JPH06108235A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置Info
- Publication number
- JPH06108235A JPH06108235A JP26187192A JP26187192A JPH06108235A JP H06108235 A JPH06108235 A JP H06108235A JP 26187192 A JP26187192 A JP 26187192A JP 26187192 A JP26187192 A JP 26187192A JP H06108235 A JPH06108235 A JP H06108235A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- melting tank
- recording medium
- magnetic recording
- vapor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 スプラッシュの発生を大幅に抑制することが
できる磁気記録媒体の製造装置を提供すること。 【構成】 本発明の磁気記録媒体の製造装置は、真空容
器と、該真空容器内に配設され一連の被蒸着材を走行さ
せる走行装置と、被蒸着材の下方に配設され磁性材料の
融解槽を有するルツボと、該ルツボの磁性材料に電子ビ
ームを照射するための電子ビーム発生装置とを含む磁気
記録媒体の製造装置において、前記ルツボが、融解槽の
浮遊物を端へ排除する排除板と該排除板の駆動手段とか
らなる浮遊物排除装置を具備することを特徴とする。
できる磁気記録媒体の製造装置を提供すること。 【構成】 本発明の磁気記録媒体の製造装置は、真空容
器と、該真空容器内に配設され一連の被蒸着材を走行さ
せる走行装置と、被蒸着材の下方に配設され磁性材料の
融解槽を有するルツボと、該ルツボの磁性材料に電子ビ
ームを照射するための電子ビーム発生装置とを含む磁気
記録媒体の製造装置において、前記ルツボが、融解槽の
浮遊物を端へ排除する排除板と該排除板の駆動手段とか
らなる浮遊物排除装置を具備することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁性材料の蒸気を蒸着
して磁性層を形成する蒸着型の磁気記録媒体を製造する
装置に関し、特にその蒸発源を構成するルツボに関する
ものである。
して磁性層を形成する蒸着型の磁気記録媒体を製造する
装置に関し、特にその蒸発源を構成するルツボに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の蒸着型磁気記録媒体の製造装置と
して、真空容器と、この真空容器内に配設され一連の被
蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に配設
され磁性材料の融解槽を有するルツボと、このルツボの
磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生
装置とを含むものがある。そして、ルツボの融解槽内の
磁性材料に電子ビームを照射しこれにより磁性材料は電
子ビームの照射を受けて溶融し、蒸発を続け、その蒸気
を被蒸着材に蒸着していた。
して、真空容器と、この真空容器内に配設され一連の被
蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に配設
され磁性材料の融解槽を有するルツボと、このルツボの
磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生
装置とを含むものがある。そして、ルツボの融解槽内の
磁性材料に電子ビームを照射しこれにより磁性材料は電
子ビームの照射を受けて溶融し、蒸発を続け、その蒸気
を被蒸着材に蒸着していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ルツボの融解槽の液面
には磁性材料からの不純物や酸化物などが浮遊してい
る。これに電子ビームが照射されると、これら不純物や
酸化物は融点が高いので容易に融解せず、非常に高い温
度に加熱される。そこに液面が接触すると接触した部分
で急激に蒸発が起こり、液滴の飛散を誘発することにな
る。この液滴はスプラッシュと云われ、被蒸着材に付着
して突起異物となる。この突起異物があると、記録・再
生時に磁気ヘッドがこれに乗り上げて磁気ヘッドと被蒸
着材の間が広くなりすぎ正常な記録・再生ができなくな
ってしまう。
には磁性材料からの不純物や酸化物などが浮遊してい
る。これに電子ビームが照射されると、これら不純物や
酸化物は融点が高いので容易に融解せず、非常に高い温
度に加熱される。そこに液面が接触すると接触した部分
で急激に蒸発が起こり、液滴の飛散を誘発することにな
る。この液滴はスプラッシュと云われ、被蒸着材に付着
して突起異物となる。この突起異物があると、記録・再
生時に磁気ヘッドがこれに乗り上げて磁気ヘッドと被蒸
着材の間が広くなりすぎ正常な記録・再生ができなくな
ってしまう。
【０００４】本発明は、このような問題点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、スプラッシ
