JPS61188331A - 物体取出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 く技術分野〉 この発明は、半導・体製造に際して使用されるウェハス
ライスの取出装置に関するものであり、特に、ウェハス
ライス・キャリアボックスのスリットに収納されたウェ
ハスライスを効率的に取出すためのウェハスライス取出
装置に係わるものである。

〈従来技術〉 一般に、半導体製・造分野においては、ウェハスライス
−キャリアボックス内に垂直方向に多段に形成された水
平方向の収納用スリットごとに一定間隔でウェハスライ
スを一枚づつ挟み込んで多数積層された状態で、これら
を収納することが行われている。そして、該キャリアボ
ックスからウェハスライスを順次取出して、これに所定
の処理加工を施した後、再びキャリアボックス内に収納
するものであった。

そのようなウェハスライス取出装置としては、一対のエ
ンドレスベルトを含むベルト搬送機構を用いたものが知
られており、第１図にその従来例が示されている。

図において、ウェハスライス・キャリアボックス１は曲
面開放された収納凹部２を有し、該収納凹部２の壁面に
は、垂直方向に多段の水平方向のウェハスライス収納用
スリット３が形成されていて、該スリット３内には、ウ
ェハスライス４が一定間隔で積層されるようにして収納
されている。このキャリアボックス１は昇降機ｍ５の昇
降ステージ６上に載置されて、該ステージ６とともに昇
降する。一方、前記キャリアボックス１と対向して、一
対のエンドレスベルト７を含むベルト搬送機構８が配置
されており、その一端は上記昇降ステージ６の切欠き６
ａ内に挿入され、キャリアボックス１内の最下段のウェ
ハスライス４の下方に位置している。

上記構成において、ウェハスライス４の取出しに際して
は、キャリアボックス１を降下させ、最下段のウェハス
ライス４をベルト７に当接させる。この状態で、ベルト
７を駆動して、ウェハスライス４をキャリアボックス１
のスリット３から取出して、ベルト７他端まで搬送する
ものである。

しかしながら、上記従来技術においては、最下段のウェ
ハスライスしか取出すことができず、しかも順次下方の
ものからしか取出せないので、作業順序が常に一定のも
のとなり、作業上著しい制約を受けるという欠点があっ
た。また、キャリアボックスから全部のウェハを取出し
た後でないと、処理済のウェハを再びこれに収納するこ
とができないので、処理後のウェハを収納するためには
、結局、別のキャリアボックスが少なくてももう一つ必
要になるという不利点もあった。

そして、このような不利点は、近年の傾向がそうである
ように、大径のウェハスライスに対して加工処理を施す
場合には、ウェハスライスの径に応じてキャリアボック
スも大形化し、コスト高となるので、スペースファクタ
や経済性の観点から深刻に捕えられていた。

更には、キャリアボックス内のスリットによるウェハス
ライスの摩擦係止に抗してこれを該スリットから引き抜
くようにして取出すものであるので、ウェハスライスが
該スリットと擦過して損傷を受は易いという欠点もあっ
たつく目　的〉 この発明の目的は、上記従来技術に基づくウェハスライ
ス取出装置の構造上の制約による非効率的な作業等の問
題点に鑑み、キャリアボックスに進入退出するウェハス
ライス取出用フォークを備える構成とすることにより、
前記欠点を除去し不利点を解消して、効率的でかつウェ
ハを傷つけることのない優れたウェハスライス取出装置
を提供せんとするものである。

く構　成〉 上記目的に沿うこの発明の構成は、キャリアボックスに
対向配置された一対のエンドレスベルト間に、昇降及び
前進後退可能なウェハスライス取出用のフォークを配設
し、該フォークを前進させて、キャリアボックス内の任
意のウェハスライスの下方に進入させ、これを微上昇さ
せてスリット内でウェハスライスを７オ一ク上面に支持
した後、該フォークを後退させてキャリアボックス外に
退出させることにより、ウェハスライスを取出し、次い
で該フォークを降下させて、ベルト上にウェハスライス
を載置し、ベルトによってこれを搬送するようにしたこ
とを要旨とするものである。

