JPH0582385A - バリスタ機能を有する半導体セラミツクコンデンサ - Google Patents
バリスタ機能を有する半導体セラミツクコンデンサInfo
- Publication number
- JPH0582385A JPH0582385A JP3268883A JP26888391A JPH0582385A JP H0582385 A JPH0582385 A JP H0582385A JP 3268883 A JP3268883 A JP 3268883A JP 26888391 A JP26888391 A JP 26888391A JP H0582385 A JPH0582385 A JP H0582385A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor ceramic
- ceramic capacitor
- varistor function
- varistor
- capacitor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 76
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 title claims abstract description 43
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 10
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 abstract description 14
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract description 7
- 230000003068 static effect Effects 0.000 abstract description 7
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 15
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 14
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 12
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 12
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 7
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 6
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 4
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 4
- 229910002367 SrTiO Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 3
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 2
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 238000005469 granulation Methods 0.000 description 1
- 230000003179 granulation Effects 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Thermistors And Varistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 通常はコンデンサとして電圧の低いノイズや
高周波のノイズを吸収する働きをし、他方パルスや静電
気などの高い電圧が侵入してきたときにはバリスタ機能
を発揮し、電子機器で発生するノイズ、パルス、静電気
などの異常電圧から半導体および電子機器を保護し得る
バリスタ機能を有する半導体セラミックコンデンサを提
