JPH0587018B2 - - Google Patents

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JPH0587018B2
JPH0587018B2 JP60196241A JP19624185A JPH0587018B2 JP H0587018 B2 JPH0587018 B2 JP H0587018B2 JP 60196241 A JP60196241 A JP 60196241A JP 19624185 A JP19624185 A JP 19624185A JP H0587018 B2 JPH0587018 B2 JP H0587018B2
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JP
Japan
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wiring
supply potential
type
circuit
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Hiroyuki Misawa
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Nippon Electric Co Ltd
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D84/00—Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers
    • H10D84/90—Masterslice integrated circuits

Landscapes

  • Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はモノリシツク集積回路に関し、特に基
本セルを行列に配置して内部セルアレイ領域を構
成するゲートアレイ型マスタスライス方式のモノ
リシツク集積回路に関する。
〔従来の技術〕
従来、基本セルを行列に配置して内部セルアレ
イ領域を構成するゲートアレイ型マスタスライス
方式集積回路(以下ゲートアレイと記す)の内部
セルアレイ領域に対し外部電源電位を供給する場
合には、内部セルアレイ領域内の基本セルに供給
する必要がある。総ての外部電源電位の種類が一
本づつ各基本セル上に位置するように内部セルア
レイ領域上を縦貫する電源電位供給配線を布設
し、各基本セル部においてその基本セルが必要と
する外部電源電位供給する方法を採っていた。
従来の大規模ゲートアレイはそのほとんどが
CMOSゲートアレイである。CMOSゲートアレ
イの場合、回路そのもののノイズマージンが大き
いことと、回路の定常的な電流が小さいことから
内部セルアレイ領域内に従来の方法でごく細い電
源電位供給配線を布設しても何ら問題は生じなか
つた。また、従来のバイポーラ系のゲートアレイ
の場合、その規模が比較的小さく、回路そのもの
のノイズマージンが小さく、回路の定常的な電流
が大きいECLゲートアレイにおいても内部セル
アレイ領域内に従来の方法で比較的太い電源電位
供給配線を布設することにより充分に所望の電気
的特性を得ることができていた。しかし、
CMOSゲートアレイの電気的特性、特に高速化
が進んで来た今日、ECLゲートアレイに対し大
規模かつより高速化を要求されるに至り内部セル
アレイ領域内に従来の方法で電源電位供給配線を
布設することによる不都合が目立つて来た。
ECLゲートアレイの高速性は回路の駆動インピ
ーダンスと負荷容量に大きく依存する。よつて回
路動作に最低限必要なノイズマージンを確保する
論理振幅を持たせかつ駆動インピーダンスを低く
抑えるため、ECL回路の定常電流は必然的に大
きなものとなる。
ゲートアレイの規模が大きくなると、通常、内
部セルアレイ領域内を縦貫し基本セルに外部電源
電位を供給する電源電位供給配線1本当りの供給
対象基本セル数は増加する。高速性を要求される
大規模ECLゲートアレイの場合。各基本セルの
定常電流が多いため、従来の電源電位供給配線布
設方法を用いた場合、電源電位のレベルシフトに
よるノイズマージン減少を極力小さく抑えるため
に、内部セルアレイ領域内を縦貫する電源電位供
給配線1本当りの配線布設幅をかなり太く設定す
