JPH0581610A - 磁気ヘツド用コア材の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 第１の基板１の一主面に所定ピッチで複数の
突起２を形成した後、第２の基板３に上記突起２を嵌合
させる凹溝４を形成し、上記凹溝４内に突起２を嵌合さ
せ、これら凹溝４と突起２の間に金属磁性膜５を設けて
上記第１の基板１と第２の基板３を接合一体化し、上記
第１の基板１を上記第２の基板３の一主面３ａまで研磨
する。 【効果】 金属磁性膜を設けた磁気ヘッド用コア材を寸
法精度高く、且つ安価で生産性することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、ビデオテープ
レコーダ（ＶＴＲ）等に搭載される磁気ヘッド用コア材
の製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、ＶＴＲ等の磁気記録再生装置に
おいては、高画質化等を目的として情報信号の短波長記
録化が進められており、これに対応して磁性粉に強磁性
金属粉末を用いたいわゆるメタルテープや、ベースフィ
ルム上に強磁性金属材料を直接被着した蒸着テープ等の
高抗磁力磁気記録媒体が使用されるようになってきてい
る。

【０００３】一方、これに対処するために磁気ヘッドの
分野においても研究が進められており、高抗磁力磁気記
録媒体用の磁気ヘッドとして磁気コア材に高透磁率金属
磁性材料を用いたいわゆるメタル・イン・ギャップ型の
磁気ヘッドが種々開発され、その一部が実用化されてい
る。かかるメタル・イン・ギャップ型の磁気ヘッドに用
いられるコア材としては、例えば、フェライト等の酸化
物磁性材料と金属磁性材料の複合型としたもの、非磁性
材料と金属磁性材料の複合型としたもの、或いは酸化物
磁性材料と非磁性材料とからなる複合材料と金属磁性材
料の複合型としたもの等が知られている。

【０００４】ところで、メタル・イン・ギャップ型の磁
気ヘッドは、通常、非磁性材料又は酸化物磁性材料或い
は非磁性材料と酸化物磁性材料よりなる基板に高透磁率
金属磁性材料を被着させ、これらを何枚にも積層してヘ
ッドコアブロックとし、このヘッドコアブロックより所
定形状にヘッドチップを切り出して作製される。或い
は、基板と高透磁率金属磁性材料よりなる金属膜を交互
にラミネートして作製されるヘッドコアブロックより切
り出して磁気ヘッドを作製している。

【０００５】ところが、基板と高透磁率金属磁性材料よ
りなる金属膜を交互にラミネートしてヘッドコアブロッ
クを作製したのでは、基板と金属膜の膜厚を非常に厳し
く管理しないと累積精度が悪くなる。また、ヘッドチッ
プに切り出す際に基板と金属膜の界面において金属膜の
膜剥がれや折れが生じ、歩留りが低下する等の不都合が
生じる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、上述
の技術的な課題を解消するべく提案されたものであっ
て、高精度な加工をすることなく安価でしかも生産性に
優れた信頼性の高い磁気ヘッド用コア材の製造方法を提
供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明は、第１の基板の一主面に所定ピッチで複
数の突起を形成する工程と、第２の基板の一主面に上記
第１の基板に形成した突起を嵌合させる凹溝をこれら突
起位置に合わせて形成する工程と、上記凹溝と突起の間
に金属磁性膜を設けて上記第１の基板と第２の基板を接
合一体化する工程と、上記第１の基板を少なくとも上記
第２の基板の一主面まで研磨する工程とを有してなるも
のである。

【０００８】

【作用】本発明の方法では、一対の基板に突起と凹溝を
相対向する位置に複数形成し、これら突起と凹溝を嵌合
させて、これら凹溝と突起の間に金属磁性膜を設けて上
記一対の基板を接合一体化させ、一方の基板を少なくと
も他方の基板の主面まで研磨しているので、金属磁性膜
が設けられた累積精度の高い磁気ヘッド用コア材が簡単
に得られる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明を適用した磁気ヘッド用コア材
の製造方法の具体的な実施例について図面を参照しなが
ら説明する。磁気ヘッド用コア材を作製するには、先
ず、図１に示すように、第１の基板１の一主面１ａに所
定ピッチで複数の突起２を形成する。

【００１０】突起２の形状は、作製する磁気ヘッドに応
じて決められ、特に限定されない。なお本実施例では、
第１の基板１の一主面１ａに対して垂直な面２ａとこれ
に斜交する面２ｂを有した断面略Ｖ字状をなす突起とし
た。