供することを目的とする。 【構成】 正の抵抗温度特性を示し、キューリ点以上の
温度領域での抵抗の最大値が107 Ω・cm以上でキュ
ーリ点以下の温度領域での抵抗の最小値が105 Ω・c
m以下のチタン酸バリウム系半導体磁器を用いて、バリ
スタ機能を有する半導体セラミックコンデンサを製造す
る。
高周波のノイズを吸収する働きをし、他方パルスや静電
気などの高い電圧が侵入してきたときにはバリスタ機能
を発揮し、電子機器で発生するノイズ、パルス、静電気
などの異常電圧から半導体および電子機器を保護し得る
バリスタ機能を有する半導体セラミックコンデンサを提
供することを目的とする。 【構成】 正の抵抗温度特性を示し、キューリ点以上の
温度領域での抵抗の最大値が107 Ω・cm以上でキュ
ーリ点以下の温度領域での抵抗の最小値が105 Ω・c
m以下のチタン酸バリウム系半導体磁器を用いて、バリ
スタ機能を有する半導体セラミックコンデンサを製造す
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、バリスタ機能を有する
半導体セラミックコンデンサに関する。
半導体セラミックコンデンサに関する。
【0002】
【従来の技術】現在使用されている電子機器には、多機
能、小型化のためにIC、LSIなどの半導体素子が広
く使用されており、それに伴って電子機器のノイズ耐力
が低下するようになってきた。
能、小型化のためにIC、LSIなどの半導体素子が広
く使用されており、それに伴って電子機器のノイズ耐力
が低下するようになってきた。
【0003】そこで、積層セラミックコンデンサや半導
体セラミックコンデンサなどを各種ICやLSIなどの
電源ラインにバイアスコンデンサとして使用することに
より、電子機器のノイズ耐力を確保することが行われて
いる。
体セラミックコンデンサなどを各種ICやLSIなどの
電源ラインにバイアスコンデンサとして使用することに
より、電子機器のノイズ耐力を確保することが行われて
いる。
【0004】しかし、上記のコンデンサは、電圧の低い
ノイズや高周波のノイズを吸収するものの、それ自体に
高電圧のパルスや静電気を吸収する機能を持たないた
め、パルスや静電気が侵入すると、電子機器の誤動作や
半導体の破壊、さらにはコンデンサの破壊を引き起こす
ことになる。
ノイズや高周波のノイズを吸収するものの、それ自体に
高電圧のパルスや静電気を吸収する機能を持たないた
め、パルスや静電気が侵入すると、電子機器の誤動作や
半導体の破壊、さらにはコンデンサの破壊を引き起こす
ことになる。
【0005】そのため、コンデンサ機能とバリスタ機能
を合わせ持った新しいタイプのコンデンサが必要とさ
れ、これまでにも特開昭57−27001号公報や特開
昭57−35303号公報などに開示されるように、S
rTiO3 系半導体セラミックコンデンサにバリスタ機
能を持たせた粒界絶縁型半導体セラミックコンデンサが
提案されている。
を合わせ持った新しいタイプのコンデンサが必要とさ
れ、これまでにも特開昭57−27001号公報や特開
昭57−35303号公報などに開示されるように、S
rTiO3 系半導体セラミックコンデンサにバリスタ機
能を持たせた粒界絶縁型半導体セラミックコンデンサが
提案されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
SrTiO3 系粒界絶縁型半導体セラミックコンデンサ
は、結晶自身を半導体化させるために強制還元させる
か、または半導体化促進剤を添加し還元雰囲気中で焼成
する工程と、種々の酸化物を塗布し酸化物を結晶粒界に
均一に拡散させると共に結晶粒界に絶縁層を形成させる
ための大気中または酸化性雰囲気での熱処理工程を必要
とする。
SrTiO3 系粒界絶縁型半導体セラミックコンデンサ
は、結晶自身を半導体化させるために強制還元させる
か、または半導体化促進剤を添加し還元雰囲気中で焼成
する工程と、種々の酸化物を塗布し酸化物を結晶粒界に
均一に拡散させると共に結晶粒界に絶縁層を形成させる
ための大気中または酸化性雰囲気での熱処理工程を必要
とする。
【0007】そのため、この粒界絶縁型半導体セラミッ
クコンデンサの製造にあたっては、結晶自身の半導体化
のための還元焼成と結晶粒界に絶縁層を形成させるため