ることが必要となる。しかし、電源電位供給配線
を太く設定することは、ゲートアレイにおいて
は、配線布設領域が限られているため信号配線布
設領域を削減することになり、信号配線の布設自
由度を低下させることになる。また、信号配線の
布設自由度を低下させないためには配線布設領域
を拡大させることが必要で、この場合はチツプサ
イズが増大し基本セル間を結ぶ信号配線の平均配
線長が増し集積回路全体としての電気的特性、特
に高速性が損なわれかつ製造歩留りは低下する。
また、電源電位供給配線の布設配線幅を太く設定
した場合、電源電位供給配線が形成される配線層
と異なる配線層で形成され電源電位供給配線と交
差する信号配線のその交差面積が増加し、その信
号配線に付加する寄生容量が増加しこれによりや
はり回路動作の高速性が損われる結果となる。
従来のゲートアレイ型集積回路について図面を
参照して説明する。
第2図は従来のゲートアレイ型集積回路の一例
のレイアウト図である。
この集積回路は基本セル11′を20行10列の行
列に並べて内部セルアレイ領域25を形成し、そ
の対辺に外部電源電位供給配線23,24を設
け、この外部電源電位供給配線23,24に外部
端子21,22を設けることにより構成されてい
る。
外部端子21には外部より最高電位の外部電源
電位が供給され、その電位は内部セルアレイ領域
25に対し、外部電源電位供給配線23を通して
供給される。外部端子22には同様に外部より最
低電位の外部電源電位が供給され、その電位は電
源電位供給配線24を通して同様に内部セルアレ
イ領域25に供給される。
第3図は第2図に示す基本セルのレイアウト図
である。
基本セル11′の下層には回路構成要素が形成
され、上層には電源電位供給配線領域32,33
が設けられる。電源電位供給配線領域32は、第
2図において上下に連接する隣りの基本セル1
1′の電源電位供給配線領域32を経由して外部
電源電位供給配線23と接続する。電源電位供給
配線領域33も同様に第2図における外部電源電
位供給配線24に接続する。このようにして第2
図における電源電位供給配線23,24はそれぞ
れ結果的に内部セルアレイ領域25の各基本セル
11′上を縦貫している。
第4図は従来のECL基本回路の回路図である。
ECL基本回路はカレント・スイツチ部45と
エミツタ・フオロア部46の2つの回路構成要素
から成り、カレント・スイツチ部45ではトラン
ジスタQ3と抵抗R3により定電流部を構成しその
定電流をトランジスタQ1とトランジスタQ2のス
イツチング動作により抵抗R1あるいは抵抗R2に
流す。抵抗R1と抵抗R2の片端は高電位の外部電
源電位が印加された電源電位供給配線41に接続
され、抵抗R3の片端は低電位の外部電源電位が
印加された電源電位供給配線43に接続される。
抵抗R1あるいは抵抗R2のトランジスタQ1あるい
はトランジスタQ2のコレクタ端子に接続する片
端には抵抗R1あるいは抵抗R2に電流が流れない
ときに高レベル電位、流れる時には低レベル電位
が発生され、この電位がエミツタ・フオロア部4
6のトランジスタQ5あるいはトランジスタQ4の
ベース端子に入力される。前記高レベル電位と低
レベル電位の差を論理振幅と呼ぶ。エミツタ・フ
オロア部46ではトランジスタQ4あるいはトラ
ンジスタQ5のベース端子に入力されたレベルよ
りそれぞれのトランジスタのベース・エミツタ間
順方向電圧分レベルシフトした高レベル電位ある
いは低レベル電位をエミツタ端子に出力する。エ
ミツタ・フオロア部46のトランジスタQ4とト
ランジスタQ5のコレクタ端子は高電位の外部電
源電位が印加された電源電位供給配線42に接続
され、抵抗R4と抵抗R5の片端は低電位の外部電
源電位が印加された電源電位供給配線44に接続
される。このECL基本回路が第3図の基本セル
の中に組込まれる。
今、第4図におけるカレント・スイツチ部45
の電流が1mA、エミツタ・フオロア部46の全
電流が2mA、カレント・スイツチ部45の論理
振幅が500mVであるとし、第2図の基本セル1
1′の各々に第4図で示す回路が2組入つている
場合を考える。説明を簡略にするため最高電位の
外部電源電位系のみを説明する。第2図の外部端
子21に印加された最高電位は第3図の電源電位
供給配線領域32内の配線に接続されるが、今、
基本セル11′の電源電位供給配線領域32内の
配線の幅が100μm、長さが250μm、配線層抵抗が