【００１１】次に、第２の基板３の一主面３ａに上記第
１の基板１に形成した突起２を嵌合させる凹溝４をこれ
ら突起２位置に合わせて当該突起２の数だけ形成する。
ここでの凹溝４は、例えば上記突起２がこの凹溝４に嵌
合したときに、該突起２の傾斜面２ｂと凹溝４とが面接
触状態で接触し、且つ突起２の垂直面２ａとの間に隙間
が開くような形状とする。つまり、突起２の傾斜面２ｂ
と面接触する傾斜面４ｂを有し、且つ突起２の垂直面２
ａとの間に隙間が開くような間隔で設けられた垂直面４
ａとを有した断面略Ｖ字状の溝とする。或いは、上記突
起２が嵌合したときにこの突起の傾斜面２ｂと垂直面２
ａとがいずれも面接触状態で嵌合するような当該突起２
の形状に応じた溝形状であってもよい。

【００１２】なお、突起２及び凹溝４は、例えば高精度
加工が可能な数値制御（ＮＣ）工作機械により加工する
ことにより、これら突起２及び凹溝４の寸法精度並びに
ピッチ精度が高精度なものとなる。また、上記第１の基
板１と第２の基板３の材料については、作製する磁気ヘ
ッドに応じて適宜選択すればよい。本実施例では、いず
れも非磁性材料を使用した。

【００１３】次に、図２に示すように、上記各凹溝４内
に相対向する突起２を嵌合させる。このとき突起２と凹
溝４とは、ピッチ精度良く形成されているので、その全
ての突起２と凹溝４の形成位置が一致する。また、上記
突起２と凹溝４との間、すなわちこれら突起２の垂直面
２ａと凹溝４の垂直面４ａとの間には隙間が形成され
る。

【００１４】そして、上記隙間に高透磁率金属磁性材料
よりなる金属磁性膜５を挾み込み、これら第１の基板１
と第２の基板３を接合一体化する。これら基板２，３の
接合は、例えば無機接着剤、ガラス或いはＡｕ等の金属
接合等による。特に、金属磁性膜５にアモルファス合金
等の非結晶質合金を用いた場合には、磁気特性の低下防
止の観点よりＡｕ等による低温融着法を採用することが
望ましい。

【００１５】次に、上記第１の基板１を第２の基板３の
一主面３ａに至る位置（図２中ａ−ａ線で示す位置）ま
で研磨する。このとき、金属磁性膜５は突起２と凹溝４
とによって挾み付けられた状態にあるので、当該金属磁
性膜５は膜剥がれを起こしたり折れたりするようなこと
がない。

【００１６】この結果、第１の基板１に形成された突起
２と金属磁性膜５のみが第２の基板３の凹溝４内に残存
し、金属磁性膜５が所定ピッチで挟み込まれた複合化さ
れた磁気ヘッド用コア材が作製される。このように形成
されたコア材は、突起２と凹溝４が予め所定のピッチで
精度良く形成されているため、従来のように厚みを高精
度に制御した基板と金属磁性膜を交互に重ね合わせて作
製する手法に比べて累積誤差が極めて少ない。また、第
１の基板１と第２の基板３とは一回の接合作業で済むた
め、工数の大幅な削減が望め、生産性が大幅に向上す
る。

【００１７】そして、上述のように作製されたコア材を
用いて磁気ヘッドを作製するには、以下のようにして行
う。先ず、図３に示すように、一方のコア材６の一主面
６ａにコイルを巻装させるための巻線溝７を形成する。
例えば、巻線溝７は、金属磁性膜５に対して略直交する
方向にコア材６全体に亘って断面略矩形状の溝として形
成する。

【００１８】次に、巻線溝７を形成した面６ａを鏡面研
磨し、ギャップ面となる部分にギャップ膜（図示は省略
する。）をスパッタリング等によって成膜する。

【００１９】次いで、図４に示すように、他方のコア材
８の一主面８ａを同様にして鏡面研磨する。そして、図
５に示すように、これらコア材６，８を互いの金属磁性
膜５が一致するようにトラック位置合わせして突合わせ
る。次に、上記巻線溝７内にガラス棒等を挿入してガラ
ス融着し、上記一対の接合基板６，８を接合一体化す
る。

【００２０】次いで、図５に示すｂ−ｂ線及びｃ−ｃ線
で示す位置で切削し、ヘッドチップを切り出す。そし
て、このヘッドチップに対して磁気記録媒体との当たり
特性を確保するために摺動面を円筒研磨し、図６に示す
ような磁気ヘッド９を完成する。このように作製された
磁気ヘッド９は、磁気記録媒体摺動面９ａの略中央部に
媒体の走行方向に延在して設けられる一対の金属磁性膜
５の突合わせ部に磁気ギャップｇが構成され、これら金
属磁性膜５の膜厚によってトラック幅Ｔｗが規制され
る。