の熱処理工程、および結晶粒界に絶縁層を形成させるた
めの複数の添加物が必要となり、その製造方法および組
成を複雑にしている。
クコンデンサの製造にあたっては、結晶自身の半導体化
のための還元焼成と結晶粒界に絶縁層を形成させるため
の熱処理工程、および結晶粒界に絶縁層を形成させるた
めの複数の添加物が必要となり、その製造方法および組
成を複雑にしている。
【0008】本発明は、通常はコンデンサとして電圧の
低いノイズや高周波のノイズを吸収する働きをし、他方
パルスや静電気などの高い電圧が侵入してきた場合には
バリスタ機能を発揮する半導体セラミックコンデンサ
を、従来の粒界絶縁型半導体セラミックコンデンサより
も高効率な製造方法で提供することを目的とする。
低いノイズや高周波のノイズを吸収する働きをし、他方
パルスや静電気などの高い電圧が侵入してきた場合には
バリスタ機能を発揮する半導体セラミックコンデンサ
を、従来の粒界絶縁型半導体セラミックコンデンサより
も高効率な製造方法で提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記目的
を達成するため鋭意研究を重ねた結果、正の抵抗温度特
性を示し、キューリ点以上の温度領域での抵抗の最大値
が107 Ω・cm以上でキューリ点以下の温度領域での
抵抗の最小値が105 Ω・cm以下のチタン酸バリウム
系半導体磁器を用いて半導体セラミックコンデンサを製
造するときは、上記目的が容易に達成されることを見出
し、本発明を完成するにいたった。
を達成するため鋭意研究を重ねた結果、正の抵抗温度特
性を示し、キューリ点以上の温度領域での抵抗の最大値
が107 Ω・cm以上でキューリ点以下の温度領域での
抵抗の最小値が105 Ω・cm以下のチタン酸バリウム
系半導体磁器を用いて半導体セラミックコンデンサを製
造するときは、上記目的が容易に達成されることを見出
し、本発明を完成するにいたった。
【0010】すなわち、正の抵抗温度特性を示し、キュ
ーリ点以上の温度領域での抵抗の最大値が107 Ω・c
m以上でキューリ点以下の温度領域での抵抗の最小値が
105 Ω・cm以下のチタン酸バリウム系半導体磁器を
用いると、キュリー点以上の温度領域での抵抗の最大値
が大きいのでコンデンサとしての機能を有し、キュリー
点以下の温度領域での抵抗の最小値が小さいのでバリス
タ機能を持ち得、それによって、通常はコンデンサとし
て電圧の低いノイズや高周波のノイズを吸収する働きを
し、他方パルスや静電気などの高い電圧が侵入してきた
場合にはバリスタ機能を発揮する半導体セラミックコン
デンサが得られることになるものと考えられる。
ーリ点以上の温度領域での抵抗の最大値が107 Ω・c
m以上でキューリ点以下の温度領域での抵抗の最小値が
105 Ω・cm以下のチタン酸バリウム系半導体磁器を
用いると、キュリー点以上の温度領域での抵抗の最大値
が大きいのでコンデンサとしての機能を有し、キュリー
点以下の温度領域での抵抗の最小値が小さいのでバリス
タ機能を持ち得、それによって、通常はコンデンサとし
て電圧の低いノイズや高周波のノイズを吸収する働きを
し、他方パルスや静電気などの高い電圧が侵入してきた
場合にはバリスタ機能を発揮する半導体セラミックコン
デンサが得られることになるものと考えられる。
【0011】また、上記のチタン酸バリウム系半導体磁
器は、大気中での焼成のみで半導体化と絶縁層の形成が
可能であるため、従来のSrTiO3 系粒界絶縁型半導
体セラミックコンデンサを製造するときのような結晶自
身の半導体化のための還元焼成工程や結晶粒界に絶縁層
を形成させるための熱処理工程が不要になり、高効率に
バリスタ機能を有する半導体セラミックコンデンサを製
造することができる。
器は、大気中での焼成のみで半導体化と絶縁層の形成が
可能であるため、従来のSrTiO3 系粒界絶縁型半導
体セラミックコンデンサを製造するときのような結晶自
身の半導体化のための還元焼成工程や結晶粒界に絶縁層
を形成させるための熱処理工程が不要になり、高効率に
バリスタ機能を有する半導体セラミックコンデンサを製
造することができる。
【0012】ここで、本発明のバリスタ機能を有する半
導体セラミックコンデンサの製造工程と従来のSrTi