0.03Ω/□であるものとする。従来の方法を採つ
た場合、基本セル11′の最高電源電位供給配線
は電源電位供給配線領域32のみであるので電源
電位供給配線41,42はともに電源電位供給配
線領域32内の配線に接続する。この結果第2図
の同列上の基本セル11′の内最も電源電位供給
配線23に近いセル位置の基本セル11′のレベ
ルシフト量を0mVとしたとき、最も遠いセル位
置の基本セル11′のレベルシフト量は85.5mVと
なる。異なる列間の基本的なレベルシフト差が
20mVあるとすると内部セルアレイ領域25内の
全基本セル11′間のレベルシフト量の差は
105.5mVとなる。ECLゲートアレイの場合、高電
位の電源電位のレベルシフトは直接ノイズマージ
ンの減少につながる。低電位の電源電位のレベル
シフトは通常論理振幅の減少となつて現われるの
でノイズマージンの減少にはその1/2が関与する。
今簡略化のためその値を高電位の電源電位のレベ
ルシフトによるノイズマージン減少分の1/2とし
その値を52.5mVとする。
論理振幅を500mVとしたとき、その1/2の所を
しきい値とし、伝達特性における微分利得が1で
ある点即ちユニテイー・ゲイン・ポイントがしき
い値より100mVであるとするとノイズマージン
として許されるのは150mVとなる。その他諸々
のノイズマージンを減少させる要素による分を
30mVとすると上述の例におけるノイズマージン
減少分の総和は188mVとなりユニテイー・ゲイ
ン・ポイントを割つてしまい、回路の安定動作を
保証できない値となる。今、ノイズマージン減少
分の総和を150mV以内にするためには第3図に
おける電源電位供給配線領域32内の配線の幅を
128μm以上に設定しなければならない。このとき
低電位側の電源電位供給配線領域33内の配線も
同様に配線幅を拡大する必要があり基本セル1
1′内の総計の電源配線幅増加幅は56μm以上必要
となる。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上述したように、基本セル当りの定常電流が大
きい大規模ゲートアレイ、特にECLゲートアレ
イの内部セルアレイ領域内に外部電源電位を供給
する電源電位供給配線を布設する際に従来の布設
方法を採用した場合には電源電位供給配線幅を回
路のノイズマージンを確保できる程度に太く設定
することが必要となり、太幅の電源電位供給配線
と異なる配線層で形成されこれと交差する信号配
線の寄生配線容量が増加し、集積回路全体として
の電気的特性、特に高速性が損なわれるという第
1の欠点がある。また、内部セルアレイ領域を拡
大せずに電源電位供給配線幅を太く設定する場合
には限られた配線布設領域内において信号配線の
布設自由度を低下させるという第2の欠点があ
る。また、内部セルアレイ領域を拡大し信号配線
の布設自由度を増す場合には、基本セル間を結ぶ
信号配線の平均配線長が増加し、配線に付加する
寄生容量が増し集積回路全体としての電気的特
性、特に高速化を損なうという第3の欠点とチツ
プサイズが拡大し、製造歩留りが低下するという
第4の欠点がある。
本発明の目的は、対象回路別に電源電位供給線
を2本にし、回路のノイズマージンを抑え、チツ
プサイズを拡大することなく、信号配線の自由度
を増し、高速性を発揮するモノリシツク集積回路
を提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の特徴は、回路構成要素と電源電位供給
配線とを有する基本セルを行列に配置した内部セ
ルアレイ領域と、前記内部セルアレイ領域に外部
電源電位を供給する外部電源電位供給配線と、前
記外部電源電位供給配線に接続する外部端子とを
有するモノリシツク集積回路において、前記回路
構成要素は、第1の種類の回路構成要素部と、第
2の種類の回路構成要素部とを有して構成され、
前記電源電位供給配線は、前記第1の種類の回路
構成要素部を主たる供給対象として前記基本セル
上を縦貫する第1の電源電位供給配線と、前記第
2の種類の回路構成要素部を主たる供給対象とし
て前記基本セル上を縦貫する第2の電源電位供給
配線とを有し、第1の電源電位供給配線と第2の
電源電位供給配線とは前記内部セルアレイ領域外
で同一の前記外部電源電位供給配線に共通接続さ
れ、前記第1の種類の回路構成要素部は前記第2
の種類の回路構成要素部より電位のレベルシフト