ュを発生させないようにして被蒸着材上に適正な蒸着膜
を形成するようにした新規な磁気記録媒体の製造装置を
提供しようとするものである。
れたものであり、その目的とするところは、スプラッシ
ュを発生させないようにして被蒸着材上に適正な蒸着膜
を形成するようにした新規な磁気記録媒体の製造装置を
提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体の
製造装置は、真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料の融解槽を有するルツボと、該ルツボ
の磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発
生装置とを含む磁気記録媒体の製造装置において、前記
ルツボが、融解槽の浮遊物を融解槽の端へ排除する排除
板と該排除板の駆動手段とからなる浮遊物排除装置を具
備することを特徴とする。
製造装置は、真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料の融解槽を有するルツボと、該ルツボ
の磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発
生装置とを含む磁気記録媒体の製造装置において、前記
ルツボが、融解槽の浮遊物を融解槽の端へ排除する排除
板と該排除板の駆動手段とからなる浮遊物排除装置を具
備することを特徴とする。
【０００６】本発明においては、ルツボが浮遊物排除装
置を具備し、この浮遊物排除装置は、融解槽の浮遊物を
融解槽の端へ排除する排除板と該排除板の駆動手段とか
らなる。
置を具備し、この浮遊物排除装置は、融解槽の浮遊物を
融解槽の端へ排除する排除板と該排除板の駆動手段とか
らなる。
【０００７】排除板は、磁性材料の蒸発に伴い融解槽の
液面が下降するのに対処するために、最低液面のときに
少なくともその先端が液面に接触するような奥行（融解
槽の深さ方向の長さ）を有することが好ましい。また、
排除板の幅は、浮遊物を効果的に排除できるように、融
解槽の壁面との間に僅かな隙間が空く程度の大きさとす
ることが好ましい。更に、排除板を耐熱性を有する材
料、例えばタングステン、セラミック（ＭｇＯ、Ｃａ
Ｏ、ＢｅＯなど）等より構成することができる。
液面が下降するのに対処するために、最低液面のときに
少なくともその先端が液面に接触するような奥行（融解
槽の深さ方向の長さ）を有することが好ましい。また、
排除板の幅は、浮遊物を効果的に排除できるように、融
解槽の壁面との間に僅かな隙間が空く程度の大きさとす
ることが好ましい。更に、排除板を耐熱性を有する材
料、例えばタングステン、セラミック（ＭｇＯ、Ｃａ
Ｏ、ＢｅＯなど）等より構成することができる。
【０００８】排除板の駆動手段は、モータと、その回転
運動を直線運動に変換する機構より構成することができ
る。変換機構として、例えばラック機構、クランク機構
などが挙げられる。あるいは、環状にしたベルト乃至は
チェーンに排除板を取り付けてベルト乃至はチェーンを
モータにより駆動してもよい。
運動を直線運動に変換する機構より構成することができ
る。変換機構として、例えばラック機構、クランク機構
などが挙げられる。あるいは、環状にしたベルト乃至は
チェーンに排除板を取り付けてベルト乃至はチェーンを
モータにより駆動してもよい。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づき説明
する。
する。
【００１０】図１は、本発明による磁気記録媒体の製造
装置の構成図である。本装置は、真空容器１と、走行装
置２と、ルツボ３と、そして電子ビーム発生装置４とを
含んでいる。真空容器１は、その排出口９が図示しない
真空ポンプに接続され、この真空容器内に一連の被蒸着
材、すなわち合成樹脂製テープ５を走行させる走行装置
２が配設されている。走行装置２は、送りロール６と、
巻取りロール７と、そして冷却キャン８からなってい
る。ルツボ３は、冷却キャン８の真下より図面右側に寄
った位置に配設されている。このルツボ３は、ＭｇＯよ
り構成され１４００℃〜１５００℃の高温に耐えられる
ようになっている。またこのルツボ３は、長方形状の融
解槽９を備え、この融解槽９内に磁性金属１０を収容し
ている。電子ビーム発生装置４は電子銃１１を備え、こ
の電子銃１１から電子ビームを発射し、この電子ビーム
を融解槽９内の磁性金属１０に照射するようになってい
る。
装置の構成図である。本装置は、真空容器１と、走行装
置２と、ルツボ３と、そして電子ビーム発生装置４とを
含んでいる。真空容器１は、その排出口９が図示しない
真空ポンプに接続され、この真空容器内に一連の被蒸着
材、すなわち合成樹脂製テープ５を走行させる走行装置
２が配設されている。走行装置２は、送りロール６と、
巻取りロール７と、そして冷却キャン８からなってい
る。ルツボ３は、冷却キャン８の真下より図面右側に寄
った位置に配設されている。このルツボ３は、ＭｇＯよ
り構成され１４００℃〜１５００℃の高温に耐えられる
ようになっている。またこのルツボ３は、長方形状の融
解槽９を備え、この融解槽９内に磁性金属１０を収容し