O3 系の粒界絶縁型半導体セラミックコンデンサの製造
工程とを図示すると、それぞれ図1および図2に示す通
りである。
導体セラミックコンデンサの製造工程と従来のSrTi
O3 系の粒界絶縁型半導体セラミックコンデンサの製造
工程とを図示すると、それぞれ図1および図2に示す通
りである。
【0013】まず、従来の粒界絶縁型半導体セラミック
コンデンサの製造を図2を参照しつつ説明すると、従来
の粒界絶縁型半導体セラミックコンデンサは、まず、出
発原料を秤量し、ついで混合、仮焼、粉砕、造粒、成形
した後、還元雰囲気で焼成して半導体セラミックにし、
それを大気中または酸化性雰囲気で熱処理することによ
って得られる。
コンデンサの製造を図2を参照しつつ説明すると、従来
の粒界絶縁型半導体セラミックコンデンサは、まず、出
発原料を秤量し、ついで混合、仮焼、粉砕、造粒、成形
した後、還元雰囲気で焼成して半導体セラミックにし、
それを大気中または酸化性雰囲気で熱処理することによ
って得られる。
【0014】これに対し、本発明のバリスタ機能を有す
る半導体セラミックコンデンサは、図1に示すように、
出発原料を秤量し、ついで混合、仮焼、粉砕、造粒、成
形した後、大気中で焼成することによって得られる。
る半導体セラミックコンデンサは、図1に示すように、
出発原料を秤量し、ついで混合、仮焼、粉砕、造粒、成
形した後、大気中で焼成することによって得られる。
【0015】つまり、本発明のバリスタ機能を有する半
導体セラミックコンデンサ、従来の粒界絶縁型半導体セ
ラミックコンデンサとも、秤量、混合、仮焼、粉砕、造
粒、成形工程までは同じであるが、従来の粒界絶縁型半
導体セラミックコンデンサでは、成形後、還元雰囲気で
の焼成と大気中または酸化性雰囲気での熱処理という二
工程の加熱処理を要したのに対し、本発明のバリスタ機
能を有する半導体セラミックコンデンサでは大気中での
焼成の一工程のみで済み、製造工程が短縮される。
導体セラミックコンデンサ、従来の粒界絶縁型半導体セ
ラミックコンデンサとも、秤量、混合、仮焼、粉砕、造
粒、成形工程までは同じであるが、従来の粒界絶縁型半
導体セラミックコンデンサでは、成形後、還元雰囲気で
の焼成と大気中または酸化性雰囲気での熱処理という二
工程の加熱処理を要したのに対し、本発明のバリスタ機
能を有する半導体セラミックコンデンサでは大気中での
焼成の一工程のみで済み、製造工程が短縮される。
【0016】本発明のバリスタ機能を有する半導体セラ
ミックコンデンサを製造するにあたり、混合、粉砕はた
とえばボールミルにより行われ、仮焼はたとえば115
0℃、成形はたとえば1000kg/cm2 、焼成はた
とえば1350℃以上で行われる。
ミックコンデンサを製造するにあたり、混合、粉砕はた
とえばボールミルにより行われ、仮焼はたとえば115
0℃、成形はたとえば1000kg/cm2 、焼成はた
とえば1350℃以上で行われる。
【0017】上記チタン酸バリウム系半導体磁器のキュ
ーリ点を室温(25℃)以下にするには、上記チタン酸
バリウム系半導体磁器にSr、Pb、Ca、Mg、Z
r、SnおよびHfよりなる群から選ばれる少なくとも
1種以上のシフター元素を含有させることによって達成
することができる。
ーリ点を室温(25℃)以下にするには、上記チタン酸
バリウム系半導体磁器にSr、Pb、Ca、Mg、Z
r、SnおよびHfよりなる群から選ばれる少なくとも
1種以上のシフター元素を含有させることによって達成
することができる。
【0018】これらのシフター元素はBaTiO3 ペロ
ブスカイト結晶中のBaまたはTiと置換して、キュー
リ点を低温側に移動させる。
ブスカイト結晶中のBaまたはTiと置換して、キュー
リ点を低温側に移動させる。
【0019】シフター元素の添加量は、シフター元素の
種類によっても異なるが、Srの場合、Ba1-x Srx
TiO3 で表すとき、xが0.4≦x≦0.6で室温で
良好なバリスタ特性を有するコンデンサとなり得る。す
なわち、Srの置換量がx>0.6ではチタン酸バリウ
ム(BaTiO3 )の特性が損なわれて良好な正の抵抗
温度特性を示す半導体にはなりにくく、x<0.4では
キューリ点を室温以下にシフトさせることができず、室
温以下でのバリスタ特性が得られにくくなる。