に敏感な回路形式であり、かつ、前記第1の電源
電位供給配線の配線幅は前記第2の電源電位供給
配線の配線幅より大きいモノリシツク集積回路に
ある。
〔実施例〕
次に、本発明の実施例について図面を参照して
説明する。
第1図は本発明の一実施例のレイアウト図であ
る。基本セル11の上層に第1の種類の電源電位
供給配線領域12,13と第2の種類の電源電位
供給配線領域14,15が配置され、下層に第1
及び第2の種類の回路構成要素(図示されていな
い)が設けられる。
第1の種類の回路構成要素を第4図のカレン
ト・スイツチ部45、第2の種類の回路構成要素
をエミツタフオロア部46に分ける。そして、第
1の種類の電源電位供給配線領域12,13に第
1の種類の回路構成要素であるカレントスイツチ
部45に電位を供給する配線を、第2の種類の電
源電位供給配線領域14,15に第2の種類の回
路構成要素であるエミツタフオロア部46に電位
を供給する配線をそれぞれ設ける。また、第1の
種類の電源電位供給配線領域12に設けられる配
線はカレント・スイツチ部45に最高電位を供給
するものであり、電源電位供給配線41に接続さ
れる。第1の電源電位供給配線領域13に設けら
れる配線はカレント・スイツチ部44に最低電位
を供給するものであり、電源電位供給配線43に
接続する。第2の電源電位供給配線領域14に設
けられる配線はエミツタ・フオロア部46に最高
電位を供給するものであり電源電位供給配線42
に接続される。第2の電源電位供給配線領域15
に設けられる配線はエミツタ・フオロア部46に
最低電位を供給するものであり電源電位供給配線
44に接続される。
第1の電源電位供給配線領域12,13に設け
られる配線は基本セル11内で幅が60μm、長さ
が250μm電源電位供給配線領域14,15に設け
られる配線は幅が30μm、長さが250μmの寸法で
あり、全ての配線層抵抗は0.03Ω/□であるとす
る。電源電位供給配線領域12,14内の配線は
ともに最高電位であり、第2図の電源電位供給配
線23に接続することにより内部セルアレイ領域
25の端部で短絡する。同様に電源電位供給配線
領域13,15内の配線はともに最低電位であ
り、外部電源電位供給配線24に接続し短絡す
る。これら電源電位供給配線領域12,13,1
4,15は第2図の内部セルアレイ領域25の基
本セル11′上を縦貫することになる。今、最高
電位側を説明すると、第2図の同列上の基本セル
11′の内最も外部電源電位供給配線23に近い
セル位置の基本セル11′上の電源電位のレベル
シフト量を0mVとしたとき、最も遠い基本セル
位置11′に対応する基本セル11の電源電位供
給配線領域12内のレベルシフト量は47.5mV、
電源電位供給配線領域14内の配線のレベルシフ
ト量は190mVとなる。従来例と同様に異なる列
間のレベルシフト量の差が20mVであるとする
と、カレント・スイツチ部45の内部セルアレイ
領域25内の全基本セル11′間の最大レベルシ
フト量差は67.5mV、またエミツタ・フオロア部
46の内部セルアレイ領域25内の全基本セル間
の最大レベルシフト量差は210mVとなる。最低
電位側も同一の結果となるので説明は省略する。
従来例で述べたように、第4図に示すカレン
ト・スイツチ部45においては最高電位の電源電
位のレベルシフト量は直接ノイズマージンの減少
につながる。最低電位の電源電位のレベルシフト
量がノイズマージンに影響する量は従来例と同じ
その1/2とするとその値は33.5mVである。従来例
と同様に、論理振幅500mVの1/2の所にしきい値
があり、そこから100mVの所がユニテイー・ゲ
イン・ポイントとし、その他諸々のノイズマージ
ンを減少させる要素による分を30mVとすると、
本実施例におけるノイズマージン減少分の総和は
131mVとなり、ユニテイー・ゲイン・ポイント
まで19mVの余裕がある。第4図のエミツタ・フ
オロア部46に供給される電源電位は210mVの
レベルシフトを生じているが、この程度のレベル
シフトはエミツタ・フオロアの回路動作に対し何
ら問題を生じない。このように、本実施例におい
ては、最高電位あるいは最低電位を供給する基本
セル11内に設けられる電源電位供給配線の幅の
合計が180μmであるにもかかわらず、従来例の場
合の電源電位供給配線の幅の合計が256μmのもの
よりノイズマージンに余裕がありかつ電気的特性