〈実施例〉 次に、この発明の実施例を第２図及び第３図に基づいて
説明すれば以下の通りである。

第２図において、昇降機構５の昇降テーブル６上に載置
されたキャリアボックス１に対向配置された一対のエン
ドレスベルト７の左端、即ち、搬送開始点に、ベルト間
に位置して、ウェハスライス取出用のフォーク１０が配
設されている。該フォーク１０は中空状に形成されてい
て、その内部は可撓管１１を介して適宜の真空源に連通
されており、ｍ　　その上面には、吸着孔１２が穿設さ
れている。そして、該フォーク１０は、昇降可能で、か
つ、キャリアボックス１方向に対して前進後退可能に支
持されるものであって、例えば、モーター１４のリード
スクリュウ１４ａの回転により上下動する昇降板１５に
フォーク１０が取付けられるとともに、該モーター１４
が、シリンダー１６によってガイド桿１７上を前進後退
するスライダー１８に取付けられているものである。尚
、キャリアボックス１の前後には、投光部２０ａと受光
部２０ｂとから成るウェハ検出センサー２０が対向配置
されている。　　他の構成要素は第１図において同一の
符号か示す構成要素とそれぞれ同一である。

次に、上記構成における動作を第３図の動作説明図をも
参照しつつ説明すると以下の通りである。

未処理のウェハスライス４が収納されたキャリアボック
ス１を昇降機構５の昇降テーブル６上に載置しく第３図
（Ａｌ）、該昇降機構５を駆動して処理のために取出す
べき任意のウェハスライス４を所定の取出し高さに位置
させる（第３図（Ｂ））。このとき、上下方向に位置決
めされたキャリアボックス１内の所定個所に取出すべき
ウェハスライス４が存在するか否かをウェハ検出センサ
ー２０によって検出しく第３図（ｅ））、もしウェハス
ライス４が無い場合には、再度昇降機構５を駆動する。

ウェハスライス４の存在が確認されたときは、モーター
１４を駆動して昇降板１５を上昇させ、ウェハスライス
取出用の７オーク１０をベルト７のベルト面位置まで上
昇させる（第３図（Ｄ））。これによって、該フォーク
１０は取出対象のウェハスライス４の若干下方の高さに
位置決められる。次いで、シリンダー１６を駆動してス
ライダー１８を押し進めることにより、フォーク１０を
前進させてキャリアボックス１内ここで、フォーク１０
を最上位置まで微上昇させて、その上面にウェハスライ
ス４を乗せるとともに、該ウェハスライス４をスリット
３内で浮かせる（第３図（Ｆ））。そして、該フ才−り
１０を適宜の真空源に連通させて真空を作用させ、フォ
ーク上のウェハスライス４を吸着保持する（第３図（Ｇ
））。再びシリンダー１６を駆動してフォーク１０を後
退させて、キャリアボックス１外に退出させることによ
り、これをベルト搬送機構８のベルト７の左端１．即ち
、搬送始端に位置させる（第３図（Ｈ））。このどき、
フォーク１０はベルト７のベルト面よりも若干上方の最
上位置に位置するので、取出したウェハスライス４がベ
ルト７と干渉することはない。この位置で７オーク１０
に対する真空を解除しく第３図（Ｉ））、モータ５−１
４により昇降板１５を介して該フォーク１０を原位置ま
で降下させると（第３図（Ｊ））、そノ降下の途中で、
フォーク１０上のウェハスライス４がベルト７上に載置
される〇 そこで、ベルト７を駆動しウェハスライス４を搬送しく
第３図（Ｋ））、これが右端の搬送終端に位置したとき
、ベルト７を停止する（第３図（Ｌ））。

このようにして、キャリアボックス１から取り出された
ウェハスライス４は、これに適宜の処理加工が施こされ
た後、再びキャリアボックス１内に収納されるべく、ベ
ルト７の右端に載置される。そして、ウェハスライス４
のキャリアボックス１内への収納は、前記取出動作と逆
の動作によって達成される。