種類によっても異なるが、Srの場合、Ba1-x Srx
TiO3 で表すとき、xが0.4≦x≦0.6で室温で
良好なバリスタ特性を有するコンデンサとなり得る。す
なわち、Srの置換量がx>0.6ではチタン酸バリウ
ム(BaTiO3 )の特性が損なわれて良好な正の抵抗
温度特性を示す半導体にはなりにくく、x<0.4では
キューリ点を室温以下にシフトさせることができず、室
温以下でのバリスタ特性が得られにくくなる。
【0020】そして、チタン酸バリウムを正の抵抗温度
特性を示す半導体とするにあたっては、半導体化剤とし
てNb、W、Ta、Y、Sb、Biおよび希土類元素よ
りなる群から選ばれる少なくとも1種以上を含有させて
原子価制御することにより、正の抵抗温度特性を示す半
導体化を促進することができる。
特性を示す半導体とするにあたっては、半導体化剤とし
てNb、W、Ta、Y、Sb、Biおよび希土類元素よ
りなる群から選ばれる少なくとも1種以上を含有させて
原子価制御することにより、正の抵抗温度特性を示す半
導体化を促進することができる。
【0021】この半導体化剤の添加量は0.1〜0.4
原子%が適しており、0.1原子%より少ない場合も、
また0.4原子%より多い場合も、良好な正の抵抗温度
特性を示す半導体になりにくい。
原子%が適しており、0.1原子%より少ない場合も、
また0.4原子%より多い場合も、良好な正の抵抗温度
特性を示す半導体になりにくい。
【0022】また、Siを含有させると、このSiは焼
結助剤として作用し、半導体化を阻害する不純物元素
(たとえばナトリウム、カリウムなど)を粒界層に析出
させ、正の抵抗温度特性を示すセラミック焼結体が安定
して得られるようになる。このSiの添加量はSiO2
換算で0.01〜0.5重量%が適しており、0.01
重量%より少ない場合はその効果が充分に発揮されず、
また0.5重量%より多くなると誘電損失が大きくなっ
て、コンデンサとしての機能が低下する。
結助剤として作用し、半導体化を阻害する不純物元素
(たとえばナトリウム、カリウムなど)を粒界層に析出
させ、正の抵抗温度特性を示すセラミック焼結体が安定
して得られるようになる。このSiの添加量はSiO2
換算で0.01〜0.5重量%が適しており、0.01
重量%より少ない場合はその効果が充分に発揮されず、
また0.5重量%より多くなると誘電損失が大きくなっ
て、コンデンサとしての機能が低下する。
【0023】さらに、Mnを含有させると、このMnは
チタン酸バリウム系半導体磁器の特性改善剤として作用
し、誘電損失を小さくさせ、コンデンサとしての機能を
高める効果がある。また、Mnはバリスタ特性のバリス
タ電圧(V/mm)を大きくすると共に電圧比直線係数
を大きくする効果がある。
チタン酸バリウム系半導体磁器の特性改善剤として作用
し、誘電損失を小さくさせ、コンデンサとしての機能を
高める効果がある。また、Mnはバリスタ特性のバリス
タ電圧(V/mm)を大きくすると共に電圧比直線係数
を大きくする効果がある。
【0024】しかし、Mnの添加量が0.02原子%よ
り多くなると、比誘電率(ε)が小さくなり、バリスタ
電圧が著しく大きくなりすぎるので、かえって特性上好
ましくなく、また、Mnの添加量が少なすぎると、上記
の効果が充分に得られなくなるので、Mnの添加量とし
ては0.002〜0.02原子%が好ましい。
り多くなると、比誘電率(ε)が小さくなり、バリスタ
電圧が著しく大きくなりすぎるので、かえって特性上好
ましくなく、また、Mnの添加量が少なすぎると、上記
の効果が充分に得られなくなるので、Mnの添加量とし
ては0.002〜0.02原子%が好ましい。
【0025】また、Mn以外にも、Fe、Cu、Co、
Cr、V、Niなどを特性改善剤として添加することが
できる。
Cr、V、Niなどを特性改善剤として添加することが
できる。
【0026】上記チタン酸バリウム系半導体磁器を得る
ための出発原料(材料粉末)は、酸化物法、湿式合成法
などの方法によって得ることができる。
ための出発原料(材料粉末)は、酸化物法、湿式合成法
などの方法によって得ることができる。
【0027】そして、上記組成のものを出発原料とする
ことにより、従来の粒界絶縁型半導体セラミックコンデ
ンサのように結晶自身の半導体化のための還元焼成や結