【００２１】以上、本発明を適用した具体的な一実施例
について説明したが、本発明は上述の実施例に限定され
ることなく種々の変更が可能である。例えば、上述の実
施例では、第１の基板１と第２の基板３を重ね合わせた
後に突起２と凹溝４の間に金属磁性膜５を挿入する形で
設けるようにしたが、図７に示すように、予め第２の基
板３の凹溝４の垂直面４ａに金属磁性膜５を直接成膜す
るようにしておいてもよい。またこの他、図８に示すよ
うに、金属磁性膜５を例えば非磁性材料や酸化物磁性材
料等よりなる基材１０に形成して、これを前記隙間に挿
入するようにしてもよい。

【００２２】また、上記第１の基板１と第２の基板３に
は、非磁性材料の他、フェライト等の酸化物磁性材料等
が使用できる。かかる組合せとしては、例えば前述の例
のように非磁性材料同士よりなる基板の組合せの他、酸
化物磁性材料同士よりなる基板の組合せ、非磁性材料と
酸化物磁性材料の複合体よりなる基板同士の組合せ、或
いは図９に示すようにガラス１１と酸化物磁性材料１２
の複合体よりなる基板１３と非磁性材料よりなる基板１
４との組合せ、さらには図１０に示すように非磁性材料
よりなる基板１５と酸化物磁性材料１６とガラス１７の
複合体よりなる基板１８との組合せ等が挙げられる。

【００２３】上述の組合せからなるコア材より作製され
る磁気ヘッドの一例を挙げるとすれば、例えば第１の基
板１を非磁性材料とし、第２の基板３を酸化物磁性材料
として、図３の巻線溝７形成工程で磁気ギャップｇのト
ラック幅を規制する円弧状の溝を形成することによって
作製される図１１に示す如き磁気ヘッドが挙げられる。
なお、この磁気ヘッドにおいては、磁気記録媒体との当
たり特性を確保するために、トラック幅規制溝内にガラ
ス１９を充填する。

【００２４】またこの他、図１０で示す基板１５，１８
の組合せによって作製される図１２に示す如き磁気ヘッ
ド、図９で示す基板１３，１４の組合せによって作製さ
れる図１４に示す如き磁気ヘッド、或いは非磁性材料よ
りなる基板２０と酸化物磁性材料よりなる基板２１との
組合せによって金属磁性膜５の片側にのみトラック幅規
制溝を形成した図１３に示す如き磁気ヘッド等が挙げら
れる。

【００２５】

【発明の効果】本発明においては、一対の基板に突起と
凹溝を相対向する位置に複数形成し、これら突起と凹溝
を嵌合させて、これら凹溝と突起の間に金属磁性膜を設
けて上記一対の基板を接合一体化させ、一方の基板を少
なくとも他方の基板の主面まで研磨しているので、所定
ピッチで金属磁性膜が設けられた累積精度の高い磁気ヘ
ッド用コア材を簡単に作製することができる。したがっ
て、寸法精度の高い磁気ヘッド用コア材を安価にしかも
歩留り良く作製することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した磁気ヘッド用コア材の製造工
程を順次示すもので、突起及び凹溝形成工程を示す正面
図である。

【図２】基板の接合工程を示す正面図である。

【図３】一方の接合ブロックに巻線溝を形成する工程を
示す斜視図である。

【図４】他方の接合ブロックのギャップ形成面を鏡面加
工する工程を示す斜視図である。

【図５】接合工程を示す斜視図である。

【図６】ヘッドチップ切り出し工程を示す斜視図であ
る。

【図７】金属磁性膜を予め凹溝内に被着形成した例を示
す基板の正面図である。

【図８】金属磁性膜を基材に設けた例を示す図である。

【図９】基板を複合材料によって形成した例を示す基板
の正面図である。

【図１０】基板を複合材料によって形成したさらに他の
例を示す基板の正面図である。

【図１１】本発明を適用した接合基板によって作製され
る磁気ヘッドの平面図である。

【図１２】本発明を適用した磁気ヘッド用コア材によっ
て作製される磁気ヘッドのさらに他の例を示す平面図で
ある。

【図１３】本発明を適用した磁気ヘッド用コア材によっ
て作製される磁気ヘッドのさらに他の例を示す平面図で
ある。

【図１４】本発明を適用した磁気ヘッド用コア材によっ
て作製される磁気ヘッドのさらに他の例を示す平面図で
ある。

【符号の説明】

１・・・第１の基板 ２・・・突起 ３・・・第２の基板 ４・・・凹溝 ５・・・金属磁性膜

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１の基板の一主面に所定ピッチで複数
   の突起を形成する工程と、 第２の基板の一主面に上記第１の基板に形成した突起を
   嵌合させる凹溝をこれら突起位置に合わせて形成する工
   程と、 上記凹溝と突起の間に金属磁性膜を設けて上記第１の基
   板と第２の基板を接合一体化する工程と、 上記第１の基板を少なくとも上記第２の基板の一主面ま
   で研磨する工程とを有してなる磁気ヘッド用コア材の製
   造方法。