶着ガラスを載せ、両者を低
融点溶着ガラスの溶融温度に加熱して低融点の充填溶着
ガラス１４’を溶融させて両者を接合一体化する。

【００５７】また、この接合時の加熱処理において、ス
ライダブロック２００の低融点ガラス部３７０と、コア
ブロック２１０の低融点ガラス部３８０と、充填溶着ガ
ラス１４’とが付き合わされたまま加熱されるので、相
互に溶着して一体化する。これによってスライダブロッ
ク２００とコアブロック２１０との接合強度を高めるこ
とができる。なおこの接合の際に、強磁性金属薄膜３０
０と強磁性金属薄膜３１０とが絶縁層を介して突き合わ
されて磁気ギャップを形成する。

【００５８】続いて接合一体化したスライダブロック２
００とコアブロック２１０とを所定間隔で切り出し、そ
の後に研磨して図２２〜図２５に示す構造の磁気ヘッド
１００を複数得ることができる。この磁気ヘッド１００
においては、スライダブロック２００からスライダブロ
ック７０が切り出され、コアブロック２１０からコアブ
ロック６０が切り出されされ、強磁性金属薄膜３０から
強磁性金属薄膜１３０が形成され、強磁性金属薄膜３１
０から強磁性金属薄膜１０１が形成されるとともに、低
融点ガラス部３７０から溶着ガラス部１１０が切り出さ
れ、低融点ガラス部３８０から溶着ガラス部９０が切り
出され、高融点ガラス部２４０から溶着ガラス部１２０
が切り出され、高融点ガラス部２５０から溶着ガラス部
８０が切り出される。

【００５９】また、切り出し後、スライダブロック２０
０の媒体対向基面２００ａとコアブロック２１０の媒体
対向基面２１０ａとの研磨を行つてギャップ深さを規定
するアライメント作業を行なう。このアライメント作業
を行なって研磨する場合、強磁性金属薄膜３００と強磁
性金属薄膜３１０はブロック２００、２１０の互いの接
合面を介してＸ字状に交差した状態となっている。この
状態から媒体対向基面２００ａ、２１０ａを研磨してゆ
き、強磁性金属薄膜３００、３１０の媒体対向面側の端
面が一致した場合に研磨終了とする。

【００６０】このように研磨終了とすることで図２２に
示すように強磁性金属薄膜１３０と強磁性金属薄膜１０
１とを位置ずれなく接合することができ、トラック幅の
ずれを無くすることができ、この時点の研磨終了面が媒
体対向面Ｓとなり、図２２に示す磁気ヘッド１００を得
ることができ、先の実施例と同様にギャップ深さを容易
に決定できる効果を得ることができる。

【００６１】なお、図３２は本実施例の磁気ヘッド１０
０における研磨終了直前状態の強磁性金属薄膜１０１、
１３０の交差状態を示すものである。この図において
は、トラック幅６μｍ、強磁性金属薄膜どうしの交差角
度６０度の場合の磁気ヘッドであり、強磁性金属薄膜１
０２、１３０の交差部分で正確に研磨終了とすると、図
３２の交差斜線部分で示すような正三角形状の三角デブ
スｄの磁気ヘッドが形成される。

【００６２】図３２において交差斜線部分ｄの少し上
側、即ち、研磨終了点の手前約１μｍの部分におけるト
ラックずれの値とギャップ深さの値の関係は以下に説明
するように容易に算出できる。まず、交差斜線部分が正
三角形であり、その右上のトラックずれに対応する小さ
な逆三角形も正三角形になるので、トラック幅のずれの
値は、０.６μｍとなる。このことから、逆に、トラッ
ク幅のずれの値を０.６μｍ以下に管理すると、この場
合にギャップ深さの誤差を±１μｍ以下に管理できるこ
とを意味する。よってブロックを研磨する際にトラック
幅を顕微鏡などで観察しつつ研磨終了時点を把握してト
ラック幅を０.６μｍ以下に管理すればギャップ深さを
±１μｍ以下に管理できることが明らかである。

【００６３】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、強
磁性金属薄膜を用いて磁気ギャップを構成するので、従
来のフェライト製の磁気ヘッドよりも優れた軟磁気特性
を得ることができる。また、強磁性金属薄膜はスパッタ
リングなどにより薄く形成することが容易にできるの
で、６〜１０μｍ程度以下の狭トラック化が実現でき
る。よって本発明の磁気ヘッドにより、従来よりも保磁
力の高い磁気記録媒体に対応することができ、記録再生
時のトラック幅を小さくできる効果がある。