晶粒界に絶縁層を形成させるための熱処理工程および結
晶粒界に絶縁層を形成させるための複雑な添加物の使用
を必要とせず、大気中での焼成工程のみでバリスタ機能
を有する半導体セラミックコンデンサを製造することが
できる。
ことにより、従来の粒界絶縁型半導体セラミックコンデ
ンサのように結晶自身の半導体化のための還元焼成や結
晶粒界に絶縁層を形成させるための熱処理工程および結
晶粒界に絶縁層を形成させるための複雑な添加物の使用
を必要とせず、大気中での焼成工程のみでバリスタ機能
を有する半導体セラミックコンデンサを製造することが
できる。
【0028】
【発明の効果】本発明によれば、コンデンサ機能とバリ
スタ機能を同時に有する半導体セラミックコンデンサを
提供することができる。すなわち、本発明によれば、通
常はコンデンサとして電圧の低いノイズや高周波のノイ
ズを吸収する働きをし、他方パルスや静電気などの高い
電圧が侵入してきたときにはバリスタ機能を発揮し、電
子機器で発生するノイズ、パルス、静電気などの異常電
圧から半導体および電子機器を保護し得るバリスタ機能
を有する半導体セラミックコンデンサを提供することが
できる。
スタ機能を同時に有する半導体セラミックコンデンサを
提供することができる。すなわち、本発明によれば、通
常はコンデンサとして電圧の低いノイズや高周波のノイ
ズを吸収する働きをし、他方パルスや静電気などの高い
電圧が侵入してきたときにはバリスタ機能を発揮し、電
子機器で発生するノイズ、パルス、静電気などの異常電
圧から半導体および電子機器を保護し得るバリスタ機能
を有する半導体セラミックコンデンサを提供することが
できる。
【0029】また、本発明によれば、大気中での焼成工
程のみでバリスタ機能を有する半導体セラミックコンデ
ンサを製造することができるので、従来の粒界絶縁型半
導体セラミックコンデンサを製造する場合のような結晶
自身の半導体化のための還元焼成工程や結晶粒界に絶縁
層を形成させるための熱処理工程が不要になって、製造
工程を短縮化することができ、高効率にバリスタ機能を
有する半導体セラミックコンデンサを製造することがで
きる。
程のみでバリスタ機能を有する半導体セラミックコンデ
ンサを製造することができるので、従来の粒界絶縁型半
導体セラミックコンデンサを製造する場合のような結晶
自身の半導体化のための還元焼成工程や結晶粒界に絶縁
層を形成させるための熱処理工程が不要になって、製造
工程を短縮化することができ、高効率にバリスタ機能を
有する半導体セラミックコンデンサを製造することがで
きる。
【0030】
【実施例】つぎに、実施例を挙げて本発明をより具体的
に説明する。
に説明する。
【0031】実施例1 主原料であるBaCO3 、SrCO3 、TiO2 と、半
導体化剤であるY、Nbなどの酸化物粉末と、添加物で
あるSiO2 、Mnの酸化物を準備し、表1〜表2に示
す組成になるように秤量し、原料を湿式混合した。
導体化剤であるY、Nbなどの酸化物粉末と、添加物で
あるSiO2 、Mnの酸化物を準備し、表1〜表2に示
す組成になるように秤量し、原料を湿式混合した。
【0032】得られた混合物を脱水、乾燥した後、11
50℃で仮焼した。仮焼粉を湿式粉砕した後、脱水し、
濃度8%のポリビニルアルコール水溶液を8%(8cc
/100g)加えて造粒し、圧力1000kg/cm2
で加圧成形した。
50℃で仮焼した。仮焼粉を湿式粉砕した後、脱水し、
濃度8%のポリビニルアルコール水溶液を8%(8cc
/100g)加えて造粒し、圧力1000kg/cm2
で加圧成形した。
【0033】得られた成形物を大気中1350℃以上で
焼成して、半導体磁器を得た。
焼成して、半導体磁器を得た。
【0034】この半導体磁器の両面にオーミック性銀ペ
ーストを塗布し、560℃で10分間焼き付けて電極を
形成し、バリスタ機能を有する半導体セラミックコンデ
ンサを製造した。このバリスタ機能を有する半導体セラ
ミックコンデンサの形状は、直径5.25mm、厚さ
0.25mmの円板状である。
ーストを塗布し、560℃で10分間焼き付けて電極を
形成し、バリスタ機能を有する半導体セラミックコンデ
ンサを製造した。このバリスタ機能を有する半導体セラ
ミックコンデンサの形状は、直径5.25mm、厚さ