ている。電子ビーム発生装置４は電子銃１１を備え、こ
の電子銃１１から電子ビームを発射し、この電子ビーム
を融解槽９内の磁性金属１０に照射するようになってい
る。
【００１１】遮蔽板２４が冷却キャン８の下方に冷却キ
ャンに接近して配設され、その先端は冷却キャンの最下
端より少し上昇した位置にある。
ャンに接近して配設され、その先端は冷却キャンの最下
端より少し上昇した位置にある。
【００１２】図２〜４は、ルツボとそれに備わる浮遊物
排除装置を示し、図２はその平面図、図３は図２のＡ−
Ａ線断面図、図４は図２のＢ−Ｂ線断面図である。浮遊
物排除装置は、排除板１２とその駆動手段１３とからな
っている。排除板１２は、下端部にラックを構成した支
持部１４と一体に形成され、これら排除板１２と支持部
１４は耐熱性を有する材料から構成されている。なお、
これら排除板１２と支持部１４とを別体に構成すること
もできる。磁性金属１０の蒸発に伴い融解槽の液面２５
は下降する。これに対処するために、排除板１２は最低
液面のときに少なくともその先端が液面に接触するよう
な奥行Ｄを有している。但し、この奥行Ｄは、最大限排
除板１２の先端と融解槽９の底面との間に間隙２２を形
成するように設定されている。これにより、排除板１２
が移動したときに、この間隔２２を通って液体状の磁性
金属１０が後方に逃げることができる。また、排除板１
２は、ルツボ壁面との間に浮遊物が通れない程度の僅か
な間隔１６を有するように、その幅Ｈが設計されてい
る。排除板１２の一側は、支持ローラ１５により支持さ
れ、この支持ローラ１５は、ルツボ３のへり上を転動す
るようになっている。また、排除板１２の他側、すなわ
ち支持部１４は、駆動手段１３に接続されている。支持
部１４は、長方形状をなし、その下端部に全長に亘りラ
ック２１が形成されている。このラック２１はピニオン
１７と噛み合っており、ピニオン１７の回転により支持
部１４が融解槽９の長手方向に移動するようになってい
る。ラック２１は、排除板１２を融解槽９のふちまで移
動させるに足る充分な長さを有している。
排除装置を示し、図２はその平面図、図３は図２のＡ−
Ａ線断面図、図４は図２のＢ−Ｂ線断面図である。浮遊
物排除装置は、排除板１２とその駆動手段１３とからな
っている。排除板１２は、下端部にラックを構成した支
持部１４と一体に形成され、これら排除板１２と支持部
１４は耐熱性を有する材料から構成されている。なお、
これら排除板１２と支持部１４とを別体に構成すること
もできる。磁性金属１０の蒸発に伴い融解槽の液面２５
は下降する。これに対処するために、排除板１２は最低
液面のときに少なくともその先端が液面に接触するよう
な奥行Ｄを有している。但し、この奥行Ｄは、最大限排
除板１２の先端と融解槽９の底面との間に間隙２２を形
成するように設定されている。これにより、排除板１２
が移動したときに、この間隔２２を通って液体状の磁性
金属１０が後方に逃げることができる。また、排除板１
２は、ルツボ壁面との間に浮遊物が通れない程度の僅か
な間隔１６を有するように、その幅Ｈが設計されてい
る。排除板１２の一側は、支持ローラ１５により支持さ
れ、この支持ローラ１５は、ルツボ３のへり上を転動す
るようになっている。また、排除板１２の他側、すなわ
ち支持部１４は、駆動手段１３に接続されている。支持
部１４は、長方形状をなし、その下端部に全長に亘りラ
ック２１が形成されている。このラック２１はピニオン
１７と噛み合っており、ピニオン１７の回転により支持
部１４が融解槽９の長手方向に移動するようになってい
る。ラック２１は、排除板１２を融解槽９のふちまで移
動させるに足る充分な長さを有している。
【００１３】駆動手段１３は、モータ２３の出力軸に接
続された駆動軸１８と、この駆動軸１８に固定されたピ
ニオン１７と、駆動軸１８上に支持されたプレート１９
と、このプレート１９に取り付けられた２つの押えロー
ラ２０からなっている。支持部１４は、下端部において
ピニオン１７と噛み合うと共にピニオン上に支持され、
また上面においてピニオンの両側に位置する２つの押え
ローラ２０により２点支持され、これにより、支持部１
４がピニオン１７上で揺動しないようになっている。モ
ータの動力が駆動軸１８に伝えられると、ピニオン１７
が回転し、これにより支持部１４はピニオン１７と押え
ローラ２０間を図面右又は左方向に移動する。支持部１
４と一体の排除板１２は、融解槽９のふちに向って移動
する。
続された駆動軸１８と、この駆動軸１８に固定されたピ
ニオン１７と、駆動軸１８上に支持されたプレート１９
と、このプレート１９に取り付けられた２つの押えロー
ラ２０からなっている。支持部１４は、下端部において
ピニオン１７と噛み合うと共にピニオン上に支持され、
また上面においてピニオンの両側に位置する２つの押え
ローラ２０により２点支持され、これにより、支持部１
４がピニオン１７上で揺動しないようになっている。モ
ータの動力が駆動軸１８に伝えられると、ピニオン１７
が回転し、これにより支持部１４はピニオン１７と押え
ローラ２０間を図面右又は左方向に移動する。支持部１
４と一体の排除板１２は、融解槽９のふちに向って移動
する。
【００１４】このように構成された本発明装置におい