即ち、ベルト７を進動させて、ウェハスライス４を左端
に移動させて（第３図（財））、ベルト鳴シ フを停止　（第３図［Ｎ））、フォーク゛１０を最上位
置まで上昇させて（第３図１（Ｊｌ）、その上面にウェ
ハスライス４を載置した後、該フォーク１０に真空を作
用させてウェハスライス４を吸着保持する（第３図（Ｐ
））。そして、フォーク１０を前進させてウェハスライ
ス４をキャリアボックス１内に進入させる（第３図（Ｑ
））。このとき、ウェハスライス４はキャリアボックス
１の適宜のスリット３内に挿入される。ここで、フォー
ク１０への真空を解除した（第３図（団）後、フォーク
１０をベルト面位置まで微降下させて（第３図（Ｓ））
、ウェハスライス４をスリット３に収納し、これを支持
させる。次いで、フォーク１０をベルト７の左端位置ま
で後退させ（第３図ＩＴ））、ここで降下させて（第３
図ｆＵ））、原位置に復帰させるものである。

なお、上記実施例の説明においては、７オーク１０の昇
降手段としてモーター１４とリードスクリュウ１４ａを
、また、前進後退手段としてシリンダー１６を用いたも
のを説明したが、これらに限られるものではないことは
勿論のことである。

く効　果〉 上記のようにこの発明番こよれば、昇降自在に支持され
たウェハスライスのキャリアボックスと、これに対向配
置された一対のエンドレスベルトとから成るウェハスラ
イス取出装置において、前記ベルト間にウェハスライス
取出用のフォークを昇降可能およびキャリアボックスに
対して前進後退可能に配設する構成としたこと１こより
、フォークを昇降および前進後退させることによってキ
ャリアボックス内の任意のウェハスライスを取出すこと
ができ、ウエノ１スライスの取出し順序がキャリアボッ
クス内でのウエノ１スライスの配列によって拘束される
ことなく、全（自由であるので、作業性が著しく改善さ
れて、効率的になるという優れた効果を奏する。

又、ウェハスライスをキャリアボックス内の任意の個所
から取出し、処理後にも任意の個所に収納できるので、
ひとつのキャリアボックスで足りるという利点がある。

その上、キャリアボックス内でフォークを微上昇させて
、ウェハスライスをスリット内で浮かせてから、進入退
出させるので、取出し時あるいは収納時にウェハスライ
スがスリット壁と゛擦過することがなく、損傷されるこ
とがないという効果もある。

加うるに、フォークに真空を作用させてつエバスライス
を真空吸着して保持するので、取出しおよび収納時に、
ウェハスライスが不用意にフォークから落下することが
ない。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例の斜視図、第２図及び第３図はこの発明
の実施例を示すものであり、第２図は斜視図、第３図は
作動説明図である。 １・・・・・・ウェハスライス・キャリアボックス、３
・・・・・・ウェハスライス収納用スリット５・・・・
・・昇降機構　　　６・・・・・・昇降テーブル７・・
・・・・ベルト　　８・・・・・・ベルト搬送機構１０
・・・・・・ウェハスライス取出用フォーク１２・・・
・・・吸着孔 特許出願人　日本テキサス・インスツルメンツ株式会社
第１図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ウェハスライス収納用スリット３を有するウェハ
   スライス、キャリアボックス１と、該キャリアボックス
   １を昇降させる昇降機構５と、前記キャリアボックス１
   に対向配設された一対のエンドレスベルト７を含むベル
   ト搬送機構８とから成るウェハスライス取出装置におい
   て、前記ベルト搬送機構８のベルト７間に昇降可能及び
   キャリアボックス１に対して前進後退可能なウェハスラ
   イス取出用のフォーク１０を配設したことを特徴とする
   ウェハスライス取出装置。
2. （２）前記フォーク１０には、真空を作用させるととも
   に、その上面には、吸着孔１２が穿設されていることを
   特徴とする特許請求の範囲第１項記載のウェハスライス
   取出装置。