0.25mmの円板状である。
【0035】なお、表1には主原料およびシフター元素
の種類とその量を明らかにした組成を示し、表2には半
導体化剤と添加物の種類とその量を明らかにした組成を
示す。
の種類とその量を明らかにした組成を示し、表2には半
導体化剤と添加物の種類とその量を明らかにした組成を
示す。
【0036】
【表1】
【0037】
【表2】
【0038】上記のようにして得られたバリスタ機能を
有する半導体セラミックコンデンサのバリスタ電圧(V
/mm)、電圧比直線係数(α)、室温(25℃)での
比誘電率(ε)および室温(25℃)での誘電損失(t
anδ)を調べた。その結果を表3に示す。なお、各電
気特性の測定および算出方法は次の通りである。
有する半導体セラミックコンデンサのバリスタ電圧(V
/mm)、電圧比直線係数(α)、室温(25℃)での
比誘電率(ε)および室温(25℃)での誘電損失(t
anδ)を調べた。その結果を表3に示す。なお、各電
気特性の測定および算出方法は次の通りである。
【0039】バリスタ電圧(V/mm):電流0.1m
Aでの電圧を測定する。
Aでの電圧を測定する。
【0040】電圧比直線係数(α):測定電流0.1m
Aでの電圧V0.1 と測定電流1.0mAでの電圧V1.0
から、下記の式により求める。 α=1/log(V1.0 mA/V0.1mA )
Aでの電圧V0.1 と測定電流1.0mAでの電圧V1.0
から、下記の式により求める。 α=1/log(V1.0 mA/V0.1mA )
【0041】比誘電率(ε):測定電圧1V、測定周波
数1kHzの条件で、YHP社製♯4274AのLCR
メーターを用い、容量Cを測定し、電極面積および磁器
の厚みより計算で求める。
数1kHzの条件で、YHP社製♯4274AのLCR
メーターを用い、容量Cを測定し、電極面積および磁器
の厚みより計算で求める。
【0042】誘電損失(tanδ):測定電圧1V、測
定周波数1kHzの条件で、YHP社製♯4274Aの
LCRメーターを用い、tanδを測定する。
定周波数1kHzの条件で、YHP社製♯4274Aの
LCRメーターを用い、tanδを測定する。
【0043】
【表3】
【0044】表3に示すように、試料番号1−1、1−
2、3−1、3−2、6−1および6−2のものでは、
特に好ましい特性が得られた。
2、3−1、3−2、6−1および6−2のものでは、
特に好ましい特性が得られた。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のバリスタ機能を有する半導体セラミッ
クコンデンサの製造工程図である。
クコンデンサの製造工程図である。
【図2】従来の粒界絶縁型半導体セラミックコンデンサ
の製造工程図である。
の製造工程図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 五十嵐 秀二 神奈川県横須賀市津久井754
Claims (6)
- 【請求項1】 正の抵抗温度特性を示し、キューリ点以
上の温度領域での抵抗の最大値が107 Ω・cm以上で
キューリ点以下の温度領域での抵抗の最小値が105 Ω
・cm以下であるチタン酸バリウム系半導体磁器を用い
たことを特徴とするバリスタ機能を有する半導体セラミ
ックコンデンサ。 - 【請求項2】 チタン酸バリウム系半導体磁器が、キュ
ーリ点を室温以下にするためにSr、Pb、Ca、S
n、Mg、ZrおよびHfよりなる群から選ばれる少な
くとも1種以上のシフター元素を含有するものであるこ
とを特徴とする請求項1記載のバリスタ機能を有する半
導体セラミックコンデンサ。 - 【請求項3】 チタン酸バリウム系半導体磁器が、N
b、W、Ta、Y、Sb、Biおよび希土類元素よりな
る群から選ばれる少なくとも1種以上の半導体化剤を
0.1〜0.4原子%含有するものであることを特徴と
する請求項1または2記載のバリスタ機能を有する半導
体セラミックコンデンサ。 - 【請求項4】 シフター元素がSrであり、チタン酸バ
リウム系半導体磁器の組成をBa1-x Srx TiO3 で
表すとき、xが0.4≦x≦0.6であることを特徴と
する請求項1、2または3記載のバリスタ機能を有する