て、電子銃１１により電子ビームを磁性金属１０に向け
照射した場合、磁性金属１０は電子ビームの照射を受け
て溶融し、蒸発を続ける。送りロール６より送り出され
てこの蒸発領域内に入ったテープ５は、磁性金属蒸気の
斜方蒸着を受けながら冷却キャン上を円周方向に回転
し、その間に斜方磁性膜がテープ上に形成され、巻取り
ロール７により巻取られる。
て、電子銃１１により電子ビームを磁性金属１０に向け
照射した場合、磁性金属１０は電子ビームの照射を受け
て溶融し、蒸発を続ける。送りロール６より送り出され
てこの蒸発領域内に入ったテープ５は、磁性金属蒸気の
斜方蒸着を受けながら冷却キャン上を円周方向に回転
し、その間に斜方磁性膜がテープ上に形成され、巻取り
ロール７により巻取られる。
【００１５】融解槽９の液面に溶融磁性金属の不純物や
酸化物２６が浮いてきたとき、モータを駆動させて排除
板１２を作動させる。排除板１２は液面の不純物や酸化
物を押して融解槽９のふちに向って移動する。このと
き、排除板１２に押される液体状の磁性金属１０は、間
隔２２を通って後方へ抜け出ることができる。排除板１
２に押されて融解槽９のふちに到達した不純物や酸化物
は、融解槽９の壁面に接触しその壁面に固着される。こ
れにより、液面にはスプラッシュの原因となる浮遊物が
なくなり、その結果テープ５上に適正な蒸着膜が形成さ
れる。
酸化物２６が浮いてきたとき、モータを駆動させて排除
板１２を作動させる。排除板１２は液面の不純物や酸化
物を押して融解槽９のふちに向って移動する。このと
き、排除板１２に押される液体状の磁性金属１０は、間
隔２２を通って後方へ抜け出ることができる。排除板１
２に押されて融解槽９のふちに到達した不純物や酸化物
は、融解槽９の壁面に接触しその壁面に固着される。こ
れにより、液面にはスプラッシュの原因となる浮遊物が
なくなり、その結果テープ５上に適正な蒸着膜が形成さ
れる。
【００１６】
【発明の効果】本発明は、浮遊物排除装置により液面の
浮遊物を確実に排除することができるので、スプラッシ
ュの発生が著しく抑制され、その結果良質の磁気記録媒
体が得られるものである。
浮遊物を確実に排除することができるので、スプラッシ
ュの発生が著しく抑制され、その結果良質の磁気記録媒
体が得られるものである。
【図１】本発明による磁気記録媒体の製造装置の構成
図。
図。
【図２】ルツボに備わる本発明の浮遊物排除装置の平面
図。
図。
【図３】図２のＡ−Ａ線断面図。
【図４】図２のＢ−Ｂ線断面図。
１ 真空容器 ２ 走行装置 ３ ルツボ ４ 電子ビーム発生装置 ５ テープ（被蒸着材） ８ 冷却キャン ９ 融解槽 １０ 磁性金属 １２ 排除板 １３ 駆動手段 １４ 支持部 １７ ピニオン ２１ ラック ２６ 不純物・酸化物
Claims (1)
- 【請求項１】真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料の融解槽を有するルツボと、該ルツボ
の磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発
生装置とを含む磁気記録媒体の製造装置において、 前記ルツボが、融解槽の浮遊物を融解槽の端へ排除する
排除板と該排除板の駆動手段とからなる浮遊物排除装置
を具備することを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26187192A JPH06108235A (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26187192A JPH06108235A (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06108235A true JPH06108235A (ja) | 1994-04-19 |
Family
ID=17367921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26187192A Pending JPH06108235A (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06108235A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2597174B1 (en) * | 2011-11-23 | 2017-05-10 | United Technologies Corporation | Vapor deposition of ceramic coatings |
-
1992
- 1992-09-30 JP JP26187192A patent/JPH06108235A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2597174B1 (en) * | 2011-11-23 | 2017-05-10 | United Technologies Corporation | Vapor deposition of ceramic coatings |
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