【００６４】更に、強磁性金属薄膜どうしをブロックの
接合面を介して山形に接続してなる構成をとることで、
ブロックの研磨時に強磁性金属薄膜どうしの交差部分で
研磨終了とすることでトラック幅のずれを無くすること
ができると同時に、ギャップ深さの決定も終了とするこ
とができる。この場合、トラック幅のずれの管理を行な
うことでギャップ深さの管理精度も高めることができ、
狭トラック化した磁気ヘッドの微細なギャップ深さ管理
も容易にできるようになる。具体的には、１０μｍ以下
の狭トラック化によって要求されるギャップ深さ１μｍ
以下の管理も実現できるようになる。更に、強磁性金属
薄膜どうしの接合面を介する接続状態が三角形の角部状
であるならば、トラック幅の管理を行なうことで、ギャ
ップ深さも容易に計算できるので、ギャップ深さの管理
が更に容易になる効果がある。なお、ブロックがＭｎ-
Ｚｎフェライトからなるものは、磁気記録媒体との癒着
現象を引き起こすことがない。

【００６５】また、本発明方法によれば、スライダブロ
ックとコアブロックに溝を形成しておいてこの溝の内側
面に強磁性金属薄膜を形成し、その後、溝に低融点ガラ
ス部を充填し、スライダブロックとコアブロックを接合
することで前記強磁性金属薄膜を用いた磁気ギャップを
形成することができる。よってトラック幅の狭い、軟磁
気特性の優れた磁気ヘッドを製造することができる。更
にまた、スライダブロックとコアブロックとを各ブロッ
クの強磁性金属薄膜の側部に設けた低融点ガラス部で接
合一体化できるので、両ブロックの接合強度を高めるこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明の一実施例の磁気ヘッドの要部を
示す拡大斜視図である。

【図２】図２は同磁気ヘッドの底面図である。

【図３】図３は図１に示す磁気ヘッドの側面略図であ
る。

【図４】図４は図１に示す磁気ヘッドの要部拡大平面図
である。

【図５】図５は図３のＤ矢指図である。

【図６】図６は図１に示す磁気ヘッドの要部の拡大右側
面図である。

【図７】図７は図１に示す磁気ヘッドの要部の拡大左側
面図である。

【図８】図８は同磁気ヘッドの一部を破断にした斜視図
である。

【図９】図９は強磁性金属薄膜の交差状態を示す構成図
である。

【図１０】図１０は強磁性金属薄膜の交差状態の他の例
を示す構成図である。

【図１１】図１１は強磁性金属薄膜の交差状態の更に他
の例を示す構成図である。

【図１２】図１２は素材ブロックにガラス部を被覆した
状態を示す斜視図である。

【図１３】図１３はブロックに溝を形成した状態を示す
斜視図である。

【図１４】図１４はブロックの溝に強磁性金属薄膜を形
成した状態を示す斜視図である。

【図１５】図１５はブロックに溝加工を施した状態を示
す斜視図である。

【図１６】図１６はブロックの溝に低融点ガラスを充填
した状態を示す斜視図である。

【図１７】図１７はブロックに充填した低融点ガラスの
一部を除去した状態を示す斜視図である。

【図１８】図１８は２つのブロックを接合した状態を示
す斜視図である。

【図１９】図１９は交差させた強磁性金属薄膜の研磨前
の状態を示す説明図である。

【図２０】図２０は交差させた強磁性金属薄膜の研磨途
中の状態を示す説明図である。

【図２１】図２１は研磨終了時の強磁性金属薄膜の交差
部分を示す説明図である。

【図２２】図２２は本発明の他の実施例の磁気ヘッドの
要部を示す拡大斜視図である。

【図２３】図２３は同磁気ヘッドの底面図である。

【図２４】図２４は図２２に示す磁気ヘッドの要部拡大
底面図である。

【図２５】図２５は図２２に示す磁気ヘッドの要部の拡
大側面図である。

【図２６】図２６は素材ブロックにガラス部を被覆した
状態を示す斜視図である。

【図２７】図２７はブロックに溝を形成した状態を示す
斜視図である。

【図２８】図２８はブロックの溝に強磁性金属薄膜を形
成した状態を示す斜視図である。

【図２９】図２９はブロックの溝に低融点ガラスを充填
した状態を示す斜視図である。

【図３０】図３０はブロックに新たに溝を形成した状態
を示す斜視図である。

【図３１】図３１は２つのブロックを接合した状態を示
す斜視図である。

【図３２】図３２は交差させた強磁性金属薄膜における
研磨終了直前の状態を示す説明図である。

【符号の説明】

１、１００ 磁気ヘッド ６、２０、６０、２００ コアブロック ７、２１、７０、２１０ スライダブロッ
ク ８、１２、８０、１２０ 溶着ガラス部 ９、１１、９０、１１０ 溶着ガラス部 ６ｃ、７ｃ、６０ｃ、７０ｃ 接合面 １０、１３、 強磁性金属薄膜 １０’、１３’、１０’’、１３’’ 強磁性金属薄膜 １０ｂ、１３ｂ 内端面 ２４、２４０ 高融点ガラス部 ２５、２５０ 低融点ガラス部 ２７、２８、２７０、２８０ 溝 ３０、３１、３００、３１０ 強磁性金属薄膜 ２０ａ、２１ａ、２００ａ、２１０ａ 媒体対向基面