半導体セラミックコンデンサ。 - 【請求項5】 SiをSiO2 換算で0.01〜0.5
重量%含有する請求項1、2、3または4記載のバリス
タ機能を有する半導体セラミックコンデンサ。 - 【請求項6】 Mnを0.002〜0.02原子%含有
することを特徴とする請求項1、2、3、4または5記
載のバリスタ機能を有する半導体セラミックコンデン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3268883A JPH0582385A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | バリスタ機能を有する半導体セラミツクコンデンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3268883A JPH0582385A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | バリスタ機能を有する半導体セラミツクコンデンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0582385A true JPH0582385A (ja) | 1993-04-02 |
Family
ID=17464591
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3268883A Pending JPH0582385A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | バリスタ機能を有する半導体セラミツクコンデンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0582385A (ja) |
-
1991
- 1991-09-19 JP JP3268883A patent/JPH0582385A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6257245B2 (ja) | ||
| JPH0223005B2 (ja) | ||
| JPS623569B2 (ja) | ||
| JP5988388B2 (ja) | 半導体磁器組成物およびその製造方法 | |
| JPH1036172A (ja) | 誘電体磁器組成物 | |
| JP2014034505A (ja) | 半導体磁器組成物およびその製造方法 | |
| JP2830321B2 (ja) | 電圧依存性非直線抵抗体磁器組成物およびバリスタの製造方法 | |
| JP2934387B2 (ja) | 半導体磁器の製造方法 | |
| JPS6046811B2 (ja) | 半導体磁器コンデンサ用組成物 | |
| JP2707706B2 (ja) | 粒界絶縁型半導体セラミックコンデンサ及びその製造方法 | |
| JPS6117087B2 (ja) | ||
| JP3389947B2 (ja) | 誘電体磁器組成物及びそれを用いた厚膜コンデンサ | |
| JP2900687B2 (ja) | 半導体磁器組成物及びその製造方法 | |
| JP3325114B2 (ja) | 半導体磁器のための組成物及び半導体磁器素子の製造方法 | |
| JP2990679B2 (ja) | チタン酸バリウム系半導体磁器組成物 | |
| JP2638599B2 (ja) | 電圧非直線性抵抗体磁器組成物 | |
| JP2573466B2 (ja) | 電圧非直線性抵抗体磁器組成物 | |
| JP2725405B2 (ja) | 電圧依存性非直線抵抗体磁器及びその製造方法 | |
| JPS62252904A (ja) | 電圧非直線性抵抗体磁器組成物及びその製造方法 | |
| JPH0142606B2 (ja) | ||
| JPS6018087B2 (ja) | 誘電体磁器組成物 | |
| JPS5857843B2 (ja) | 磁器誘電体組成物 | |
| JPH0517222A (ja) | 温度補償用磁器組成物 | |
| JPS6048897B2 (ja) | 半導体磁器コンデンサ用組成物 | |
| JPH0529110A (ja) | 粒界酸化型電圧非直線抵抗素子 |