も何ら損なわれるものがないという結果が得られ
た。
上記実施例では第1の種類の回路構成要素をカ
レント・スイツチ型回路、第2の種類の回路構成
要素をエミツタ・フオロアとしたECLゲートア
レイを例として説明したが、本発明は第1の種類
の回路構成要素をTTL論理回路部、第2の種類
の回路構成要素を出力バツフア回路としたTTL
ゲートアレイ、第1の種類の回路構成要素を
CMOS回路部、第2の種類の回路構成要素をバ
イポーラ回路部としたバイポーラ・CMOS混在
ゲートアレイ等に適用でき、一方の回路構成要素
を他方の回路構成要素によるノイズから隔離しノ
イズマージンが確保されるという効果が得られ
る。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明は、ゲートアレイ
の内部セルアレイ領域に外部電源電位を供給する
際にノイズマージンに余裕がある回路構成要素に
対する電源電位供給配線とノイズマージンに余裕
がない回路構成要素に対する電源電位供給配線と
を分離して外部電源電位を供給することにより内
部セルアレイ領域内に布設する電源電位配線領域
を極力小さくしつつ回路のノイズマージンを確保
することが可能であり、その結果チツプサイズ及
び内部セルアレイ領域を拡げることなく、信号配
線の布設自由度を増し、かつ電気的特性、特に高
速性を発揮できる集積回路を提供できるという効
果がある。また本発明を用いた場合過渡的に電流
変化がある回路構成要素をノイズに弱い回路構成
要素と分離することもでき集積回路自体の電気的
特性および信頼性を向上することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例のレイアウト図、第2
図は従来のゲートアレイ型集積回路のレイアウト
図、第3図は第2図に示す基本セルのレイアウト
図、第4図は従来のECL基本回路の回路図であ
る。 11,11′……基本セル、12,13……第
1の種類の電源電位供給配線領域、14,15…
…第2の種類の電源電位供給配線領域、21,2
2……外部端子、23,24……外部電源電位供
給配線、25……内部セルアレイ領域、32,3
3……電源電位供給配線領域、41,42,4
3,44……電源電位供給配線、45……カレン
ト・スイツチ部、46……エミツタ・フオロア
部、Q1,Q2,Q3,Q4,Q5……トランジスタ、
R1,R2,R3,R4,R5……抵抗器。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 回路構成要素と電源電位供給配線とを有する
    基本セルを行列に配置した内部セルアレイ領域
    と、前記内部セルアレイ領域に外部電源電位を供
    給する外部電源電位供給配線と、前記外部電源電
    位供給配線に接続する外部端子とを有するモノリ
    シツク集積回路において、 前記回路構成要素は、第1の種類の回路構成要
    素部と、第2の種類の回路構成要素部とを有して
    構成され、 前記電源電位供給配線は、前記第1の種類の回
    路構成要素部を主たる供給対象として前記基本セ
    ル上を縦貫する第1の電源電位供給配線と、前記
    第2の種類の回路構成要素を主たる供給対象とし
    て前記基本セル上を縦貫する第2の電源電位供給
    配線とを有し、第1の電源電位供給配線と第2の
    電源電位供給配線とは前記内部セルアレイ領域外
    で同一の前記外部電源電位供給配線に共通接続さ
    れ、 前記第1の種類の回路構成要素部は前記第2の
    種類の回路構成要素部より電位のレベルシフトに
    敏感な回路形式であり、かつ、 前記第1の電源電位供給配線の配線幅は前記第
    2の電源電位供給配線の配線幅より大きいことを
    特徴とするモノリシツク集積回路。 2 前記回路構成要素がECL型であり、前記第
    1の種類の回路構成要素部がカレントスイツチ型
    回路であり、前記第2の種類の回路構成要素部が
    エミツタフオロアであることを特徴とする特許請
    求の範囲第1項記載のモノリシツク集積回路。
JP60196241A 1985-09-04 1985-09-04 モノリシツク集積回路 Granted JPS6254939A (ja)

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