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 強磁性金属薄膜がその面方向を媒体対向
   面に交差させる方向に向けて埋設されたブロックが、一
   対、媒体対向面に露出された強磁性金属薄膜における接
   合面どうしを絶縁層を介し接合して磁気ギャップを構成
   してなることを特徴とする磁気ヘッド。
2. 【請求項２】 一対の溶着ガラス部で強磁性金属薄膜を
   挟んで構成した磁気コア部を媒体対向面側に形成したブ
   ロックが、一対、媒体対向面に露出された強磁性金属薄
   膜における接合面どうしを絶縁層を介し接合して磁気ギ
   ャップを構成してなることを特徴とする磁気ヘッド。
3. 【請求項３】 請求項１または２記載の磁気ヘッドにお
   いて、各ブロックがＭｎ-Ｚｎフェライトからなること
   を特徴とする磁気ヘッド。
4. 【請求項４】 請求項１または２記載の磁気ヘッドにお
   いて、一対のブロックの接合面において向かい合う一対
   の強磁性金属薄膜の内端面が、山形状に形成されたこと
   を特徴とする磁気ヘッド。
5. 【請求項５】 請求項３記載の磁気ヘッドにおいて、山
   形が三角形の角部状にされてなることを特徴とする磁気
   ヘッド。
6. 【請求項６】 請求項２記載の磁気ヘッドの各ブロック
   において、強磁性金属薄膜を挟んだ一対の溶着ガラス部
   の一方が高融点ガラス又は結晶化ガラスからなり、他方
   が低融点ガラスからなることを特徴とする磁気ヘッド。
7. 【請求項７】 請求項６記載の磁気ヘッドにおいて、一
   対のブロックの低融点ガラスからなる溶着ガラス部が、
   相互に溶融一体化されて一対のブロックが接合されてな
   ることを特徴とする磁気ヘッド。
8. 【請求項８】 強磁性金属薄膜を形成した一対のブロッ
   クを強磁性金属薄膜どうしを突き合わせて一体化し、一
   体化後に研磨する磁気ヘッドの製造方法であって、 接合面と媒体対向基面とが隣接されて形成された一対の
   ブロックに、媒体対向基面に達して露出するように、か
   つ、接合面に達して斜めに露出するように強磁性金属薄
   膜を形成し、次いで一対のブロックを媒体対向基面どう
   しを面一に揃えて接合面どうしを付き当て、各ブロック
   の接合面における強磁性金属薄膜の露出部分を交差させ
   て接合し、続いて媒体対向基面を研磨し、一対の強磁性
   金属薄膜を研磨とともに徐々に減少させて一対の強磁性
   金属薄膜の交差部分で研磨を終了し、この研磨終了によ
   りトラックの幅合わせとギャップ深さ合わせの完了とす
   ることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
9. 【請求項９】 強磁性金属薄膜を形成した一対のブロッ
   クを強磁性金属薄膜どうしを突き合わせて一体化し、一
   体化後に研磨する磁気ヘッドの製造方法であって、 一対のブロックの各々の上部に各ブロックの接合面に達
   するように高融点ガラス部または結晶化ガラス部を被覆
   し、各ブロックの上部に高融点ガラス部または結晶化ガ
   ラス部を分断させてブロックの接合面に達する溝を形成
   し、各溝の内側面を傾斜させるとともに、傾斜させた溝
   の内側面に接合面に達する強磁性金属薄膜を形成し、各
   溝を埋めるように低融点ガラス部を形成した後に、一方
   のブロックの接合面に沿う強磁性金属薄膜の内端面と他
   方のブロックの接合面に沿う強磁性金属薄膜の内端面と
   を交差させ、一方のブロックの低融点ガラス部と他方の
   ブロックの低融点ガラス部とを突き合わせて一対のブロ
   ックを接合し、接合後に両ブロックを研磨して一対の強
   磁性金属薄膜を研磨とともに徐々に減少させて一対の強
   磁性金属薄膜の交差部分で研磨を終了し、この研磨終了
   によりトラックの幅合わせとギャップの深さ合わせを完
   了とすることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。